JPH07310657A - 真空排気装置 - Google Patents
真空排気装置Info
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- JPH07310657A JPH07310657A JP12431494A JP12431494A JPH07310657A JP H07310657 A JPH07310657 A JP H07310657A JP 12431494 A JP12431494 A JP 12431494A JP 12431494 A JP12431494 A JP 12431494A JP H07310657 A JPH07310657 A JP H07310657A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 水素ガスに対して高い排気能力を有し、極め
て低い圧力まで優れた排気能力を実現できる真空排気装
置を提供すること。 【構成】 単数又は複数の開閉弁、単数又は複数の機械
式真空ポンプ、これらを接続する排気管を具備する真空
排気装置において、機械式真空ポンプ（４−１）の排気
口（４−１ａ）に接続する排気管（７）の管壁の一部の
材料にパラジウムを用いた。
て低い圧力まで優れた排気能力を実現できる真空排気装
置を提供すること。 【構成】 単数又は複数の開閉弁、単数又は複数の機械
式真空ポンプ、これらを接続する排気管を具備する真空
排気装置において、機械式真空ポンプ（４−１）の排気
口（４−１ａ）に接続する排気管（７）の管壁の一部の
材料にパラジウムを用いた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は真空容器内のガスを排気
するための真空排気装置に関し、特に高真空中における
水素ガスの高速排気に好適な真空排気装置に関するもの
である。
するための真空排気装置に関し、特に高真空中における
水素ガスの高速排気に好適な真空排気装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来技術】図４は従来のこの種の真空排気装置の構成
例を示す図である。同図において、１は真空容器であ
り、該真空容器１内を高真空に排気するために主ポンプ
４−１と補助ポンプ４−２とを直列に配置し、排気管７
で接続している。主ポンプ４−１と補助ポンプ４−２と
の間の排気管７に排気管電磁弁５を設けている。真空容
器１と補助ポンプ４−２とを粗引ライン８で接続し、そ
の途中に粗引ライン電磁弁６を設けている。
例を示す図である。同図において、１は真空容器であ
り、該真空容器１内を高真空に排気するために主ポンプ
４−１と補助ポンプ４−２とを直列に配置し、排気管７
で接続している。主ポンプ４−１と補助ポンプ４−２と
の間の排気管７に排気管電磁弁５を設けている。真空容
器１と補助ポンプ４−２とを粗引ライン８で接続し、そ
の途中に粗引ライン電磁弁６を設けている。
【０００３】ゲートバルブ２は真空容器１と排気系とを
開閉するものであり、真空容器１と主ポンプ４−１との
間に設けている。主ポンプ４−１は真空容器１内のガス
を高真空で吸気し、昇圧して低真空又は中真空で排気口
４−１ａより排気する。真空容器１内が大気圧の場合、
ゲートバルブ２を閉じて粗引ライン８の粗引ライン電磁
弁６を開き、補助ポンプ４−２で真空容器１内のガスを
粗引することができる。
開閉するものであり、真空容器１と主ポンプ４−１との
間に設けている。主ポンプ４−１は真空容器１内のガス
を高真空で吸気し、昇圧して低真空又は中真空で排気口
４−１ａより排気する。真空容器１内が大気圧の場合、
ゲートバルブ２を閉じて粗引ライン８の粗引ライン電磁
弁６を開き、補助ポンプ４−２で真空容器１内のガスを
粗引することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】高真空排気ポンプとし
て、クライオポンプ及びターボ分子ポンプが現在多用さ
れている。クライオポンプは、主にギフォード・マクマ
ホン冷凍機又はスターリング冷凍機により冷却プレート
又は冷却プレートに取り付けられた活性炭を極低温に冷
却し、この冷却プレートが酸素、窒素、二酸化炭素及び
水蒸気などのガス分子を凍結によりトラップし、更に冷
却プレートに取付けられた活性炭が主に水素ガスを物理
吸着し、高真空を得る真空ポンプである。このポンプは
水素ガスに対して以下の欠点を有している。
て、クライオポンプ及びターボ分子ポンプが現在多用さ
れている。クライオポンプは、主にギフォード・マクマ
ホン冷凍機又はスターリング冷凍機により冷却プレート
又は冷却プレートに取り付けられた活性炭を極低温に冷
却し、この冷却プレートが酸素、窒素、二酸化炭素及び
水蒸気などのガス分子を凍結によりトラップし、更に冷
却プレートに取付けられた活性炭が主に水素ガスを物理
吸着し、高真空を得る真空ポンプである。このポンプは
水素ガスに対して以下の欠点を有している。
【０００５】（１）水素ガスに対する排気速度が遅いこ
と、（２）水素排気の継続時間が短く、再生（真空ポン
プの排気運転を止め、トラップ分子を気化・排出する作
業）を頻繁に行なわなければならないこと、（３）更に
活性炭に物理吸着させた水素ガスを完全に再生させるた
めの再生時間が長くかかること。
と、（２）水素排気の継続時間が短く、再生（真空ポン
プの排気運転を止め、トラップ分子を気化・排出する作
業）を頻繁に行なわなければならないこと、（３）更に
活性炭に物理吸着させた水素ガスを完全に再生させるた
めの再生時間が長くかかること。
【０００６】ターボ分子ポンプは、主に２０〜３０段の
タービン翼列を持つロータを２０，０００〜５０，００
０ｒｐｍで高速回転させることにより、高真空ガスを圧
縮し、排気する真空ポンプである。このターボ分子ポン
プも水素ガスに対する排気能力が低いという問題点を有
している。
タービン翼列を持つロータを２０，０００〜５０，００
０ｒｐｍで高速回転させることにより、高真空ガスを圧
縮し、排気する真空ポンプである。このターボ分子ポン
プも水素ガスに対する排気能力が低いという問題点を有
している。
【０００７】ターボ分子ポンプの排気速度を評価する要
素として、各ガスに対する圧縮比がある。ここで圧縮比
とは、ターボ分子ポンプの吸気側の圧力に対する排気側
の圧力の比であり、ガス分子の運動速度とロータのター
ビン翼列の回転速度と段数が決定要素となる。水素ガス
の運動速度は非常に速く、必然的にターボ分子ポンプの
水素ガスに対する圧縮比は小さくなる。真空容器１内の
水素分圧が所定圧力よりも低くなると急速に水素の排気
速度が低下するのが現状である。
素として、各ガスに対する圧縮比がある。ここで圧縮比
とは、ターボ分子ポンプの吸気側の圧力に対する排気側
の圧力の比であり、ガス分子の運動速度とロータのター
ビン翼列の回転速度と段数が決定要素となる。水素ガス
の運動速度は非常に速く、必然的にターボ分子ポンプの
水素ガスに対する圧縮比は小さくなる。真空容器１内の
水素分圧が所定圧力よりも低くなると急速に水素の排気
速度が低下するのが現状である。
【０００８】真空容器１内の圧力が中真空から高真空領
域においては真空容器１内の残留ガスの主成分は通常水
蒸気である。更に長時間真空引きを行なったり、真空容
器のベーキングを行なったりすることにより、真空容器
１内の圧力は更に低くなると、真空容器１内の残留ガス
の水素比率が高くなってくる。真空容器１内の圧力を下
げようとする場合、真空ポンプの水素に対する排気能力
が大きな要素となる。
域においては真空容器１内の残留ガスの主成分は通常水
蒸気である。更に長時間真空引きを行なったり、真空容
器のベーキングを行なったりすることにより、真空容器
１内の圧力は更に低くなると、真空容器１内の残留ガス
の水素比率が高くなってくる。真空容器１内の圧力を下
げようとする場合、真空ポンプの水素に対する排気能力
が大きな要素となる。
【０００９】また、半導体製造装置のイオン注入装置や
スパッタリング装置においては、これらの真空容器内の
水分子が分解して水素ガスとなり、真空容器内の水素分
子が高くなるため、これらに用いられる真空ポンプ又は
排気装置は水素ガスに対して高い排気能力が要求され
る。
スパッタリング装置においては、これらの真空容器内の
水分子が分解して水素ガスとなり、真空容器内の水素分
子が高くなるため、これらに用いられる真空ポンプ又は
排気装置は水素ガスに対して高い排気能力が要求され
る。
【００１０】本発明は上述の点に鑑みてなされたもの
で、水素ガスに対して高い排気能力を有し、極めて低い
圧力まで優れた排気能力を実現できる真空排気装置を提
供することを目的とする。
で、水素ガスに対して高い排気能力を有し、極めて低い
圧力まで優れた排気能力を実現できる真空排気装置を提
供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明は、単数又は複数の開閉弁、単数又は複数の機械
式真空ポンプ、これらを接続する排気管を具備する真空
排気装置において、機械式真空ポンプの排気口に接続す
る排気管の管壁の一部の材料にパラジウムを用いたこと
を特徴とする。
本発明は、単数又は複数の開閉弁、単数又は複数の機械
式真空ポンプ、これらを接続する排気管を具備する真空
排気装置において、機械式真空ポンプの排気口に接続す
る排気管の管壁の一部の材料にパラジウムを用いたこと
を特徴とする。
【００１２】また、単数の機械式真空ポンプ又は複数の
機械式真空ポンプの主ポンプがターボ分子ポンプであ
り、該主ポンプの排気管又は主ポンプと補助ポンプとを
結ぶ排気管の管壁の一部の材料にパラジウムを用いたこ
とを特徴とする。
機械式真空ポンプの主ポンプがターボ分子ポンプであ
り、該主ポンプの排気管又は主ポンプと補助ポンプとを
結ぶ排気管の管壁の一部の材料にパラジウムを用いたこ
とを特徴とする。
【００１３】また、パラジウムを用いた管壁の近傍にヒ
ータを設置したことを特徴とする。
ータを設置したことを特徴とする。
【００１４】また、パラジウムを用いた管壁の大気側に
水素分圧の低いガスを導入し、パラジウムを用いた管壁
の大気側のガスを強制的に該水素分圧の低いガスに置換
することを特徴とする。
水素分圧の低いガスを導入し、パラジウムを用いた管壁
の大気側のガスを強制的に該水素分圧の低いガスに置換
することを特徴とする。
【００１５】
【作用】パラジウム板は水素ガスのみを容易に透過させ
る性質を持つ。特に加熱され昇温されたパラジウム板は
非常に良く水素ガスを透過させる。本発明は上記のよう
に機械式真空ポンプの排気口に接続する排気管の管壁の
一部の材料にパラジウムを用いたので、該排気管を流れ
る排気ガス中の水素ガスは、このパラジウムの管壁を透
過して外気に排出されるから、排気管内の水素ガス分圧
は非常に低くなる。これにより機械式真空ポンプの各種
ガスに対する圧縮比の関係により、この機械式真空ポン
プの吸気側にある真空容器内の水素分圧が更に低い圧力
になるまで水素ガスを効率よく排気できるようになる。
る性質を持つ。特に加熱され昇温されたパラジウム板は
非常に良く水素ガスを透過させる。本発明は上記のよう
に機械式真空ポンプの排気口に接続する排気管の管壁の
一部の材料にパラジウムを用いたので、該排気管を流れ
る排気ガス中の水素ガスは、このパラジウムの管壁を透
過して外気に排出されるから、排気管内の水素ガス分圧
は非常に低くなる。これにより機械式真空ポンプの各種
ガスに対する圧縮比の関係により、この機械式真空ポン
プの吸気側にある真空容器内の水素分圧が更に低い圧力
になるまで水素ガスを効率よく排気できるようになる。
【００１６】ここで、参考として、大気の平均組成に基
づき上記パラジウム管壁が大気に排気可能な排気管内の
水素分圧を考えることにする。水素ガスは大気に体積組
成比較で平均０．５ｐｐｍ含まれている。これに基づい
て大気における水素ガスの分圧は約５×１／１０2Ｐａ
となる。排気管内の水素分圧がこれ以上になると、パラ
ジウム管壁を水素ガスが大気に放出されることになる。
また、パラジウム管壁の大気圧側に水素分圧の低いガス
で覆うことにより、更に低い分圧の水素ガスを排気管の
中から外気に放出させることも可能になる。
づき上記パラジウム管壁が大気に排気可能な排気管内の
水素分圧を考えることにする。水素ガスは大気に体積組
成比較で平均０．５ｐｐｍ含まれている。これに基づい
て大気における水素ガスの分圧は約５×１／１０2Ｐａ
となる。排気管内の水素分圧がこれ以上になると、パラ
ジウム管壁を水素ガスが大気に放出されることになる。
また、パラジウム管壁の大気圧側に水素分圧の低いガス
で覆うことにより、更に低い分圧の水素ガスを排気管の
中から外気に放出させることも可能になる。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１は本発明の真空排気装置の構成例を示す図で
ある。図１において、１は真空容器であり、該真空容器
１内を高真空にするために、主ポンプ４−１としてター
ボ分子ポンプを用い、補助ポンプ４−２としてルーツポ
ンプを用い、主ポンプ４−１と補助ポンプ４−２を排気
管７で直列に接続している。主ポンプ４−１と補助ポン
プ４−２との間の排気管７に排気管電磁弁５を設け、該
排気管電磁弁５と補助ポンプ４−２との間の排気管７に
パラジウムユニット１０を設けている。
する。図１は本発明の真空排気装置の構成例を示す図で
ある。図１において、１は真空容器であり、該真空容器
１内を高真空にするために、主ポンプ４−１としてター
ボ分子ポンプを用い、補助ポンプ４−２としてルーツポ
ンプを用い、主ポンプ４−１と補助ポンプ４−２を排気
管７で直列に接続している。主ポンプ４−１と補助ポン
プ４−２との間の排気管７に排気管電磁弁５を設け、該
排気管電磁弁５と補助ポンプ４−２との間の排気管７に
パラジウムユニット１０を設けている。
【００１８】真空容器１と補助ポンプ４−２とを粗引き
ライン８で接続し、その途中に粗引ライン電磁弁６を設
けている。ゲートバルブ２は真空容器１と排気系とを開
閉するものであり、真空容器１とターボ分子ポンプであ
る主ポンプ４−１との間に設けている。真空容器１内の
ガスの排気を停止する場合、ゲートバルブ２を閉止す
る。主ポンプ４−１を停止する場合、ゲートバルブ２と
排気管電磁弁５を閉じてターボ分子ポンプである主ポン
プ４−１が常に真空内に保管されるようにする。
ライン８で接続し、その途中に粗引ライン電磁弁６を設
けている。ゲートバルブ２は真空容器１と排気系とを開
閉するものであり、真空容器１とターボ分子ポンプであ
る主ポンプ４−１との間に設けている。真空容器１内の
ガスの排気を停止する場合、ゲートバルブ２を閉止す
る。主ポンプ４−１を停止する場合、ゲートバルブ２と
排気管電磁弁５を閉じてターボ分子ポンプである主ポン
プ４−１が常に真空内に保管されるようにする。
【００１９】粗引ライン８及び粗引ライン電磁弁６は、
真空容器１内の圧力が大気圧である場合、ゲートバルブ
２と排気管電磁弁５とを閉じておき、粗引ライン電磁弁
６を開き、補助ポンプ４−２で真空容器１内のガスを低
真空又は中真空領域まで粗引きするためのものである。
真空容器１内の圧力が大気圧である場合、ゲートバルブ
２と排気管電磁弁５とを閉じておき、粗引ライン電磁弁
６を開き、補助ポンプ４−２で真空容器１内のガスを低
真空又は中真空領域まで粗引きするためのものである。
【００２０】通常の連続運転の場合、粗引ライン電磁弁
６を閉じ、ゲートバルブ２及び排気管電磁弁５を開けて
おく。パラジウムユニット１０は、真空容器１内のガス
がターボ分子ポンプである主ポンプ４−１により、吸気
・圧縮され、排気管７に排出された排ガスの水素ガスの
みを排気系外に排出するものである。これはパラジウム
は水素ガスのみを透過させることができるためで、水素
ガスの分圧の高い方から低い方へと統計的にたくさんの
水素分子が流れることに依る。
６を閉じ、ゲートバルブ２及び排気管電磁弁５を開けて
おく。パラジウムユニット１０は、真空容器１内のガス
がターボ分子ポンプである主ポンプ４−１により、吸気
・圧縮され、排気管７に排出された排ガスの水素ガスの
みを排気系外に排出するものである。これはパラジウム
は水素ガスのみを透過させることができるためで、水素
ガスの分圧の高い方から低い方へと統計的にたくさんの
水素分子が流れることに依る。
【００２１】上記構成の真空排気装置において、主ポン
プ４−１の排気口４−１ａに接続する排気管７内の水素
ガスの分圧は排気系外、即ち大気よりも高いため、パラ
ジウムユニット１０は、排気管７内の水素ガスを系外に
排出し、主ポンプ４−１の排気口４−１ａにおける水素
分圧を低下させる。ターボ分子ポンプである主ポンプ４
−１は各種ガスに対して所定の圧縮比で排気する能力が
あるので、主ポンプ４−１の排気口４−１ａでの水素分
圧の低下に伴い、吸気口側である真空容器１内の水素ガ
スを更に低い分圧まで排気することができる。
プ４−１の排気口４−１ａに接続する排気管７内の水素
ガスの分圧は排気系外、即ち大気よりも高いため、パラ
ジウムユニット１０は、排気管７内の水素ガスを系外に
排出し、主ポンプ４−１の排気口４−１ａにおける水素
分圧を低下させる。ターボ分子ポンプである主ポンプ４
−１は各種ガスに対して所定の圧縮比で排気する能力が
あるので、主ポンプ４−１の排気口４−１ａでの水素分
圧の低下に伴い、吸気口側である真空容器１内の水素ガ
スを更に低い分圧まで排気することができる。
【００２２】以上説明したように、上記構成の真空排気
装置によれば、高真空中における水素ガスを積極的に排
気することができ、真空容器１の到達圧力を更に低く
し、真空排気のための所要時間を短くすることができ
る。
装置によれば、高真空中における水素ガスを積極的に排
気することができ、真空容器１の到達圧力を更に低く
し、真空排気のための所要時間を短くすることができ
る。
【００２３】図２は上記パラジウムユニット１０の構成
例を示す図である。同図において、接続管２５は排気管
７に接続している配管である。２１はパラジウム管であ
り、該パラジウム管２１はパラジウム材からなる円筒状
の管である。複数本のパラジウム管２１（図では４本）
はそれぞれその両端において２枚の円板状のプレート２
３にろう付けされ、該パラジウム管２１の内部は大気に
開放されている。該２枚のプレート２３は円筒状のユニ
ット胴２４の上下端に気密状態で取付けられ、該ユニッ
ト胴２４と前記上下２枚のプレート２３で、接続管２５
を介して排気管７に連通する真空容器を形成している。
例を示す図である。同図において、接続管２５は排気管
７に接続している配管である。２１はパラジウム管であ
り、該パラジウム管２１はパラジウム材からなる円筒状
の管である。複数本のパラジウム管２１（図では４本）
はそれぞれその両端において２枚の円板状のプレート２
３にろう付けされ、該パラジウム管２１の内部は大気に
開放されている。該２枚のプレート２３は円筒状のユニ
ット胴２４の上下端に気密状態で取付けられ、該ユニッ
ト胴２４と前記上下２枚のプレート２３で、接続管２５
を介して排気管７に連通する真空容器を形成している。
【００２４】パラジウムユニット１０の中央部にはヒー
タケース２７が設けられ、該ヒータケース２７内にはカ
ートリッジヒータ２２が収納されている。カートリッジ
ヒータ２２には電線２６が接続され、図示しない電源か
ら加熱電流を供給できるようになっている。ユニット胴
２４内の水素ガスはパラジウム管２１の管壁を通して内
部に透過し、大気に放出される。カートリッジヒータ２
２は複数本配置されたパラジウム管２１の中央部に位置
し、該カートリッジヒータ２２でパラジウム管２１を加
熱し、パラジウム管２１の水素ガスの透過を容易にして
いる。
タケース２７が設けられ、該ヒータケース２７内にはカ
ートリッジヒータ２２が収納されている。カートリッジ
ヒータ２２には電線２６が接続され、図示しない電源か
ら加熱電流を供給できるようになっている。ユニット胴
２４内の水素ガスはパラジウム管２１の管壁を通して内
部に透過し、大気に放出される。カートリッジヒータ２
２は複数本配置されたパラジウム管２１の中央部に位置
し、該カートリッジヒータ２２でパラジウム管２１を加
熱し、パラジウム管２１の水素ガスの透過を容易にして
いる。
【００２５】図３は上記パラジウムユニット１０の他の
構成例を示す図である。同図において、本パラジウムユ
ニット１０は図２に示すパラジウムユニット１０に導入
ガス３２を用いてパラジウム管２１内に排出された水素
ガスを強制的に外部に排出するように構成したものであ
る。即ち、下端のプレート２３の下方に導入ガス室３３
を設け、該導入ガス室３３内に導入ガス管３１から導入
ガス３２を導くことにより、該導入ガス３２はパラジウ
ム管２１内に下端から浸入し、大気に放出されるように
なっている。
構成例を示す図である。同図において、本パラジウムユ
ニット１０は図２に示すパラジウムユニット１０に導入
ガス３２を用いてパラジウム管２１内に排出された水素
ガスを強制的に外部に排出するように構成したものであ
る。即ち、下端のプレート２３の下方に導入ガス室３３
を設け、該導入ガス室３３内に導入ガス管３１から導入
ガス３２を導くことにより、該導入ガス３２はパラジウ
ム管２１内に下端から浸入し、大気に放出されるように
なっている。
【００２６】大気中には微少の水素ガスが含まれている
ことや、排気された水素ガスがパラジウム管２１内に残
留することになり、パラジウム管２１内の水素の分圧が
高くなることで水素の管壁透過能力が低下するため、導
入ガス３２に水素分圧の低いガスを用いパラジウム管２
１内のガスを常に置換している。これにより本パラジウ
ムユニット１０のパラジウム管２１内の水素分圧は常に
極めて低く維持されるから、排気システムの排気管７内
の水素ガスはパラジウム管２１の管壁を透過し、大気に
効率良く排出される。
ことや、排気された水素ガスがパラジウム管２１内に残
留することになり、パラジウム管２１内の水素の分圧が
高くなることで水素の管壁透過能力が低下するため、導
入ガス３２に水素分圧の低いガスを用いパラジウム管２
１内のガスを常に置換している。これにより本パラジウ
ムユニット１０のパラジウム管２１内の水素分圧は常に
極めて低く維持されるから、排気システムの排気管７内
の水素ガスはパラジウム管２１の管壁を透過し、大気に
効率良く排出される。
【００２７】なお、上記実施例では真空ポンプの排気口
に接続される排気管の管壁の一部の材料にパラジウムを
用いる手段として、排気管７に接続されるパラジウムユ
ニット１０を設け、該パラジウムユニット１０内にパラ
ジウム管２１を配置する構成を採用したが、排気管の管
壁の一部の材料にパラジウムを用いる手段はこれに限定
されるものではなく、要は排気管内の水素がパラジウム
材からなる管壁を透過して大気に排出されるように構成
すればよい。
に接続される排気管の管壁の一部の材料にパラジウムを
用いる手段として、排気管７に接続されるパラジウムユ
ニット１０を設け、該パラジウムユニット１０内にパラ
ジウム管２１を配置する構成を採用したが、排気管の管
壁の一部の材料にパラジウムを用いる手段はこれに限定
されるものではなく、要は排気管内の水素がパラジウム
材からなる管壁を透過して大気に排出されるように構成
すればよい。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば機
械式真空ポンプの排気口に接続する排気管の管壁の一部
の材料にパラジウムを用いたので、排気管内の水素ガス
は該パラジウム管壁を通って外部に放出されることにな
り、機械式真空ポンプの水素ガスの排気能力を高めるこ
とができるという効果が得られる。
械式真空ポンプの排気口に接続する排気管の管壁の一部
の材料にパラジウムを用いたので、排気管内の水素ガス
は該パラジウム管壁を通って外部に放出されることにな
り、機械式真空ポンプの水素ガスの排気能力を高めるこ
とができるという効果が得られる。
【００２９】また、パラジウムを用いた管壁の大気側に
水素分圧の低いガスを導入し、パラジウムを用いた管壁
の大気側のガスを強制的に該水素分圧の低いガスに置換
することにより、機械式真空ポンプの水素ガスの排気能
力を更に高めることができる。
水素分圧の低いガスを導入し、パラジウムを用いた管壁
の大気側のガスを強制的に該水素分圧の低いガスに置換
することにより、機械式真空ポンプの水素ガスの排気能
力を更に高めることができる。
【図１】本発明の真空排気装置の構成例を示す図であ
る。
る。
【図２】パラジウムユニットの構成例を示す図である。
【図３】パラジウムユニットの他の構成例を示す図であ
る。
る。
【図４】従来の真空排気装置の構成例を示す図である。
１ 真空容器 ２ ゲートバルブ ４−１ 主ポンプ ４−２ 補助ポンプ ５ 排気管電磁弁 ６ 粗引ライン電磁弁 ７ 排気管 ８ 粗引ライン １０ パラジウムユニット ２１ パラジウム管 ２２ カートリッジヒータ ２３ プレート ２４ ユニット胴 ２５ 接続管 ２６ 電線 ２７ ヒータケース ３１ 導入ガス管 ３２ 導入ガス ３３ 導入ガス室
Claims (4)
- 【請求項１】 単数又は複数の開閉弁、単数又は複数の
機械式真空ポンプ、これらを接続する排気管を具備する
真空排気装置において、 前記機械式真空ポンプの排気口に接続する排気管の管壁
の一部の材料にパラジウムを用いたことを特徴とする真
空排気装置。 - 【請求項２】 前記単数の機械式真空ポンプ又は複数の
機械式真空ポンプの主ポンプがターボ分子ポンプであ
り、該主ポンプの排気管又は主ポンプと補助ポンプとを
結ぶ排気管の管壁の一部の材料にパラジウムを用いたこ
とを特徴とする請求項１に記載の真空排気装置。 - 【請求項３】 前記パラジウムを用いた管壁の近傍にヒ
ータを設置したことを特徴とする請求項１又は２に記載
の真空排気装置。 - 【請求項４】 前記パラジウムを用いた管壁の大気側に
水素分圧の低いガスを導入し、パラジウムを用いた管壁
の大気側のガスを強制的に該水素分圧の低いガスに置換
することを特徴とする真空排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12431494A JPH07310657A (ja) | 1994-05-12 | 1994-05-12 | 真空排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12431494A JPH07310657A (ja) | 1994-05-12 | 1994-05-12 | 真空排気装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07310657A true JPH07310657A (ja) | 1995-11-28 |
Family
ID=14882269
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12431494A Pending JPH07310657A (ja) | 1994-05-12 | 1994-05-12 | 真空排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07310657A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015203502A (ja) * | 2014-04-16 | 2015-11-16 | バイエリッシェ モートーレン ウエルケ アクチエンゲゼルシャフトＢａｙｅｒｉｓｃｈｅ Ｍｏｔｏｒｅｎ Ｗｅｒｋｅ Ａｋｔｉｅｎｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ | タンク、特に自動車タンクを製造するための方法 |
-
1994
- 1994-05-12 JP JP12431494A patent/JPH07310657A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015203502A (ja) * | 2014-04-16 | 2015-11-16 | バイエリッシェ モートーレン ウエルケ アクチエンゲゼルシャフトＢａｙｅｒｉｓｃｈｅ Ｍｏｔｏｒｅｎ Ｗｅｒｋｅ Ａｋｔｉｅｎｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ | タンク、特に自動車タンクを製造するための方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040406 |