JPH07329308A - インクジェットプリントヘッド用の作動側壁配列を製作する方法 - Google Patents
インクジェットプリントヘッド用の作動側壁配列を製作する方法Info
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 32
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 title claims description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 66
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 36
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 34
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 20
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 13
- 239000011149 active material Substances 0.000 claims description 9
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 6
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 claims description 5
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 4
- 102100026827 Protein associated with UVRAG as autophagy enhancer Human genes 0.000 claims 1
- 101710102978 Protein associated with UVRAG as autophagy enhancer Proteins 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 7
- 230000008021 deposition Effects 0.000 abstract description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 30
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 25
- 230000008569 process Effects 0.000 description 14
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 13
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 7
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 5
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910001020 Au alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000003353 gold alloy Substances 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 229910001120 nichrome Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003466 anti-cipated effect Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 230000005686 electrostatic field Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1623—Manufacturing processes bonding and adhesion
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14209—Structure of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1607—Production of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/1609—Production of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1607—Production of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/1618—Fixing the piezoelectric elements
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1632—Manufacturing processes machining
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
- Y10T156/10—Methods of surface bonding and/or assembly therefor
- Y10T156/1052—Methods of surface bonding and/or assembly therefor with cutting, punching, tearing or severing
- Y10T156/1062—Prior to assembly
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
- Y10T156/10—Methods of surface bonding and/or assembly therefor
- Y10T156/1052—Methods of surface bonding and/or assembly therefor with cutting, punching, tearing or severing
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Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】インクジェットプリントヘッド用の作動側壁配
列を製作する。 【構成】一連の長手方向延長略平行な溝18をプリント
ヘッドの本体部に作る方法。本体部は、不活性材料から
作られた下位本体部12及び活性材料から作られた中間
本体部16、第1方向に極性付けられた活性材料から作
られた下位本体部12及び第2対向方向に極性付けられ
た活性材料から作られた中間本体部16、第1方向に極
性付けられた活性材料から作られた下位本体部12、絶
縁スペーサ部分14及び第2対向方向に極性付けられた
活性材料から作られた中間本体部又は活性材料から作ら
れた単一本体部とを備える。中に溝18を形成した後に
導電材料の層26は、溝形成ステップ間に露出した内側
面56に堆積させられる。プリントヘッドが単一活性本
体部を備えるならば、下位本体部に作られた溝54は、
下位本体部の第2内側面68を露出させるために深くさ
せられる。その後不活性上位本体部30の下面は、活性
中間本体部の上面に取付けられて作動側壁配列38を作
る。
列を製作する。 【構成】一連の長手方向延長略平行な溝18をプリント
ヘッドの本体部に作る方法。本体部は、不活性材料から
作られた下位本体部12及び活性材料から作られた中間
本体部16、第1方向に極性付けられた活性材料から作
られた下位本体部12及び第2対向方向に極性付けられ
た活性材料から作られた中間本体部16、第1方向に極
性付けられた活性材料から作られた下位本体部12、絶
縁スペーサ部分14及び第2対向方向に極性付けられた
活性材料から作られた中間本体部又は活性材料から作ら
れた単一本体部とを備える。中に溝18を形成した後に
導電材料の層26は、溝形成ステップ間に露出した内側
面56に堆積させられる。プリントヘッドが単一活性本
体部を備えるならば、下位本体部に作られた溝54は、
下位本体部の第2内側面68を露出させるために深くさ
せられる。その後不活性上位本体部30の下面は、活性
中間本体部の上面に取付けられて作動側壁配列38を作
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットプリン
トヘッド用の作動側壁配列を製作する方法に関し、特
に、側壁作動器毎に極性付け方向に適応させた単一又は
2重溝形成ステップを用いたインクジェットプリントヘ
ッド用の作動側壁配列を製作する方法に関する。
トヘッド用の作動側壁配列を製作する方法に関し、特
に、側壁作動器毎に極性付け方向に適応させた単一又は
2重溝形成ステップを用いたインクジェットプリントヘ
ッド用の作動側壁配列を製作する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】プリンタは永久記録を人間の読みやすい
様式で出力する手段を形成する。代表的に印刷技術は、
衝撃印刷又は非衝撃印刷として分類されてもよい。衝撃
印刷においてイメージは、紙シートの表面の近くに置か
れたインクリボンを打つことによって形成される。衝撃
印刷技術は、形成活字印刷又はマトリックス印刷として
更に特徴づけられてもよい。形成活字印刷において、リ
ボンを打ってイメージを生成する要素が所望の文字の浮
き彫りしたミラー像からなる。マトリックス印刷におい
て文字は、用意された1つ又は複数のワイヤでリボンを
打つことによって生成された一連の密接に間隔置かれた
ドットとして形成される。ここで文字は、リボンに対す
る用意された1つ又は複数のワイヤを打つことによって
生成した一連の密接に間隔置かれたドットとして形成さ
れる。用意されたワイヤを選択的に打つことによって、
ドットのマトリックスによって代表されるいかなる文字
も生成することができる。
様式で出力する手段を形成する。代表的に印刷技術は、
衝撃印刷又は非衝撃印刷として分類されてもよい。衝撃
印刷においてイメージは、紙シートの表面の近くに置か
れたインクリボンを打つことによって形成される。衝撃
印刷技術は、形成活字印刷又はマトリックス印刷として
更に特徴づけられてもよい。形成活字印刷において、リ
ボンを打ってイメージを生成する要素が所望の文字の浮
き彫りしたミラー像からなる。マトリックス印刷におい
て文字は、用意された1つ又は複数のワイヤでリボンを
打つことによって生成された一連の密接に間隔置かれた
ドットとして形成される。ここで文字は、リボンに対す
る用意された1つ又は複数のワイヤを打つことによって
生成した一連の密接に間隔置かれたドットとして形成さ
れる。用意されたワイヤを選択的に打つことによって、
ドットのマトリックスによって代表されるいかなる文字
も生成することができる。
【0003】非衝撃印刷は、しばしばグラフィックス及
び階調イメージを印刷するための良好な適合性と同様に
より早い印刷速度を形成する傾向の観点から考慮して衝
撃印刷より好ましい。非衝撃印刷技術は、マトリック
ス、静電気及び電子写真的形式の印刷技術を含む。マト
リックス型印刷においてワイヤは電気パルスによって選
択的に加熱され、これによって発生した熱がマークを紙
シート通常大抵特殊処理紙に現われさせる。静電気型印
刷において、印刷要素及び導電紙間の電気アークが紙シ
ート上の不透明皮膜を除去して、対照色の下層を露出さ
せる。最後に電子写真的印刷において、写真導電材料は
レーザのような光源を用いて選択的に充電される。粉末
状のトナーは、荷電領域に引付けられて、紙シートと接
触配置した時に紙シートの表面に移動する。その後、ト
ナーは、加熱されて紙シートに溶かし込まれる。
び階調イメージを印刷するための良好な適合性と同様に
より早い印刷速度を形成する傾向の観点から考慮して衝
撃印刷より好ましい。非衝撃印刷技術は、マトリック
ス、静電気及び電子写真的形式の印刷技術を含む。マト
リックス型印刷においてワイヤは電気パルスによって選
択的に加熱され、これによって発生した熱がマークを紙
シート通常大抵特殊処理紙に現われさせる。静電気型印
刷において、印刷要素及び導電紙間の電気アークが紙シ
ート上の不透明皮膜を除去して、対照色の下層を露出さ
せる。最後に電子写真的印刷において、写真導電材料は
レーザのような光源を用いて選択的に充電される。粉末
状のトナーは、荷電領域に引付けられて、紙シートと接
触配置した時に紙シートの表面に移動する。その後、ト
ナーは、加熱されて紙シートに溶かし込まれる。
【0004】非衝撃印刷の他の型式は、通常インクジェ
ット印刷として分類される。インクジェット印刷システ
ムは、イメージを生成するためにインクの小さい滴の放
出を使う。これらのデバイスは、滴がデジタル的に記憶
されたイメージデータによって指示された位置に印刷さ
れてもよいように、高度に再生成的及び制御できる滴を
生成する。一般に、商業上利用可能な殆どのインクジェ
ット印刷システムは、滴が連続的にプリントヘッドから
放出されて、生成されるべき所望のイメージに依存して
紙シート方向又は逸れて指向される『連続ジェット』型
インクジェット印刷システム或は、生成されるべきイメ
ージに関する特殊コマンドに応答して滴がプリントヘッ
ドから放出される『デマンド式』型インクジェット印刷
システムとして分類されてもよい。
ット印刷として分類される。インクジェット印刷システ
ムは、イメージを生成するためにインクの小さい滴の放
出を使う。これらのデバイスは、滴がデジタル的に記憶
されたイメージデータによって指示された位置に印刷さ
れてもよいように、高度に再生成的及び制御できる滴を
生成する。一般に、商業上利用可能な殆どのインクジェ
ット印刷システムは、滴が連続的にプリントヘッドから
放出されて、生成されるべき所望のイメージに依存して
紙シート方向又は逸れて指向される『連続ジェット』型
インクジェット印刷システム或は、生成されるべきイメ
ージに関する特殊コマンドに応答して滴がプリントヘッ
ドから放出される『デマンド式』型インクジェット印刷
システムとして分類されてもよい。
【0005】連続ジェット型インクジェットプリンタに
おいて、ポンプはポンプ圧がインクに連続流から放出さ
れることを強いるノズル組立体にインクを供給する。ノ
ズル組立体は、電圧によって連続的に駆動されて、そこ
から放出されるインクの連続流がインクの複数の均一滴
に分断させる圧力振動を創造するピエゾ結晶を含む。こ
れら滴は、放出オリフィスに近接して確立された静電界
の存在によって静電荷を得る。高電圧偏向板を用いて、
選択された静電荷電滴の弾道が紙シート上の所望のスポ
ットに当てる制御をすることができる。また、高電圧偏
向板は、未選択された静電荷電滴を紙シートから離れて
再生目的の貯蔵容器に偏向することができる。滴の小寸
法及び正確な弾道制御によって、連続ジェット型インク
ジェット印刷システムの品質は、形成活字衝撃印刷シス
テムのそれに接近することができる。しかしながら、連
続ジェット型インクジェット印刷システムに対する1つ
の欠点は、僅か或は全く印字が要求されていない時にで
も流体を噴出しなければならないことである。この要求
はインクを劣化させ、印刷システムの信頼性を減少させ
る。
おいて、ポンプはポンプ圧がインクに連続流から放出さ
れることを強いるノズル組立体にインクを供給する。ノ
ズル組立体は、電圧によって連続的に駆動されて、そこ
から放出されるインクの連続流がインクの複数の均一滴
に分断させる圧力振動を創造するピエゾ結晶を含む。こ
れら滴は、放出オリフィスに近接して確立された静電界
の存在によって静電荷を得る。高電圧偏向板を用いて、
選択された静電荷電滴の弾道が紙シート上の所望のスポ
ットに当てる制御をすることができる。また、高電圧偏
向板は、未選択された静電荷電滴を紙シートから離れて
再生目的の貯蔵容器に偏向することができる。滴の小寸
法及び正確な弾道制御によって、連続ジェット型インク
ジェット印刷システムの品質は、形成活字衝撃印刷シス
テムのそれに接近することができる。しかしながら、連
続ジェット型インクジェット印刷システムに対する1つ
の欠点は、僅か或は全く印字が要求されていない時にで
も流体を噴出しなければならないことである。この要求
はインクを劣化させ、印刷システムの信頼性を減少させ
る。
【0006】この欠点によって、滴が電気機械的に誘導
された圧力波によってプリントヘッドから放出される印
刷システムに関心が増加された。この型の印刷システム
において、流体における体積変化が直接又は間接的に流
体に結合された圧電材料への電圧パルスの印加によって
誘導される。この体積変化は、圧力/速度トランジェン
トを流体に発生させ、従ってそこから滴を放出させる。
インクジェット印刷システムのこれらの型は、滴が所望
される時にだけ電圧が印加されるので、『デマンド式』
型インクジェット印刷システムとして参照される。
された圧力波によってプリントヘッドから放出される印
刷システムに関心が増加された。この型の印刷システム
において、流体における体積変化が直接又は間接的に流
体に結合された圧電材料への電圧パルスの印加によって
誘導される。この体積変化は、圧力/速度トランジェン
トを流体に発生させ、従ってそこから滴を放出させる。
インクジェット印刷システムのこれらの型は、滴が所望
される時にだけ電圧が印加されるので、『デマンド式』
型インクジェット印刷システムとして参照される。
【0007】典型的デマンド式インクジェット印刷シス
テムは、カイザー氏等の米国特許第3,946,398
号で開示される。カイザー氏等において、2つの横断方
向に膨張できる圧電板から作られた圧力板は、インク搬
送圧力室の上位の壁として用いられる。この圧力板は、
圧電板を交差して電圧を印加することによって圧力室内
方に曲がり、従って圧力室内で流体置換体積変化を起こ
している。他の典型的デマンド式インクジェット印刷シ
ステムは、Zoltan氏の米国特許第3,857,0
45号の参照によって理解される。ゾルタン特許におい
て、管状の圧電トランジューサはインク搬送チャンネル
を囲んでいる。このトランジューサが電圧パルスの印加
によって励起した時に、インク搬送チャンネルが圧縮さ
れて、インク滴がチャンネルから放出される。しかしな
がら、これらのシステムで達成されたかなり低チャンネ
ル密度は、同システムの特徴である圧電トランジューサ
及び協働のインク搬送チャンネルのかなり複雑な配列と
同様に、これらのシステムに時間を浪費させ、製造を高
価にさせる。
テムは、カイザー氏等の米国特許第3,946,398
号で開示される。カイザー氏等において、2つの横断方
向に膨張できる圧電板から作られた圧力板は、インク搬
送圧力室の上位の壁として用いられる。この圧力板は、
圧電板を交差して電圧を印加することによって圧力室内
方に曲がり、従って圧力室内で流体置換体積変化を起こ
している。他の典型的デマンド式インクジェット印刷シ
ステムは、Zoltan氏の米国特許第3,857,0
45号の参照によって理解される。ゾルタン特許におい
て、管状の圧電トランジューサはインク搬送チャンネル
を囲んでいる。このトランジューサが電圧パルスの印加
によって励起した時に、インク搬送チャンネルが圧縮さ
れて、インク滴がチャンネルから放出される。しかしな
がら、これらのシステムで達成されたかなり低チャンネ
ル密度は、同システムの特徴である圧電トランジューサ
及び協働のインク搬送チャンネルのかなり複雑な配列と
同様に、これらのシステムに時間を浪費させ、製造を高
価にさせる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】インクジェットプリン
トヘッド特に圧電作動器を持っているインクジェットプ
リントヘッドのインク搬送チャンネル即ち『ジェット』
毎の製造原価を製作コストを減少させるために、配列を
備えた個々のチャンネルは隣接チャンネル間の間隔がか
なり狭いように配列されたチャンネル配列を持つインク
ジェットプリントヘッドを生産することが長い間要求さ
れていた。例えば、隣接のチャンネルが約4及び8ミル
間隔で配置されたチャンネル配列を持つインクジェット
プリントヘッドを構築することが非常に望ましい。この
ようなインクジェットプリントヘッドは、従って『高密
度』インクジェットプリントヘッドとして定義される。
インク搬送チャンネル毎の製造原価の削減に加えて、高
チャンネル密度を有するインクジェットプリントヘッド
の製造に起因する他の利点は、プリンタ速度の増加であ
る。しかしながら、提案された高密度インクジェットプ
リントヘッド中のチャンネル間の非常に隣接した間隔が
長い間そのようなプリントヘッドの製造での主な問題で
あった。
トヘッド特に圧電作動器を持っているインクジェットプ
リントヘッドのインク搬送チャンネル即ち『ジェット』
毎の製造原価を製作コストを減少させるために、配列を
備えた個々のチャンネルは隣接チャンネル間の間隔がか
なり狭いように配列されたチャンネル配列を持つインク
ジェットプリントヘッドを生産することが長い間要求さ
れていた。例えば、隣接のチャンネルが約4及び8ミル
間隔で配置されたチャンネル配列を持つインクジェット
プリントヘッドを構築することが非常に望ましい。この
ようなインクジェットプリントヘッドは、従って『高密
度』インクジェットプリントヘッドとして定義される。
インク搬送チャンネル毎の製造原価の削減に加えて、高
チャンネル密度を有するインクジェットプリントヘッド
の製造に起因する他の利点は、プリンタ速度の増加であ
る。しかしながら、提案された高密度インクジェットプ
リントヘッド中のチャンネル間の非常に隣接した間隔が
長い間そのようなプリントヘッドの製造での主な問題で
あった。
【0009】圧電作動器及びチャンネル間の減少した間
隔を持つインクジェットプリントヘッドを製作する多く
の試みは、平行なチャンネル配列及びチャンネル作動用
の剪断モード圧電トランジューサを有するインクジェッ
トプリントヘッドの製造に集中した。例えば、フィッシ
ュベック氏等の米国特許第4,584,590号及び第
4,825,227号は、平行なチャンネル配列インク
ジェットプリントヘッド用の剪断モード圧電トランジュ
ーサを開示している。これらフィッシュベック氏等の両
特許において、一連の開口端付き平行インク圧力室は、
それらの屋根に沿って圧電材料のシートで覆われてい
る。圧電材料のシートの対向側には、正電極が圧力へや
を分離する垂直壁に配置され、負電極がそれ自身へやに
亙って配置されるように、電極が形成されている。電界
が電極間を交差して印加される時には、電界と直交する
方向に極性付けされた圧電材料がインク圧力室を圧縮す
るために剪断モード構築で歪められる。しかしながら、
これらの構築において圧電材料の多くは不活発である。
更に、圧電要素の変形の範囲は、狭い傾向があり、それ
によって作動器によってインクに印加され得る圧力パル
スを最小にする。
隔を持つインクジェットプリントヘッドを製作する多く
の試みは、平行なチャンネル配列及びチャンネル作動用
の剪断モード圧電トランジューサを有するインクジェッ
トプリントヘッドの製造に集中した。例えば、フィッシ
ュベック氏等の米国特許第4,584,590号及び第
4,825,227号は、平行なチャンネル配列インク
ジェットプリントヘッド用の剪断モード圧電トランジュ
ーサを開示している。これらフィッシュベック氏等の両
特許において、一連の開口端付き平行インク圧力室は、
それらの屋根に沿って圧電材料のシートで覆われてい
る。圧電材料のシートの対向側には、正電極が圧力へや
を分離する垂直壁に配置され、負電極がそれ自身へやに
亙って配置されるように、電極が形成されている。電界
が電極間を交差して印加される時には、電界と直交する
方向に極性付けされた圧電材料がインク圧力室を圧縮す
るために剪断モード構築で歪められる。しかしながら、
これらの構築において圧電材料の多くは不活発である。
更に、圧電要素の変形の範囲は、狭い傾向があり、それ
によって作動器によってインクに印加され得る圧力パル
スを最小にする。
【0010】平行なチャンネル配列を持ち、インク搬送
チャンネルの側壁を構成するために圧電材料を用いたイ
ンクジェットプリントヘッドは、ニルセン氏の米国特許
第4,536,097号の参照によって理解される。ニ
ルセン特許において、インクジェットチャンネルマトリ
ックスは、互いに平行に間隔置かれた関係で配置されて
第1及び第2板で対向側が覆われた圧電材料の一連のス
トリップによって形成される。1つの板は、導電材料か
ら造られて、圧電材料のストリップの全てのために共有
された電極を形成する。ストリップの他の側には、電気
接点が圧電材料のストリップのチャンネル定義ペアに電
気的に接続するために使われる。電圧がチャンネルを定
義する2つの圧電材料のストリップに印加される時に
は、ストリップがより狭くより高くなって、チャンネル
の囲まれた断面領域が拡大して、インクがチャンネルに
引き込まれる。電圧が印加されない時には、ストリップ
が元の形状に戻って、従ってチャンネルの容積を減少さ
せて、インクをそこから放出させる。
チャンネルの側壁を構成するために圧電材料を用いたイ
ンクジェットプリントヘッドは、ニルセン氏の米国特許
第4,536,097号の参照によって理解される。ニ
ルセン特許において、インクジェットチャンネルマトリ
ックスは、互いに平行に間隔置かれた関係で配置されて
第1及び第2板で対向側が覆われた圧電材料の一連のス
トリップによって形成される。1つの板は、導電材料か
ら造られて、圧電材料のストリップの全てのために共有
された電極を形成する。ストリップの他の側には、電気
接点が圧電材料のストリップのチャンネル定義ペアに電
気的に接続するために使われる。電圧がチャンネルを定
義する2つの圧電材料のストリップに印加される時に
は、ストリップがより狭くより高くなって、チャンネル
の囲まれた断面領域が拡大して、インクがチャンネルに
引き込まれる。電圧が印加されない時には、ストリップ
が元の形状に戻って、従ってチャンネルの容積を減少さ
せて、インクをそこから放出させる。
【0011】また、平行なインク搬送チャンネルを持
ち、チャンネルの垂直壁のために剪断モード作動器を形
成するために圧電材料を用いたインクジェットプリント
ヘッドが開示された。例えば、バートキ氏等の米国特許
第4,879,568号及びマイケリス氏等の第4,8
87,100号は、圧電材料が配列を形成する各チャン
ネルの全長に沿った垂直壁として用いられたインクジェ
ットプリントヘッドチャンネル配列を各々開示してい
る。これらの構築において、垂直チャンネル壁は、相互
に次に取付けられた圧電材料の2つの対向的に極性付け
られた断片から造られて、上面及び底壁間で挟まれて、
インクチャンネルを形成している。電極は垂直チャンネ
ル壁の全高さに沿って形成される。圧電材料の断片の極
性付け方向に直角な電界が垂直壁の対向側に形成された
一対の電極間で発生した時には、圧電材料の対向的に極
性付けられた断片の両方がインクチャンネルを収縮させ
るために第1方向に歪めさせられる。
ち、チャンネルの垂直壁のために剪断モード作動器を形
成するために圧電材料を用いたインクジェットプリント
ヘッドが開示された。例えば、バートキ氏等の米国特許
第4,879,568号及びマイケリス氏等の第4,8
87,100号は、圧電材料が配列を形成する各チャン
ネルの全長に沿った垂直壁として用いられたインクジェ
ットプリントヘッドチャンネル配列を各々開示してい
る。これらの構築において、垂直チャンネル壁は、相互
に次に取付けられた圧電材料の2つの対向的に極性付け
られた断片から造られて、上面及び底壁間で挟まれて、
インクチャンネルを形成している。電極は垂直チャンネ
ル壁の全高さに沿って形成される。圧電材料の断片の極
性付け方向に直角な電界が垂直壁の対向側に形成された
一対の電極間で発生した時には、圧電材料の対向的に極
性付けられた断片の両方がインクチャンネルを収縮させ
るために第1方向に歪めさせられる。
【0012】上記参照の圧電側壁作動器構築用に電極が
バートキ氏等及びマイケリス氏等で形成されたプロセス
は、活性材料が側壁の全体の高さのために用いられたと
いう事実によって単純化される。全側壁が活性材料で形
成されず、又はその上に堆積させられた電極を持たない
限り、バートキ氏等、マイケリス氏等及び幾分特別のテ
ンプル氏の米国特許第5,016,028号の、電極が
側壁に沿って形成されるべき推薦プロセスが幾分複雑に
なる。このような構成において、チャンネル配列は、電
極堆積(蒸着)が各側壁の一部分に沿ってのみ実行され
るように、電極堆積金属蒸気ビームに適応させられるべ
きであることは推奨される。
バートキ氏等及びマイケリス氏等で形成されたプロセス
は、活性材料が側壁の全体の高さのために用いられたと
いう事実によって単純化される。全側壁が活性材料で形
成されず、又はその上に堆積させられた電極を持たない
限り、バートキ氏等、マイケリス氏等及び幾分特別のテ
ンプル氏の米国特許第5,016,028号の、電極が
側壁に沿って形成されるべき推薦プロセスが幾分複雑に
なる。このような構成において、チャンネル配列は、電
極堆積(蒸着)が各側壁の一部分に沿ってのみ実行され
るように、電極堆積金属蒸気ビームに適応させられるべ
きであることは推奨される。
【0013】
【課題を解決するための手段】部分的又は全部活性な側
壁作動器を持つチャンネル配列を製造する従来の方法に
関連した上記の制限及び不利の多くを排除し、或は少く
ともかなり減少させるインクジェットプリントヘッドの
ために作動側壁配列を製造する改善された方法を提供す
るために望ましいことは、前述のことから容易に理解す
ることができる。それゆえにインクジェットプリントヘ
ッドの製造のそのような改善された方法を提供すること
が本発明の目的である。
壁作動器を持つチャンネル配列を製造する従来の方法に
関連した上記の制限及び不利の多くを排除し、或は少く
ともかなり減少させるインクジェットプリントヘッドの
ために作動側壁配列を製造する改善された方法を提供す
るために望ましいことは、前述のことから容易に理解す
ることができる。それゆえにインクジェットプリントヘ
ッドの製造のそのような改善された方法を提供すること
が本発明の目的である。
【0014】1つの実施例において、本発明は、インク
ジェットプリントヘッドのために、各々が活性材料から
作られた第1部分と不活性材料から作られた第2部分と
を持つ一連の側壁作動器を備えた作動側壁配列を製造す
る方法を持っている。まず、不活性材料から作られた下
位本体部、活性材料から作られた中間本体部及び不活性
材料から作られた上位本体部は形成される。この活性中
間本体部は、上面及び底面を含み、これらの上面及び底
面に一般に直角である第1方向に極性付けられる。作動
側壁配列を造るためには、活性中間本体部の下面が不活
性下位本体部の上面に取付けられ、活性中間及び不活性
下位本体部の内側面が例えば鋸引きプロセスを使って、
活性中間本体部及び不活性下位本体部の部分を通して延
長した一連の略平行な長手方向に延長溝を作ることによ
って露出させられる。導電材料の層は、活性中間及び不
活性下位本体部の内側面に堆積させられる。その後不活
性上位本体部の下面は、活性中間本体部の上面に絶縁的
に取り付けられて作動側壁配列を作る。
ジェットプリントヘッドのために、各々が活性材料から
作られた第1部分と不活性材料から作られた第2部分と
を持つ一連の側壁作動器を備えた作動側壁配列を製造す
る方法を持っている。まず、不活性材料から作られた下
位本体部、活性材料から作られた中間本体部及び不活性
材料から作られた上位本体部は形成される。この活性中
間本体部は、上面及び底面を含み、これらの上面及び底
面に一般に直角である第1方向に極性付けられる。作動
側壁配列を造るためには、活性中間本体部の下面が不活
性下位本体部の上面に取付けられ、活性中間及び不活性
下位本体部の内側面が例えば鋸引きプロセスを使って、
活性中間本体部及び不活性下位本体部の部分を通して延
長した一連の略平行な長手方向に延長溝を作ることによ
って露出させられる。導電材料の層は、活性中間及び不
活性下位本体部の内側面に堆積させられる。その後不活
性上位本体部の下面は、活性中間本体部の上面に絶縁的
に取り付けられて作動側壁配列を作る。
【0015】本発明の1つの面において、溝は、これら
が活性中間本体部の高さに一般に等しい距離分、不活性
下位本体部に延長するように作られる。発明の他の面に
おいて、溝は、活性中間本体部及び不活性下位本体部の
選択部分を除去して、一連の略平行な長手方向延長側壁
作動器を作り、各作動器が第1及び第2内側面を持つ不
活性下位壁部分と、第1及び第2内側面及び上面を持つ
活性上位壁部分とを持つことによって作られる。この様
に作られた各側壁作動器は、不活性下位本体部の選択部
分の除去間に露出させられた不活性下位本体部の内側面
によって隣接の側壁作動器から分離される。発明の更な
る面において、導電材料の層は、活性上位壁部分の上面
と、活性上位及び不活性下位壁部分の内側面を金属化す
ることによって、活性中間及び不活性下位本体部の内部
表面に堆積させられる。その後活性上位壁部分の上面が
脱金属化される。発明の更に他の面において、下位本体
部の内側面も金属化される。
が活性中間本体部の高さに一般に等しい距離分、不活性
下位本体部に延長するように作られる。発明の他の面に
おいて、溝は、活性中間本体部及び不活性下位本体部の
選択部分を除去して、一連の略平行な長手方向延長側壁
作動器を作り、各作動器が第1及び第2内側面を持つ不
活性下位壁部分と、第1及び第2内側面及び上面を持つ
活性上位壁部分とを持つことによって作られる。この様
に作られた各側壁作動器は、不活性下位本体部の選択部
分の除去間に露出させられた不活性下位本体部の内側面
によって隣接の側壁作動器から分離される。発明の更な
る面において、導電材料の層は、活性上位壁部分の上面
と、活性上位及び不活性下位壁部分の内側面を金属化す
ることによって、活性中間及び不活性下位本体部の内部
表面に堆積させられる。その後活性上位壁部分の上面が
脱金属化される。発明の更に他の面において、下位本体
部の内側面も金属化される。
【0016】これの代りの実施例において、本発明は、
インクジェットプリントヘッド用に、一連の側壁作動器
を備え各々が対向の方向に極性付けられた活性材料の各
断片から作られた第1及び第2部分を持つ作動側壁配列
の製造方法を持っている。この製造方法は、活性材料か
ら作られた下位本体部が既に用いた不活性材料と置換す
る点が発明の前述の実施例と異なる。作動側壁配列を造
るために、活性中間本体部の下面は、下位本体部がそれ
の上面に直角な第1方向に極性付けられ、中間本体部が
第1方向に正反対でそれの下面に直角な第2方向に極性
付けられるように活性下位本体部の上面に取付けられ
る。発明の前述の方法に従って製造を完了した後に、各
々が第1方向に極性付けられた活性下位側壁部分と、第
1方向と反対側の第2方向に極性付けられた活性上位側
壁部分とを持つ一連の側壁を備えた作動側壁配列が生産
される。
インクジェットプリントヘッド用に、一連の側壁作動器
を備え各々が対向の方向に極性付けられた活性材料の各
断片から作られた第1及び第2部分を持つ作動側壁配列
の製造方法を持っている。この製造方法は、活性材料か
ら作られた下位本体部が既に用いた不活性材料と置換す
る点が発明の前述の実施例と異なる。作動側壁配列を造
るために、活性中間本体部の下面は、下位本体部がそれ
の上面に直角な第1方向に極性付けられ、中間本体部が
第1方向に正反対でそれの下面に直角な第2方向に極性
付けられるように活性下位本体部の上面に取付けられ
る。発明の前述の方法に従って製造を完了した後に、各
々が第1方向に極性付けられた活性下位側壁部分と、第
1方向と反対側の第2方向に極性付けられた活性上位側
壁部分とを持つ一連の側壁を備えた作動側壁配列が生産
される。
【0017】発明のこの代わりの実施例の変形例におい
て、絶縁材料のブロックが各側壁の低位及び活性上位側
壁部分を分離するために一連のスペーサを作るために用
いられる。絶縁材料のブロックの下面は、それの上面に
直角な第1方向に予め極性付けられた活性下位本体部の
上面に取付けられる。その後活性中間本体部の下面は、
絶縁スペーサ材料の上面に取付けられる。その後中間本
体部、スペーサ材料及び下位本体部の部分を通して延長
した一連の略平行な長手方向に延長溝が作られる。発明
の前述の方法に従って製造を完了した後に、一連の側壁
を備え各々が絶縁スペーサによって分離され、対向の方
向に極性付けられた上位及び低位活性側壁部分を備えた
作動側壁配列が生産される。
て、絶縁材料のブロックが各側壁の低位及び活性上位側
壁部分を分離するために一連のスペーサを作るために用
いられる。絶縁材料のブロックの下面は、それの上面に
直角な第1方向に予め極性付けられた活性下位本体部の
上面に取付けられる。その後活性中間本体部の下面は、
絶縁スペーサ材料の上面に取付けられる。その後中間本
体部、スペーサ材料及び下位本体部の部分を通して延長
した一連の略平行な長手方向に延長溝が作られる。発明
の前述の方法に従って製造を完了した後に、一連の側壁
を備え各々が絶縁スペーサによって分離され、対向の方
向に極性付けられた上位及び低位活性側壁部分を備えた
作動側壁配列が生産される。
【0018】他の実施例において、本発明は、インクジ
ェットプリントヘッド用の一連の側壁作動器を備えた作
動側壁配列の製造方法を持っている。上面及び底面を持
ち、これら上面及び底面に一般に直角である第1方向に
極性付けられた活性圧電材料から作られた下位本体部が
形成される。その後上面から下位本体部への特定距離延
長した一連の略平行な長手方向に延長溝が作られる。前
述の溝は、形成ステップ間に露出された下位本体部の第
1内側面によって定義される。導電材料の層は、下位本
体部の第1の内側面に堆積させられる。その後下位本体
部で作られた溝は、下位本体部の第2内側面を露出させ
るために深くなる。その後不活性上位本体部の下面は、
活性中間本体部の上面に取付けられて作動側壁配列を作
る。それの1つの面において、導電材料の層は、上位壁
部分の上面及び内側面に導電材料の層を堆積させ、次に
上位壁部分の上面に堆積させられた導電材料の層の部分
を除去することによる下位本体部の内側面に堆積させら
れる。
ェットプリントヘッド用の一連の側壁作動器を備えた作
動側壁配列の製造方法を持っている。上面及び底面を持
ち、これら上面及び底面に一般に直角である第1方向に
極性付けられた活性圧電材料から作られた下位本体部が
形成される。その後上面から下位本体部への特定距離延
長した一連の略平行な長手方向に延長溝が作られる。前
述の溝は、形成ステップ間に露出された下位本体部の第
1内側面によって定義される。導電材料の層は、下位本
体部の第1の内側面に堆積させられる。その後下位本体
部で作られた溝は、下位本体部の第2内側面を露出させ
るために深くなる。その後不活性上位本体部の下面は、
活性中間本体部の上面に取付けられて作動側壁配列を作
る。それの1つの面において、導電材料の層は、上位壁
部分の上面及び内側面に導電材料の層を堆積させ、次に
上位壁部分の上面に堆積させられた導電材料の層の部分
を除去することによる下位本体部の内側面に堆積させら
れる。
【0019】本発明は、添付図面を参照することによっ
て、良好に理解され、その多数の目的、特徴及び利点が
当該技術者によって明らかになる。
て、良好に理解され、その多数の目的、特徴及び利点が
当該技術者によって明らかになる。
【0020】
【実施例】今図1(a)〜3(a)を参照すると、本発
明の教示に従うインクジェットプリントヘッド用の作動
側壁配列38を構成する第1の方法が今より詳細に記述
される。特に図1(a)において、圧電材料の一般に長
方形のブロック10が今示されている。このブロック1
0は、矢印17方向に極性付けられた活性圧電材料から
作られる活性中間本体部16を粘着層14によって絶縁
的に取付けられた未極性付け圧電材料又はセラミックの
ような他の不活性材料から作られた不活性下位本体部1
2を含む。好ましくは、活性中間本体部16は、ジルコ
ン酸チタン酸鉛即ち『PZT』を用いて形成される。し
かしながら、他の活性圧電材料が発明の範囲から逸脱し
ないでここの使用に好適であることは明確に理解される
べきである。不活性下位本体部12及び活性中間本体部
16の厳密な長さ、幅及び高さは、製作されるべき作動
側壁配列のサイズに依存して変化する。しかしながら、
不活性下位本体部12及び活性中間本体部16は類似し
た長さ及び幅を持つべきであり、不活性下位本体部12
が活性中間本体部16より少なくとも2倍の厚みを持つ
べきであることが予想される。
明の教示に従うインクジェットプリントヘッド用の作動
側壁配列38を構成する第1の方法が今より詳細に記述
される。特に図1(a)において、圧電材料の一般に長
方形のブロック10が今示されている。このブロック1
0は、矢印17方向に極性付けられた活性圧電材料から
作られる活性中間本体部16を粘着層14によって絶縁
的に取付けられた未極性付け圧電材料又はセラミックの
ような他の不活性材料から作られた不活性下位本体部1
2を含む。好ましくは、活性中間本体部16は、ジルコ
ン酸チタン酸鉛即ち『PZT』を用いて形成される。し
かしながら、他の活性圧電材料が発明の範囲から逸脱し
ないでここの使用に好適であることは明確に理解される
べきである。不活性下位本体部12及び活性中間本体部
16の厳密な長さ、幅及び高さは、製作されるべき作動
側壁配列のサイズに依存して変化する。しかしながら、
不活性下位本体部12及び活性中間本体部16は類似し
た長さ及び幅を持つべきであり、不活性下位本体部12
が活性中間本体部16より少なくとも2倍の厚みを持つ
べきであることが予想される。
【0021】次に図1(b)を参照して、その後物質の
除去プロセスは、ブロック10で一連の略平行な長手方
向に延長溝18を作るために用いられる。溝18は、物
質除去プロセス間に全て露出させられた側面31a及び
31bと底表面32によって定義される。各溝18は、
活性中間本体部16及び不活性下位本体部12の部分を
通して延長し、溝18の形成間に生産され上面34を持
っている長手方向延長側壁20によって隣接の溝18か
ら分離される。各側壁20は、下位本体部12の元来部
分と一体形成された不活性下位壁部分22と、中間本体
部14を元来分けた活性上位壁部分24とを備えてい
る。溝18が下位本体部12に延長してもよい範囲が本
発明の範囲から逸脱しないで変えられてもよいが、溝1
8は、中間本体部16の厚さに一般に等しい距離下位本
体部12に延長して作られるべきであることが予想され
る。溝18は、種々の現在利用可能な機械加工技術のい
ずれかを用いて作られてもよい。例えば高精度鋸引きプ
ロセスは、溝18を作ることにふさわしい。さらに図1
(b)で目視できないが、溝18がブロック10の前端
面10aから後端面10bに延長していることが明白に
理解されるべきである。
除去プロセスは、ブロック10で一連の略平行な長手方
向に延長溝18を作るために用いられる。溝18は、物
質除去プロセス間に全て露出させられた側面31a及び
31bと底表面32によって定義される。各溝18は、
活性中間本体部16及び不活性下位本体部12の部分を
通して延長し、溝18の形成間に生産され上面34を持
っている長手方向延長側壁20によって隣接の溝18か
ら分離される。各側壁20は、下位本体部12の元来部
分と一体形成された不活性下位壁部分22と、中間本体
部14を元来分けた活性上位壁部分24とを備えてい
る。溝18が下位本体部12に延長してもよい範囲が本
発明の範囲から逸脱しないで変えられてもよいが、溝1
8は、中間本体部16の厚さに一般に等しい距離下位本
体部12に延長して作られるべきであることが予想され
る。溝18は、種々の現在利用可能な機械加工技術のい
ずれかを用いて作られてもよい。例えば高精度鋸引きプ
ロセスは、溝18を作ることにふさわしい。さらに図1
(b)で目視できないが、溝18がブロック10の前端
面10aから後端面10bに延長していることが明白に
理解されるべきである。
【0022】次に図1(c)を参照して、導電材料の層
26は、上位壁部分24の上面及び内側面34、31
a、下位壁部分22の内側面31b及び下位壁部分22
間に配置された底面32に形成される。好ましくは、側
面34、31a、31b、32に導電層26を形成する
ステップが内側面31a、31b、32及び上面34の
各々にニクロム金合金の層を堆積させることによって達
成される。しかしながら、前述の堆積(蒸着)プロセス
は導電材料の層が表面31a、31b、32、34に印
加されてもよい一方法であり、多数の他の堆積技術及び
導電材料が導電材料層を作るために適当であることは、
明白に理解されるべきである。
26は、上位壁部分24の上面及び内側面34、31
a、下位壁部分22の内側面31b及び下位壁部分22
間に配置された底面32に形成される。好ましくは、側
面34、31a、31b、32に導電層26を形成する
ステップが内側面31a、31b、32及び上面34の
各々にニクロム金合金の層を堆積させることによって達
成される。しかしながら、前述の堆積(蒸着)プロセス
は導電材料の層が表面31a、31b、32、34に印
加されてもよい一方法であり、多数の他の堆積技術及び
導電材料が導電材料層を作るために適当であることは、
明白に理解されるべきである。
【0023】次に図2(a)を参照して、上位壁部分2
4の上面34に作られた導電材料層26のその部分は、
例えば前述の側面をマスクすることによって内側面31
a、31b、32に形成された導電材料層26のその部
分を保護した後に、例えばエッチングプロセスを用いた
従来の脱金属化プロセスによって除去される。
4の上面34に作られた導電材料層26のその部分は、
例えば前述の側面をマスクすることによって内側面31
a、31b、32に形成された導電材料層26のその部
分を保護した後に、例えばエッチングプロセスを用いた
従来の脱金属化プロセスによって除去される。
【0024】次に図2(b)を参照して、不活性材料か
ら作られたトップ本体部30は、非電導粘着材料の層3
6によって上位壁部分24の上面34に取付けられる。
図3(a)と同様に今図2(b)で理解されるように、
今作動側壁配列38は充分に組立られた。作動側壁配列
38は、一連の略平行な長手方向延長チャンネル40を
備えて、各々が(内側面31aを持つ活性上位壁部分2
4と内側面31bを持つ不活性下位壁部分22とからな
る)第1側壁作動器20と、(再度、内側面31bを持
つ不活性下位壁部分22と内側面31aを持つ活性上位
壁部分24とからなる)第2側壁作動器20と、第1及
び第2側壁作動器20を分離する不活性トップ本体部3
0の部分と、第1及び第2側壁作動器20を分離した底
面32を持つ活性下位本体部12の部分とによって定義
される。
ら作られたトップ本体部30は、非電導粘着材料の層3
6によって上位壁部分24の上面34に取付けられる。
図3(a)と同様に今図2(b)で理解されるように、
今作動側壁配列38は充分に組立られた。作動側壁配列
38は、一連の略平行な長手方向延長チャンネル40を
備えて、各々が(内側面31aを持つ活性上位壁部分2
4と内側面31bを持つ不活性下位壁部分22とからな
る)第1側壁作動器20と、(再度、内側面31bを持
つ不活性下位壁部分22と内側面31aを持つ活性上位
壁部分24とからなる)第2側壁作動器20と、第1及
び第2側壁作動器20を分離する不活性トップ本体部3
0の部分と、第1及び第2側壁作動器20を分離した底
面32を持つ活性下位本体部12の部分とによって定義
される。
【0025】作動側壁配列38を電気的に接続するため
には、チャンネル40の1つを定義している内側面31
a及び31b及び底面32に沿って作られた導電層26
の各部分42は、部分42に正負電圧を選択的に印加す
ることができるドライブシステム(図示略)に電気的に
接続するべき個々のコンタクトとして用いられる。正電
圧が第1のコンタクト42aに印加され、負電圧が第2
のコンタクト42bに印加される時には、極性付け方向
Pに直角な電界Eは、側壁作動器20aを交差して生成
され、従って側壁作動器20aをインク搬送チャンネル
40bに偏向させ、これによって正の圧力パルスをそれ
で部分定義した第1インク搬送チャンネル40bに印加
し、負の圧力パルスをそれで部分定義した第2のインク
搬送チャンネル40aに印加している。インク搬送チャ
ンネル40への正負の圧力パルスの適当な印加によって
インクの滴は、チャンネルのフロントエンド(前端)か
ら放出されてもよい。
には、チャンネル40の1つを定義している内側面31
a及び31b及び底面32に沿って作られた導電層26
の各部分42は、部分42に正負電圧を選択的に印加す
ることができるドライブシステム(図示略)に電気的に
接続するべき個々のコンタクトとして用いられる。正電
圧が第1のコンタクト42aに印加され、負電圧が第2
のコンタクト42bに印加される時には、極性付け方向
Pに直角な電界Eは、側壁作動器20aを交差して生成
され、従って側壁作動器20aをインク搬送チャンネル
40bに偏向させ、これによって正の圧力パルスをそれ
で部分定義した第1インク搬送チャンネル40bに印加
し、負の圧力パルスをそれで部分定義した第2のインク
搬送チャンネル40aに印加している。インク搬送チャ
ンネル40への正負の圧力パルスの適当な印加によって
インクの滴は、チャンネルのフロントエンド(前端)か
ら放出されてもよい。
【0026】しかしながら、図3(a)に示した作動側
壁配列38に含まれるチャンネル数が全くの例であり、
作動側壁配列38がどの数のチャンネルを含んでもよい
ことが充分予想されることは、明白に注目するべきであ
る。更に、それぞれチャンネル40c及び40dとして
図3(a)で明示された作動側壁配列38の各側の最外
チャンネルが不活性に留まるべきであることは、推薦さ
れる。最後に、示された作動側壁配列38からインクジ
ェットプリントヘッドを完全に組み立てるためには、チ
ャンネル40の後端44が閉塞されるべきで、インクを
チャンネル40に供給するための手段(図示略)が形成
されるべきである。
壁配列38に含まれるチャンネル数が全くの例であり、
作動側壁配列38がどの数のチャンネルを含んでもよい
ことが充分予想されることは、明白に注目するべきであ
る。更に、それぞれチャンネル40c及び40dとして
図3(a)で明示された作動側壁配列38の各側の最外
チャンネルが不活性に留まるべきであることは、推薦さ
れる。最後に、示された作動側壁配列38からインクジ
ェットプリントヘッドを完全に組み立てるためには、チ
ャンネル40の後端44が閉塞されるべきで、インクを
チャンネル40に供給するための手段(図示略)が形成
されるべきである。
【0027】次に図3(b)を参照して、図2(b)の
作動側壁配列38の代りの構成が今より詳細に記述され
る。発明のこの実施例において、側壁作動器38’は、
中間本体部14のそれと反対方向に極性付けられた活性
圧電材料から作られた下位本体部12’を含む。作動側
壁配列38’を造るためには、活性下位本体部12’が
ブロック10の形成時に不活性下位本体部12の代りに
形成される。材料のこの置換から離れて、作動側壁配列
38’の構成は、図1(a)−図3(a)に関して既に
記述した技術と同一である。それで、前のように接着剤
の層14は、活性下位本体部12’に活性中間本体部1
6を絶縁的に取り付けるために使われる。活性下位本体
部12’は方向P1に極性付けられ、活性中間本体部1
6が方向P2に極性付けられる。従って、側面31a及
び31b及び底表面32によって定義された一連の略平
行な長手方向に延長溝18が作られる。しかしながらこ
の実施例において、各溝18は、活性中間本体部16及
び活性下位本体部12’の部分を通して延長し、溝18
の形成間に形成された長手方向延長側壁20’によって
隣接の溝18から分離される。かく形成された各側壁2
0’は、活性下位本体部12’の元来部分と一体形成さ
れた活性下位壁部分22’と、中間本体部14を元来分
ける活性上位壁部分24とを備えている。
作動側壁配列38の代りの構成が今より詳細に記述され
る。発明のこの実施例において、側壁作動器38’は、
中間本体部14のそれと反対方向に極性付けられた活性
圧電材料から作られた下位本体部12’を含む。作動側
壁配列38’を造るためには、活性下位本体部12’が
ブロック10の形成時に不活性下位本体部12の代りに
形成される。材料のこの置換から離れて、作動側壁配列
38’の構成は、図1(a)−図3(a)に関して既に
記述した技術と同一である。それで、前のように接着剤
の層14は、活性下位本体部12’に活性中間本体部1
6を絶縁的に取り付けるために使われる。活性下位本体
部12’は方向P1に極性付けられ、活性中間本体部1
6が方向P2に極性付けられる。従って、側面31a及
び31b及び底表面32によって定義された一連の略平
行な長手方向に延長溝18が作られる。しかしながらこ
の実施例において、各溝18は、活性中間本体部16及
び活性下位本体部12’の部分を通して延長し、溝18
の形成間に形成された長手方向延長側壁20’によって
隣接の溝18から分離される。かく形成された各側壁2
0’は、活性下位本体部12’の元来部分と一体形成さ
れた活性下位壁部分22’と、中間本体部14を元来分
ける活性上位壁部分24とを備えている。
【0028】前記方法で構成を完了した後に、かく構成
された作動側壁配列38’は、一連の略平行な長手方向
延長チャンネル40を備えて、各々が(内側面31b’
を持つ活性下位壁部分22’と内側面31aを持つ活性
上位壁部分24とからなる)第1の側壁作動器20’
と、(再度、内側面31bを持つ活性下位壁部分22と
内側面31aを持つ活性上位壁部分24とからなる)第
2側壁作動器20’と、第1及び第2側壁作動器20’
を分離する不活性トップ本体部30の部分と、第1及び
第2側壁作動器20’を分離する底面32’を持つ活性
下位本体部12’の部分とによって定義される。
された作動側壁配列38’は、一連の略平行な長手方向
延長チャンネル40を備えて、各々が(内側面31b’
を持つ活性下位壁部分22’と内側面31aを持つ活性
上位壁部分24とからなる)第1の側壁作動器20’
と、(再度、内側面31bを持つ活性下位壁部分22と
内側面31aを持つ活性上位壁部分24とからなる)第
2側壁作動器20’と、第1及び第2側壁作動器20’
を分離する不活性トップ本体部30の部分と、第1及び
第2側壁作動器20’を分離する底面32’を持つ活性
下位本体部12’の部分とによって定義される。
【0029】作動側壁配列38’が既に記載した方法で
電気的に接続した時には、チャンネル40の1つを定義
している内側面31a及び31b’及び底面32’に沿
って作られた導電層26の各部分42は、部分42に正
負電圧を選択的に印加することができるドライブシステ
ム(図示略)に電気的に接続するべき個々のコンタクト
として用いられる。正電圧が第1のコンタクト42aに
印加され、負電圧が第2のコンタクト42bに印加され
る時には、側壁作動器部分22’及び24の極性付け方
向P1及びP2に各々直交した電界E1及びE2が生成
される。電界E1の印加が側壁作動器部分22’をイン
ク搬送チャンネル40bに偏位させ、電界E2の印加が
側壁作動器部分24をインク搬送チャンネル40bに偏
位させ、これによって正の圧力パルスをそれで部分定義
した第1インク搬送チャンネル40bに印加し、負の圧
力パルスをそれで部分定義した第2のインク搬送チャン
ネル40aに印加している。インク搬送チャンネル40
への正負の圧力パルスの適当な印加によってインクの滴
は、チャンネルの前端から放出されてもよい。
電気的に接続した時には、チャンネル40の1つを定義
している内側面31a及び31b’及び底面32’に沿
って作られた導電層26の各部分42は、部分42に正
負電圧を選択的に印加することができるドライブシステ
ム(図示略)に電気的に接続するべき個々のコンタクト
として用いられる。正電圧が第1のコンタクト42aに
印加され、負電圧が第2のコンタクト42bに印加され
る時には、側壁作動器部分22’及び24の極性付け方
向P1及びP2に各々直交した電界E1及びE2が生成
される。電界E1の印加が側壁作動器部分22’をイン
ク搬送チャンネル40bに偏位させ、電界E2の印加が
側壁作動器部分24をインク搬送チャンネル40bに偏
位させ、これによって正の圧力パルスをそれで部分定義
した第1インク搬送チャンネル40bに印加し、負の圧
力パルスをそれで部分定義した第2のインク搬送チャン
ネル40aに印加している。インク搬送チャンネル40
への正負の圧力パルスの適当な印加によってインクの滴
は、チャンネルの前端から放出されてもよい。
【0030】次に図3(c)を参照して、図3(b)の
作動側壁配列38’の変形は今より詳細に記述される。
発明のこの実施例において、側壁作動器38”は、再度
中間本体部16のそれと反対方向に極性付けられた活性
圧電材料から作られた下位本体部12’を含む。しかし
ながらこの実施例において、絶縁スペーサ部分33は2
つに分けている。作動側壁配列38”を造るために、活
性下位本体部12’は再びブロック10の形成時に不活
性下位本体部12の代りに形成される。粘着剤15の層
15(図3(c)で目視できる物質除去ステップ後に残
るその部分)は、その後活性下位本体部12’の上面に
絶縁材料のブロックの下面を絶縁的に取り付けるために
使われる。次に、接着剤の層14’(再度、図3(c)
で目視できる物質除去ステップ後に残るその部分)は、
絶縁材料のブロックの上面に活性中間本体部16の下面
を絶縁的に取り付けるために用いられる。その後、側面
31a、33a、31b’及び底面32’によって定義
された一連の略平行な長手方向に延長溝18が作られ
る。しかしながらこの実施例において、各溝18は、活
性中間本体部16、絶縁材料のブロック及び活性下位本
体部12’の部分を通して延長し、溝18の形成間に形
成された長手方向延長側壁20”によって隣接の溝18
から分離される。かく形成された各側壁20”は、活性
下位本体部12’の元来部分と一体形成された活性下位
壁部分22’と、絶縁スペーサ部分33と、中間本体部
14を元来分ける活性上位壁部分24とを備えている。
作動側壁配列38’の変形は今より詳細に記述される。
発明のこの実施例において、側壁作動器38”は、再度
中間本体部16のそれと反対方向に極性付けられた活性
圧電材料から作られた下位本体部12’を含む。しかし
ながらこの実施例において、絶縁スペーサ部分33は2
つに分けている。作動側壁配列38”を造るために、活
性下位本体部12’は再びブロック10の形成時に不活
性下位本体部12の代りに形成される。粘着剤15の層
15(図3(c)で目視できる物質除去ステップ後に残
るその部分)は、その後活性下位本体部12’の上面に
絶縁材料のブロックの下面を絶縁的に取り付けるために
使われる。次に、接着剤の層14’(再度、図3(c)
で目視できる物質除去ステップ後に残るその部分)は、
絶縁材料のブロックの上面に活性中間本体部16の下面
を絶縁的に取り付けるために用いられる。その後、側面
31a、33a、31b’及び底面32’によって定義
された一連の略平行な長手方向に延長溝18が作られ
る。しかしながらこの実施例において、各溝18は、活
性中間本体部16、絶縁材料のブロック及び活性下位本
体部12’の部分を通して延長し、溝18の形成間に形
成された長手方向延長側壁20”によって隣接の溝18
から分離される。かく形成された各側壁20”は、活性
下位本体部12’の元来部分と一体形成された活性下位
壁部分22’と、絶縁スペーサ部分33と、中間本体部
14を元来分ける活性上位壁部分24とを備えている。
【0031】前記方法で作動側壁配列38”の構成を完
了した後に、かく構成された作動側壁配列38”は、一
連の略平行な長手方向延長チャンネル40を備えて、各
々が(内側面31b’を持つ活性下位壁部分22’と、
内側面33aを持つ絶縁スペーサ部分33と、内側面3
1aを持つ活性上位壁部分24とからなる)第1の側壁
作動器20”と、(再度、内側面31b’を持つ活性下
位壁部分22’と、内側面33aを持つ絶縁スペーサ部
分33と、内側面31aを持つ活性上位壁部分24とか
らなる)第2側壁作動器20”と、第1及び第2側壁作
動器20”を分離する不活性トップ本体部30の部分
と、第1及び第2側壁作動器20”を分離する底面3
2’を持つ活性下位本体部12’の部分とによって定義
される。
了した後に、かく構成された作動側壁配列38”は、一
連の略平行な長手方向延長チャンネル40を備えて、各
々が(内側面31b’を持つ活性下位壁部分22’と、
内側面33aを持つ絶縁スペーサ部分33と、内側面3
1aを持つ活性上位壁部分24とからなる)第1の側壁
作動器20”と、(再度、内側面31b’を持つ活性下
位壁部分22’と、内側面33aを持つ絶縁スペーサ部
分33と、内側面31aを持つ活性上位壁部分24とか
らなる)第2側壁作動器20”と、第1及び第2側壁作
動器20”を分離する不活性トップ本体部30の部分
と、第1及び第2側壁作動器20”を分離する底面3
2’を持つ活性下位本体部12’の部分とによって定義
される。
【0032】作動側壁配列38”が既に記載した方法で
電気的に接続された時に、チャンネル40の1つを定義
している内側面31a、33a及び31b’と底面3
2’に沿って作られた導電層26の各部分42は、部分
42に正負電圧を選択的に印加することができるドライ
ブシステム(図示略)に電気的に接続するべき個々のコ
ンタクトとして用いられる。正電圧が第1のコンタクト
42aに印加され、負電圧が第2のコンタクト42bに
印加される時には、各々が側壁作動器22’及び24の
極性付け方向P1及びP2に直交する電界E1及びE2
が生成される。電界E1の印加が側壁作動器部分22’
をインク搬送チャンネル40bに偏位させ、電界E2の
印加も側壁作動器部分24をインク搬送チャンネル40
bに偏位させて、正の圧力パルスをそれで部分定義した
第1インク搬送チャンネル40bに印加し、負の圧力パ
ルスをそれで部分定義した第2のインク搬送チャンネル
40aに印加している。インク搬送チャンネル40への
正負の圧力パルスの適当な印加によってインクの滴は、
チャンネルの前端から放出されてもよい。
電気的に接続された時に、チャンネル40の1つを定義
している内側面31a、33a及び31b’と底面3
2’に沿って作られた導電層26の各部分42は、部分
42に正負電圧を選択的に印加することができるドライ
ブシステム(図示略)に電気的に接続するべき個々のコ
ンタクトとして用いられる。正電圧が第1のコンタクト
42aに印加され、負電圧が第2のコンタクト42bに
印加される時には、各々が側壁作動器22’及び24の
極性付け方向P1及びP2に直交する電界E1及びE2
が生成される。電界E1の印加が側壁作動器部分22’
をインク搬送チャンネル40bに偏位させ、電界E2の
印加も側壁作動器部分24をインク搬送チャンネル40
bに偏位させて、正の圧力パルスをそれで部分定義した
第1インク搬送チャンネル40bに印加し、負の圧力パ
ルスをそれで部分定義した第2のインク搬送チャンネル
40aに印加している。インク搬送チャンネル40への
正負の圧力パルスの適当な印加によってインクの滴は、
チャンネルの前端から放出されてもよい。
【0033】次に図4(a)〜5(c)を参照して、本
発明の教示に従うインクジェットプリントヘッド用の作
動側壁配列を構成する第2の方法が今より詳細に記述さ
れる。特に、図4(a)において、矢印52方向に極性
付けられた圧電材料好ましくはPZTの通常長方形ブロ
ック50が今見られる。次に図4(b)を参照して、そ
の後物質除去プロセスは、極性付けられた圧電材料のブ
ロック50を通して途中まで延長した一連の略平行な長
手方向に延長溝54を作るために用いられる。各溝54
は隣接の溝54から上位壁部分60によって分けられ
る。各上位壁部分60は上面62を含み、各溝54は、
材料除去プロセス間に露出された上位壁部分60の内側
面56及び底面58によって定義される。溝54は、種
々の現在利用可能な機械加工技術のいずれかを用いて作
られてもよい。例えば高精度鋸引きプロセスは、溝54
を作ることにふさわしい。さらに図2Bで目視できない
が、溝54がブロック50の前端面50aから後端面5
0bに延長していることが明白に理解されるべきであ
る。
発明の教示に従うインクジェットプリントヘッド用の作
動側壁配列を構成する第2の方法が今より詳細に記述さ
れる。特に、図4(a)において、矢印52方向に極性
付けられた圧電材料好ましくはPZTの通常長方形ブロ
ック50が今見られる。次に図4(b)を参照して、そ
の後物質除去プロセスは、極性付けられた圧電材料のブ
ロック50を通して途中まで延長した一連の略平行な長
手方向に延長溝54を作るために用いられる。各溝54
は隣接の溝54から上位壁部分60によって分けられ
る。各上位壁部分60は上面62を含み、各溝54は、
材料除去プロセス間に露出された上位壁部分60の内側
面56及び底面58によって定義される。溝54は、種
々の現在利用可能な機械加工技術のいずれかを用いて作
られてもよい。例えば高精度鋸引きプロセスは、溝54
を作ることにふさわしい。さらに図2Bで目視できない
が、溝54がブロック50の前端面50aから後端面5
0bに延長していることが明白に理解されるべきであ
る。
【0034】次に図2Cを参照して、導電材料の層64
は、上位壁部分60の上面62、内側面56及び底面5
8に形成される。好ましくは、表面62、56、58に
導電層64を形成するステップが内側面56及び58及
び上面62の各々にニクロム金合金の層を堆積させるこ
とによって達成される。しかしながら、前述の堆積(蒸
着)プロセスは導電材料の層が表面62、56及び58
に印加されてもよい一方法であり、多数の他の堆積技術
及び導電材料が導電材料層64を作るために適当である
ことは、明白に理解されるべきである。
は、上位壁部分60の上面62、内側面56及び底面5
8に形成される。好ましくは、表面62、56、58に
導電層64を形成するステップが内側面56及び58及
び上面62の各々にニクロム金合金の層を堆積させるこ
とによって達成される。しかしながら、前述の堆積(蒸
着)プロセスは導電材料の層が表面62、56及び58
に印加されてもよい一方法であり、多数の他の堆積技術
及び導電材料が導電材料層64を作るために適当である
ことは、明白に理解されるべきである。
【0035】次に図4(d)を参照して、第2の物質除
去ステップがその後溝54を下方に延長する(深くす
る)ために実行された。前のように溝54は高精度鋸引
きプロセスを使って深くしてもよい。しかしながら、第
2の材料除去ステップにおいて、溝54の拡張即ち追加
掘り下げ部分は第1材料除去ステップ間に形成された溝
54の幅より僅かに狭く作られるべきであり、従って底
面58に堆積した層64の部分を除去しながら、側面5
6に堆積した導電材料の層64の部分の除去を防止する
ことは注目するべきである。好ましくは、溝54が内側
面68及び上位壁部分60のそれと略等しい高さを持つ
下位壁部分66を形成するように更に掘り下げられるべ
きである。しかしながら、上位壁部分60の高さと相対
する下位壁部分66の高さが発明の範囲から逸脱しない
で劇的に変えられてもよいことは、明白に理解されるべ
きである。
去ステップがその後溝54を下方に延長する(深くす
る)ために実行された。前のように溝54は高精度鋸引
きプロセスを使って深くしてもよい。しかしながら、第
2の材料除去ステップにおいて、溝54の拡張即ち追加
掘り下げ部分は第1材料除去ステップ間に形成された溝
54の幅より僅かに狭く作られるべきであり、従って底
面58に堆積した層64の部分を除去しながら、側面5
6に堆積した導電材料の層64の部分の除去を防止する
ことは注目するべきである。好ましくは、溝54が内側
面68及び上位壁部分60のそれと略等しい高さを持つ
下位壁部分66を形成するように更に掘り下げられるべ
きである。しかしながら、上位壁部分60の高さと相対
する下位壁部分66の高さが発明の範囲から逸脱しない
で劇的に変えられてもよいことは、明白に理解されるべ
きである。
【0036】次に図5(a)を参照して、上位壁部分5
8の上面62で作られた導電材料の層64のその部分
は、従来の脱金属化プロセス例えば、側面56に堆積し
た導電材料の層64のその部分をマスクした後にエッチ
ングプロセスを使って除去される。最後に、図5(b)
に示されるように、不活性材料から作られたトップ本体
部70は、非電導粘着材料の層72によって上位壁部分
60の上面62に取付けられる。図5(c)と同様に今
図5(b)で理解されるように、作動側壁配列74は今
充分に組立られた。作動側壁配列74は、一連の略平行
な長手方向延長チャンネル76を備えて、各々が(不活
性下位壁部分66と活性上位壁部分60とからなる)第
1の側壁作動器78と、(再度不活性下位壁部分66と
活性上位壁部分60とからなる)第2側壁作動器78
と、第1及び第2側壁作動器78を分離する不活性トッ
プ本体部70の部分と、第1及び第2側壁作動器70を
分離する活性圧電材料50の未鋸引き部分とによって定
義される。第1及び第2チャンネル76に各々対面する
第1及び第2内側面60には、活性上位壁部分60の上
位側面62の脱金属化によって作られた一対の電気のコ
ンタクト80−1、80−2が形成される。
8の上面62で作られた導電材料の層64のその部分
は、従来の脱金属化プロセス例えば、側面56に堆積し
た導電材料の層64のその部分をマスクした後にエッチ
ングプロセスを使って除去される。最後に、図5(b)
に示されるように、不活性材料から作られたトップ本体
部70は、非電導粘着材料の層72によって上位壁部分
60の上面62に取付けられる。図5(c)と同様に今
図5(b)で理解されるように、作動側壁配列74は今
充分に組立られた。作動側壁配列74は、一連の略平行
な長手方向延長チャンネル76を備えて、各々が(不活
性下位壁部分66と活性上位壁部分60とからなる)第
1の側壁作動器78と、(再度不活性下位壁部分66と
活性上位壁部分60とからなる)第2側壁作動器78
と、第1及び第2側壁作動器78を分離する不活性トッ
プ本体部70の部分と、第1及び第2側壁作動器70を
分離する活性圧電材料50の未鋸引き部分とによって定
義される。第1及び第2チャンネル76に各々対面する
第1及び第2内側面60には、活性上位壁部分60の上
位側面62の脱金属化によって作られた一対の電気のコ
ンタクト80−1、80−2が形成される。
【0037】作動側壁配列78を電気的に接続するため
には、インク搬送チャンネル76の各1つに対面する電
気のコンタクト80−1、80−2は、コンタクト80
−1、80−2に正負電圧を選択的に印加することがで
きるドライブシステム(図示略)の個別のリード線に電
気的に接続される。正電圧が選択された側壁作動器の一
側のコンタクト80−2に印加され、負電圧が選択され
た側壁作動器の他の側のコンタクト80−1に印加され
る時には、極性付け方向Pに直角な電界Eは、選択され
た側壁作動器の上位壁部分を交差して生成され、従って
側壁作動器をインク搬送チャンネル76方向に偏向さ
せ、従って正の圧力パルスをそれで部分定義した第1イ
ンク搬送チャンネル76bに印加し、負の圧力パルスを
それで部分定義した第2のインク搬送チャンネル76a
に印加している。インク搬送チャンネル76への正負の
圧力パルスの適当な印加によってインクの滴は、チャン
ネルの前端から放出されてもよい。発明の1つの面にお
いて、単一インク搬送チャンネル76に直面するコンタ
クト80−1及び80−2がドライブシステムの単一リ
ード線に電気的に接続してもよいことがさらに予想され
る。この面において、選択されたチャンネル76に側壁
作動器78の両方を駆動するために、正電圧がチャンネ
ル76に直面している電気のコンタクト80−1及び8
0−2に印加され、一方選択されたチャンネル76に直
面した側壁作動器78の対向側の電気のコンタクト80
−1、80−2に負電圧が印加される。
には、インク搬送チャンネル76の各1つに対面する電
気のコンタクト80−1、80−2は、コンタクト80
−1、80−2に正負電圧を選択的に印加することがで
きるドライブシステム(図示略)の個別のリード線に電
気的に接続される。正電圧が選択された側壁作動器の一
側のコンタクト80−2に印加され、負電圧が選択され
た側壁作動器の他の側のコンタクト80−1に印加され
る時には、極性付け方向Pに直角な電界Eは、選択され
た側壁作動器の上位壁部分を交差して生成され、従って
側壁作動器をインク搬送チャンネル76方向に偏向さ
せ、従って正の圧力パルスをそれで部分定義した第1イ
ンク搬送チャンネル76bに印加し、負の圧力パルスを
それで部分定義した第2のインク搬送チャンネル76a
に印加している。インク搬送チャンネル76への正負の
圧力パルスの適当な印加によってインクの滴は、チャン
ネルの前端から放出されてもよい。発明の1つの面にお
いて、単一インク搬送チャンネル76に直面するコンタ
クト80−1及び80−2がドライブシステムの単一リ
ード線に電気的に接続してもよいことがさらに予想され
る。この面において、選択されたチャンネル76に側壁
作動器78の両方を駆動するために、正電圧がチャンネ
ル76に直面している電気のコンタクト80−1及び8
0−2に印加され、一方選択されたチャンネル76に直
面した側壁作動器78の対向側の電気のコンタクト80
−1、80−2に負電圧が印加される。
【0038】しかしながら前のように、図5(b)に示
した作動側壁配列74に含まれるチャンネル76の数が
全くの例であり、作動側壁配列74がどの数のチャンネ
ルを含んでもよいことが充分予想されることは、明白に
注目するべきである。更に、それぞれチャンネル76c
及び76dとして図5(c)で明示された作動側壁配列
74の各側の最外チャンネルが不活性に留まるべきであ
ることは、推薦される。最後に、示された作動側壁配列
74からインクジェットプリントヘッドを完全に組み立
てるためには、チャンネル76の後端82が閉塞される
べきで、インクをチャンネル76に供給するための手段
(図示略)が形成されるべきである。
した作動側壁配列74に含まれるチャンネル76の数が
全くの例であり、作動側壁配列74がどの数のチャンネ
ルを含んでもよいことが充分予想されることは、明白に
注目するべきである。更に、それぞれチャンネル76c
及び76dとして図5(c)で明示された作動側壁配列
74の各側の最外チャンネルが不活性に留まるべきであ
ることは、推薦される。最後に、示された作動側壁配列
74からインクジェットプリントヘッドを完全に組み立
てるためには、チャンネル76の後端82が閉塞される
べきで、インクをチャンネル76に供給するための手段
(図示略)が形成されるべきである。
【0039】
【発明の効果】それで、インクジェットプリントヘッド
用の作動側壁配列を製作する種々の方法がここに記述さ
れ示された。各開示方法は、先行技術によって教示され
たそれらの方法を簡単にする前述の配列を製作するかな
り単純で安価な方法を提供している。内部側壁に沿った
特定の位置での導電材料の明確な堆積を必要とするより
むしろ、2つの物質除去ステップ間の単一金属化ステッ
プの形成は、正確な堆積ステップの必要性なしで所望の
側壁作動器を形成する。しかしながら当該技術者は、特
に言わなくても多くの修正及び変形が本発明の概念から
殆ど逸脱しないでここに記載された技術で作られてもよ
いことが認められる。それ故に、ここに記載された発明
の型式が実施例のみで、発明の範囲に対する制限として
意味されないことは明確に理解されるべきである。
用の作動側壁配列を製作する種々の方法がここに記述さ
れ示された。各開示方法は、先行技術によって教示され
たそれらの方法を簡単にする前述の配列を製作するかな
り単純で安価な方法を提供している。内部側壁に沿った
特定の位置での導電材料の明確な堆積を必要とするより
むしろ、2つの物質除去ステップ間の単一金属化ステッ
プの形成は、正確な堆積ステップの必要性なしで所望の
側壁作動器を形成する。しかしながら当該技術者は、特
に言わなくても多くの修正及び変形が本発明の概念から
殆ど逸脱しないでここに記載された技術で作られてもよ
いことが認められる。それ故に、ここに記載された発明
の型式が実施例のみで、発明の範囲に対する制限として
意味されないことは明確に理解されるべきである。
【図1】(a)は本発明の教示に従うインクジェットプ
リントヘッド用の作動側壁配列を製作する使用に好適な
圧電材料のブロックの斜視図であり、(b)は形成ステ
ップが一連の溝を形成した後に図1(a)の1B−1B
線に部分拡大断面図であり、(c)は金属化ステップ後
の図1(b)の溝付きブロックの部分拡大断面図であ
る。
リントヘッド用の作動側壁配列を製作する使用に好適な
圧電材料のブロックの斜視図であり、(b)は形成ステ
ップが一連の溝を形成した後に図1(a)の1B−1B
線に部分拡大断面図であり、(c)は金属化ステップ後
の図1(b)の溝付きブロックの部分拡大断面図であ
る。
【図2】(a)は部分的脱金属化ステップ後の図1
(c)の金属化された溝付きブロックの部分拡大断面図
であり、(b)はカバーがそれに取付けられてインクジ
ェットプリントヘッド用の作動側壁配列の組立体を完了
した後の図2(a)の部分的脱金属化された溝付きブロ
ックの部分拡大断面図である。
(c)の金属化された溝付きブロックの部分拡大断面図
であり、(b)はカバーがそれに取付けられてインクジ
ェットプリントヘッド用の作動側壁配列の組立体を完了
した後の図2(a)の部分的脱金属化された溝付きブロ
ックの部分拡大断面図である。
【図3】(a)は図2(b)のインクジェットプリント
ヘッド用の充分に組立られた作動側壁配列の斜視図であ
り、(b)は活性下位本体部が一連の溝の形成前に不活
性下位本体部と置換された図2(b)のインクジェット
プリントヘッド用の作動側壁配列の代替の構成の部分拡
大断面図であり、(c)は絶縁スペーサが活性中間本体
部の取付前に活性下位本体部に取付けられる図3(b)
のインクジェットプリントヘッド用の作動側壁配列の変
形例の部分拡大断面図である。
ヘッド用の充分に組立られた作動側壁配列の斜視図であ
り、(b)は活性下位本体部が一連の溝の形成前に不活
性下位本体部と置換された図2(b)のインクジェット
プリントヘッド用の作動側壁配列の代替の構成の部分拡
大断面図であり、(c)は絶縁スペーサが活性中間本体
部の取付前に活性下位本体部に取付けられる図3(b)
のインクジェットプリントヘッド用の作動側壁配列の変
形例の部分拡大断面図である。
【図4】(a)は本発明の教示によるインクジェットプ
リントヘッド用の作動側壁配列の製作に好適な極性付け
られた圧電材料のブロックの斜視図であり、(b)は第
1形成ステップが一連の溝を形成した後の図4(a)の
2B−2B線部分拡大断面図であり、(c)は金属化ス
テップ後の図4(b)の溝付きブロックの部分拡大断面
図であり、(d)は第2形成ステップが既に形成した一
連の溝を深くした後の図4(c)の金属化された溝付き
ブロックの部分拡大断面図である。
リントヘッド用の作動側壁配列の製作に好適な極性付け
られた圧電材料のブロックの斜視図であり、(b)は第
1形成ステップが一連の溝を形成した後の図4(a)の
2B−2B線部分拡大断面図であり、(c)は金属化ス
テップ後の図4(b)の溝付きブロックの部分拡大断面
図であり、(d)は第2形成ステップが既に形成した一
連の溝を深くした後の図4(c)の金属化された溝付き
ブロックの部分拡大断面図である。
【図5】(a)は部分的脱金属化ステップ後の図4
(d)の金属化された溝付きブロックの部分拡大断面図
であり、(b)はカバーがそれに取付けられてインクジ
ェットプリントヘッド用の作動側壁配列の組立を完了し
た後の図5(a)の部分的に脱金属化された溝付きブロ
ックの部分拡大断面図であり、(c)は、図5(b)の
インクジェットプリントヘッド用の充分に組立られた作
動側壁配列の斜視図である。
(d)の金属化された溝付きブロックの部分拡大断面図
であり、(b)はカバーがそれに取付けられてインクジ
ェットプリントヘッド用の作動側壁配列の組立を完了し
た後の図5(a)の部分的に脱金属化された溝付きブロ
ックの部分拡大断面図であり、(c)は、図5(b)の
インクジェットプリントヘッド用の充分に組立られた作
動側壁配列の斜視図である。
12 下位本体部 14 粘着層 16 中間本体部 18 溝 20 側壁作動器 22 下位壁部分 24 上位壁部分 26 導電層 30 上位本体部 31 内側面 32 底面 38 作動側壁配列
Claims (21)
- 【請求項1】一連の側壁作動器を備え、各作動器が活性
材料から形成された第1部分と、不活性材料から形成さ
れた第2部分とを持つインクジェットプリントヘッド用
の作動側壁配列を製作する方法において、 不活性材料から形成されて上面を持つ下位本体部と、底
面及び上面を持ち前記底面及び上面に一般に直交する方
向に極性付けられた活性圧電材料から形成された中間本
体部と、不活性材料から形成され下面を持つ上位本体部
とを形成し、 前記不活発な下位本体部の前記上面に前記活性中間本体
部の前記下面を取り付け、 各々が前記活性中間本体部及び前記不活性下位本体部の
部分を通して延長し、前記活性中間本体部の極性付け方
向と略平行に形成され、前記活性中間本体部及び前記不
活性下位本体部の内側面を露出させた一連の略平行な長
手方向に延長溝を形成し、 前記活性中間本体部及び前記不活性下位本体部の前記内
側面に導電材料の層を堆積させ、 前記活性中間本体部の前記上面に前記不活性上位本体部
の前記下面を絶縁的に取り付けて前記作動側壁配列を形
成するステップを備えた方法。 - 【請求項2】前記溝は、これらが前記活性中間本体部の
高さに一般に等しい距離分、前記不活性下位本体部に延
長するように形成される請求項1に記載のインクジェッ
トプリントヘッド用の作動側壁配列を製作する方法。 - 【請求項3】前記活性中間本体部及び前記不活性下位本
体部の部分を通して延長した一連の略平行な長手方向に
延長溝を鋸引きするステップをさらに備えた請求項1に
記載のインクジェットプリントヘッド用の作動側壁配列
を製作する方法。 - 【請求項4】一連の略平行な長手方向に延長溝を形成す
るステップは、前記活性中間本体部及び前記不活性下位
本体部の選択部分を除去して一連の略平行な長手方向延
長側壁作動器を形成するステップを更に備え、各前記側
壁作動器が第1及び第2内側面を持つ不活性下位壁部分
と、第1及び第2内側面及び上面を持つ活性上位壁部分
とを持ち、前記側壁作動器の各々は、前記不活性下位本
体部の前記選択部分の除去間に露出した前記不活性下位
本体部の内側面によって隣接の側壁作動器から分離され
た請求項1に記載のインクジェットプリントヘッド用の
作動側壁配列を製作する方法。 - 【請求項5】前記活性中間本体部及び前記不活性下位本
体部の前記内面に導電材料の層を堆積させるステップ
は、 前記活性上位壁部分の前記上面と、前記活性上位壁部分
の前記内側面と、前記不活性下位壁部分とを金属化し、 前記活性上位壁部分の前記上面を脱金属化するステップ
を更に備えた請求項1に記載のインクジェットプリント
ヘッド用の作動側壁配列を製作する方法。 - 【請求項6】前記活性上位壁部分及び前記不活性下位壁
部分の前記内側面を金属化するステップは前記下位本体
部の前記内側面を金属化するステップを更に備えた請求
項5に記載のインクジェットプリントヘッド用の作動側
壁配列を製作する方法。 - 【請求項7】前記上位及び下位側壁部分は、前記下位側
壁部分の高さが前記上位側壁部分の高さと略等しいよう
に形成される請求項6に記載のインクジェットプリント
ヘッド用の作動側壁配列を製作する方法。 - 【請求項8】不活性材料から形成されて上面を持つ下位
本体部と、底面及び上面を持ち前記底面及び上面と一般
に直交する方向に極性付けられた活性圧電材料から形成
された中間本体部と、不活性材料から形成されて下面を
持つ上位本体部とを形成し、 前記不活性下位本体部の前記上面に前記活性中間本体部
の前記下面を取付け、 前記活性中間本体部及び前記不活性下位本体部の選択部
分を除去して一連の略平行な長手方向延長側壁作動器を
形成し、各前記側壁作動器が第1及び第2内側面を持つ
不活性下位壁部分と、第1及び第2内側面及び上面を持
つ活性上位壁部分とを持ち、各々の前記側壁作動器は、
前記不活性下位本体部の前記選択部分の除去間に露出し
た前記不活性下位本体部の内側面によって隣接の側壁作
動器から分離され、 前記活性壁部分の前記上面及び内側面、前記不活性下位
壁部分の前記内側面及び前記不活性基礎部分の前記内側
面に導電材料の層を堆積させ、 前記活性上位壁部分の前記上面を脱金属化し、 前記活性上位壁部分の前記上面に前記不活性上位本体部
の前記下面を絶縁的に取り付けて前記作動側壁配列を形
成するステップを備えたインクジェットプリントヘッド
用の作動側壁配列を製作する方法。 - 【請求項9】前記上位及び下位側壁部分は、前記下位側
壁部分の高さが前記上位側壁部分の高さと略等しいよう
に形成される請求項8に記載のインクジェットプリント
ヘッド用の作動側壁配列を製作する方法。 - 【請求項10】一連の側壁作動器を備え、各作動器が第
1方向に極性付けられた第1活性材料から形成された第
1部分と、第2方向に極性付けられた第2活性材料から
形成された第2部分とを持つインクジェットプリントヘ
ッド用の作動側壁配列を製作する方法において、 下位本体部、中間本体部及び上位本体部を形成し、前記
下位本体部が上面を持ちこの上面に通常直交する第1方
向に極性付けられた活性圧電材料から形成され、前記中
間本体部が底面及び上面を持ち前記第1方向に反対で前
記底面及び上面に通常直交する第2方向に極性付けられ
た活性圧電材料から形成され、前記上位本体部が不活性
材料から形成されて下面を持ち、 前記活性下位本体部の前記上面に前記活性中間本体部の
前記下面を取付け、 前記活性中間本体部及び前記活性下位本体部の部分を通
して延長した一連の略平行な長手方向に延長溝を形成
し、前記溝は前記活性下位本体部の前記第1極性付け方
向及び前記活性中間本体部の前記第2極性付け方向と略
平行に形成され、前記溝は前記活性中間本体部及び前記
活性下位本体部の内側面を露出させ、 前記活性中間本体部及び前記不活性下位本体部の前記内
側面に導電材料の層を堆積させ、 前記活性中間本体部の前記上面に前記不活性上位本体部
の前記下面を絶縁的に取り付けて前記作動側壁配列を形
成するステップを備えた方法。 - 【請求項11】前記溝は、これらが前記活性中間本体部
の高さに通常等しい距離分前記活性下位本体部に延長す
るように形成される請求項10に記載のインクジェット
プリントヘッド用の作動側壁配列を製作する方法。 - 【請求項12】前記活性中間本体部及び前記活性下位本
体部の部分を通して延長した、一連の略平行な長手方向
に延長溝を鋸引きするステップをさらに備えた請求項1
0に記載のインクジェットプリントヘッド用の作動側壁
配列を製作する方法。 - 【請求項13】一連の略平行な長手方向に延長溝を形成
するステップは、前記活性中間本体部及び前記活性下位
本体部の選択部分を除去して一連の略平行な長手方向延
長側壁作動器を形成するステップを更に備え、各前記側
壁作動器が第1及び第2内側面を持つ活性下位壁部分
と、第1及び第2内側面及び上面を持つ活性上位壁部分
とを持ち、前記側壁作動器の各々は、前記活性下位本体
部の前記選択部分の除去間に露出した前記活性下位本体
部の内側面によって隣接の側壁作動器から分離された、
請求項10に記載のインクジェットプリントヘッド用の
作動側壁配列を製作する方法。 - 【請求項14】前記活性中間本体部及び前記活性下位本
体部の前記内部表面に導電材料の層を堆積させるステッ
プは、前記活性上位壁部分の前記上面と、前記活性上位
及び不活性下位壁部分の前記内側面を金属化し、前記活
性上位壁部分の前記上面を脱金属化するステップを更に
備えた請求項10に記載のインクジェットプリントヘッ
ド用の作動側壁配列を製作する方法。 - 【請求項15】前記活性上位壁部分及び前記活性下位壁
部分の前記内側面を金属化するステップは、前記下位本
体部の前記内側面を金属化するステップを更に備えた請
求項14に記載のインクジェットプリントヘッド用の作
動側壁配列を製作する方法。 - 【請求項16】前記上位側壁部分及び前記下位側壁部分
は、前記下位側壁部分の高さが前記上位側壁部分の高さ
とおよそ等しいように形成される請求項15に記載のイ
ンクジェットプリントヘッド用の作動側壁配列を製作す
る方法。 - 【請求項17】上面を持ちこの上面に通常直交する第1
方向に極性付けられた活性圧電材料から形成された下位
本体部と、底面及び上面を持ち絶縁材料から形成された
スペーサ部分と、底面及び上面を持ち前記第1方向に反
対で前記底面及び上面に通常直交する第2方向に極性付
けられた活性圧電材料から形成された中間本体部と、不
活性材料から形成されて下面を持つ上位本体部とを形成
し、 前記活性下位本体部の前記上面に前記絶縁スペーサ部分
の前記下面を取付け、 前記絶縁スペーサ部分の前記上面に前記活性中間本体部
の前記下面を取付け、 前記活性中間本体部、前記絶縁スペーサ部分及び前記活
性下位本体部の選択部分を除去して、一連の略平行な長
手方向延長側壁作動器を形成し、各前記側壁作動器が第
1及び第2内側面を持つ活性下位壁部分と、第1及び第
2内側面を持つ不活性スペーサ部分と、第1及び第2内
側面及び上面を持つ活性上位壁部分とを持ち、各々の前
記側壁作動器は、前記活性下位本体部の前記選択部分の
除去間に露出させられた前記活性下位本体部の内側面に
よって隣接の側壁作動器から分離され、 前記活性壁部分の前記上面及び内側面、前記絶縁スペー
サ部分の前記内側面、前記活性下位壁部分の前記内側面
及び前記活性基礎部分の前記内側面に導電材料の層を堆
積させ、 前記活性上位壁部分の前記上面を脱金属化し、 前記活性上位壁部分の前記上面に前記不活性上位本体部
の前記下面を絶縁的に取り付けて前記作動側壁配列を形
成するステップを備えたインクジェットプリントヘッド
用の作動側壁配列を製作する方法。 - 【請求項18】上面及び底面を持ちこれらの上面及び底
面に一般に直角である第1方向に極性付けられた活性圧
電材料から形成された下位本体部を形成し、 前記上面から前記下位本体部に特定距離分延長した一連
の略平行な長手方向に延長溝を形成し、 前記溝が前記形成ステップ間に露出させられた前記下位
本体部の第1内側面を定義し、 前記下位本体部の前記第1内側面に導電材料の層を堆積
させ、 前記下位本体部の第2内側面を露出させるために、前記
下位本体部で形成された前記溝を深くし、 前記活性中間本体部の前記上面に前記不活性上位本体部
の前記下面を絶縁的に取り付けて前記作動側壁配列を形
成するステップを備えたインクジェットプリントヘッド
用のための作動側壁配列を製作する方法。 - 【請求項19】前記下位本体部の前記内側面に導電材料
の層を堆積させるステップは、 前記上位壁部分の前記上面及び内側面に導電材料の層を
堆積させ、 前記上位壁部分の前記上面に堆積させられた導電材料の
一部分の前記層を除去するステップをさらに備えた請求
項18に記載のインクジェットプリントヘッド用の作動
側壁配列を製作する方法。 - 【請求項20】上面及び底面を持ちこれらの上面及び底
面に一般に直角である第1方向に極性付けられた活性圧
電材料から形成された下位本体部を形成し、 前記活性下位本体部の第1の選択された部分を除去して
一連の略平行な長手方向延長上位側壁部分を形成し、各
前記上位側壁部分が第1及び第2内側面を持ち、 前記上位側壁部分の各前記第1及び第2内側面に導電材
料の層を堆積させ、 前記活性下位本体部の第2の選択された部分を除去して
一連の略平行な長手方向延長下位側壁部分を形成し、各
々が第1及び第2内側面を持って前記上位側壁部分の対
応するものと一体形成され、各々の前記下位側壁部分及
び前記対応の上位側壁部分が共に一体形成されて前記作
動側壁配列用の側壁作動器を定義し、前記上位壁部分の
前記上面に前記不活性上位本体部の前記下面を絶縁的に
取り付けて前記作動側壁配列を形成するステップを備え
たインクジェットプリントヘッド用のための作動側壁配
列を製作する方法。 - 【請求項21】前記下位本体部の前記内側面に導電材料
の層を堆積させるステップは、 前記上位壁部分の前記上面及び内側面に導電材料の層を
堆積させ、 前記上位壁部分の前記上面に堆積させられた導電材料の
一部分の前記層を除去するステップをさらに備えた請求
項20に記載のインクジェットプリントヘッド用の作動
側壁配列を製作する方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US08/259,518 US5543009A (en) | 1991-08-16 | 1994-06-14 | Method of manufacturing a sidewall actuator array for an ink jet printhead |
US259,518 | 1994-06-14 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07329308A true JPH07329308A (ja) | 1995-12-19 |
Family
ID=22985275
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7171421A Pending JPH07329308A (ja) | 1994-06-14 | 1995-06-14 | インクジェットプリントヘッド用の作動側壁配列を製作する方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5543009A (ja) |
EP (1) | EP0695639A3 (ja) |
JP (1) | JPH07329308A (ja) |
CA (1) | CA2151206A1 (ja) |
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