JPH0750412A - Dmosトランジスタ及びその製造方法 - Google Patents
Dmosトランジスタ及びその製造方法Info
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Abstract
ィ領域を高濃度とすることによって、Pボディ領域の導
通抵抗及びチャネル領域の導通抵抗を減少させることを
目的とする。 【構成】 基層の主面から延出する第2の導電型のボ
ディ領域を形成する過程と、マスクによって横方向に画
定され、かつ前記主面から前記ボディ領域よりも浅く延
出するより高いドーピング濃度を備えた第1の導電型の
ソース領域を形成する過程と、前記マスクによって横方
向に画定され、かつ前記主面から前記ボディ領域よりも
深く延出する少なくとも1つの溝を前記基層内に形成す
る過程と、前記主面から前記ボディ領域よりも浅く延出
し、かつ前記溝の片側の前記基層の前記主面に沿って横
方向に前記ソース領域を延在させることによって、前記
ソース領域を再び形成する過程とを有する。
Description
れた抵抗特性を有する溝を備えたDMOSトランジスタ
に関する。特に、本発明は、性能を改良するためのボデ
ィ領域の抵抗と、トランジスタの導通抵抗とを減少させ
るための、高いドーピングレベル及び“短い”チャネル
の形成に関する。
体)は、N+ソース領域のドーパント(典型的には砒素
またはリン)に比べ、Pボディ領域のドーパントのより
高い拡散速度によってチャネル長が決定される電界効果
トランジスタ(FET)として当業者に良く知られてい
る。ボディ領域によって画定されるチャネルは、低濃度
にドープされたドリフト領域の上に配置されている。D
MOSトランジスタは、非常に“短い”チャネルを有
し、そのチャネル長は概ねリソグラフマスク(lithogra
phic mask)とは無関係に決定される。そのようなDM
OSトランジスタは、高濃度にドープされたPボディシ
ールド゛によって、良好なパンチスルー制御(punch-th
rough control)を有する。低濃度にドープされたドリ
フト領域は、速度を飽和させるための均一な電界を保持
することによって、チャネル領域での電圧降下を最小に
する。ドレイン領域近傍の電界はドリフト領域の電界と
等しいので、アバランシェ降伏、多重化及び酸化は従来
のMOSFETと比べ軽減される。ある形式のDMOS
トランジスタでは、“溝”がゲート構造を形成するため
に用いられている。これらのトランジスタは概ね、基層
から54.7度傾斜した側壁を備えた溝を形成するべ
く、異方性エッチングを用いて、<100>のシリコン
基層(ウエハー)上に形成されている。ドーパントの濃
度の分布は、上述されたDMOSトランジスタと等し
い。2つのチャネルがエッチングされた溝の両側に各々
配置されている。デバイスは、基層底部に配置された共
通ドレイン接触部を有する。多数のデバイスを並列に接
続することができるために、これらのトランジスタは電
力用スイッチングに適した大電流及び大電力を取り扱う
ことができる。等方性エッチングによって形成された垂
直な側壁を有する溝を備えたDMOSデバイスは当業者
には良く知られており、その溝の断面は長方形または
“U”型である。
て、ゲート電極として動作させるためのポリシリコンが
充填されている。これは更に、所望のプレーナ構造、即
ち略平坦な主面を提供するものである。
MOSトランジスタは、N+にドープされた基層62
と、基層62の上に形成されたN−にドープされたエピ
タキシャル層61と、Pにドープされたボディ領域63
と、N+にドープされたソース領域65とを有する。ゲ
ート電極69は、ゲート酸化膜絶縁層66が内張りされ
た溝66a内に形成された導電性ポリシリコンから成
る。図14に示すように、溝66aの断面はU型または
V型である。ソース接触部67は、ボディ領域63をソ
ース領域65に短絡させ、ドレイン接触部98は基層6
2の裏側主面に形成されている。チャネル長は、Pボデ
ィ領域63aのゲート電極69に隣接した部分の長さで
ある。図14に示された構造は単なる例であり、公知の
他の構造では、溝66aにはゲート電極69が充填され
平坦な主面が形成されているものもある。
な主面を有するFETと比べて、長所を有するが、また
いくつかの欠点をも有する。これらの欠点は、Pボディ
領域の導通抵抗及びチャネル領域の導通抵抗に関するも
のである。
SFETと等しい閾値電圧を保持するために、各々の領
域65、63a、61によって形成されるN+/P−/
N−JFET(寄生トランジスタ)の面抵抗によって決
定されるデバイスの耐用年数は短くなっている。更に、
犠牲的な酸化過程(sacrificial oxidation step)が
溝を形成するための非常に高い温度で実施され、次にP
−ボディ領域を所望の深さよりも深く延在させる溝エッ
チング過程が実施されるために、U型の溝の近傍に短い
チャネルを形成することは困難である。
近傍に短いチャネルを形成しかつボディ領域を高濃度と
することによって、Pボディ領域の導通抵抗及びチャネ
ル領域の導通抵抗を減少させることである。
の導電型の基層から電界効果トランジスタを形成する方
法であって、前記基層の主面から延出する第2の導電型
のボディ領域を形成する過程と、マスクによって横方向
に画定され、かつ前記主面から前記ボディ領域よりも浅
く延出するより高いドーピング濃度を備えた第1の導電
型のソース領域を形成する過程と、前記マスクによって
横方向に画定され、かつ前記主面から前記ボディ領域よ
りも深く延出する少なくとも1つの溝を前記基層内に形
成する過程と、前記主面から前記ボディ領域よりも浅く
延出し、かつ前記溝の片側の前記基層の前記主面に沿っ
て横方向に前記ソース領域を延在させることによって、
前記ソース領域を再び形成する過程とを有することを特
徴とする電界効果トランジスタの形成方法を提供するこ
とによって達成される。
が“短い”チャネルを保持しながらより高濃度にまたは
より深く形成されるように、溝を備えたゲートを有する
DMOSトランジスタが基層に形成される。ボディ領域
のドーパント濃度を増加させることまたはボディ領域を
深く形成することによってボディ領域の抵抗が減少させ
られたデバイスの耐用年数が延長され、一方短いチャネ
ルによってトランジスタの導通抵抗が減少させられトラ
ンジスタの性能が向上する。
めには、チャネルを狭くまたは“短く”することが重要
であると考えられている。そのようなデバイスのチャネ
ル領域はPボディ拡散領域内にあるので、電子の速度を
増加させるためには、このPボディ拡散領域をできるだ
け“短く”する必要がある。Pボディ拡散領域の長さを
減少させることは、トランジスタの動作時のブレイクダ
ウン電圧に影響を及ぼすことはない。溝は、隣接するP
ボディ領域よりも少なくとも僅かに深く延在することが
重要である。従って本発明に基づけば、イオン注入及び
イオン拡散過程が溝を形成する前にPボディ領域内にN
+ソース領域の一部を形成するために用いられる。この
N+ソース領域は、後に溝のエッチングに用いられるマ
スクを用いて注入される。ある実施例では、“高濃度に
ドープされた”P+ボディ領域もまた、溝の壁と間隔を
置いて配置されかつPボディ領域内に形成される。次に
溝には酸化膜層が内張りされ、ドープされたポリシリコ
ンがゲート電極として充填される。次に、Pボディ領域
の一部に比較的浅いN+ソース領域の拡張部分が形成さ
れる。最後に、従来通り酸化膜絶縁層と金属接続層が基
層の主面の上に形成される。
ることは2つの目的を有する。第1の目的は、このN+
の注入が、チャネル近傍のPボディ領域のドーパント濃
度を相殺することである。第2は、自己整合した短いチ
ャネルが製造過程内で形成され、かつP−ピーク濃度に
よって決定される閾値電圧を調節することができる。N
+ドーパントによる不純物濃度の相殺(dopant compems
ation)とホウ素(P型)拡散阻止効果(boron diffusi
on retardation effect)の組合せによって、この短い
チャネルが達成される。
領域の注入のドーズ量がより大きくなる程、拡散阻止効
果は強くなる。この効果を用いて、改善された抵抗特性
を備えた非常に短いチャネルが製造される。
形成され、かつNソース領域がタブ領域内に形成され
る。次に溝がNソース領域を通してエッチングされ、ゲ
ート電極が溝内に形成され、かつPボディ領域が溝の片
側に形成される。次に砒素を添加されたN+ソース拡張
領域が形成される。
り)、N+拡張ソース領域にはリンが注入されている。
導電型は、これまで述べられた導電型と相異なるもので
あって良い。
イン領域)の上に従来通り5〜25μm(1μm=10
4Å)の深さに成長させられた第1実施例のN−エピタ
キシャル層が示されている。エピタキシャル層1は、
0.2〜5.0Ωcmの範囲の抵抗率を有する。
ホウ素によるPボディ領域3の(マスクを用いない)注
入及び拡散が描かれている。領域3は、30〜60ke
Vのイオン加速電圧と5×1013〜2×1014/cm2の
ドーズ量で注入され、5×1017〜2×1018/cm3の
不純物濃度及び1.0〜2.0μmの深さの表面を有す
る比較的高濃度にドープされたPボディ領域である。
チングとに使用される基層の主面上に形成された従来通
りのフォトリソグラフマスク層4を示している。マスク
層4は、概ね4000〜6000Åの厚さを有する酸化
膜である。
15/cm2とイオン加速電圧60〜80keVで、マスク
層4によって画定されるように基層の主面を通して深さ
0.5〜1.0μm、最終的な表面の不純物濃度が1×
1018〜5×1019/cm3となるように注入され拡散さ
れた砒素をドープされたN+ソース領域5の第1部分が
示されている。Pボディ領域3内に形成されたN+拡散
領域5は、N+ソース領域5とN−エピタキシャル層1
との間のPボディ領域3aの一部の厚みを約0.5〜
1.5μmに減少させる。これはホウ素拡散阻止効果と
して知られている(ホウ素の拡散は、砒素が存在する場
合にはより遅くなる)。注入されたN+ソース領域には
2つの目的がある。第1の目的は、N+注入によって、
チャネル領域近傍のPボディ領域3aの不純物濃度を相
殺することである。第2の目的は、自己整合した“短
い”チャネルを製造工程内で形成し、P−ピーク濃度に
よって決定される閾値電圧の調整を可能とすることであ
る。この“短い”チャネルは、N+ソース領域5の不純
物濃度の相殺と、ソース拡散領域に注入された砒素によ
るホウ素拡散阻止効果との組合せによって形成される。
領域の薄い部分3aとを通過し、かつN−領域1まで延
出する幅1.0〜3.0μm、深さ1.0〜6.0μm
のU型(四角形の)溝6を示している。溝6は、使用後
に除去されるマスク4を用いて、従来通りの等方性エッ
チング過程によって主面を通して形成される。マスク4
を除去した後に、溝6は厚さ500〜1000Åのゲー
ト酸化層6aを従来通り内張りされる。
抗を有するようにドープされたポリシリコン6bを充填
された溝6が示されている。ホウ素をドープされた高濃
度のP+ボディ領域7が、ドーズ量1×1015〜1×1
016/cm2、イオン加速電圧20〜40keVで、P領
域のマスクを用いてPボディ領域3の主面を通して注入
及び拡散され、最終的な接続深さ0.5〜1.0μm及
び最終的な表面の不純物濃度1×1019〜1×1020/
cm3で形成される。P+領域7は、溝6からは1.0μ
m、N+領域5からは0.5μm隔てられて各々Pボデ
ィ領域3内に配置されている。
のソース拡張領域8の、Pボディ領域3の上の溝から遠
ざかる方向及び高濃度P+ボディ領域7内での横方向へ
の、ソース拡張領域マスクを用いた浅い砒素の注入及び
拡散過程を示している。領域8は、ドーズ量5×1015
〜8×1015/cm2、イオン加速電圧60〜80keV
で注入及び拡散され、深さ0.3〜0.5μm及び幅
1.0〜2.0μmで形成される。他の実施例では、ソ
ース拡張領域8は溝のエッチング過程の前に形成され
る。
ンジスタを完成させるために、主面の上に酸化膜絶縁層
10と金属接続層9とを形成する様子を表している。
“短い”チャネルを形成するために、領域5に比べて領
域8に注入された砒素のドーズ量をより高濃度に(10
倍の濃度に)することでより強くなる。この効果を用い
ることによって、改良された抵抗特性を備えた非常に好
ましい“短い”チャネルが製造される。更に、チャネル
に接近して形成されたPボディ領域3によって、Pボデ
ィ領域3の寄生抵抗が減少され、デバイスの耐用年数が
長くなる。
形または六角形のような任意の形状でよい。
9〜図12に示されている。図9では、その上にN−エ
ピタキシャル層22が成長させられたN+基層20が、
酸化膜マスク層24によってマスクされ、イオン加速電
圧40〜60keV、ドーズ量1×1013〜1×1014
/cm2で、ボロンが注入かつ拡散され、深さ1〜3μ
m、最終的な表面のドーピングレベルが3×1015〜1
×1018/cm3のPタブ26が形成される。
に、溝酸化膜マスク層30が従来通り形成され、砒素ま
たはリンのNソース領域32が、イオン加速電圧60〜
80keV、ドーズ量3×1013〜2×1014/cm2で
注入及び拡散され、深さ0.5〜1.5μm及び最終的
な表面のドーピングレベル1×1018〜5×1018/cm
3となる。
通して等方性エッチングされる。次に溝マスク層30が
除去され、従来通りのゲート酸化膜36が溝34の側壁
に成長させられる。次に、溝34には、ゲート電極とし
て働くドープされたポリシリコン38が充填される。
オン加速電圧20〜60keV、ドーズ量3×1013〜
2×1014/cm2で注入かつ拡散され、深さ0.8〜
1.5μm及び最終的な表面のドーピングレベル5×1
017〜2×1018/cm3となる。次に、N+ソース拡張
領域44が、イオン加速電圧60〜80keV及びドー
ズ量8×1015〜1×1016/cm2の砒素を用いて、深
さ0.3〜0.5μm及び最終的な表面のドーピングレ
ベル4×1019〜6×1019/cm3となるように注入さ
れ、その後に拡散される場合と拡散されない場合とがあ
る。このようにして図12の実施例では、“短い”チャ
ネルが、ソース拡張領域の中程度のドーズ量のドーパン
ト(N)を用いた注入による不純物濃度の相殺と、ホウ
素(P)の拡散阻止効果との組み合わせによって形成さ
れる。この実施例では、ホウ素の拡散は、砒素が存在す
るために低速度となる。
は、N+ソース拡張領域50は、砒素を注入される代わ
りに、リンがイオン加速電圧60〜80keV、ドーズ
量1×1013〜1×1014/cm2で注入されかつ拡散さ
れ、深さ1.0〜1.5μm及び最終的な表面のドーピ
ングレベル1×1017〜1×1018/cm3となる。従っ
て図13は、溝の領域内に(砒素の代わりに)リン
(N)ソース拡張領域を注入した、溝を備えたDMOS
トランジスタの第3の実施例を示しており、この実施例
ではリンの拡散速度が砒素の拡散速度よりも大きいため
に、“より短い”チャネルが形成されている。
は、1つの実施例に対して、Pタブマスク、溝マスク、
P+拡散マスク、N+拡散マスク、接触開口部マスク、
メタルマスク、及びボンディングパット開口部マスク
(後者の3個のマスクは従来通りであり、図示されてい
ない)という7個のマスクが用いられている。
膜絶縁層54及び金属化層56を形成することによって
完成する。図8、図12及び図13の構造のPボディ領
域のピークドーパント濃度は、等しい閾値電圧を保つた
めに等しい値となっている。
に関して説明されたが、添付の請求項によって定義され
る本発明の技術的視点を逸脱することなしに、種々の変
形及び変更が実施可能なことは当業者には明かである。
ィ領域が“短い”チャネルを保持しながらより高濃度に
形成されるように、溝を備えたゲートを有するDMOS
トランジスタが基層に形成される。ボディ領域のドーパ
ント濃度を増加させることによってボディ領域の抵抗が
減少させられ、即ちデバイスの耐用年数が延長され、一
方短いチャネルによってトランジスタの導通抵抗が減少
させられトランジスタの性能が向上する。
たN+砒素ソース領域拡張部を備えた第1の実施例を製
造する過程を表す図。
たN+砒素ソース領域拡張部を備えた第1の実施例を製
造する過程を表す図。
たN+砒素ソース領域拡張部を備えた第1の実施例を製
造する過程を表す図。
たN+砒素ソース領域拡張部を備えた第1の実施例を製
造する過程を表す図。
たN+砒素ソース領域拡張部を備えた第1の実施例を製
造する過程を表す図。
たN+砒素ソース領域拡張部を備えた第1の実施例を製
造する過程を表す図。
たN+砒素ソース領域拡張部を備えた第1の実施例を製
造する過程を表す図。
たN+砒素ソース領域拡張部を備えた第1の実施例を製
造する過程を表す図。
たN砒素ソース領域拡張部を備えた第2の実施例の製造
過程を表す図。
れたN砒素ソース領域拡張部を備えた第2の実施例の製
造過程を表す図。
れたN砒素ソース領域拡張部を備えた第2の実施例の製
造過程を表す図。
れたN砒素ソース領域拡張部を備えた第2の実施例の製
造過程を表す図。
れたリンを備えた第3の実施例をを示す図。
ジスタを示す図。
Claims (16)
- 【請求項1】 第1の導電型の基層からDMOSトラ
ンジスタを製造する方法であって、 前記基層の主面から延出する第2の導電型のボディ領域
を形成する過程と、 マスクによって横方向に画定され、かつ前記主面から前
記ボディ領域よりも浅く延出するより高いドーピング濃
度を備えた前記第1の導電型のソース領域を形成する過
程と、 前記マスクによって横方向に画定され、かつ前記主面か
ら前記ボディ領域よりも深く延出する少なくとも1つの
溝を前記基層内に形成する過程と、 前記ソース領域を前記溝の片側の前記基層の前記主面に
沿って横方向に延出させることによって、前記主面から
前記ボディ領域よりも浅く延出ように、前記ソース領域
を再び形成する過程とを有することを特徴とするDMO
Sトランジスタの形成方法。 - 【請求項2】 前記ソース領域の延出部が、前記溝に
隣接すた前記ソース領域の一部よりも前記主面から浅く
延出していることを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 【請求項3】 前記溝に隣接した前記ボディ領域の一
部が、前記ボディ領域の前記溝から離れた前記ボディ領
域の他の一部よりも前記主面から浅く延出していること
を特徴とする請求項1に記載の方法。 - 【請求項4】 前記溝から間隔を置いて配置されかつ
前記ボディ領域内に概ね配置された、前記ボディ領域よ
りも高いドーピング濃度を備えた、前記基層の主面から
延出する第2の導電型の高濃度のボディ領域を形成する
過程を更に有することを特徴とする請求項1に記載の方
法。 - 【請求項5】 前記ソース領域を再び形成する過程
が、前記溝を形成する過程の前に実施され、前記ソース
領域が前記溝が形成される位置の片側に延在することを
特徴とする請求項1に記載の方法。 - 【請求項6】 DMOSトランジスタであって、 導電性のゲート電極を含む溝を画定する第1の導電型の
基層と、 前記溝に隣接する前記基層の第1主面から前記基層内
に、前記溝の深さよりも浅く延出する第2の導電型のボ
ディ領域と、 前記基層内に形成された前記第1の導電型のソース領域
とを備え、 前記溝の近傍の前記ボディ領域の部分が、前記溝から離
れた前記ボディ領域の他の部分よりも前記主面から浅く
延出し、かつ前記溝の近傍の前記ボディ領域とエピタキ
シャル層との境界部分が傾斜することによって、前記溝
の近傍の前記境界部分の一部が前記主面により接近して
いることを特徴とするDMOSトランジスタ。 - 【請求項7】 前記ソース領域が前記溝に隣接する前
記主面から前記ボディ領域の深さよりも浅く前記基層内
に延出し、前記ソース領域が前記主面から前記溝と隣接
する部分ではより深く延出し、前記溝から離れた部分で
はより浅く延出することを特徴とする請求項6に記載の
DMOSトランジスタ。 - 【請求項8】 前記ソース領域が、前記主面から前記
溝に隣接した部分ではより深く延出し、前記溝から離れ
た部分ではより浅く延出することを特徴とする請求項6
に記載のDMOSトランジスタ。 - 【請求項9】 前記ボディ領域が、前記溝に隣接した
部分では前記主面から浅く延出し、前記溝から離れた部
分では深く延出することを特徴とする請求項6に記載の
DMOSトランジスタ。 - 【請求項10】 前記溝から離れて配置され、かつ前
記ボディ領域内に概ね形成されると共に前記基層の前記
主面から延出する、前記ボディ領域よりも高い不純物濃
度を備えた前記第2の導電型の高濃度ボディ領域を更に
有することを特徴とする請求項6に記載のDMOSトラ
ンジスタ。 - 【請求項11】 DMOSトランジスタであって、 導電性のゲート電極を含む溝を画定する第1の導電型の
基層と、 前記基層内の前記溝に隣接する前記基層の主面から、前
記溝の深さよりも浅く延出する第2の導電型のボディ領
域と、 前記溝に隣接する前記主面から前記ボディ領域の深さよ
りも浅く前記基層内に延出する前記基層内に形成された
前記第1の導電型のソース領域とを有し、 前記溝に隣接する前記ボディ領域の部分が、前記溝から
離れた前記ボディ領域の他の部分よりも前記主面から浅
く延出し、 前記ソース領域が前記溝と隣接する部分では前記主面か
ら深く延出し、前記溝から離れた部分では浅く延出する
ことを特徴とするDMOSトランジスタ。 - 【請求項12】 前記溝を形成する前に、前記主面を
通してマスクによって画定された前記ソース領域の一部
を前記ボディ領域内に注入しかつ横方向に拡散すること
によって、前記ソース領域の一部と前記基層との間の前
記ボディ領域の一部の厚さを減少させ、前記厚さの減少
した前記ボディ領域の前記一部が短チャネルを画定する
ことを特徴とする請求項6に記載のDMOSトランジス
タ。 - 【請求項13】 前記マスクが前記溝をエッチングす
るために用いられることを特徴とする請求項12に記載
のDMOSトランジスタ。 - 【請求項14】 前記溝が前記主面から前記ボディ領
域よりも深く延出することを特徴とする請求項12に記
載のDMOSトランジスタ。 - 【請求項15】 前記ソース領域の前記一部が、前記
溝の片側の前記主面に沿って横方向に浅く延出し、前記
ソース領域を形成することを特徴とする請求項12に記
載のDMOSトランジスタ。 - 【請求項16】 高いドーズ量のドーパントが、注入
かつ拡散されて前記ソース領域の前記一部の前記浅い延
出部を形成することを特徴とする請求項15に記載のD
MOSトランジスタ。
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