JPH0730165A - 積層型圧電体素子 - Google Patents
積層型圧電体素子Info
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- JPH0730165A JPH0730165A JP5195516A JP19551693A JPH0730165A JP H0730165 A JPH0730165 A JP H0730165A JP 5195516 A JP5195516 A JP 5195516A JP 19551693 A JP19551693 A JP 19551693A JP H0730165 A JPH0730165 A JP H0730165A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 最上層及び最下層の圧電的に不活性な圧電体
層と、その他の圧電的に活性な圧電体層の境界部に応力
が集中することを緩和して、活性層と不活性層の境界部
における応力破壊を防止する。 【構成】 複数の圧電体層１と、圧電体層１間に配設さ
れた内部電極２ａ，２ｂと、内部電極２ａ，２ｂと導通
する外部電極４ａ，４ｂとを備えてなる積層型圧電体素
子５の、最上層及び最下層の圧電的に不活性な圧電体層
１ａ，１ｂの近傍における内部電極１２ａ，１３ａ，１
２ｂ，１３ｂの重なり面積を、他の圧電的に活性な部分
における内部電極２ａ，２ｂの重なり面積よりも小さく
する。
層と、その他の圧電的に活性な圧電体層の境界部に応力
が集中することを緩和して、活性層と不活性層の境界部
における応力破壊を防止する。 【構成】 複数の圧電体層１と、圧電体層１間に配設さ
れた内部電極２ａ，２ｂと、内部電極２ａ，２ｂと導通
する外部電極４ａ，４ｂとを備えてなる積層型圧電体素
子５の、最上層及び最下層の圧電的に不活性な圧電体層
１ａ，１ｂの近傍における内部電極１２ａ，１３ａ，１
２ｂ，１３ｂの重なり面積を、他の圧電的に活性な部分
における内部電極２ａ，２ｂの重なり面積よりも小さく
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、積層型圧電体素子に
関し、詳しくは、圧電体層と内部電極との積層体を構成
する最上層及び最下層の圧電体層が、圧電的に不活性な
層（不活性層）となっている積層型圧電体素子に関す
る。
関し、詳しくは、圧電体層と内部電極との積層体を構成
する最上層及び最下層の圧電体層が、圧電的に不活性な
層（不活性層）となっている積層型圧電体素子に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】積層型圧電アクチュエータなどに用いら
れる積層型圧電体素子としては、例えば、図７に示すよ
うに、複数の圧電体層５１の間に部分電極構造を有する
内部電極５２を配設するとともに、圧電体層５１が積層
された積層体５３の、内部電極５２が引き出された側面
に外部電極５４を配設してなる積層型圧電体素子５５が
提案されている。
れる積層型圧電体素子としては、例えば、図７に示すよ
うに、複数の圧電体層５１の間に部分電極構造を有する
内部電極５２を配設するとともに、圧電体層５１が積層
された積層体５３の、内部電極５２が引き出された側面
に外部電極５４を配設してなる積層型圧電体素子５５が
提案されている。
【０００３】この積層型圧電体素子５５においては、内
部電極５２は、一層おきに絶縁されながら対向する側面
に引き出され、側面に形成された外部電極５４に導通さ
れている。なお、この積層型圧電体素子５５を積層型圧
電アクチュエータとして使用する場合には、外部電極５
４に所定の電圧を印加することによって、圧電効果によ
る変位を得ることができる。
部電極５２は、一層おきに絶縁されながら対向する側面
に引き出され、側面に形成された外部電極５４に導通さ
れている。なお、この積層型圧電体素子５５を積層型圧
電アクチュエータとして使用する場合には、外部電極５
４に所定の電圧を印加することによって、圧電効果によ
る変位を得ることができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の積
層型圧電体素子においては、上・下面に電極が形成され
ておらず、最上層及び最下層の圧電体層５１ａ，５１ｂ
には、内部電極５２による電界が印加されないため、最
上層及び最下層の圧電体層５１ａ，５１ｂは圧電的に不
活性な層（不活性層）となっている。
層型圧電体素子においては、上・下面に電極が形成され
ておらず、最上層及び最下層の圧電体層５１ａ，５１ｂ
には、内部電極５２による電界が印加されないため、最
上層及び最下層の圧電体層５１ａ，５１ｂは圧電的に不
活性な層（不活性層）となっている。
【００５】そのため、外部電極５４を介して各内部電極
５２に電圧を印加した場合、重なり合う２つの内部電極
５２により挟まれた圧電的に活性な圧電体層（活性層、
すなわち、最上層及び最下層の圧電体層５１ａ，５１ｂ
以外の圧電体層）５１は圧電効果により変位するが、不
活性層である最上層及び最下層の圧電体層５１ａ，５１
ｂには圧電効果による変位が生じない。
５２に電圧を印加した場合、重なり合う２つの内部電極
５２により挟まれた圧電的に活性な圧電体層（活性層、
すなわち、最上層及び最下層の圧電体層５１ａ，５１ｂ
以外の圧電体層）５１は圧電効果により変位するが、不
活性層である最上層及び最下層の圧電体層５１ａ，５１
ｂには圧電効果による変位が生じない。
【０００６】したがって、活性層５１と不活性層５１
ａ，５１ｂの境界部近傍に応力が集中し、破壊が生じる
という問題点がある。
ａ，５１ｂの境界部近傍に応力が集中し、破壊が生じる
という問題点がある。
【０００７】この発明は、上記問題点を解決するもので
あり、活性層と不活性層の境界部に応力が集中すること
を緩和して、活性層と不活性層の境界部における応力破
壊を防止することが可能で、耐久性に優れ、信頼性の高
い積層型圧電体素子を提供することを目的とする。
あり、活性層と不活性層の境界部に応力が集中すること
を緩和して、活性層と不活性層の境界部における応力破
壊を防止することが可能で、耐久性に優れ、信頼性の高
い積層型圧電体素子を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の積層型圧電体素子は、複数の圧電体層
と、圧電体層間に配設された内部電極と、内部電極と導
通する外部電極とを備えてなる積層型圧電体素子におい
て、最上層及び最下層の圧電的に不活性な圧電体層の近
傍における内部電極の重なり面積を、他の圧電的に活性
な部分における内部電極の重なり面積よりも小さくした
ことを特徴とする。
に、この発明の積層型圧電体素子は、複数の圧電体層
と、圧電体層間に配設された内部電極と、内部電極と導
通する外部電極とを備えてなる積層型圧電体素子におい
て、最上層及び最下層の圧電的に不活性な圧電体層の近
傍における内部電極の重なり面積を、他の圧電的に活性
な部分における内部電極の重なり面積よりも小さくした
ことを特徴とする。
【０００９】また、前記最上層及び最下層の圧電的に不
活性な圧電体層の近傍における内部電極の重なり面積
を、他の圧電的に活性な部分における内部電極の重なり
面積の５０％以下にしたことを特徴とする。
活性な圧電体層の近傍における内部電極の重なり面積
を、他の圧電的に活性な部分における内部電極の重なり
面積の５０％以下にしたことを特徴とする。
【００１０】さらに、前記最上層及び最下層の圧電的に
不活性な圧電体層の近傍の内部電極のパターンを、電極
が形成されていない孔を有するパターンとしたことを特
徴とする。
不活性な圧電体層の近傍の内部電極のパターンを、電極
が形成されていない孔を有するパターンとしたことを特
徴とする。
【００１１】また、前記最上層及び最下層の圧電的に不
活性な圧電体層の近傍の、圧電体層を介して対向する内
部電極の、前記電極が形成されていない孔の位置を互に
ずらせることにより、該内部電極の重なり面積を調節し
たことを特徴とする。
活性な圧電体層の近傍の、圧電体層を介して対向する内
部電極の、前記電極が形成されていない孔の位置を互に
ずらせることにより、該内部電極の重なり面積を調節し
たことを特徴とする。
【００１２】
【作用】この発明の積層型圧電体素子においては、最上
層及び最下層の圧電的に不活性な圧電体層の近傍におけ
る内部電極の重なり面積が、他の圧電的に活性な部分に
おける内部電極の重なり面積よりも小さくなっているた
め、その部分の変位量が小さくなり、活性層と不活性層
の境界部に、活性層よりも変位の小さい層（応力緩和
層）が形成される。
層及び最下層の圧電的に不活性な圧電体層の近傍におけ
る内部電極の重なり面積が、他の圧電的に活性な部分に
おける内部電極の重なり面積よりも小さくなっているた
め、その部分の変位量が小さくなり、活性層と不活性層
の境界部に、活性層よりも変位の小さい層（応力緩和
層）が形成される。
【００１３】したがって、活性層と不活性層の境界部に
おける応力破壊を防止することが可能になり、積層型圧
電体素子の耐久性を向上させることができるようにな
る。
おける応力破壊を防止することが可能になり、積層型圧
電体素子の耐久性を向上させることができるようにな
る。
【００１４】なお、圧電的に不活性な圧電体層の近傍に
おける内部電極の重なり面積を、他の圧電的に活性な部
分における内部電極の重なり面積の５０％以下にするこ
とによって、境界部における応力を十分に緩和すること
ができるようになり、耐久性を大幅に向上させることが
可能になる。
おける内部電極の重なり面積を、他の圧電的に活性な部
分における内部電極の重なり面積の５０％以下にするこ
とによって、境界部における応力を十分に緩和すること
ができるようになり、耐久性を大幅に向上させることが
可能になる。
【００１５】さらに、圧電的に不活性な圧電体層の近傍
の内部電極のパターンを、電極が形成されていない孔を
有するパターンとすることにより、容易に内部電極の重
なり面積を減少させることが可能になる。
の内部電極のパターンを、電極が形成されていない孔を
有するパターンとすることにより、容易に内部電極の重
なり面積を減少させることが可能になる。
【００１６】また、圧電的に不活性な圧電体層の近傍
の、圧電体層を介して対向する内部電極の、電極が形成
されていない孔の位置を互にずらせることにより、該内
部電極の重なり面積を容易に調節することが可能にな
る。
の、圧電体層を介して対向する内部電極の、電極が形成
されていない孔の位置を互にずらせることにより、該内
部電極の重なり面積を容易に調節することが可能にな
る。
【００１７】
【実施例】以下、この発明の実施例を示してその特徴と
するところをさらに詳しく説明する。図１は、この発明
の一実施例にかかる積層型圧電体素子を示す断面図であ
る。
するところをさらに詳しく説明する。図１は、この発明
の一実施例にかかる積層型圧電体素子を示す断面図であ
る。
【００１８】この実施例の積層型圧電体素子５は、複数
の圧電体層（チタン酸ジルコン酸鉛系材料からなる圧電
体層）１と、圧電体層１間に一層ごとに異なる側面に引
き出されるように配設された内部電極２ａ，２ｂとを備
えてなる積層体３の、上記内部電極２ａ，２ｂが引き出
された側面に、外部電極４ａ，４ｂを配設することによ
り形成されている。
の圧電体層（チタン酸ジルコン酸鉛系材料からなる圧電
体層）１と、圧電体層１間に一層ごとに異なる側面に引
き出されるように配設された内部電極２ａ，２ｂとを備
えてなる積層体３の、上記内部電極２ａ，２ｂが引き出
された側面に、外部電極４ａ，４ｂを配設することによ
り形成されている。
【００１９】そして、この積層型圧電体素子５において
は、積層体３の上・下面に電極が配設されていないた
め、最上層の圧電体層１ａ及び最下層の圧電体層１ｂは
圧電的に不活性な層（不活性層）となっている。
は、積層体３の上・下面に電極が配設されていないた
め、最上層の圧電体層１ａ及び最下層の圧電体層１ｂは
圧電的に不活性な層（不活性層）となっている。
【００２０】また、この積層型圧電体素子５において
は、圧電的に活性な圧電体層（活性層）１間に配設され
た内部電極２ａ，２ｂは、図２（ａ），（ｂ）に示すよ
うなパターンに形成されているが、不活性層（積層体３
の最上層及び最下層の圧電体層）１ａ，１ｂの近傍の内
部電極（この実施例では、最上層及びその次の層の内部
電極１２ａ，１３ａ及び最下層及びその次の層の内部電
極１２ｂ，１３ｂ）が、図３（ａ），（ｂ）に示すよう
に、電極の形成されていない複数の孔６を有するパター
ンに形成されているとともに、隣接（対向）する内部電
極１２ａと１３ａ、及び１２ｂと１３ｂにおいて、孔６
が完全には重ならないように構成されており、その重な
り面積は、活性層の内部電極２ａ，２ｂの重なり面積の
５０％以下になっている。
は、圧電的に活性な圧電体層（活性層）１間に配設され
た内部電極２ａ，２ｂは、図２（ａ），（ｂ）に示すよ
うなパターンに形成されているが、不活性層（積層体３
の最上層及び最下層の圧電体層）１ａ，１ｂの近傍の内
部電極（この実施例では、最上層及びその次の層の内部
電極１２ａ，１３ａ及び最下層及びその次の層の内部電
極１２ｂ，１３ｂ）が、図３（ａ），（ｂ）に示すよう
に、電極の形成されていない複数の孔６を有するパター
ンに形成されているとともに、隣接（対向）する内部電
極１２ａと１３ａ、及び１２ｂと１３ｂにおいて、孔６
が完全には重ならないように構成されており、その重な
り面積は、活性層の内部電極２ａ，２ｂの重なり面積の
５０％以下になっている。
【００２１】なお、上記実施例において、図２（ａ），
（ｂ）の内部電極の寸法は４×４．５mm（内部電極２
ａ，２ｂの重なり部分は４×４mm）であり、また、図３
（ａ），（ｂ）の内部電極の寸法も図２（ａ），（ｂ）
の内部電極２ａ，２ｂとほぼ同一の寸法であり、孔６の
直径は０．５mmとなっている。
（ｂ）の内部電極の寸法は４×４．５mm（内部電極２
ａ，２ｂの重なり部分は４×４mm）であり、また、図３
（ａ），（ｂ）の内部電極の寸法も図２（ａ），（ｂ）
の内部電極２ａ，２ｂとほぼ同一の寸法であり、孔６の
直径は０．５mmとなっている。
【００２２】次に、この実施例の積層型圧電体素子の製
造方法について説明する。上記積層型圧電体素子を製造
するにあたっては、まず、圧電体層（グリーンシート）
を製造するために、原料を秤量し、粉砕してバインダと
ともに混合し、脱泡した後、シート状に成形し、所定の
形状に打抜く。
造方法について説明する。上記積層型圧電体素子を製造
するにあたっては、まず、圧電体層（グリーンシート）
を製造するために、原料を秤量し、粉砕してバインダと
ともに混合し、脱泡した後、シート状に成形し、所定の
形状に打抜く。
【００２３】それから、これに所定のパターンの内部電
極を印刷する。このとき、活性層となる圧電体層（グリ
ーンシート）には、図２（ａ），（ｂ）に示すようなパ
ターンで内部電極を印刷し、不活性層に近い位置に配設
され、応力緩和層となる圧電体層（グリーンシート）に
は、図３（ａ），（ｂ）に示すような、電極が形成され
ていない孔６を有するパターンになるように内部電極を
印刷する。
極を印刷する。このとき、活性層となる圧電体層（グリ
ーンシート）には、図２（ａ），（ｂ）に示すようなパ
ターンで内部電極を印刷し、不活性層に近い位置に配設
され、応力緩和層となる圧電体層（グリーンシート）に
は、図３（ａ），（ｂ）に示すような、電極が形成され
ていない孔６を有するパターンになるように内部電極を
印刷する。
【００２４】また、不活性層となる圧電体層（グリーン
シート）として、内部電極が印刷されていない圧電体層
（グリーンシート）を用意する。
シート）として、内部電極が印刷されていない圧電体層
（グリーンシート）を用意する。
【００２５】それから、図４に示すように、活性層用グ
リーンシート２１の上・下面側に応力緩和層用グリーン
シート２２が配設され、かつ、その上・下面側に不活性
層用グリーンシート２３が配設されるような順に各グリ
ーンシートを積層圧着した後、所定の温度で焼成するこ
とにより積層体３（図１）を得る。
リーンシート２１の上・下面側に応力緩和層用グリーン
シート２２が配設され、かつ、その上・下面側に不活性
層用グリーンシート２３が配設されるような順に各グリ
ーンシートを積層圧着した後、所定の温度で焼成するこ
とにより積層体３（図１）を得る。
【００２６】それから、積層体３の、内部電極２ａ，２
ｂが引き出された側面に外部電極４ａ，４ｂを形成する
ことにより、図１に示すような積層型圧電体素子５が得
られる。
ｂが引き出された側面に外部電極４ａ，４ｂを形成する
ことにより、図１に示すような積層型圧電体素子５が得
られる。
【００２７】このようにして得られた、図１の積層型圧
電体素子５においては、各内部電極に電圧を印加した場
合に、活性層１と不活性層１ａ，１ｂの境界部（すなわ
ち、圧電体層１ａ1，１ａ2、及び圧電体層１ｂ1，１ｂ2
の変位量が他の活性層（圧電体層１）に比べて小さくな
り、境界部が応力緩和層としての機能を果すようにな
る。
電体素子５においては、各内部電極に電圧を印加した場
合に、活性層１と不活性層１ａ，１ｂの境界部（すなわ
ち、圧電体層１ａ1，１ａ2、及び圧電体層１ｂ1，１ｂ2
の変位量が他の活性層（圧電体層１）に比べて小さくな
り、境界部が応力緩和層としての機能を果すようにな
る。
【００２８】その結果、活性層と不活性層の境界部にお
ける応力破壊を防止することが可能になり、耐久性に優
れ、信頼性の高い積層型圧電体素子を得ることができる
ようになる。
ける応力破壊を防止することが可能になり、耐久性に優
れ、信頼性の高い積層型圧電体素子を得ることができる
ようになる。
【００２９】また、上記実施例の積層型圧電体素子５に
ついて、湿中で駆動試験を行い、その寿命について評価
した結果を図５に示す。なお、図５において、横軸の電
極重なり面積比は、応力緩和層の重なり面積の、活性層
の内部電極の重なり面積に対する比率（％）を示す。ま
た、ここで評価した積層型圧電体素子（サンプル）の構
成や寸法などは次の通りである。 圧電体層１の厚み ：５０μm 不活性層の層数（上・下） ： ３層 応力緩和層の層数（上・下）： ３層 活性層の層数 ：５０層 積層型圧電体素子寸法 ：５mm×５mm×３．２mm
(t)
ついて、湿中で駆動試験を行い、その寿命について評価
した結果を図５に示す。なお、図５において、横軸の電
極重なり面積比は、応力緩和層の重なり面積の、活性層
の内部電極の重なり面積に対する比率（％）を示す。ま
た、ここで評価した積層型圧電体素子（サンプル）の構
成や寸法などは次の通りである。 圧電体層１の厚み ：５０μm 不活性層の層数（上・下） ： ３層 応力緩和層の層数（上・下）： ３層 活性層の層数 ：５０層 積層型圧電体素子寸法 ：５mm×５mm×３．２mm
(t)
【００３０】図５に示すように、電極重なり面積比が５
０％以下になると、電極重なり面積比が１００％の場合
（すなわち従来の積層型圧電体素子）に比べて、寿命が
１０倍以上に長くなっていることがわかる。
０％以下になると、電極重なり面積比が１００％の場合
（すなわち従来の積層型圧電体素子）に比べて、寿命が
１０倍以上に長くなっていることがわかる。
【００３１】なお、上記実施例では、内部電極の重なり
面積を減少させる方法として、孔６を形成した場合につ
いて説明したが、さらに、図６に示すように、孔６ａを
規則的に配設した内部電極１２ａと、孔６ｂを規則的に
配設した内部電極１２ｂを形成し、対向する内部電極１
２ａ，１２ｂ間でその位置をずらせることにより、内部
電極の重なり面積を高精度に制御することができる。な
お、図６においては、内部電極１２ａと１２ｂの重なり
部分を斜線で示す。
面積を減少させる方法として、孔６を形成した場合につ
いて説明したが、さらに、図６に示すように、孔６ａを
規則的に配設した内部電極１２ａと、孔６ｂを規則的に
配設した内部電極１２ｂを形成し、対向する内部電極１
２ａ，１２ｂ間でその位置をずらせることにより、内部
電極の重なり面積を高精度に制御することができる。な
お、図６においては、内部電極１２ａと１２ｂの重なり
部分を斜線で示す。
【００３２】また、内部電極の重なり面積を減少させる
方法は、これらの方法に限らず、さらに他の方法を用い
ることも可能である。
方法は、これらの方法に限らず、さらに他の方法を用い
ることも可能である。
【００３３】なお、この発明は、上記実施例に限定され
るものではなく、圧電体層を構成する材料の種類や組
成、あるいは圧電体層の具体的な形状や積層数、内部電
極及び外部電極の構成材料やそのパターン、応力緩和層
の層数や厚み、内部電極のパターン（例えば、電極が形
成されていない孔の形状）などに関し、発明の要旨の範
囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能で
ある。
るものではなく、圧電体層を構成する材料の種類や組
成、あるいは圧電体層の具体的な形状や積層数、内部電
極及び外部電極の構成材料やそのパターン、応力緩和層
の層数や厚み、内部電極のパターン（例えば、電極が形
成されていない孔の形状）などに関し、発明の要旨の範
囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能で
ある。
【００３４】
【発明の効果】上述のように、この発明の積層型圧電体
素子は、最上層及び最下層の圧電的に不活性な圧電体層
の近傍における内部電極の重なり面積を、他の圧電的に
活性な部分における内部電極の重なり面積よりも小さく
しているので、活性層と不活性層の境界部における変位
量を小さくして、応力の集中を緩和し、活性層と不活性
層の境界部における応力破壊を防止することができる。
その結果、耐久性に優れ、信頼性の高い積層型圧電体素
子を得ることが可能になる。
素子は、最上層及び最下層の圧電的に不活性な圧電体層
の近傍における内部電極の重なり面積を、他の圧電的に
活性な部分における内部電極の重なり面積よりも小さく
しているので、活性層と不活性層の境界部における変位
量を小さくして、応力の集中を緩和し、活性層と不活性
層の境界部における応力破壊を防止することができる。
その結果、耐久性に優れ、信頼性の高い積層型圧電体素
子を得ることが可能になる。
【００３５】また、不活性層の近傍における内部電極の
重なり面積を、活性層における内部電極の重なり面積の
５０％以下にすることによって、境界部における応力を
確実に緩和して、耐久性を大幅に向上させることが可能
になる。
重なり面積を、活性層における内部電極の重なり面積の
５０％以下にすることによって、境界部における応力を
確実に緩和して、耐久性を大幅に向上させることが可能
になる。
【００３６】さらに、不活性層の近傍の内部電極のパタ
ーンを、電極が形成されていない孔を有するパターンと
することにより、容易に内部電極の重なり面積を減少さ
せることができる。
ーンを、電極が形成されていない孔を有するパターンと
することにより、容易に内部電極の重なり面積を減少さ
せることができる。
【００３７】また、不活性層の近傍の、圧電体層を介し
て対向する内部電極の、電極が形成されていない孔の位
置を互にずらせることにより、その重なり面積を容易か
つ確実に調節することができる。
て対向する内部電極の、電極が形成されていない孔の位
置を互にずらせることにより、その重なり面積を容易か
つ確実に調節することができる。
【図１】この発明の一実施例にかかる積層型圧電体素子
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図２】この発明の一実施例にかかる積層型圧電体素子
における、活性層の内部電極のパターンを示す図であ
り、（ａ）は圧電体層を介して対向する２つの内部電極
の一方を示す平面図、（ｂ）は他方を示す平面図であ
る。
における、活性層の内部電極のパターンを示す図であ
り、（ａ）は圧電体層を介して対向する２つの内部電極
の一方を示す平面図、（ｂ）は他方を示す平面図であ
る。
【図３】この発明の一実施例にかかる積層型圧電体素子
における、不活性層近傍の内部電極のパターンを示す図
であり、（ａ）は圧電体層を介して対向する２つの内部
電極の一方を示す平面図、（ｂ）は他方を示す平面図で
ある。
における、不活性層近傍の内部電極のパターンを示す図
であり、（ａ）は圧電体層を介して対向する２つの内部
電極の一方を示す平面図、（ｂ）は他方を示す平面図で
ある。
【図４】この発明の一実施例にかかる積層型圧電体素子
の製造工程を示す斜視図である。
の製造工程を示す斜視図である。
【図５】この発明の一実施例にかかる積層型圧電体素子
について測定した、電極重なり面積比と寿命との関係を
示す線図である。
について測定した、電極重なり面積比と寿命との関係を
示す線図である。
【図６】この発明の一実施例にかかる積層型圧電体素子
における、不活性層近傍の内部電極のパターンを示す図
である。
における、不活性層近傍の内部電極のパターンを示す図
である。
【図７】従来の積層型圧電体素子を示す断面図である。
１ 圧電体層 １ａ 最上層の圧電体層
（不活性層） １ａ1，１ａ2 不活性層近傍の圧電
体層 １ｂ 最下層の圧電体層
（不活性層） １ｂ1，１ｂ2 不活性層近傍の圧電
体層 ２ａ，２ｂ 活性層の内部電極 ３ 積層体 ４ａ，４ｂ 側面に形成された外
部電極 ５ 積層型圧電体素子 ６ 電極が形成されてい
ない孔 １２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂ 不活性層近傍の内部
電極
（不活性層） １ａ1，１ａ2 不活性層近傍の圧電
体層 １ｂ 最下層の圧電体層
（不活性層） １ｂ1，１ｂ2 不活性層近傍の圧電
体層 ２ａ，２ｂ 活性層の内部電極 ３ 積層体 ４ａ，４ｂ 側面に形成された外
部電極 ５ 積層型圧電体素子 ６ 電極が形成されてい
ない孔 １２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂ 不活性層近傍の内部
電極
Claims (4)
- 【請求項１】 複数の圧電体層と、圧電体層間に配設さ
れた内部電極と、内部電極と導通する外部電極とを備え
てなる積層型圧電体素子において、 最上層及び最下層の圧電的に不活性な圧電体層の近傍に
おける内部電極の重なり面積を、他の圧電的に活性な部
分における内部電極の重なり面積よりも小さくしたこと
を特徴とする積層型圧電体素子。 - 【請求項２】 前記最上層及び最下層の圧電的に不活性
な圧電体層の近傍における内部電極の重なり面積を、他
の圧電的に活性な部分における内部電極の重なり面積の
５０％以下にしたことを特徴とする請求項１記載の積層
型圧電体素子。 - 【請求項３】 前記最上層及び最下層の圧電的に不活性
な圧電体層の近傍の内部電極のパターンを、電極が形成
されていない孔を有するパターンとしたことを特徴とす
る請求項１または請求項２記載の積層型圧電体素子。 - 【請求項４】 前記最上層及び最下層の圧電的に不活性
な圧電体層の近傍の、圧電体層を介して対向する内部電
極の、前記電極が形成されていない孔の位置を互にずら
せることにより、該内部電極の重なり面積を調節したこ
とを特徴とする請求項３記載の積層型圧電体素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5195516A JPH0730165A (ja) | 1993-07-12 | 1993-07-12 | 積層型圧電体素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5195516A JPH0730165A (ja) | 1993-07-12 | 1993-07-12 | 積層型圧電体素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0730165A true JPH0730165A (ja) | 1995-01-31 |
Family
ID=16342388
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5195516A Withdrawn JPH0730165A (ja) | 1993-07-12 | 1993-07-12 | 積層型圧電体素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0730165A (ja) |
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-
1993
- 1993-07-12 JP JP5195516A patent/JPH0730165A/ja not_active Withdrawn
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