JPH0742001B2 - 可撓性板状体の分離方法 - Google Patents
可撓性板状体の分離方法Info
- Publication number
- JPH0742001B2 JPH0742001B2 JP15668486A JP15668486A JPH0742001B2 JP H0742001 B2 JPH0742001 B2 JP H0742001B2 JP 15668486 A JP15668486 A JP 15668486A JP 15668486 A JP15668486 A JP 15668486A JP H0742001 B2 JPH0742001 B2 JP H0742001B2
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- plate
- suction
- adsorbing
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Description
【発明の詳細な説明】 [発明の技術分野] 本発明は可撓性板状体の分離方法に関し、特に積層され
た可撓性板状体を順次上方より1枚ずつ吸着して分離さ
せることのできる分離方法に関する。
た可撓性板状体を順次上方より1枚ずつ吸着して分離さ
せることのできる分離方法に関する。
[発明の技術的背景] IC等電子部品の製造工程においては、ウエハから1個の
ペレットを取り上げ、リードフレームのペレット載置部
に順次取り付けるペレットボンディング作業が行なわれ
る。そしてこの作業に用いられるボンディング装置にお
いては、リードフレームの供給装置が備えられる。従来
この種の供給装置には、例えば特開昭53-68973号に記載
されているものがあり、ストッカに積層状態とされたリ
ードフレームを上方より、吸着盤等の吸着手段で順次1
枚ずつ吸着分離し、ボンディング部に供給することが行
なわれている。ところが、この方法ではリードフレーム
の有するバリやリードフレーム同志の密着現象等によ
り、一度に2枚以上のリードフレームを吸着してしまう
ことがあり、ボンディング作業に支障を来たしていた。
ペレットを取り上げ、リードフレームのペレット載置部
に順次取り付けるペレットボンディング作業が行なわれ
る。そしてこの作業に用いられるボンディング装置にお
いては、リードフレームの供給装置が備えられる。従来
この種の供給装置には、例えば特開昭53-68973号に記載
されているものがあり、ストッカに積層状態とされたリ
ードフレームを上方より、吸着盤等の吸着手段で順次1
枚ずつ吸着分離し、ボンディング部に供給することが行
なわれている。ところが、この方法ではリードフレーム
の有するバリやリードフレーム同志の密着現象等によ
り、一度に2枚以上のリードフレームを吸着してしまう
ことがあり、ボンディング作業に支障を来たしていた。
また特公昭60-27610号公報には、可撓性板状体の分離方
法と題し、上記欠点を除去するため、板状体の略中央部
を押圧しながら縁部のみを上昇させ、全体をわん曲させ
る技術が開示されている。
法と題し、上記欠点を除去するため、板状体の略中央部
を押圧しながら縁部のみを上昇させ、全体をわん曲させ
る技術が開示されている。
[背景技術の問題点] しかしながらこの方法において、ストッカ内の最上位に
位置する板状体の略中央部を押圧しているため、この略
中央部と次位置の板状体との密着性は依然として解消で
きなかった。
位置する板状体の略中央部を押圧しているため、この略
中央部と次位置の板状体との密着性は依然として解消で
きなかった。
[発明の目的] 本発明は、上記欠点を除去するために成されたもので、
可撓性板状体の分離作業を確実に行なうことのできる可
撓性板状体の分離方法を提供することを目的とする。
可撓性板状体の分離作業を確実に行なうことのできる可
撓性板状体の分離方法を提供することを目的とする。
[発明の概要] 上記目的を達成するため本発明においては、積層された
可撓性板状体を順次上方より1枚ずつ吸着して取り出す
可撓性板状体の分離方法において、前記可撓性板状体の
縁部付近を吸着する第1の吸着手段と、前記可撓性板状
体の略中央部を吸着する第2の吸着手段と、を有する分
離装置を最上位に位置する前記可撓性板状体上に位置さ
せ、前記第1並びに第2の吸着手段の吸着面が略同一平
面に位置する状態から、前記第1の吸着手段のみを上動
させて前記可撓性板状体をその略中央部を境に上方に向
って凹状にわん曲させる工程と、前記第2の吸着手段の
みを上動させて前記可撓性板状体をその略中央部を境に
上方に向って凸状にわん曲させる工程とを交互に行なう
ようにしたことを特徴とする。
可撓性板状体を順次上方より1枚ずつ吸着して取り出す
可撓性板状体の分離方法において、前記可撓性板状体の
縁部付近を吸着する第1の吸着手段と、前記可撓性板状
体の略中央部を吸着する第2の吸着手段と、を有する分
離装置を最上位に位置する前記可撓性板状体上に位置さ
せ、前記第1並びに第2の吸着手段の吸着面が略同一平
面に位置する状態から、前記第1の吸着手段のみを上動
させて前記可撓性板状体をその略中央部を境に上方に向
って凹状にわん曲させる工程と、前記第2の吸着手段の
みを上動させて前記可撓性板状体をその略中央部を境に
上方に向って凸状にわん曲させる工程とを交互に行なう
ようにしたことを特徴とする。
[発明の実施例] 以下本発明の一実施例につき、図面を用いて説明する。
第1図は本発明を実施するための一装置の概略正面図
で、図において、1はストッカ、2はストッカ1内に積
層されたリードフレーム、3は分離装置で、この分離装
置3は、支持板4と、この支持板4に対して垂直方向に
移動自在とされ、支持板4がストッカ1に対向した時、
リードフレーム2のそれぞれ縁部付近に対向する縁部吸
着盤5と、略中央部に対向する中央部吸着盤6とを有す
る。なお縁部吸着盤5と中央部吸着盤6は、それぞれ図
示省略のシリンダ、電磁石、カム等の公知手段により、
支持板4に対して上下動されるようになっており、また
各吸着盤5、6は図示省略の真空源と適宜接続される。
第1図は本発明を実施するための一装置の概略正面図
で、図において、1はストッカ、2はストッカ1内に積
層されたリードフレーム、3は分離装置で、この分離装
置3は、支持板4と、この支持板4に対して垂直方向に
移動自在とされ、支持板4がストッカ1に対向した時、
リードフレーム2のそれぞれ縁部付近に対向する縁部吸
着盤5と、略中央部に対向する中央部吸着盤6とを有す
る。なお縁部吸着盤5と中央部吸着盤6は、それぞれ図
示省略のシリンダ、電磁石、カム等の公知手段により、
支持板4に対して上下動されるようになっており、また
各吸着盤5、6は図示省略の真空源と適宜接続される。
さて上記構成より成るリードフレーム分離装置の作動に
つき第1図と第2図乃至第4図を用いて説明する。
つき第1図と第2図乃至第4図を用いて説明する。
まず支持板4には、各吸着盤5、6の吸着面が略同一平
面に位置するようにさせる。この状態で支持板4をスト
ッカ1の上方より下降させ、そして各吸着盤5、6の吸
着面を第1図に示されるようにストッカ1内の最上位に
位置するリードフレーム2と当接させる。次に真空源と
各吸着盤5、6とを接続し、第2図に示されるように、
中央部吸着盤6はそのままの状態とさせるとともに、縁
部吸着盤5を持ち上げる。この時、中央部吸着盤6を支
点とし、リードフレーム2は上方に向って凹状にわん曲
させられる。従って最上位に位置するリードフレーム2
と次位置のリードフレーム2の縁部間に空気が入り、両
縁部において分離される。次に縁部吸着盤5を第1図の
状態に戻すとともに、第3図に示されるように、今度は
中央部吸着盤6を持ち上げる。この時、リードフレーム
2の縁部は縁部吸着盤5により押さえられているので、
リードフレーム2は上方に向って凸状にわん曲させられ
る。従って最上位に位置するリードフレーム2と次位置
のリードフレーム2の略中央部間に空気が入り、この中
央部付近においても分離されることとなる。このように
して最上位に位置するリードフレーム2を次位置のリー
ドフレーム2から全体にわたって分離させた後、第4図
に示されるように縁部吸着盤5が上動して、その吸着面
を中央部吸着盤6の吸着面と略同一平面に位置させ、ス
トッカ1内の最上位に位置するリードフレーム2を次位
置のリードフレーム2から分離上昇させる。その後は保
持板4がペレットボンディング装置のフィーダ部に移動
することとなる。
面に位置するようにさせる。この状態で支持板4をスト
ッカ1の上方より下降させ、そして各吸着盤5、6の吸
着面を第1図に示されるようにストッカ1内の最上位に
位置するリードフレーム2と当接させる。次に真空源と
各吸着盤5、6とを接続し、第2図に示されるように、
中央部吸着盤6はそのままの状態とさせるとともに、縁
部吸着盤5を持ち上げる。この時、中央部吸着盤6を支
点とし、リードフレーム2は上方に向って凹状にわん曲
させられる。従って最上位に位置するリードフレーム2
と次位置のリードフレーム2の縁部間に空気が入り、両
縁部において分離される。次に縁部吸着盤5を第1図の
状態に戻すとともに、第3図に示されるように、今度は
中央部吸着盤6を持ち上げる。この時、リードフレーム
2の縁部は縁部吸着盤5により押さえられているので、
リードフレーム2は上方に向って凸状にわん曲させられ
る。従って最上位に位置するリードフレーム2と次位置
のリードフレーム2の略中央部間に空気が入り、この中
央部付近においても分離されることとなる。このように
して最上位に位置するリードフレーム2を次位置のリー
ドフレーム2から全体にわたって分離させた後、第4図
に示されるように縁部吸着盤5が上動して、その吸着面
を中央部吸着盤6の吸着面と略同一平面に位置させ、ス
トッカ1内の最上位に位置するリードフレーム2を次位
置のリードフレーム2から分離上昇させる。その後は保
持板4がペレットボンディング装置のフィーダ部に移動
することとなる。
このように上記した実施例においては、ストッカ1内に
おいて最上位に位置するリードフレーム2に、上方に向
って凹状にわん曲させる状態と、上方に向って凸状にわ
ん曲させる状態とを交互に与えるようにしたものであ
る。従って最上位に位置するリードフレーム2における
次位置のリードフレーム2との接触箇所全てにおいて分
離されることとなり、ストッカ1からはリードフレーム
2が確実に1枚ずつ分離されることとなる。
おいて最上位に位置するリードフレーム2に、上方に向
って凹状にわん曲させる状態と、上方に向って凸状にわ
ん曲させる状態とを交互に与えるようにしたものであ
る。従って最上位に位置するリードフレーム2における
次位置のリードフレーム2との接触箇所全てにおいて分
離されることとなり、ストッカ1からはリードフレーム
2が確実に1枚ずつ分離されることとなる。
なお上記実施例においては、第3図の状態から縁部吸着
盤5を上動させたが、中央部吸着盤6の吸着面が縁部吸
着盤5の吸着面と略同一平面となるように中央部吸着盤
6を下動させてもかまわない。また図でいうと第1図に
示される状態から第2図、第3図という工程で説明した
が、第1図の状態から第3図、第2図という工程をたど
ってもかまわない。さらに第2図と第3図に示した工程
を交互に複数回行なうようにしてもかまわない。
盤5を上動させたが、中央部吸着盤6の吸着面が縁部吸
着盤5の吸着面と略同一平面となるように中央部吸着盤
6を下動させてもかまわない。また図でいうと第1図に
示される状態から第2図、第3図という工程で説明した
が、第1図の状態から第3図、第2図という工程をたど
ってもかまわない。さらに第2図と第3図に示した工程
を交互に複数回行なうようにしてもかまわない。
[発明の効果] 以上説明したように本発明による可撓性板状体の分離方
法によれば、積層された可撓性板状体を上方より順次1
枚ずつ確実に分離することが可能となる。
法によれば、積層された可撓性板状体を上方より順次1
枚ずつ確実に分離することが可能となる。
第1図は本発明を実施するための一装置の概略正面図、
第2図乃至第4図は同装置の作動状態を示す部分正面図
を各々示す。 1……ストッカ、2……リードフレーム(可撓性板状
体)、3……分離装置、4……支持板、5……縁部吸着
盤(第1の吸着手段)、6……中央部吸着盤(第2の吸
着手段)。
第2図乃至第4図は同装置の作動状態を示す部分正面図
を各々示す。 1……ストッカ、2……リードフレーム(可撓性板状
体)、3……分離装置、4……支持板、5……縁部吸着
盤(第1の吸着手段)、6……中央部吸着盤(第2の吸
着手段)。
Claims (1)
- 【請求項1】積層された可撓性板状体を順次上方より1
枚ずつ吸着して取り出す可撓性板状体の分離方法におい
て、前記可撓性板状体の縁部付近を吸着する第1の吸着
手段と、前記可撓性板状体の略中央部を吸着する第2の
吸着手段と、を有する分離装置を最上位に位置する前記
可撓性板状体上に位置させ、前記第1並びに第2の吸着
手段の吸着面が略同一平面に位置する状態から、前記第
1の吸着手段のみを上動させて前記可撓性板状体をその
略中央部を境に上方に向って凹状にわん曲させる工程
と、前記第2の吸着手段のみを上動させて前記可撓性板
状体をその略中央部を境に上方に向って凸状にわん曲さ
せる工程とを交互に行なうようにしたことを特徴とする
可撓性板状体の分離方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15668486A JPH0742001B2 (ja) | 1986-07-03 | 1986-07-03 | 可撓性板状体の分離方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15668486A JPH0742001B2 (ja) | 1986-07-03 | 1986-07-03 | 可撓性板状体の分離方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6312539A JPS6312539A (ja) | 1988-01-19 |
JPH0742001B2 true JPH0742001B2 (ja) | 1995-05-10 |
Family
ID=15633066
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15668486A Expired - Lifetime JPH0742001B2 (ja) | 1986-07-03 | 1986-07-03 | 可撓性板状体の分離方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0742001B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5296741B2 (ja) * | 2010-05-24 | 2013-09-25 | トヤマキカイ株式会社 | 太陽電池セルの移送装置およびその移送方法 |
JP5640634B2 (ja) * | 2010-10-20 | 2014-12-17 | 株式会社Ihi | シート取出装置 |
-
1986
- 1986-07-03 JP JP15668486A patent/JPH0742001B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6312539A (ja) | 1988-01-19 |
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