JPH07316839A - 樹脂付着を低減したｃｂｎ多結晶複合部材 - Google Patents
樹脂付着を低減したｃｂｎ多結晶複合部材Info
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- JPH07316839A JPH07316839A JP13816694A JP13816694A JPH07316839A JP H07316839 A JPH07316839 A JP H07316839A JP 13816694 A JP13816694 A JP 13816694A JP 13816694 A JP13816694 A JP 13816694A JP H07316839 A JPH07316839 A JP H07316839A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
-
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- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
- C04B41/5053—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials non-oxide ceramics
- C04B41/5062—Borides, Nitrides or Silicides
- C04B41/5064—Boron nitride
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- Inorganic Chemistry (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は樹脂の付着及びその弊害に耐え得る
ＣＢＮ多結晶複合部材を創生し、かつその合金を用いて
高信頼性、長寿命の各種金型関連部材を提供することに
ある。 【構成】 表面を耐摩耗性及び耐樹脂付着性に富むＣＢ
Ｎ多結晶とし下地をＣＢＮ多結晶複合材よりも靱性に富
む超硬またはサーメットまたはセラミッとする。
ＣＢＮ多結晶複合部材を創生し、かつその合金を用いて
高信頼性、長寿命の各種金型関連部材を提供することに
ある。 【構成】 表面を耐摩耗性及び耐樹脂付着性に富むＣＢ
Ｎ多結晶とし下地をＣＢＮ多結晶複合材よりも靱性に富
む超硬またはサーメットまたはセラミッとする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、樹脂の付着を低減して
信頼性及び使用寿命を改善した各種ＣＢＮ多結晶複合部
材に関するものである。
信頼性及び使用寿命を改善した各種ＣＢＮ多結晶複合部
材に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】リードフレームにＩＣをマウントする工
程には従来より 各種の超硬製のパンチ、ダイが数多く
使用されている。特にＩＣを環境から保護するための樹
脂モールドが一般的であるため、樹脂タブレット製造の
ための臼、杵 射出成形部のポット、プランジャー、樹
脂導入口のゲート、レジン樹脂を除去するレジンカット
パンチなどは直接または間接に樹脂と接触するものが数
多くある。ところが、最近樹脂の高性能化のためフィラ
ー剤であるシリカの含有量が高くかつ腐食性のガスを多
量に発生させるような種類の樹脂が使用されはじめた。
程には従来より 各種の超硬製のパンチ、ダイが数多く
使用されている。特にＩＣを環境から保護するための樹
脂モールドが一般的であるため、樹脂タブレット製造の
ための臼、杵 射出成形部のポット、プランジャー、樹
脂導入口のゲート、レジン樹脂を除去するレジンカット
パンチなどは直接または間接に樹脂と接触するものが数
多くある。ところが、最近樹脂の高性能化のためフィラ
ー剤であるシリカの含有量が高くかつ腐食性のガスを多
量に発生させるような種類の樹脂が使用されはじめた。
【０００３】そのため、このような樹脂と接触する超硬
部材は硬いシリカによって表面が摩耗して凹凸がはげし
くなる。凹凸が激しくなると樹脂が 部材の表面に付着
しやすくなり、次には付着した樹脂から発生する腐食性
のガスのために超硬部材の金属バインダー部分が侵食さ
れ表面のダメージが助長される。
部材は硬いシリカによって表面が摩耗して凹凸がはげし
くなる。凹凸が激しくなると樹脂が 部材の表面に付着
しやすくなり、次には付着した樹脂から発生する腐食性
のガスのために超硬部材の金属バインダー部分が侵食さ
れ表面のダメージが助長される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来の超
硬では最近の樹脂に含有されるシリカの硬さおよび腐食
性ガスに負けて表面の凹凸が激しくなりそれが樹脂の付
着を誘発し、信頼性および使用寿命を激減させる。
硬では最近の樹脂に含有されるシリカの硬さおよび腐食
性ガスに負けて表面の凹凸が激しくなりそれが樹脂の付
着を誘発し、信頼性および使用寿命を激減させる。
【０００５】
【課題を解決するための手段】シリカの硬さに勝つには
超硬合金よりもさらに硬い材料、例えばセラミックスや
ＣＢＮ多結晶とすることが理想的である。
超硬合金よりもさらに硬い材料、例えばセラミックスや
ＣＢＮ多結晶とすることが理想的である。
【０００６】本発明者らは、当初超硬合金に替え各種の
セラミックスならびにサーメットを用いて本発明の目的
を達すべく種々検討を行なってきた。しかしながらセラ
ミックスやサーメットでは多少の効果はあるもののある
時間使用するとやはり超硬合金と同様に凹凸が激しくな
り樹脂の付着が生じてしまうことが問題であった。そこ
で、超耐摩耗物質であるＣＢＮを含有したＣＢＮ多結晶
で部材全体を作製することを考えたが、狙いとする部材
あるいは部品は総じて複雑形状を呈しているため実際上
は不可能と思われる。そこで作業を担う部材の表面近傍
のみをＣＢＮ多結晶体とし、その他の部位は用途に応じ
て超硬やサーメットもしくはセラミックスとした複合の
材料とすることで目的を達成することが出来た。以下、
特許請求の範囲に従って詳細に説明する。
セラミックスならびにサーメットを用いて本発明の目的
を達すべく種々検討を行なってきた。しかしながらセラ
ミックスやサーメットでは多少の効果はあるもののある
時間使用するとやはり超硬合金と同様に凹凸が激しくな
り樹脂の付着が生じてしまうことが問題であった。そこ
で、超耐摩耗物質であるＣＢＮを含有したＣＢＮ多結晶
で部材全体を作製することを考えたが、狙いとする部材
あるいは部品は総じて複雑形状を呈しているため実際上
は不可能と思われる。そこで作業を担う部材の表面近傍
のみをＣＢＮ多結晶体とし、その他の部位は用途に応じ
て超硬やサーメットもしくはセラミックスとした複合の
材料とすることで目的を達成することが出来た。以下、
特許請求の範囲に従って詳細に説明する。
【０００７】
【作用】まず、表層のＡ部の組成から説明する。主構成
要素である立方晶ＢＮ（ＣＢＮ）の含有量は１００−５
０Ｗ％に限定する。５０Ｗ％未満では充分な耐摩耗性が
確保できず樹脂の耐付着効果が発揮できないＣＢＮが１
００Ｗ％近くになると極めて難燒結性となるため場合に
よっては燒結助剤を用いる。燒結助剤は文字どおり燒結
を援助して１００％緻密な燒結体を得るために用いるが
この場合耐摩耗性を極端に犠牲にしては本発明の主旨に
反する。このために耐火物と総称される一群の化合物あ
るいはそれらの固溶体を添加して燒結助剤の役目を担わ
せると良い効果が得られる。耐火物は一般に熱に強いこ
とに加えてＣＢＮ、ダイヤを除けば地球上で最も硬い物
質の一群であり、本発明の主旨に充分適うものである。
要素である立方晶ＢＮ（ＣＢＮ）の含有量は１００−５
０Ｗ％に限定する。５０Ｗ％未満では充分な耐摩耗性が
確保できず樹脂の耐付着効果が発揮できないＣＢＮが１
００Ｗ％近くになると極めて難燒結性となるため場合に
よっては燒結助剤を用いる。燒結助剤は文字どおり燒結
を援助して１００％緻密な燒結体を得るために用いるが
この場合耐摩耗性を極端に犠牲にしては本発明の主旨に
反する。このために耐火物と総称される一群の化合物あ
るいはそれらの固溶体を添加して燒結助剤の役目を担わ
せると良い効果が得られる。耐火物は一般に熱に強いこ
とに加えてＣＢＮ、ダイヤを除けば地球上で最も硬い物
質の一群であり、本発明の主旨に充分適うものである。
【０００８】耐火物は、遷移金属と称される４Ａ、５
Ａ、６Ａ族の元素と非金属元素のＢ、Ｃ、Ｎ、Ｏが化学
結合したものである。また遷移金属ではないがＡｌ、Ｓ
ｉまたは２Ａ族元素すなわちＭｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａや
該元素と非金属元素のＢ、Ｃ、Ｎ、Ｏの化合物を添加す
ると適性燒結温度を低下させたり、ＣＢＮとの濡れ性を
良くして密度比がほぼ１００％の燒結体へと導く効果が
現われる。場合によってはＣＢＮ燒結体の靱性をいま一
歩上げたいという特性上の要求を満足させたいこともあ
る。この場合はＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉを適宜添加してよい。
ただし３０Ｗ％を越えて添加すると耐摩耗性が低下して
本発明の主旨に反する。Ｃｒは６Ａ族でＦｅ族ではない
がＣＢＮとの濡れ性が良くほぼＦｅ族と同様と考えて良
い。
Ａ、６Ａ族の元素と非金属元素のＢ、Ｃ、Ｎ、Ｏが化学
結合したものである。また遷移金属ではないがＡｌ、Ｓ
ｉまたは２Ａ族元素すなわちＭｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａや
該元素と非金属元素のＢ、Ｃ、Ｎ、Ｏの化合物を添加す
ると適性燒結温度を低下させたり、ＣＢＮとの濡れ性を
良くして密度比がほぼ１００％の燒結体へと導く効果が
現われる。場合によってはＣＢＮ燒結体の靱性をいま一
歩上げたいという特性上の要求を満足させたいこともあ
る。この場合はＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉを適宜添加してよい。
ただし３０Ｗ％を越えて添加すると耐摩耗性が低下して
本発明の主旨に反する。Ｃｒは６Ａ族でＦｅ族ではない
がＣＢＮとの濡れ性が良くほぼＦｅ族と同様と考えて良
い。
【０００９】ＣＢＮ多結晶体もしくはＣＢＮ含有燒結体
の製造は一般にはＣＢＮの変態を防止するためにＣＢＮ
の合成法と同様に温度１４００Ｃ以上圧力４．５万気圧
以上の高温超高圧下で行なうが、ＣＢＮはダイヤに比べ
て安定度が高く、ＣＢＮ体の組成を選べば一般のホット
プレス条件でもＣＢＮの変態を生じさせることなく燒結
体を得ることが可能である。さらに驚くべきことに例え
ばＣＢＮ粒の表面に燒結の助剤となるべき、先ほど述べ
たような物質をメッキ法やプラズマフレーム法で被覆し
た”被覆ＣＢＮ”粒を用いると所謂シンターヒップ法や
通常の常圧燒結法でも燒結体を得ることができる。これ
ら各種の燒結法を行なう際に基体としてＢ部の材料の燒
結体もしくはプレス体を用いると燒結と平行してＡ部と
Ｂ部の接合が可能となる。この場合例外なく両者の構成
元素のうちの１種または２種以上が他方へ移動する拡散
現象が生じるため特に強固な接合が可能となる。
の製造は一般にはＣＢＮの変態を防止するためにＣＢＮ
の合成法と同様に温度１４００Ｃ以上圧力４．５万気圧
以上の高温超高圧下で行なうが、ＣＢＮはダイヤに比べ
て安定度が高く、ＣＢＮ体の組成を選べば一般のホット
プレス条件でもＣＢＮの変態を生じさせることなく燒結
体を得ることが可能である。さらに驚くべきことに例え
ばＣＢＮ粒の表面に燒結の助剤となるべき、先ほど述べ
たような物質をメッキ法やプラズマフレーム法で被覆し
た”被覆ＣＢＮ”粒を用いると所謂シンターヒップ法や
通常の常圧燒結法でも燒結体を得ることができる。これ
ら各種の燒結法を行なう際に基体としてＢ部の材料の燒
結体もしくはプレス体を用いると燒結と平行してＡ部と
Ｂ部の接合が可能となる。この場合例外なく両者の構成
元素のうちの１種または２種以上が他方へ移動する拡散
現象が生じるため特に強固な接合が可能となる。
【００１０】なお、燒結後所謂ＨＩＰ処理をして一層の
高密度化と高信頼性を図ることも場合によっては勿論可
能である。つぎに、表層Ａ部の基体となるＢ部について
は超硬、サーメット、セラミックスいずれでもその用途
に応じて選択が可能である。ただし超硬、サーメットを
選択する場合は、選択理由としてその高い靱性によるこ
とが多い。そのため硬さがＨＲＡ９４以下の材種を選択
することがまずは無難である。それを越えると靱性が低
下しそれらの材料を選択した意味が不明瞭となる。なお
サーメットに関しては一般に流布しているＴｉＣ系また
はＴｉＣＮ系が靱性面から推奨される。セラミックスを
選定する場合は選定理由がその持つ高い剛性に因る場合
が多い。アルミナ系、アルミナ−ＴｉＣ系、ジルコニア
系、Ｓｉ３Ｎ４系、サイアロン系、ＳｉＣ系セラミック
スはいずれもその用途に応じて使用が可能である。いま
一歩の靱性を望む場合は繊維強化あるいはウイスカ強化
された該セラミックスの使用が可能である。
高密度化と高信頼性を図ることも場合によっては勿論可
能である。つぎに、表層Ａ部の基体となるＢ部について
は超硬、サーメット、セラミックスいずれでもその用途
に応じて選択が可能である。ただし超硬、サーメットを
選択する場合は、選択理由としてその高い靱性によるこ
とが多い。そのため硬さがＨＲＡ９４以下の材種を選択
することがまずは無難である。それを越えると靱性が低
下しそれらの材料を選択した意味が不明瞭となる。なお
サーメットに関しては一般に流布しているＴｉＣ系また
はＴｉＣＮ系が靱性面から推奨される。セラミックスを
選定する場合は選定理由がその持つ高い剛性に因る場合
が多い。アルミナ系、アルミナ−ＴｉＣ系、ジルコニア
系、Ｓｉ３Ｎ４系、サイアロン系、ＳｉＣ系セラミック
スはいずれもその用途に応じて使用が可能である。いま
一歩の靱性を望む場合は繊維強化あるいはウイスカ強化
された該セラミックスの使用が可能である。
【００１１】Ａ部とＢ部の接合に関しては、先ほど述べ
た燒結接合のほかろう付け、溶接、通電加熱接合など適
宜選択実行することができる。本発明は、樹脂付着の低
減と部材の使用寿命の延長が主目的である。このため本
発明のＣＢＮ複合材は樹脂モールド用のポット、プラン
ジャー、樹脂タブレット成形用の臼と杵、ＩＣモールド
金型 のゲート、樹脂除去用のレジンカットやダイなど
の部材の全体あるいは１部に使用すると顕著な効果が期
待できる。なお、Ａ部の厚みは用途によって規定される
ものであり、薄すぎると充分な耐摩耗性が確保できず凹
凸が生じ易くなり本発明の主旨に反する。また厚すぎる
と耐摩耗性は確保できるものの破壊靱性値の低下が生じ
折損しやすくなりやはり本発明の主旨に反する。
た燒結接合のほかろう付け、溶接、通電加熱接合など適
宜選択実行することができる。本発明は、樹脂付着の低
減と部材の使用寿命の延長が主目的である。このため本
発明のＣＢＮ複合材は樹脂モールド用のポット、プラン
ジャー、樹脂タブレット成形用の臼と杵、ＩＣモールド
金型 のゲート、樹脂除去用のレジンカットやダイなど
の部材の全体あるいは１部に使用すると顕著な効果が期
待できる。なお、Ａ部の厚みは用途によって規定される
ものであり、薄すぎると充分な耐摩耗性が確保できず凹
凸が生じ易くなり本発明の主旨に反する。また厚すぎる
と耐摩耗性は確保できるものの破壊靱性値の低下が生じ
折損しやすくなりやはり本発明の主旨に反する。
【００１２】
【実施例】所定の組成に調合し成型し、または成型後焼
結したＣＢＮ多結晶体をＡ部用として用意した。さら
に、Ｂ部用としてＷＣ、Ｃｏ、Ｃｒなどの原料粉末を所
定の比に秤量後アルコールを分散剤として用いボールミ
ルで７２時間湿式混合した。 次にスプレードライで混
合粉を乾燥、造粒後所定の形状にプレス成形した。この
ようにして得られた成形体をＡ部用と重ねて焼結（処理
１）する、または焼結後銀ろう付けする（処理２）また
は焼結後通電加熱（処理３）する、または金属薄を２種
の焼結体間に挿入し通電加熱（処理４）するなどの手段
を用いて接合した。
結したＣＢＮ多結晶体をＡ部用として用意した。さら
に、Ｂ部用としてＷＣ、Ｃｏ、Ｃｒなどの原料粉末を所
定の比に秤量後アルコールを分散剤として用いボールミ
ルで７２時間湿式混合した。 次にスプレードライで混
合粉を乾燥、造粒後所定の形状にプレス成形した。この
ようにして得られた成形体をＡ部用と重ねて焼結（処理
１）する、または焼結後銀ろう付けする（処理２）また
は焼結後通電加熱（処理３）する、または金属薄を２種
の焼結体間に挿入し通電加熱（処理４）するなどの手段
を用いて接合した。
【００１３】こうして得られた接合部材をＡ部が樹脂と
の接触部であるようにして樹脂モールド用のポット、プ
ランジャー、樹脂タブレット成形用臼、杵、ＩＣの樹脂
モールド金型のゲート、レジンカットパンチおよびダイ
を作製し従来品と比較し、樹脂の付着状況、折損頻度お
よび耐摩耗性を調査した。折損頻度は樹脂の付着により
パンチの軸がずれたり摩擦抵抗が増えたりするなどのた
めに増加するため、本発明の効果の目安とした。
の接触部であるようにして樹脂モールド用のポット、プ
ランジャー、樹脂タブレット成形用臼、杵、ＩＣの樹脂
モールド金型のゲート、レジンカットパンチおよびダイ
を作製し従来品と比較し、樹脂の付着状況、折損頻度お
よび耐摩耗性を調査した。折損頻度は樹脂の付着により
パンチの軸がずれたり摩擦抵抗が増えたりするなどのた
めに増加するため、本発明の効果の目安とした。
【００１４】
【表１】
【００１５】
【表２】
【００１６】
【発明の効果】このように、表面をＣＢＮ多結晶複合材
料とし、内部をＣＢＮ粒よりも硬さが低い材料とした２
重構造の複合部材を用いた各種部材は樹脂の付着が少な
く、折損頻度も僅少でかつ耐摩耗性に富む性質を得るこ
とが出来る。
料とし、内部をＣＢＮ粒よりも硬さが低い材料とした２
重構造の複合部材を用いた各種部材は樹脂の付着が少な
く、折損頻度も僅少でかつ耐摩耗性に富む性質を得るこ
とが出来る。
Claims (17)
- 【請求項１】 充分な厚みを持つ表層部（以下Ａ部と略
称する）が超耐摩耗粒子であるＣＢＮが分散した超硬質
ＣＢＮ多結晶燒結体あり、内部（以下Ｂ部と略称する）
がＣＢＮより硬さが低い燒結体であることを特徴とする
樹脂付着を低減したＣＢＮ多結晶複合部材。 - 【請求項２】 請求項１において、Ｂ部が硬さＨＲＡ９
４以下のＷＣ基超硬合金またはＴｉＣまたはＴｉＣＮ基
サーメットであることを特徴とする樹脂付着を低減した
ＣＢＮ多結晶複合部材。 - 【請求項３】 請求項１において、Ｂ部がアルミナ系セ
ラミックスまたはアルミナ−ＴｉＣ系セラミックスまた
はジルコニア系セラミックスまたはＳｉ３Ｎ４系セラミ
ックスまたはサイアロン系セラミックスまたはＳｉＣ系
セラミックスであることを特徴とする樹脂付着を低減し
たＣＢＮ多結晶複合部材。 - 【請求項４】 請求項３において、セラミックスが繊維
強化またはウイスカ強化されたセラミックスであること
を特徴とする樹脂付着を低減したＣＢＮ多結晶複合部
材。 - 【請求項５】 請求項１〜４において、Ａ部がＣＢＮが
１００−５０重量％（以下Ｗ％と略称）と周期律表２
Ａ、４Ａ、５Ａ、６Ａ族遷移金属およびＡｌ、Ｓｉから
なる群より選んだ１種以上の元素とＢ、Ｃ、Ｎ、Ｏから
なる群より選んだ１種以上の非金属元素の化合物の１種
以上もしくは２種以上からなる固溶体が０−５０Ｗ％お
よびＦｅ族金属およびＣｒからなる群より選んだ１種以
上の金属元素が０−３０Ｗ％および不可避不純物で構成
されることを特徴とする樹脂付着を低減したＣＢＮ多結
晶複合部材。 - 【請求項６】 半導体素子（以下ＩＣと略称）の樹脂モ
ールド用のポットまたはプランジャーの全体または１部
が特許請求の範囲１〜５項で構成されることを特徴とす
る樹脂付着を低減したＣＢＮ多結晶複合部材。 - 【請求項７】 ＩＣの樹脂モールド用の樹脂タブレット
を成形するための臼または杵の全体または１部が特許請
求の範囲１〜５項で構成されることを特徴とする樹脂付
着を低減したＣＢＮ多結晶複合部材。 - 【請求項８】 ＩＣの樹脂モールド用金型の樹脂が注入
されるゲート部部品（以下ゲートと略称）の全体または
１部が請求項１〜５項で構成されることを特徴とする樹
脂付着を低減したＣＢＮ多結晶複合部材。 - 【請求項９】 リードフレーム上へのＩＣ装着工程にお
いて付着した樹脂を除去するためのパンチまたはダイ
（以下レジンカットパンチまたはダイと略称）の全体ま
たは１部が請求項１〜５項で構成されることを特徴とす
る樹脂付着を低減したＣＢＮ多結晶複合部材。 - 【請求項１０】 請求項１〜９において、Ａ部とＢ部の
境界部近傍においてＡ部またはＢ部の構成元素の１種ま
たは２種以上が濃度勾配を持つことを特徴とする樹脂付
着を低減したＣＢＮ多結晶複合部材。 - 【請求項１１】 請求項１〜９において、Ａ部とＢ部を
金属ろうで接合したことを特徴とする樹脂付着を低減し
たＣＢＮ多結晶複合部材。 - 【請求項１２】 請求項１〜５において、請求項１に示
すＡ部とＢ部を通電加熱法で接合したことを特徴とする
樹脂付着を低減したＣＢＮ多結晶複合部材。 - 【請求項１３】 請求項１〜１０において、Ａ部とＢ部
の間に金属の箔片を挿入して溶接接合したことを特徴と
するＣＢＮ多結晶複合部材。 - 【請求項１４】 請求項１〜１０において、Ａ部とＢ部
を同時に燒結してかつ接合することを特徴とするＣＢＮ
多結晶部材。 - 【請求項１５】 請求項１〜１３において、Ａ部材を得
るのに高温超高圧下で燒結することを特徴とする樹脂付
着を低減したＣＢＮ多結晶複合部材。 - 【請求項１６】 請求項１〜１３において、Ａ部材を得
るのにいわゆるホットプレス法によることを特徴とする
樹脂付着を低減したＣＢＮ多結晶複合部材。 - 【請求項１７】 請求項１〜１６において、Ａ部材を得
るのにＣＢＮ粒の表面にＡ材を構成する他の化合物また
は金属の１種または２種以上を被覆した被覆ＣＢＮ粒用
いることを特徴とする樹脂付着を低減したＣＢＮ多結晶
複合部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13816694A JPH07316839A (ja) | 1994-05-27 | 1994-05-27 | 樹脂付着を低減したｃｂｎ多結晶複合部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13816694A JPH07316839A (ja) | 1994-05-27 | 1994-05-27 | 樹脂付着を低減したｃｂｎ多結晶複合部材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07316839A true JPH07316839A (ja) | 1995-12-05 |
Family
ID=15215576
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13816694A Pending JPH07316839A (ja) | 1994-05-27 | 1994-05-27 | 樹脂付着を低減したｃｂｎ多結晶複合部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07316839A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010512300A (ja) * | 2006-12-11 | 2010-04-22 | エレメント シックス （プロダクション）（プロプライエタリィ） リミテッド | 立方体窒化ホウ素成形体 |
-
1994
- 1994-05-27 JP JP13816694A patent/JPH07316839A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010512300A (ja) * | 2006-12-11 | 2010-04-22 | エレメント シックス （プロダクション）（プロプライエタリィ） リミテッド | 立方体窒化ホウ素成形体 |
| JP2013032285A (ja) * | 2006-12-11 | 2013-02-14 | Element Six (Production) (Pty) Ltd | 立方晶窒化ホウ素成形体 |
| US9597774B2 (en) | 2006-12-11 | 2017-03-21 | Element Six Abrasives S.A. | Cubic boron nitride compacts |
| US9636800B2 (en) | 2006-12-11 | 2017-05-02 | Element Six Abrasives S.A. | Cubic boron nitride compacts |
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