JPH0749860Y2 - チップ型圧電共振子 - Google Patents
チップ型圧電共振子Info
- Publication number
- JPH0749860Y2 JPH0749860Y2 JP1988083479U JP8347988U JPH0749860Y2 JP H0749860 Y2 JPH0749860 Y2 JP H0749860Y2 JP 1988083479 U JP1988083479 U JP 1988083479U JP 8347988 U JP8347988 U JP 8347988U JP H0749860 Y2 JPH0749860 Y2 JP H0749860Y2
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- JP
- Japan
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- substrate
- piezoelectric substrate
- electrode
- insulating substrate
- piezoelectric
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案はチップ型圧電共振子の密封構造に関するもので
ある。
ある。
従来、この種のチップ型圧電共振子として、例えば実開
昭61−136630号公報に示されるものが知られている。こ
の圧電共振子は、エネルギー閉じ込め型厚み縦振動モー
ド構造を有する圧電基板の両側に接着剤を塗布し、その
外側より２枚の絶縁基板で挟着したもので、接着剤の厚
みによって圧電基板の振動電極の周囲に振動空間を形成
するとともに、圧電基板の端子電極と絶縁基板の外面に
形成された外部接続用電極とを端面に形成された導電膜
によって導通させたものである。
昭61−136630号公報に示されるものが知られている。こ
の圧電共振子は、エネルギー閉じ込め型厚み縦振動モー
ド構造を有する圧電基板の両側に接着剤を塗布し、その
外側より２枚の絶縁基板で挟着したもので、接着剤の厚
みによって圧電基板の振動電極の周囲に振動空間を形成
するとともに、圧電基板の端子電極と絶縁基板の外面に
形成された外部接続用電極とを端面に形成された導電膜
によって導通させたものである。
上記圧電共振子の間隔は、圧電基板の振動電極の周囲に
形成される振動空間の確実な密封性が得にくいことであ
る。即ち、上記の場合には接着剤がスペーサを兼用して
おり、振動空間を接着剤の厚みのみによって得ているの
で、両側の絶縁基板を強く加圧すると、接着剤が押し潰
れて振動電極と絶縁基板とが接触するおそれがある。そ
のため、絶縁基板への加圧をさほど大きくすることがで
きず、密封性が不十分になるからである。
形成される振動空間の確実な密封性が得にくいことであ
る。即ち、上記の場合には接着剤がスペーサを兼用して
おり、振動空間を接着剤の厚みのみによって得ているの
で、両側の絶縁基板を強く加圧すると、接着剤が押し潰
れて振動電極と絶縁基板とが接触するおそれがある。そ
のため、絶縁基板への加圧をさほど大きくすることがで
きず、密封性が不十分になるからである。
本考案は上記問題点に鑑みてなされたもので、その目的
は、絶縁基板への加圧力を充分にとって振動空間の密封
性を高めることが可能なチップ型圧電共振子を提供する
ことにある。
は、絶縁基板への加圧力を充分にとって振動空間の密封
性を高めることが可能なチップ型圧電共振子を提供する
ことにある。
上記目的を達成するために、本考案は、圧電基板と、こ
の圧電基板と略同形で圧電基板を両側から挟み込む２枚
の絶縁基板とを備え、圧電基板の両主面の中央部には互
いに対向する振動電極が形成され、両主面の互いに反対
側の端部には上記振動電極と夫々接続された端子電極が
形成されており、絶縁基板の圧電基板の主面と対向する
内側面には、上記振動電極に対応する部位に第１の凹部
と、上記端子電極に対応する部位に絶縁基板の側端面に
開口する第２の凹部とが形成され、主面と対向しない外
側面の両端部には外部接続用電極が形成されており、圧
電基板と絶縁基板との対向面であって、上記第１および
第２の凹部以外の部位が接着剤を介して接着固定され、
圧電基板の端子電極と絶縁基板の外部接続用電極とが、
上記第２の凹部が開口する側端面および第２の凹部内面
に連続的に形成された導電膜によって導通していること
を特徴とするものである。
の圧電基板と略同形で圧電基板を両側から挟み込む２枚
の絶縁基板とを備え、圧電基板の両主面の中央部には互
いに対向する振動電極が形成され、両主面の互いに反対
側の端部には上記振動電極と夫々接続された端子電極が
形成されており、絶縁基板の圧電基板の主面と対向する
内側面には、上記振動電極に対応する部位に第１の凹部
と、上記端子電極に対応する部位に絶縁基板の側端面に
開口する第２の凹部とが形成され、主面と対向しない外
側面の両端部には外部接続用電極が形成されており、圧
電基板と絶縁基板との対向面であって、上記第１および
第２の凹部以外の部位が接着剤を介して接着固定され、
圧電基板の端子電極と絶縁基板の外部接続用電極とが、
上記第２の凹部が開口する側端面および第２の凹部内面
に連続的に形成された導電膜によって導通していること
を特徴とするものである。
即ち、圧電基板の両側に接着剤を介して絶縁基板を圧着
すると、絶縁基板の第1,第２の凹部以外の部位が圧電基
板に圧着し、振動電極の周囲に第１の凹部によって振動
空間が形成される。このとき、振動空間は接着剤の厚み
に依存せず、第１の凹部の深さによって与えられるの
で、絶縁基板の加圧力を大きくしても絶縁基板が振動電
極に接触するおそれはない。したがって、振動空間の高
い密封性を得ることが可能である。
すると、絶縁基板の第1,第２の凹部以外の部位が圧電基
板に圧着し、振動電極の周囲に第１の凹部によって振動
空間が形成される。このとき、振動空間は接着剤の厚み
に依存せず、第１の凹部の深さによって与えられるの
で、絶縁基板の加圧力を大きくしても絶縁基板が振動電
極に接触するおそれはない。したがって、振動空間の高
い密封性を得ることが可能である。
また、絶縁基板の第２の凹部の内面と側端面とに連続的
に導電膜を形成することにより、圧電基板の端子電極と
絶縁基板の外部接続用電極とが電気的に導通し、チップ
型圧電共振子を得ることができる。
に導電膜を形成することにより、圧電基板の端子電極と
絶縁基板の外部接続用電極とが電気的に導通し、チップ
型圧電共振子を得ることができる。
第１図、第２図は本考案にかかるチップ型圧電共振子１
の一例を示し、圧電基板２の両側を接着剤20を介して２
枚の絶縁基板10,10で挟着した構造となっている。
の一例を示し、圧電基板２の両側を接着剤20を介して２
枚の絶縁基板10,10で挟着した構造となっている。
図面において、圧電基板２は矩形の薄板状セラミック等
からなり、その表裏両主面には第３図に示されるように
互いに対称形の電極3,4が形成され、エネルギー閉じ込
め形厚み縦振動モード構造となっている。表側主面の電
極３は、基板２の中央に位置する円形の振動電極3aと、
基板２の一側端部に形成された端子電極3bと、振動電極
3aと端子電極3bとを接続する２本の引出電極3cとで構成
され、裏面側の電極４も同様に振動電極4aと端子電極4b
と引出電極4cとで構成されている。なお、振動電極3a,4
aと端子電極3b,4bとを結ぶ引出電極3c,4cを各々２本ず
つ設けることにより、引出電極3c,4cの断線を防止でき
る。また、上記電極3,4が同一形状でかつ基板２の表裏
面の180°対称位置に形成されているので、方向性がな
く、自動機による組み立てが容易となる。
からなり、その表裏両主面には第３図に示されるように
互いに対称形の電極3,4が形成され、エネルギー閉じ込
め形厚み縦振動モード構造となっている。表側主面の電
極３は、基板２の中央に位置する円形の振動電極3aと、
基板２の一側端部に形成された端子電極3bと、振動電極
3aと端子電極3bとを接続する２本の引出電極3cとで構成
され、裏面側の電極４も同様に振動電極4aと端子電極4b
と引出電極4cとで構成されている。なお、振動電極3a,4
aと端子電極3b,4bとを結ぶ引出電極3c,4cを各々２本ず
つ設けることにより、引出電極3c,4cの断線を防止でき
る。また、上記電極3,4が同一形状でかつ基板２の表裏
面の180°対称位置に形成されているので、方向性がな
く、自動機による組み立てが容易となる。
上下の絶縁基板10,10は圧電基板２と同一形状の絶縁板
よりなり、公知の材料、例えばガラスエポキシ樹脂やセ
ラミック材料などで構成されている。第４図に示すよう
に、圧電基板２と対向する内側面の中央部には振動電極
3a,4aより大きな円形の第１凹部11が形成され、両端部
には端子電極3b,4bと一部対応する半円形の第２凹部12,
12が形成されている。第２凹部12,12は絶縁基板10,10の
側端面に開口している。上記凹部11,12を形成した面と
反対側の外側面で、かつ第２凹部12の裏側に対応する両
端部には、全幅に渡って帯状の外部接続用電極13,13が
形成されている。
よりなり、公知の材料、例えばガラスエポキシ樹脂やセ
ラミック材料などで構成されている。第４図に示すよう
に、圧電基板２と対向する内側面の中央部には振動電極
3a,4aより大きな円形の第１凹部11が形成され、両端部
には端子電極3b,4bと一部対応する半円形の第２凹部12,
12が形成されている。第２凹部12,12は絶縁基板10,10の
側端面に開口している。上記凹部11,12を形成した面と
反対側の外側面で、かつ第２凹部12の裏側に対応する両
端部には、全幅に渡って帯状の外部接続用電極13,13が
形成されている。
接着剤20は第５図のように薄肉な絶縁性接着シートより
なり、上記絶縁基板10の凹部11,12と対応する箇所に孔2
1および切欠22が設けられている。なお、量産性を高め
るため、接着剤20は上下の絶縁基板10,10にスキージ印
刷法にて印刷することが好ましい。圧電基板２と絶縁基
板10,10とは接着剤20を間にして接合され、圧電基板２
と絶縁基板10,10との間に密閉された振動空間5,6が形成
されている。外部接続用電極13,13が形成された側部端
面には、第２図のように導電膜7,7が第２凹部12の内面
と連続するようにスパッタ処理されており、これら導電
膜7,7によって圧電基板２の端子電極3b,4bと外部接続用
電極13,13とが電気的に接続されている。
なり、上記絶縁基板10の凹部11,12と対応する箇所に孔2
1および切欠22が設けられている。なお、量産性を高め
るため、接着剤20は上下の絶縁基板10,10にスキージ印
刷法にて印刷することが好ましい。圧電基板２と絶縁基
板10,10とは接着剤20を間にして接合され、圧電基板２
と絶縁基板10,10との間に密閉された振動空間5,6が形成
されている。外部接続用電極13,13が形成された側部端
面には、第２図のように導電膜7,7が第２凹部12の内面
と連続するようにスパッタ処理されており、これら導電
膜7,7によって圧電基板２の端子電極3b,4bと外部接続用
電極13,13とが電気的に接続されている。
ここで、上記構成のチップ型圧電共振子１の具体的製造
方法を説明する。
方法を説明する。
まず、第６図に示されるように、多数の電極3,4を形成
した圧電基板母材2A、片面に多数の凹部11,12を形成し
他面に外部接続用電極13を形成した絶縁基板母材10A、
および多数の孔21,22を形成した接着剤シート母材20Aを
互いに積層し、絶縁基板母材10Aを加圧することによっ
て第７図のような共振子母材1Aを制作する。この状態に
おいて、圧電基板母材2Aと絶縁基板母材10Aとの間に
は、凹部11による多数の振動空間と、凹部12による多数
の空間とが形成される。なお、量産性を高めるため、接
着剤シート母材20Aの代わりに、絶縁基板母材10A,10Aに
予めスキージ印刷法にて接着剤層を形成してもよい。そ
の後、共振子母材1Aを第７図破線のように切断すると、
第１図のようなチップ型圧電共振子１が多数個得られ
る。このとき、第１凹部11による振動空間は密閉状態の
まま外部に露出しないが、第２凹部12による空間は半分
に切断されるため、圧電基板２の端子電極3b,4bが外部
に露出する。この状態で、外部接続用電極13,13が形成
された側部の端面に導電膜7,7をスパッタ処理すると、
導電膜７の一部は第２凹部12の内面にも形成され、導電
膜７を介して端子電極3b,4bと外部接続用電極13,13とが
電気的に導通する。上記のように導電膜7,7をスパッタ
処理した後、その外面にNi＋Snメッキあるいは半田Dip
処理を施し、チップ型圧電共振子１を完成する。
した圧電基板母材2A、片面に多数の凹部11,12を形成し
他面に外部接続用電極13を形成した絶縁基板母材10A、
および多数の孔21,22を形成した接着剤シート母材20Aを
互いに積層し、絶縁基板母材10Aを加圧することによっ
て第７図のような共振子母材1Aを制作する。この状態に
おいて、圧電基板母材2Aと絶縁基板母材10Aとの間に
は、凹部11による多数の振動空間と、凹部12による多数
の空間とが形成される。なお、量産性を高めるため、接
着剤シート母材20Aの代わりに、絶縁基板母材10A,10Aに
予めスキージ印刷法にて接着剤層を形成してもよい。そ
の後、共振子母材1Aを第７図破線のように切断すると、
第１図のようなチップ型圧電共振子１が多数個得られ
る。このとき、第１凹部11による振動空間は密閉状態の
まま外部に露出しないが、第２凹部12による空間は半分
に切断されるため、圧電基板２の端子電極3b,4bが外部
に露出する。この状態で、外部接続用電極13,13が形成
された側部の端面に導電膜7,7をスパッタ処理すると、
導電膜７の一部は第２凹部12の内面にも形成され、導電
膜７を介して端子電極3b,4bと外部接続用電極13,13とが
電気的に導通する。上記のように導電膜7,7をスパッタ
処理した後、その外面にNi＋Snメッキあるいは半田Dip
処理を施し、チップ型圧電共振子１を完成する。
上記圧電共振子１において、振動空間5,6は絶縁基板10,
10の第１凹部11によって形成されるため、従来のように
接着剤の厚みによって振動空間を形成するものと異な
り、絶縁基板10への加圧力を加減する必要がなく、大き
な加圧力を加えることができる。したがって、接着剤20
と圧電基板２または絶縁基板10との間、または接着剤20
の内部に空気孔が存在せず、振動空間5,6の密封性が格
段に向上する。また、接着剤20は単に封止するだけの機
能を有すればよいので、薄肉な接着シートで構成でき
る。その結果、加圧時の圧縮代を小さくすることがで
き、振動空間に溜まった空気が殆ど圧縮されず、圧縮空
気が外部へ漏れ出ることによるエア漏れ孔の発生を防止
できる。
10の第１凹部11によって形成されるため、従来のように
接着剤の厚みによって振動空間を形成するものと異な
り、絶縁基板10への加圧力を加減する必要がなく、大き
な加圧力を加えることができる。したがって、接着剤20
と圧電基板２または絶縁基板10との間、または接着剤20
の内部に空気孔が存在せず、振動空間5,6の密封性が格
段に向上する。また、接着剤20は単に封止するだけの機
能を有すればよいので、薄肉な接着シートで構成でき
る。その結果、加圧時の圧縮代を小さくすることがで
き、振動空間に溜まった空気が殆ど圧縮されず、圧縮空
気が外部へ漏れ出ることによるエア漏れ孔の発生を防止
できる。
また、図６のように母材2A,10Aからチップ型圧電共振子
１を製造する際、絶縁基板母材10Aの片面に、多数の第
１凹部11と第２凹部12とを同時にプレス成形できるの
で、凹部11と12との位置関係をプレス型によって予め高
精度に設定できる。したがって、最終的な圧電共振子１
を得た段階で、振動空間形成用の凹部11と外部接続用の
凹部12との位置関係にバラツキが少なく、高品質のチッ
プ型圧電共振子１を得ることができる。
１を製造する際、絶縁基板母材10Aの片面に、多数の第
１凹部11と第２凹部12とを同時にプレス成形できるの
で、凹部11と12との位置関係をプレス型によって予め高
精度に設定できる。したがって、最終的な圧電共振子１
を得た段階で、振動空間形成用の凹部11と外部接続用の
凹部12との位置関係にバラツキが少なく、高品質のチッ
プ型圧電共振子１を得ることができる。
なお、本考案は圧電共振子は厚み縦振動モードを用いた
ものに限らないことは勿論である。
ものに限らないことは勿論である。
以上の説明で明らかなように、本考案によれば絶縁基板
の第１凹部によって振動電極の周囲に振動空間を形成し
たので、絶縁基板の加圧力を大きくしても絶縁基板が振
動電極に接触するおそれはない。したがって、従来に比
べて振動空間の高い密封性を得ることが可能となる。
の第１凹部によって振動電極の周囲に振動空間を形成し
たので、絶縁基板の加圧力を大きくしても絶縁基板が振
動電極に接触するおそれはない。したがって、従来に比
べて振動空間の高い密封性を得ることが可能となる。
また、絶縁基板の第２の凹部の内面と側端面とに連続的
に導電膜を形成することにより、圧電基板の端子電極と
絶縁基板の外部接続用電極とを確実に導通させることが
できる。
に導電膜を形成することにより、圧電基板の端子電極と
絶縁基板の外部接続用電極とを確実に導通させることが
できる。
さらに、絶縁基板には第1,第２の凹部が形成されるのみ
であるから、両凹部をプレス成形によって簡単に形成で
き、かつこれら凹部の位置も高精度に設定できる。した
がって、振動空間と第２の凹部との位置にバラツキがな
く、高品質のチップ型圧電共振子を得ることができる。
であるから、両凹部をプレス成形によって簡単に形成で
き、かつこれら凹部の位置も高精度に設定できる。した
がって、振動空間と第２の凹部との位置にバラツキがな
く、高品質のチップ型圧電共振子を得ることができる。
第１図は本考案にかかるチップ型圧電共振子の一例の斜
視図、第２図は第１図のII−II線断面図第３図は圧電基
板の平面図、第４図は絶縁基板の斜視図、第５図は接着
シートの斜視図、第６図は共振子母材の分解斜視図、第
７図はその圧着状態の斜視図である。 １……圧電共振子、２……圧電基板、3,4……電極、3a,
4a……振動電極、3b,4b……端子電極、5,6……振動空
間、７……導電膜、10……絶縁基板、11……第１凹部、
12……第２凹部、20……接着剤。
視図、第２図は第１図のII−II線断面図第３図は圧電基
板の平面図、第４図は絶縁基板の斜視図、第５図は接着
シートの斜視図、第６図は共振子母材の分解斜視図、第
７図はその圧着状態の斜視図である。 １……圧電共振子、２……圧電基板、3,4……電極、3a,
4a……振動電極、3b,4b……端子電極、5,6……振動空
間、７……導電膜、10……絶縁基板、11……第１凹部、
12……第２凹部、20……接着剤。
Claims (1)
- 【請求項１】圧電基板と、この圧電基板と略同形で圧電
基板を両側から挟み込む２枚の絶縁基板とを備え、 圧電基板の両主面の中央部には互いに対向する振動電極
が形成され、両主面の互いに反対側の端部には上記振動
電極と夫々接続された端子電極が形成されており、 絶縁基板の圧電基板の主面と対向する内側面には、上記
振動電極に対応する部位に第１の凹部と、上記端子電極
に対応する部位に絶縁基板の側端面に開口する第２の凹
部とが形成され、主面と対向しない外側面の両端部には
外部接続用電極が形成されており、 圧電基板と絶縁基板との対向面であって、上記第１およ
び第２の凹部以外の部位が接着剤を介して接着固定さ
れ、 圧電基板の端子電極と絶縁基板の外部接続用電極とが、
上記第２の凹部が開口する側端面および第２の凹部内面
に連続的に形成された導電膜によって導通していること
を特徴とするチップ型圧電共振子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988083479U JPH0749860Y2 (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | チップ型圧電共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988083479U JPH0749860Y2 (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | チップ型圧電共振子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH025929U JPH025929U (ja) | 1990-01-16 |
| JPH0749860Y2 true JPH0749860Y2 (ja) | 1995-11-13 |
Family
ID=31308193
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988083479U Expired - Lifetime JPH0749860Y2 (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | チップ型圧電共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0749860Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07101830B2 (ja) * | 1990-05-22 | 1995-11-01 | ティーディーケイ株式会社 | セラミックフィルタの製造方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58172008A (ja) * | 1982-04-02 | 1983-10-08 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電振動子の構造及びその製造方法 |
| JPS58139517A (ja) * | 1982-05-24 | 1983-08-18 | Murata Mfg Co Ltd | チツプ状圧電振動部品 |
| JPS61136630U (ja) * | 1985-02-12 | 1986-08-25 | ||
| JPH0174623U (ja) * | 1987-11-09 | 1989-05-19 |
-
1988
- 1988-06-24 JP JP1988083479U patent/JPH0749860Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH025929U (ja) | 1990-01-16 |
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