JP3120494U - レチクルポッドの保持構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
本考案のレチクルポッドの保持構造はレチクル3を収納する格納空間10を具え、格納空間10中に複数の保持部材2を設置し、各保持部材2は基部21を具え、基部21は固定手段で格納空間10中に固定し、基部21の上面に上向きに延伸して且つ基部21に向かって反転した彎曲部22を設け、基部21と彎曲部22の間に彎曲部22が変形移動できる緩衝空間を具え、彎曲部22の自由端に順に弾接部24と保持部25を設け、彎曲部22の外側にガイド面23を設けることにより、レチクル3をレチクルポッドの格納空間10に入れるとき、まず各保持部材2のガイド面23がレチクル3を正しい位置に導き、レチクル3の位置がずれるのを防ぎ、更に各保持部材2の弾接部24と保持部25でレチクル3を支持固定して、レチクル3がレチクルポッド内で一定位置を保つようにする。
【選択図】 図4
Description
1.請求項1に記載のレチクルポッドの保持構造は、レチクルポッドの保持構造であって、特にレチクルポッド内に使用する保持部材において、該レチクルポッドはレチクルを収容できる格納空間を具え、且つ格納空間中に複数の保持部材を設置し、その改良は、該複数の保持部材は基部を具え、基部は固定手段によって格納空間中に固定し、且つ基部の上面に上向きに延伸し且つ基部に向かって反転した彎曲部を設け、彎曲部の自由端に順に弾接部と保持部を設け、各保持部材の弾接部と保持部でレチクルを弾接支持し位置決めするようにして成ることを特徴とする。
2.請求項2に記載のレチクルポッドの保持構造は、請求項1の場合において、
該固定手段は基部に設置した係合環で、格納空間中に設置した支持点を挟持して保持部材を固定状態にするようにして成ることを特徴とする。
3.請求項3に記載のレチクルポッドの保持構造は、請求項1の場合において、
該固定手段は受け孔を設けた固定部とし、固定部の受け孔を格納空間中に設置した支持点に被せて固定するようにして成ることを特徴とする。
4.請求項4に記載のレチクルポッドの保持構造は、請求項1の場合において、
該固定手段は基部に設置した固定孔に、固定部材を挿入して格納空間中にかしめることができるようにして成ることを特徴とする。
1.本考案の保持部材2はガイド面23によって制限手段111上方のレチクル3を低位置へ導き、レチクル3がポッド体1内で位置ずれが発生するのを防ぐ。
2.本考案の保持部材2は彎曲部22の弾接部24と保持部25で弾接支持することによって、レチクル3が各保持部材2と摩擦を起こさないようにし、レチクル3の磨耗と粉塵発生を防止し、レチクルポッドの無塵状態を維持する。
3.本考案の保持部材2は彎曲部22の自由端のみが変形移動するため、彎曲部22がレチクル3を保持するときの変形移動量を減少でき、レチクル3をポッド体1内の格納空間10内に収納すると、搬送過程では防振器の緩衝効果を具える。
図1、図2に示すように、本考案のレチクルポッドの保持構造は、ポッド体1と複数の保持部材2を具える。
ポッド1はベース11とカバー12から成り、ベース11は複数の制限手段111を具え、ベース11とカバー12の間に格納空間10を形成し、格納空間10の壁面の適当な位置に複数の支持点13を設ける。
図4、図5に示すように、保持部材2は基部21に受け穴を具えた固定部27を設け、保持部材2は固定部27の受け穴を格納空間10の壁面に設置した支持点13に被せて固定し、保持部材2がレチクル3を弾接支持すると、彎曲部22の弾接部24と保持部25がレチクル3に弾接し、彎曲部22は変形移動するが、彎曲部22は基部21の上面から上向きに延伸し且つ基部21に向かって反転しているため、彎曲部22は自由端のみが変形移動し、これによって彎曲部22がレチクル3を保持する時の変形移動量が減少し、レチクル3をポッド体1の格納空間10内に収納すると、搬送過程においては防振器の緩衝効果がある。
図6、図7に示すように、保持部材2は基部21に固定部材29を挿入してかしめることができるようにした固定孔28を設ける。固定部材29は基部21の上面から固定孔28に挿入してもよく、基部21の底面から固定孔28に挿入してもよく、保持部材2を格納空間10の壁面にかしめる。このようにすると保持部材2の高さを削減でき、ひいてはポッド体1の厚さを縮小できる。また、保持部材2がレチクル3を弾接支持するとき、彎曲部22の弾接部24と保持部3でレチクル3を保持し、彎曲部22は変形移動するが、重心が低くなるため、彎曲部22が変形移動すると基部21に弾接し、これによって彎曲部22がレチクル3を保持するときの変形移動量が減少し、レチクル3をポッド体1の格納空間10内に収納すると、搬送過程においては防振器の緩衝効果がある。
10 格納空間
11 ベース
111 制限手段
12 カバー
13 支持点
2 保持部材
21 基部
22 彎曲部
23 ガイド面
24 弾接部
25 保持部
26 係合環
27 固定部
28 固定孔
29 固定部材
3 レチクル
A レチクルポッド
A1 凸柱
B レチクル
C レチクルポッド
D 支持体
Claims (4)
- レチクルポッドの保持構造であって、特にレチクルポッド内に使用する保持部材において、該レチクルポッドはレチクルを収容できる格納空間を具え、且つ格納空間中に複数の保持部材を設置し、その改良は、
該複数の保持部材は基部を具え、基部は固定手段によって格納空間中に固定し、且つ基部の上面に上向きに延伸し且つ基部に向かって反転した彎曲部を設け、彎曲部の自由端に順に弾接部と保持部を設け、各保持部材の弾接部と保持部でレチクルを弾接支持し位置決めするようにして成ることを特徴とするレチクルポッドの保持構造。 - 該固定手段は基部に設置した係合環で、格納空間中に設置した支持点を挟持して保持部材を固定状態にするようにして成ることを特徴とする請求項1記載のレチクルポッドの保持構造。
- 該固定手段は受け孔を設けた固定部とし、固定部の受け孔を格納空間中に設置した支持点に被せて固定するようにして成ることを特徴とする請求項1記載のレチクルポッドの保持構造。
- 該固定手段は基部に設置した固定孔に、固定部材を挿入して格納空間中にかしめることができるようにして成ることを特徴とする請求項1記載のレチクルポッドの保持構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006000239U JP3120494U (ja) | 2006-01-16 | 2006-01-16 | レチクルポッドの保持構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006000239U JP3120494U (ja) | 2006-01-16 | 2006-01-16 | レチクルポッドの保持構造 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP3120494U true JP3120494U (ja) | 2006-04-06 |
Family
ID=43470659
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006000239U Expired - Lifetime JP3120494U (ja) | 2006-01-16 | 2006-01-16 | レチクルポッドの保持構造 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP3120494U (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013011723A (ja) * | 2011-06-29 | 2013-01-17 | Arakawa Jushi:Kk | マスクケースのマスク係止具 |
JP6286090B1 (ja) * | 2017-01-26 | 2018-02-28 | 家登精密工業股▲ふん▼有限公司 | レチクルポッド |
JP2019528578A (ja) * | 2016-08-27 | 2019-10-10 | インテグリス・インコーポレーテッド | レチクルの側面抑制を有するレチクルポッド |
-
2006
- 2006-01-16 JP JP2006000239U patent/JP3120494U/ja not_active Expired - Lifetime
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US11594437B2 (en) | 2016-08-27 | 2023-02-28 | Entegris, Inc. | Reticle pod having side containment of reticle |
JP6286090B1 (ja) * | 2017-01-26 | 2018-02-28 | 家登精密工業股▲ふん▼有限公司 | レチクルポッド |
JP2018120200A (ja) * | 2017-01-26 | 2018-08-02 | 家登精密工業股▲ふん▼有限公司 | レチクルポッド |
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