JPH0749457Y2 - レ−ザミラ−の取付構造 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［考案の目的］ （産業上の利用分野） 本考案は、たとえば電子ビーム描画装置等におけるステ
ージ上の位置測定用レーザミラーの取付構造に関するも
のである。

（従来の技術） 従来、電子ビーム描画装置，ステッパ，マスク欠陥検査
装置等のステージ上に設けられた位置測定用レーザミラ
ーの取付構造は、第３図および第４図に示すようになっ
ている。

すなわち、レーザミラー１の両端下面をミラー台２の上
面側に形成された取付部３および受部４で支承した状態
とするとともに、レーザミラー１の他端部を取付部３に
接着し、一端部を取付具５の接着部６に接着固定してい
る。なお、取付具５はミラー台２にボルト7,7で固定さ
れている。

なお、ミラー台２の上面に形成された上記取付部３およ
び受部４の上面、つまりレーザミラー１の下面と接する
部分は平面度良く加工されている。

上記のようにレーザミラー１をミラー台２に接着した
後、ミラー台２ごとステージ８にボルト9,9で固定す
る。

上記ステージ８は、図示しない駆動装置により第４図に
示すように矢印Ｘ方向および矢印Ｙ方向に駆動されるよ
うになっているとともにＸ方向位置測定用とＹ方向位置
測定用の２つのレーザミラー1,1が搭載される。

なお、第４図に示す10,10は測定用のレーザ光である。

そして、一般に石英で作られたているレーザミラー１と
他の材質で作られているミラー台２との間の熱膨張係数
の差により接着固定後の温度変化によりレーザミラー１
とミラー台２との間で長さの差が生じた時、取付具５の
弾性変形によりその差分を吸収しレーザミラー１への悪
影響を防止するようにしている。

（考案が解決しようとする問題点） しかしながら、このような従来例においても、ミラー台
２のステージ８への取付面加工精度およびステージ８の
ミラー台２の取付面の加工精度によってはボルト9,9で
固定する際、取付部３または取付具５の接着部６に不必
要な力が加わり、λ/20〜λ/30程度（単体時の加工精
度）に作られているレーザミラー１の平面度が、 λ/10〜λ/20程度に低下するといった問題があった。こ
のため、従来においては、それぞれの部材の加工精度を
良くするとともに接着取付時にも充分の注意を払って作
業をする必要があり、時間と費用を要するといった問題
があった。

本考案は、上記事情に基づきなされたもので、その目的
とするところは、簡単な構成でありながら、平面度が高
精度に加工されたレーザミラーの平面度を損うことなく
容易かつ確実に取付けることのできるレーザミラーの取
付構造を提供しようとするものである。

［考案の構成］ （問題点を解決するための手段） 本考案は、上記問題点を解決するために、レーザミラー
の下面を複数の受部で支承して上下方向の位置決めを行
なうとともに、上記レーザミラーの長手方向の一端を上
下方向に低剛性で幅方向には剛性の高い第１の取付具に
接着し、レーザミラーの他端をレーザミラーの長手方向
に低剛性で幅方向には剛性の高い第２の取付具に接着
し、これら第１、第２の取付具をステージへ直接または
部材を介して取付けたものである。

（作用） すなわち、本考案は上記の構成とすることにより、取付
後に温度変化が発生し、レーザミラーとミラー台との間
で長さの差が生じてもレーザミラーの平面度を低下させ
ることなく精度の良い取付が可能となる。また、取付
時、ミラー台およびステージのそれぞれの取付面の加工
誤差によりミラー台が変形しても取付具の弾性変形によ
ってその変形を吸収してレーザミラーにはほとんど影響
を及ぼすことがないため取付作業性の向上が可能とな
る。

（実施例） 以下、本考案の一実施例を第１図および第２図を参照し
て説明する。

図中１はレーザミラー、２はミラー台、８はステージで
ある。

レーザミラー１は、その両端側下面をミラー台２の上面
に突設された３つの受部15…により支承され上下方向の
位置決めがなされた状態となっている。

また、レーザミラー１の長手方向の両端は、ミラー台２
に固定された第1,第２の取付具16,17によって保持され
た状態となっている。

上記第１の取付具16は、上下方向に低剛性で水平方向
（レーザミラーにて位置測定する方向）は高い剛性とな
っているとともに、その幅方向（レーザミラーにて位置
測定する方向と直交する方向）に突設された２個の接着
部18,18を介してレーザミラー１の端面を接着固定する
ようになっている。なお、接着された状態で第１の取付
具16によるレーザミラー１の下方への押付け力はほぼ零
となるようになっている。

また、上記第２の取付具17は、レーザミラー１の長手方
向に低剛性で幅方向は高い剛性となっているとともに、
その幅方向のほぼ中央部に突設された１個の接着部19を
介してレーザミラー１の端面を接着固定するようになっ
ている。

なお、接着された状態で第２の取付具17によるレーザミ
ラー１の長手方向押付け力もほぼ零となるようになって
いる。

すなわち、上記第1,第２の取付具16,17は、レーザミラ
ー１に外力をできるだけ加えない状態で保持するように
なっている。

また、第1,第２の取付具16,17は、それぞれ２本のボル
ト7,7にてミラー台２に固定されており、また、上記ミ
ラー台２の両端部は、それぞれ１本のボルト９でステー
ジ８に固定されている。

また、ミラー台２の受部15…の長手方向ピッチは、レー
ザミラー１の長さに対して最もたわみの小さくなるほぼ
ベッセル点またはエアリー点と呼ばれている寸法となっ
ている。

しかして、上記構成とすることにより、取付後に温度変
化が発生し、レーザミラー１とミラー台２との間で長さ
の差が生じてもレーザミラー１の平面度を低下させるこ
となく、また、取付時、ミラー台２およびステージ８の
それぞれの取付面の加工誤差によりミラー台２が変形し
ても第１の取付具16,または第２の取付具17の弾性変形
によってその変形を吸収してレーザミラー１にはほとん
ど影響を及ぼすことがなく、したがって平面度も低下し
ない。

また、第1,第２の取付具16,17のレーザミラー１に対す
る接着部の高さを略同じにすることによってレーザミラ
ー１の端面に加わる外力によるモーメントが発生しなく
なり、より平面度が低下し難くなる。

すなわち、簡単な構成でありながら、平面度が高精度に
加工されたレーザミラー１の平面度を損うことなく容易
かつ確実に取付けることが可能となる。

なお、上述の一実施例において第1,第２の取付具16,17
をミラー台２に取付けた場合について説明したが、本考
案はこれに限らずステージ８に直接取付けるようにして
もよい。

その他、本考案は本考案の要旨を変えない範囲で種々変
形実施可能なことは勿論である。

なお、本考案の説明において前述の従来例と同一個所は
同一の符号を付し、一部詳細な説明を省略する。

［考案の効果］ 以上説明したように、本考案によれば簡単な構成であり
ながら、平面度が高精度に加工されたレーザミラーの平
面度をできるだけ低下させずに容易かつ確実に取付ける
ことのできるレーザミラーの取付構造を提供できるとい
った効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本考案の一実施例を示すもので、
第１図は取付状態を示す概略的縦断側面図、第２図は同
じく概略的平面図、第３図および第４図は従来例を示す
もので、第３図は取付状態を示す概略的縦断側面図、第
４図はレーザミラーのステージに対する配設状態を示す
概略的平面図である。 １…レーザミラー、２…ミラー台、８…ステージ、15…
受部、16…第１の取付具、17…第２の取付具、18,19…
接着部。

Claims (4)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】ステージ上に搭載されるレーザミラーを取
   付固定するレーザミラーの取付構造であって、上記レー
   ザミラーの下面を支承しレーザミラーの上下方向の位置
   決めを行なう複数の受部と、これら受部により支承され
   た上記レーザミラーの長手方向の一端を接着固定する接
   着部を有するとともにステージへ直接または部材を介し
   て取付けられる第１の取付具と、上記レーザミラーの長
   手方向の他端を接着固定する接着部を有するとともにス
   テージへ直接または部材を介して取付けられる第２の取
   付具とを具備し、上記第１の取付具をレーザミラーの上
   下方向に低剛性で幅方向には剛性の高い構造とし、第２
   の取付具をレーザミラーの長手方向に低剛性で幅方向に
   は剛性の高い構造としたことを特徴とするレーザミラー
   の取付構造。
2. 【請求項２】第１の取付具は、レーザミラーの端面の幅
   方向の略両端２個所を接着固定するものであることを特
   徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載のレーザミ
   ラーの取付構造。
3. 【請求項３】第２の取付具は、レーザミラーの端面の幅
   方向の略中央１個所を接着固定するものであることを特
   徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載のレーザミ
   ラーの取付構造。
4. 【請求項４】第１の取付具の接着部と第２の取付具の接
   着部とを略同じ高さにしたことを特徴とする実用新案登
   録請求の範囲第１項記載のレーザミラーの取付構造。