JPH07287130A - 光ファイバモジュール - Google Patents

光ファイバモジュール

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JPH07287130A
JPH07287130A JP8020294A JP8020294A JPH07287130A JP H07287130 A JPH07287130 A JP H07287130A JP 8020294 A JP8020294 A JP 8020294A JP 8020294 A JP8020294 A JP 8020294A JP H07287130 A JPH07287130 A JP H07287130A
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JP
Japan
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optical
optical fiber
package
fiber module
active element
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JP8020294A
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Hideyuki Tanaka
秀幸 田中
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Oki Electric Industry Co Ltd
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Oki Electric Industry Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 電子冷却素子の冷却能力を十分に発揮させ、
効率よく光能動素子を冷却可能な構造を持つ光ファイバ
モジュールを提供することを目的とする。 【構成】 光能動素子1、電子冷却器31をパッケージ
32に収容し、内部の光能動素子1と外部の光ファイバ
12とを光結合する光ファイバモジュールにおいて、電
子冷却器31の放熱板312をパッケージ32の外壁の
一部として利用するようにしたことを特徴し、電子冷却
器31の放熱板312がパッケージ32の外壁の一部と
することで、熱抵抗を減らし、直接的に光能動素子1の
発熱を放熱できるようにしている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、光ファイバ通信に用
いられ、発光素子、受光素子等の光能動素子を収容して
光ファイバと光結合する光ファイバモジュールの構造に
関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、光ファイバ通信にあっては、
長距離通信にはシングルモードレーザダイオードが用い
られ、中継系、光映像分配等に適用される光増幅器には
高光出力レーザダイオードが用いられている。これらの
半導体レーザに代表される発光素子(以下、LDと総称
する)を伝送用光ファイバと光結合する光ファイバモジ
ュールには、LDの光出力の安定性や光スペクトルの安
定性を維持するため、パッケージングして気密封止する
と共に、電子冷却素子を内蔵して内部温度を一定に保持
するようにしている。以下に、従来の光ファイバモジュ
ールの代表的な構造を3例ほど示して、簡単に説明す
る。
【0003】図4は従来の光ファイバモジュールの第1
の構造例を示す断面図である。図4において、1はL
D、2はLD1の発熱を放熱するヒートシンク、3はL
D1とヒートシンク2をボンディングしたLDヘッダで
ある。4はLDヘッダが取り付けられた支持板である。
LDヘッダ3と支持板4は、放熱性を良好にするため、
半田付け等の方法により固定される。5はLD1の温度
を測定する温度検出用サーミスタ抵抗(以下、単にサー
ミスタと称する)で、支持板4に接着または半田付けに
より固定される。
【0004】7はLD1の出力光を集束変換するレンズ
で、8はレンズ7を支持板4からLD1の光軸と同じ高
さで同じ方向となるように保持するレンズホルダ8であ
る。レンズ7はレンズホルダ8に半田付け、圧入等の方
法で取り付けられ、レンズホルダ8は支持板4上にYA
Gレーザ等で溶接固定される。
【0005】16は以上の構成によるLD部を収容保護
するパッケージで、一側面を開口した筐体構造となって
おり、LD1の出力光が通過するように窓161が形成
される。その内部底面には電子冷却器15が半田付けに
より取り付けられており、上記LD部はこの電子冷却器
15の冷却面に載置され、半田付けにより固定される。
【0006】上記電子冷却器15は吸熱板151と放熱
板152とを電子冷却素子153によって連結したもの
で、吸熱板151及び放熱板152に駆動電力が供給さ
れると、吸熱板151がLD部に発生する熱を吸収し、
この吸収した熱を放熱板152よりパッケージ16の外
部へ放出するようになっている。すなわち、サーミスタ
5で検出される温度情報を元に電子冷却器15を駆動制
御することで、LD部の温度を一定に保つことができ
る。
【0007】また、9はパッケージ16の開口面を塞ぐ
ことでLD部を気密封止するカバーで、窒素ガスの封入
後、パッケージ16とシーム溶接により固定される。1
0は光アイソレータで、光アイソレータホルダ11内に
接着または溶接により保持され、レンズ7で集束変換さ
れたビームが通過した後、その光が戻り光とならないよ
うに機能し、レンズ7と同一光軸上に溶接固定される。
【0008】12はLD1の出力光をレンズ7、光アイ
ソレータ10を介して入力伝達する光ファイバであり、
13は光ファイバ12を固定するフェルールである。1
4はパッケージ16に対してフェルール13を一体保持
するための金属スリーブで、それぞれ光軸位置を調整し
た後、YAGレーザ等で溶接固定される。
【0009】尚、図示しないが、LDヘッダ3、サーミ
スタ5、電子冷却器15は、パッケージ16の内部に突
出されたセラミック上のAuメタライズパターンまたは
金属リードに、ワイヤボンディング等で配線されてい
る。
【0010】図5は従来の光ファイバモジュールの第2
の構造例を示す断面図である。尚、図5において、図4
と同一部分には同一符号を付して示し、その説明は省略
する。
【0011】図5において、17は、LD1及びヒート
シンク2をボンディングしたLDヘッダ3、サーミスタ
5が取り付けられるL字型支持板17である。LDヘッ
ダ3と支持板17は、放熱性を良好にするため、半田付
け等により固定される。サーミスタ5と支持板17は接
着または半田付けにより固定される。L字型支持板17
は電子冷却器15の冷却面に載置され、はんだ付けによ
り固定される。また、その直立板部にはLD1の出力光
が通過するように窓171が形成される。
【0012】18はレンズ7及び光アイソレータ10を
それぞれの光軸が一致するように保持する金属製の光学
系ホルダである。レンズ7は半田付け、圧入等で、光ア
イソレータ10は接着等で、ホルダ18に固定される。
この光学系ホルダ18はパッケージ16に形成された開
口窓162から挿入され、LD1と光軸調整された後、
L字型支持板17の直立板部とYAGレーザ等で溶接固
定される。
【0013】さらに、光学系ホルダ18にはフェルール
13を介して光ファイバ13を固定した金属スリーブ1
4が、光軸調整後に溶接固定される。また、光学系ホル
ダ18は、パッケージ16の開口窓162と半田付け、
接着により固定される。
【0014】図6は従来の光ファイバモジュールの第3
の構造例を示す断面図である。尚、図6において、図5
と同一部分には同一符号を付して示し、その説明は省略
する。
【0015】図6において、19はLD1を放熱するヒ
ートシンク、20はLD1及びヒートシンク19がボン
ディングされるLDヘッダで、ヒートシンク19、LD
ヘッダ20はLD1の光軸方向に対して垂直方向に半田
付け等で固定される。LDヘッダ20は電子冷却器15
に直立した状態で半田付け等で固定される。
【0016】また、21はLD1を気密封止する円筒状
のキャップで、LD1からの光が通過するガラス窓21
1が形成されている。このキャップ21はLDヘッダ2
0と抵抗溶接等で固定される。
【0017】レンズ7、光アイソレータ10を保持した
光学系ホルダ18は、図5と同様にLD1と光軸調整さ
れた後、キャップ21とYAGレーザ等で溶接固定され
る。また、LDヘッダ20から突出した金属リードは、
図示しないが、パッケージ16の内部に突出されたセラ
ミック上のAuメタライズパターンまたは金属リードに
半田付け等で配線される。
【0018】すなわち、発光素子と伝送用光ファイバを
光結合する従来の光ファイバモジュールは、基本的に上
記のように構成されており、LD1から放射される光を
レンズ7により集光し、光アイソレータ10で戻り光を
抑制しつつ、光ファイバ12に入射するようになってい
る。
【0019】ところで、上記のような光ファイバモジュ
ールは、それ自体の温度を一定に保つため、図7に示す
ようにパッケージ16をアルミ等のヒートシンク22に
取り付け21、LD1に電流を流すことにより発生する
熱流を電子冷却器15で冷却し、ヒートシンクに放熱す
るヒートポンプ方式をとっている。
【0020】しかしながら、上記構造による従来の光フ
ァイバモジュールでは、電子冷却器15とヒートシンク
22との間にパッケージ16の底面を介するため、熱抵
抗が大きくなり、放熱性が悪くなっている。その分、電
子冷却器15に付加する印加電力を増大しようとする
と、自己発熱が大きくなるため、相乗的に印加電力を増
大しなければならない。このように、従来では電子冷却
器15が持つ冷却能力を十分に生かし切れていない。
【0021】また、図5及び図6に示す構造では、光学
系ホルダ18とパッケージ16の開口窓162を半田付
け、接着等で固定しているため、気密封止が不十分にな
りやすく、LD1の半田付け部に酸化、腐食が生じ、L
D1の特性が劣化したり、光軸ずれが生じてしまうおそ
れがある。
【0022】特に、図6に示す構造では、LDヘッダ1
9と電子冷却器15との接触面積が小さいため、LD1
から発熱する熱を冷却する能力が十分に生かし切れてい
ない。
【0023】以上は発光素子と光ファイバを光結合する
光ファイバモジュールについて説明したが、受光素子と
光ファイバを光結合するモジュールについても同様の問
題が生じている。
【0024】
【発明が解決しようとする課題】以上述べたように、光
能動素子をパッケージに内蔵して光ファイバと光結合さ
せる従来の光ファイバモジュールでは、光能動素子の温
度を保持する電子冷却素子の冷却能力を十分生かし切れ
ておらず、冷却効率が悪いという問題点があった。ま
た、光学系ホルダをパッケージ内に挿入するタイプのも
のは構造的に気密が漏れやすく、光能動素子の取付部分
に酸化、腐食が生じて、光入出力特性が劣化したり、光
軸ずれが生じたりするおそれがあるという問題点があっ
た。
【0025】そこで本発明は上記の課題を解決すべくな
されたもので、電子冷却素子の冷却能力を十分に発揮さ
せ、効率よく光能動素子を冷却可能な構造を持つ光ファ
イバモジュールを提供することを第1の目的とする。
【0026】また、光学系ホルダがパッケージ内に挿入
されるタイプのものでも、光能動素子を完全に気密封止
することができる光ファイバモジュールを提供すること
を第2の目的とする。
【0027】究極の目的は、長期的にも安定した光出力
が得られる光ファイバモジュールを提供することにあ
る。
【0028】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記第1の目
的を達成するために、光能動素子、電子冷却素子をパッ
ケージに収容し、内部の光能動素子と外部の光ファイバ
とを光結合する光ファイバモジュールにおいて、電子冷
却器の放熱板をパッケージ外壁の一部として利用するよ
うにしたことを第1の特徴とする。
【0029】また、本発明は、上記第2の目的を達成す
るために、光能動素子、電子冷却素子をパッケージに収
容し、パッケージ内に光学系ホルダが挿入され、内部の
光能動素子と外部の光ファイバとを光学系ホルダに保持
される光学系を介して光結合する光ファイバモジュール
において、光能動素子を光軸面に光透過窓を有する小型
の筐体で気密封止するようにしたことを第2の特徴とす
る。
【0030】さらに、本発明は、上記の第1、第2の特
徴とする構造を合せ持つようにしたことを第3の特徴と
する。
【0031】
【作用】第1の特徴とする構成の光ファイバモジュール
では、電子冷却器の放熱板がパッケージの外壁の一部と
することで、熱抵抗を減らし、直接的に光能動素子の発
熱を放熱できるようにしている。
【0032】第2の特徴とする構成の光ファイバモジュ
ールでは、パッケージ内部で光能動素子を小型の筐体に
より気密封止した二重構造とし、これによってパッケー
ジと光学系ホルダとの接合部に気密漏れが生じても、光
能動素子への影響がないようにしている。
【0033】
【実施例】以下、図1乃至図4を参照して本発明の実施
例を詳細に説明する。
【0034】図1は本発明に係る光ファイバモジュール
の第1の実施例の構造を示す断面図である。図1におい
て、図4と同一部分には同一符号を付して示し、ここで
は異なる部分を中心に説明する。
【0035】図1において、31はLD部が搭載される
電子冷却器であり、吸熱板311、放熱板312、電子
冷却素子313からなる。吸熱板311、放熱板312
はセラミック等で作られ、放熱板312より吸熱板31
1より十分大きく形成され、パッケージ32の底面外壁
として用いられる。吸熱板311上にはLD部が搭載固
定される。
【0036】パッケージ32はCu−WやKOVAR等
の金属で構成され、上底面が開放面されており、底面側
には電子冷却器31の放熱板312が臘付けにより固定
される。また、上面側にはカバー9が、窒素ガスの封入
後、シーム溶接により固定される。尚、パッケージ32
のLD1の出力光が通過する部分には窓321が形成さ
れ、その部分に光アイソレータホルダ11が、光軸調整
後、固定される。
【0037】上記構成の光ファイバモジュールによれ
ば、LD1、ヒートシンク2、LDヘッダ3、支持板
4、サーミスタ5、レンズ7、レンズホルダ8を保護す
るパッケージ32の底面と電子冷却器31の放熱板31
2を臘付けにより固定して両者を一体化しいるので、外
部ヒートシンクに装着した時、熱抵抗がほとんどなく、
これによって放熱性が良好となり、電子冷却器31の駆
動効率を向上させることができる。
【0038】また、パッケージ32の底面と電子冷却器
31の放熱板312を共用したことにより、基板一枚分
程光ファイバモジュールの高さが低くなり、伝送装置へ
の実装が容易になるという効果もある。
【0039】尚、上記実施例では、図2(a)に示すよ
うに、LD1の出力光が通過する窓321の形成された
パッケージ32の外壁と電子冷却器31の放熱板312
が垂直になるようにしたが、図6に示したような構造を
とるものについては、図2(b)に示すように、パッケ
ージ32の窓321の形成された外壁と電子冷却器31
の放熱板312が平行になるように両者を形成固定すれ
ば、上記実施例と同様な効果が得られる。
【0040】図3はこの発明に係る光ファイバモジュー
ルの第2の実施例の構造を示す断面図である。図3にお
いて、図5と同一部分には同一符号を付して示し、ここ
では異なる部分を中心に説明する。
【0041】図3において、33は天面を開放とした断
面をコ字状とした小型の筐体であり、電子冷却器15の
吸熱板151上に固定され、内部底面にはLD1、ヒー
トシンク2をボンディングしたLDヘッダ3とサーミス
タ5が固定される。そして、窒素ガス封入後、天面にカ
バー34がシーム溶接により固定される。筐体33のL
D1の出力光通過部分には窓331が形成される。
【0042】その後、図5と同様に、筐体33の窓33
1形成部分に、レンズ7、光アイソレータ10が取り付
けられた光学系ホルダ18が、光軸調整後、YAGレー
ザ等で溶接固定される。光学系ホルダ18はパッケージ
16の開口窓162の端部と半田付け、接着等で固定さ
れる。
【0043】上記構成の光ファイバモジュールによれ
ば、パッケージ16内部でLD1を筐体33及びカバー
34による箱型容器に密封した二重構造となっているの
で、LD部の気密を保つことができ、LD1の劣化を防
ぎ、長期に渡って安定した光出力が得られるようにな
る。
【0044】また、LD1を取り付けた筐体33と電子
冷却器15の接触面積を大きくすれば、熱吸収性がさら
に良好となり、電子冷却器15の駆動効率を向上させる
ことができるという効果をもたらす。
【0045】図8は、本発明に係わる第3の実施例の構
造を示す断面図である。この実施例では、第1の実施例
の電子冷却素子/パッケージ一体構造と、第2の実施例
の気密封止筐体二重構造を組み合わせた構造を備えた光
ファイバーモジュールである。このため、第3の実施例
では、第1の実施例と第2の実施例のそれぞれの相乗効
果が得られ、いっそうの冷却効率向上、LD劣化の防止
を期待できる。
【0046】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形
しても同様に実施可能であることはいうまでもない。
【0047】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、電子
冷却素子/パッケージ一体構造により、電子冷却素子の
冷却能力を十分に発揮させ、効率よく光能動素子を冷却
可能な構造を持つ光ファイバモジュールを提供すること
ができる。
【0048】また、気密封止筐体二重構造により、光学
系ホルダがパッケージ内に挿入されるタイプのもので
も、光能動素子を完全に気密封止することができる光フ
ァイバモジュールを提供することができる。
【0049】さらに、電子冷却素子/パッケージ一体構
造、気密封止筐体二重構造の組み合わせにより、長期的
にも安定した光出力が得られる光ファイバモジュールを
提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る光ファイバモジュールの第1の実
施例の構造を示す断面図である。
【図2】同実施例の電子冷却素子とパッケージの一体化
構造を示す断面図である。
【図3】本発明に係る光ファイバモジュールの第2の実
施例の構造を示す断面図である。
【図4】従来の光ファイバモジュールの第1の構造例を
示す断面図である。
【図5】従来の光ファイバモジュールの第2の構造例を
示す断面図である。
【図6】従来の光ファイバモジュールの第3の構造例を
示す断面図である。
【図7】従来の光ファイバモジュールの電子冷却素子の
冷却原理を説明するための断面図である。
【図8】本発明に係る光ファイバモジュールの第3の実
施例の構造を示す断面図である。
【符号の説明】
1 LD 2 ヒートシンク 3 LDヘッダ 4 支持板 5 温度検出用サーミスタ抵抗 7 レンズ 8 レンズホルダ 9,34 カバー 10 光アイソレータ 11 光アイソレータホルダ 12 光ファイバ 13 フェルール 14 金属スリーブ 15,31 電子冷却器 18 光学系ホルダ 32 パッケージ 33 筐体 162 開口窓 311 吸熱板 312 放熱板 313 電子冷却素子 321,331 窓

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光能動素子、電子冷却素子をパッケージ
    に収容し、内部の光能動素子と外部の光ファイバとを光
    結合する光ファイバモジュールにおいて、 前記電子冷却素子の放熱板をパッケージ外壁の一部とす
    ることを特徴とする光ファイバモジュール。
  2. 【請求項2】 光能動素子、電子冷却素子をパッケージ
    に収容し、前記パッケージ内に光学系ホルダが挿入さ
    れ、内部の光能動素子と外部の光ファイバとを前記光学
    系ホルダに保持される光学系を介して光結合する光ファ
    イバモジュールにおいて、 前記パッケージの内部で前記光能動素子を光軸面に光透
    過窓を有する小型の筐体で気密封止するようにしたこと
    を特徴とする光ファイバモジュール。
  3. 【請求項3】 光能動素子、電子冷却素子をパッケージ
    に収容し、前記パッケージ内に光学系ホルダが挿入さ
    れ、内部の光能動素子と外部の光ファイバとを前記光学
    系ホルダに保持される光学系を介して光結合する光ファ
    イバモジュールにおいて、 前記電子冷却素子の放熱板をパッケージ外壁の一部とす
    る電子冷却素子/パッケージ一体化構造と、 前記パッケージの内部で前記光能動素子を光軸面に光透
    過窓を有する小型の筐体で気密封止する気密封止二重化
    構造とを具備する光ファイバモジュール。
JP8020294A 1994-04-19 1994-04-19 光ファイバモジュール Pending JPH07287130A (ja)

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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1998054802A1 (en) * 1997-05-30 1998-12-03 Videojet Systems International, Inc. Laser diode module with integral cooling
JP2001059925A (ja) * 1999-06-15 2001-03-06 Furukawa Electric Co Ltd:The 半導体レーザモジュール
JP2007086472A (ja) * 2005-09-22 2007-04-05 Seikoh Giken Co Ltd 半導体レーザ用キャップ及び光モジュール
JP2008028309A (ja) * 2006-07-25 2008-02-07 Opnext Japan Inc 光伝送モジュール
JP4965781B2 (ja) * 1999-09-02 2012-07-04 インテル・コーポレーション 2重格納部光電子パッケージ
CN103827717A (zh) * 2011-10-18 2014-05-28 株式会社藤仓 光模块的制造方法
CN114815091A (zh) * 2022-04-27 2022-07-29 湖南光智通信技术有限公司 一种可快速散热的光发射器

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1998054802A1 (en) * 1997-05-30 1998-12-03 Videojet Systems International, Inc. Laser diode module with integral cooling
US6072814A (en) * 1997-05-30 2000-06-06 Videojet Systems International, Inc Laser diode module with integral cooling
JP2001059925A (ja) * 1999-06-15 2001-03-06 Furukawa Electric Co Ltd:The 半導体レーザモジュール
JP4965781B2 (ja) * 1999-09-02 2012-07-04 インテル・コーポレーション 2重格納部光電子パッケージ
JP2007086472A (ja) * 2005-09-22 2007-04-05 Seikoh Giken Co Ltd 半導体レーザ用キャップ及び光モジュール
JP2008028309A (ja) * 2006-07-25 2008-02-07 Opnext Japan Inc 光伝送モジュール
CN103827717A (zh) * 2011-10-18 2014-05-28 株式会社藤仓 光模块的制造方法
US9586280B2 (en) 2011-10-18 2017-03-07 Fujikura Ltd. Method for manufacturing optical module
CN114815091A (zh) * 2022-04-27 2022-07-29 湖南光智通信技术有限公司 一种可快速散热的光发射器
CN114815091B (zh) * 2022-04-27 2023-11-03 湖南光智通信技术有限公司 一种可快速散热的光发射器

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