JPH0735396Y2 - ウエハカセット搬送箱 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［考案の目的］ （産業上の利用分野） 本考案は、半導体装置の製造工場内等でウエハの移送に
利用されるウエハカセット搬送箱に関する。

（従来の技術） 一般に半導体装置等の製造は、高度に清浄化された雰囲
気内で行われており、自動化された製造装置間において
は、製造装置内を含む作業室内全体を高度に清浄化し、
空気浮上方式や磁気浮上方式等によって半導体ウエハの
搬送が行われている。しかし、各製造装置間の搬送は、
作業者による運搬が今だ多く、このような工程間におい
ては、人体が大きな発塵源となるために塵等の付着を避
けるため、たとえば半導体ウエハを収容するウエハカセ
ットをウエハカセット搬送箱内に収納し、この状態で各
製造装置間を移送することが行われている。

このようなウエハカセット搬送箱内へのウエハカセット
の収納は、製造装置のアンロード部にウエハカセット搬
送箱をセットし、例えばウエハカセット搬送箱の下方か
ら製造装置内の清浄気体を供給してウエハカセット搬送
箱内をクリーンアップした後、ウエハカセットを昇降機
構等によって収納することによって行われており、この
後蓋によって内部を密閉し、各製造装置間の運搬が行わ
れる。

（考案が解決しようとする課題） このようにウエハカセット搬送箱を用いることによっ
て、半導体ウエハへの塵等の付着をかなり防止できるも
のの、上述したように製造装置側からの清浄気体による
搬送箱内の清浄化方法では、搬送箱内の清浄化は充分と
は言えず、搬送箱内に塵等が残存し歩留を低下させる原
因となっている。また、搬送箱内に存在する塵等が製造
装置側に流入する危険性もある。このため、作業室内の
清浄度を充分に低下させることを可能にするまでには至
らず、作業室内の清浄化は搬送箱内に塵等が混入しない
ように保つ必要がある。

しかし、このように作業室内を高度に清浄化するために
は、かなり大きなエネルギーを必要とし、また内部で作
業する作業者も無塵衣等の着用が必要となり、作業効率
も低下するという問題がある。

そこで、作業室内の清浄度を低下させても、内部の清浄
化をほぼ完全に行うことが可能なウエハカセット搬送箱
が強く望まれている。

本考案は、このような従来の事情に対処してなされたも
ので、清浄化度を低下させた作業室内においても塵等の
混入を防止し、かつ清浄化された雰囲気を容易に維持す
ることを可能にしたウエハカセット搬送箱を提供するこ
とを目的としている。

［考案の構成］ （課題を解決するための手段） すなわち本考案のウエハカセット搬送箱は、本考案のウ
エハカセット搬送箱は、内部にウエハカセットを収納す
る搬送箱本体と、この搬送箱本体の下部に設けられ、閉
状態で前記搬送箱本体を気密に閉塞し、開状態で前記ウ
エハカセットの搬入、搬出を可能とする開閉自在の蓋
と、前記搬送箱本体に着脱自在に付設された清浄気体収
容部と、この清浄気体収容部から清浄気体を前記搬送箱
本体内に供給する清浄気体供給部と、前記搬送箱本体に
設けられた搬送用の取手とを備えていることを特徴とし
ている。

また、本考案は、上記ウエハカセット搬送箱において、
前記清浄気体供給部より供給される清浄気体は、ノズル
を介して前記搬送箱本体内に供給され、このノズルの噴
出側にはフィルタが設けられていることを特徴とするも
の、前記搬送箱本体は、帯電防止加工されていることを
特徴とするもの、前記清浄気体は、清浄空気又は清浄窒
素であることを特徴とするものを含む。

（作用） 本考案のウエハカセット搬送箱は、清浄気体収容部を備
えている。そして、この清浄気体収容部からウエハカセ
ットが収納される搬送箱本体内に清浄気体を供給するこ
とによって、外部の雰囲気に拘らず容易に搬送箱本体内
部を清浄化することができるとともに、搬送箱本体内部
を陽圧に保つことによって塵等の混入も防止できる。ま
た、この状態で製造装置にセットすることによって、清
浄化された搬送箱内にウエハカセットを容易に収納する
ことができ、充分に清浄化された状態を保って各工程間
の移送が行えるとともに、製造装置側への塵等の流入も
防止できる。

また、清浄気体を供給するノズルの噴出側にフィルタを
設けることによって、さらに清浄化を図ることかでき
る。さらに、搬送箱本体を帯電防止加工することによっ
て、塵埃の静電気による付着を防止できる。清浄気体と
しては、清浄空気又は清浄窒素を用いることにより、安
全性の確保と低コスト化を図ることができる。

（実施例） 以下、本考案のウエハカセット搬送箱の実施例を図面を
参照して説明する。

内部にウエハカセット（図示せず）が１または複数収納
される搬送箱本体１は、例えばポリプロピレン、ポリエ
チレン、スチレン、テフロン等によって筐体形状に形成
されている。必要に応じて帯電防止例えば帯電防止加工
されている。搬送箱本体１の下部にはスライド式の蓋２
が設けられており、この蓋２は閉状態の際に気密に封止
可能とされている。塵の発生の可能性のある場合は開閉
蓋にしてもよい。また、搬送箱本体１の上部には、搬送
用の取手３が設置されている。

搬送箱本体１の側部には、充分に清浄化された気体、例
えば清浄空気、清浄窒素等が充填された清浄気体収容ボ
ンベ４が、取付け部５によって着脱自在に付設されてい
る。また、搬送箱本体１内部の上方には、清浄気体を搬
送箱本体内部下方に向けて均一に供給する如く複数のノ
ズル６が設置されており、これらノズル６は清浄気体供
給配管７によってカップラ８を介して清浄気体収容ボン
ベ４側の配管4aに接続されている。ノズル６の噴出側に
エアフィルタを設けるとさらによい。

また、搬送箱本体１内部への清浄気体の供給は、清浄気
体供給配管７に介挿された開閉スイッチ９によって行わ
れ、さらに同様に清浄気体供給配管８に介挿された流量
制御バルブ10によって、供給量が調節される。上記蓋２
または側壁に貫通孔を複数個設け清浄流体の流路を形成
するとよい。この場合、この貫通孔にエアフィルタを設
けるとさらによい。

上記構成のこの実施例のウエハカセット搬送箱は、例え
ば以下のようにして使用される。

まず清浄気体収容ボンベ４を取付け部５にセットし、清
浄気体収容ボンベ４側の配管4aと清浄気体供給配管７と
をカップラ８によって接続する。次いで、清浄気体収容
ボンベ４側のバルブ4bを開状態とし、蓋２を開状態とし
たままで清浄気体を搬送箱本体１内部に供給することに
よって搬送箱本体１内部を清浄化した後、蓋２を閉じて
準備が終了する。

次に、この内部が清浄化されたウエハカセット搬送箱を
ウエハカセットの搬送を行おうとする製造装置等のアン
ロード側にセットし、清浄気体収容ボンベ４から搬送箱
本体１内部に清浄気体を供給しつつ蓋２を開けて、ウエ
ハカセットの収納準備を行う。

この後、清浄気体収容ボンベ４から搬送箱本体１内部に
清浄気体を供給しつつ、搬送箱本体１の内部にその下方
からウエハカセットを製造装置側の昇降機構等によって
収納し、搬送箱本体１内部を陽圧に保ちうるように蓋２
を閉じるとともに清浄気体の供給を停止し、ウエハカセ
ットの収納が終了する。

このように、ウエハカセット搬送箱自体に清浄気体の収
容部と供給部とを設けることによって、外雰囲気の清浄
化度に拘らずウエハカセット内部を容易に高度に清浄化
することが可能になる。また、ウエハカセットの収納時
においても、この清浄化された状態を容易に維持するこ
とができ、ウエハカセットを高度に清浄化された状態で
搬送することができる。

［考案の効果］ 以上説明したように、本考案のウエハカセット搬送箱に
よれば、清浄化度を低下させた作業室内等においても塵
等の混入を防止しつつウエハカセットを収納することが
でき、この状態を維持しての搬送が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例のウエハカセット搬送箱を示
す斜視図である。 １……搬送箱本体、２……蓋、４……清浄気体収容ボン
ベ、６……ノズル、７……清浄気体供給配管。

Claims (4)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】内部にウエハカセットを収納する搬送箱本
   体と、 この搬送箱本体の下部に設けられ、閉状態で前記搬送箱
   本体を気密に閉塞し、開状態で前記ウエハカセットの搬
   入、搬出を可能とする開閉自在の蓋と、 前記搬送箱本体に着脱自在に付設された清浄気体収容部
   と、 この清浄気体収容部から清浄気体を前記搬送箱本体内に
   供給する清浄気体供給部と、 前記搬送箱本体に設けられた搬送用の取手と を備えていることを特徴とするウエハカセット搬送箱。
2. 【請求項２】前記清浄気体供給部より供給される清浄気
   体は、ノズルを介して前記搬送箱本体内に供給され、こ
   のノズルの噴出側にはフィルタが設けられていることを
   特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載のウエハ
   カセット搬送箱。
3. 【請求項３】前記搬送箱本体は、帯電防止加工されてい
   ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載
   のウエハカセット搬送箱。
4. 【請求項４】前記清浄気体は、清浄空気又は清浄窒素で
   あることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記
   載のウエハカセット搬送箱。