JPH07248337A - Contact probe - Google Patents
Contact probeInfo
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- JPH07248337A JPH07248337A JP6040881A JP4088194A JPH07248337A JP H07248337 A JPH07248337 A JP H07248337A JP 6040881 A JP6040881 A JP 6040881A JP 4088194 A JP4088194 A JP 4088194A JP H07248337 A JPH07248337 A JP H07248337A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はプリント基板のテスタの
多点コンタクトプローブヘッドに組み込まれるコンタク
トプローブに関し、更に詳しくは、チップが高密度実装
され、線間距離が0.３mm程度のファインパターンを有す
るプリント基板の検査に対しても、信頼性が高い検査結
果を提供することができる長寿命のコンタクトプローブ
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a contact probe incorporated in a multi-point contact probe head of a printed circuit board tester. More specifically, chips are mounted at a high density and a fine pattern having a line spacing of about 0.3 mm is formed. The present invention also relates to a long-life contact probe that can provide highly reliable inspection results even when inspecting a printed circuit board that it has.
【０００２】[0002]
【従来の技術】チップが実装されたプリント基板のパタ
ーン断線の有無やチップ実装ミスの有無などを検査する
場合には、複数本のコンタクトプローブが組み込まれて
いる多点コンタクトプローブヘッドを備えたテスタが用
いられる。従来から知られているコンタクトプローブ
は、通常、先端部の端面が尖頭形になっているニードル
と、このニードルの基部を収容するシース管と、このシ
ース管の中に配設され、前記ニードルの基部を押圧する
バネ部材とで構成されている。2. Description of the Related Art A tester equipped with a multi-point contact probe head incorporating a plurality of contact probes when inspecting a printed circuit board on which a chip is mounted for pattern disconnection or chip mounting error. Is used. A conventionally known contact probe is usually a needle having a pointed end face, a sheath tube accommodating the base of the needle, and a needle disposed in the sheath tube. And a spring member that presses the base of the.
【０００３】検査に当たっては、多点コンタクトプロー
ブヘッドに組み込まれているコンタクトプローブのニー
ドル先端を、パッケージ品であるＳＯＰやＱＦＰ，チッ
プのラウンドなどの被検査個所にピン立てし、バネ部材
のスプリング力で前記ニードル先端を所定のピン圧で被
検査個所に押圧し、その状態で、被検査個所とコンタク
トプローブ間の導通の有無が測定される。そして、導通
が認められない場合は、パターン断線などの欠陥が発生
しているということになる。In the inspection, the needle tip of the contact probe incorporated in the multi-point contact probe head is pinned to the inspected portion such as the SOP, QFP, or the round of the chip, which is a package product, and the spring force of the spring member is set. Then, the tip of the needle is pressed against the inspected portion with a predetermined pin pressure, and in this state, the presence or absence of continuity between the inspected portion and the contact probe is measured. If no continuity is recognized, it means that a defect such as a pattern disconnection has occurred.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところで、最近は、高
密度実装が進み導体回路のファインパターン化が進ん
で、パターンの線間距離が0.３mm程度であるプリント基
板も実用化されている。そして、この線間距離が更に狭
いものも実用化の域に到達しつつある。このようなファ
インパターンを有するプリント基板を検査する場合、ニ
ードルを細径化し、またそれが組み込まれるコンタクト
プローブの外径も細くしなければならなくなる。By the way, recently, with the progress of high-density mounting and finer patterning of conductor circuits, a printed circuit board having a pattern spacing of about 0.3 mm has been put into practical use. And, even those with a smaller distance between the lines are reaching the range of practical application. When inspecting a printed circuit board having such a fine pattern, it is necessary to reduce the diameter of the needle and the outer diameter of the contact probe in which the needle is incorporated.
【０００５】しかしながら、コンタクトプローブの外径
を細くすると、次のような問題が発生してくる。すなわ
ち、まず、前記した従来構造のコンタクトプローブの場
合には、ニードルを押圧するバネ部材やシース管を必要
とするが、ニードル外径の細径化に伴い、これら他の部
材も細径化しなければならない。そのため、それら部材
の製造には従来にまして高精度加工が要求されることに
なり、またコンタクトプローブへの組立て作業も煩雑に
ならざるを得ないということである。However, when the outer diameter of the contact probe is reduced, the following problems occur. That is, first, in the case of the contact probe of the above-described conventional structure, a spring member and a sheath tube for pressing the needle are required, but as the outer diameter of the needle becomes smaller, these other members must also have a smaller diameter. I have to. Therefore, the manufacturing of these members requires higher precision processing than ever before, and the assembling work to the contact probe must be complicated.
【０００６】更に、コンタクトプローブを細径化する
と、コンタクトプローブそれ自体の機械的強度が低下
し、またニードル先端の摩耗量も増大するようになり、
実使用可能なショット回数の減少を招くことがある。す
なわち、コンタクトプローブの使用寿命が短くなる。こ
のようなことから、現在のところ、コンタクトプローブ
の外径を極力細くしても、せいぜい1.０mm程度が限度に
なっている。Further, when the contact probe is made thin, the mechanical strength of the contact probe itself is lowered, and the wear amount of the needle tip is also increased.
This may lead to a decrease in the number of shots that can be actually used. That is, the service life of the contact probe is shortened. For this reason, at present, even if the outer diameter of the contact probe is made as thin as possible, the limit is at most about 1.0 mm.
【０００７】しかしながら、線径が1.０mm程度のコンタ
クトプローブを複数本並設して多点コンタクトプローブ
ヘッドにすると、これらコンタクトプローブが互いに接
触してしまうので、例えば線間距離が0.３mmのファイン
パターンを有するプリント基板の多数点を同時に検査す
ることができなくなる。本発明は、コンタクトプローブ
の線径化に伴って発生する上記した問題を解決し、構造
は極めて簡単であるにもかかわらず、線間距離0.３mmの
ファインパターンを有するプリント基板に対してもその
多数点を同時に検査することができる多点コンタクトプ
ローブヘッドに組み込まれるコンタクトプローブの提供
を目的とする。However, when a plurality of contact probes each having a wire diameter of about 1.0 mm are arranged side by side to form a multi-point contact probe head, the contact probes come into contact with each other, so that the distance between the wires is, for example, 0.3 mm. It becomes impossible to inspect many points of a printed circuit board having a fine pattern at the same time. INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention solves the above-mentioned problems caused by increasing the diameter of a contact probe, and even though the structure is extremely simple, even for a printed circuit board having a fine pattern with a line spacing of 0.3 mm. An object of the present invention is to provide a contact probe incorporated in a multipoint contact probe head capable of inspecting a large number of points at the same time.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために、本発明においては、ロックウエル硬さ（ＨＲ
Ｃ）が４０以上である鋼から成り、線径0.２〜0.５mm，
長さ２０〜１００mmである芯線と、前記芯線の全面を被
覆し、前記鋼よりも導電性が優れている材料から成る導
電性コーティング層と、先端部および基端部を除いた前
記導電性コーティング層の表面を被覆して成る絶縁性コ
ーティング層とを備えていることを特徴とするコンタク
トプローブが提供される。In order to achieve the above object, in the present invention, the Rockwell hardness (HR
C) made of steel with 40 or more, wire diameter 0.2-0.5 mm,
A core wire having a length of 20 to 100 mm, a conductive coating layer that covers the entire surface of the core wire and is made of a material having better conductivity than the steel, and the conductive coating excluding the tip end portion and the base end portion. A contact probe is provided, which comprises an insulating coating layer formed by coating the surface of the layer.
【０００９】[0009]
【作用】本発明のコンタクトプローブにおいては、まず
芯線がＨＲＣ４０以上の鋼で形成されている。したがっ
て、芯線はその線径が0.２〜0.５mmと細径化されている
にもかかわらず、弾性は大きくかつ耐摩耗性も良好であ
り、その先端部の端面を被検査個所に押圧すると小さな
ピン圧でも座屈現象を起こしやすく、また端面の摩耗量
も少なくなるのでショット回数は増加しコンタクトプロ
ーブとしての使用寿命は長くなる。In the contact probe of the present invention, the core wire is made of steel having HRC of 40 or more. Therefore, although the core wire has a small diameter of 0.2 to 0.5 mm, it has large elasticity and good wear resistance, and presses the end face of the tip part against the inspected part. Then, even if a small pin pressure is applied, a buckling phenomenon is likely to occur, and the amount of wear on the end face is reduced, so that the number of shots is increased and the service life of the contact probe is extended.
【００１０】芯線の線径は0.２〜0.５mmに設定されてい
るので、このコンタクトプローブを複数本並設して線間
距離0.３mmのファインパターンを有するプリント基板の
同時多数点検査用の多点コンタクトプローブヘッドを組
み立てても、コンタクトプローブが互いに接触すること
はなく、その先端部の端面を被検査個所の多数点に同時
にピン立てすることができる。Since the wire diameter of the core wire is set to 0.2 to 0.5 mm, a plurality of contact probes are arranged in parallel and a simultaneous multi-point inspection of a printed circuit board having a fine pattern with a wire distance of 0.3 mm is performed. Even if a multi-point contact probe head for use in assembling is assembled, the contact probes do not come into contact with each other, and the end face of the tip portion can be simultaneously pinned to a large number of points of the inspected part.
【００１１】また、芯線の長さが短すぎると、被検査個
所への接触時にピン圧が大きくなりすぎて被検査個所を
損傷することがあり、逆に長すぎるとピン圧が小さくな
りすぎて良好な接触状態が得られないので、本発明のコ
ンタクトプローブでは、芯線の長さを２０〜１００mmの
範囲内に設定されるが、そのことによって、コンタクト
プローブの基端部を固定したときに、被検査個所への先
端部のピン圧を適宜な値に調整することができる。If the length of the core wire is too short, the pin pressure may become too large at the time of contact with the inspected part and damage the inspected part. Conversely, if it is too long, the pin pressure may become too small. Since a good contact state cannot be obtained, in the contact probe of the present invention, the length of the core wire is set within the range of 20 to 100 mm, whereby when the base end portion of the contact probe is fixed, It is possible to adjust the pin pressure of the tip portion to the inspected portion to an appropriate value.
【００１２】例えば、本発明のコンタクトプローブを組
み込んだ多点コンタクトプローブヘッドにおいて、コン
タクトプローブの先端でピン圧を得るストロークを１mm
に設定した場合、芯線の長さを２０mmにするとピン圧は
約４００ｇ，芯線の長さを４０mmにするとピン圧は約１
６０ｇ，芯線の長さを５３mmにするとピン圧は約１００
ｇ，芯線の長さを６０mmにするとピン圧は約７５ｇ，芯
線の長さを７０mmにするとピン圧は約５０ｇ，芯線の長
さを１００mmにするとピン圧は約２５ｇ，芯線の長さを
１５０mmにするとピン圧は約１５ｇ，芯線の長さを２０
０mmにするとピン圧は約１０ｇにすることができる。For example, in a multi-point contact probe head incorporating the contact probe of the present invention, the stroke for obtaining pin pressure at the tip of the contact probe is 1 mm.
When set to, when the core wire length is 20 mm, the pin pressure is about 400 g, and when the core wire length is 40 mm, the pin pressure is about 1 g.
When the weight is 60g and the core length is 53mm, the pin pressure is about 100.
g, when the core wire length is 60 mm, the pin pressure is about 75 g, when the core wire length is 70 mm, the pin pressure is about 50 g, when the core wire length is 100 mm, the pin pressure is about 25 g, and the core wire length is 150 mm. The pin pressure is about 15g and the core wire length is 20g.
When it is 0 mm, the pin pressure can be about 10 g.
【００１３】このようなことから、良好な接触状態を可
能にし、かつ被検査個所の損傷を防止するために、本発
明においては、芯線の長さは２０〜１００mmに設定され
る。好ましくは、４５〜６０mmである。芯線の全面は、
鋼よりも導電性が良好な材料から成る導電性コーティン
グ層で被覆されているので、先端部の端面を被検査個所
に押圧して通電したときに、電流は外皮効果によって上
記導電性コーティング層を流れ、微小電流であっても導
通の有無を検出することができるようになる。すなわ
ち、欠陥検出の感度が向上する。From the above, the core wire length is set in the range of 20 to 100 mm in the present invention in order to enable a good contact state and prevent damage to the inspected portion. It is preferably 45 to 60 mm. The whole surface of the core wire is
Since it is covered with a conductive coating layer made of a material with better conductivity than steel, when the end surface of the tip is pressed against the location to be inspected and energized, the current causes the above-mentioned conductive coating layer due to the skin effect. It becomes possible to detect the presence / absence of conduction even with a small current flowing. That is, the sensitivity of defect detection is improved.
【００１４】また、このコンタクトプローブの場合は、
先端部と基端部を除いた他の部分は絶縁性コーティング
層で被覆されているので、多点コンタクトプローブヘッ
ドに組み込んだ実使用時にコンタクトプローブが湾曲し
て隣のコンタクトプローブと接触しても、互いに電気的
に短絡することはなくなる。In the case of this contact probe,
Since the other parts except the tip and the base end are covered with an insulating coating layer, even if the contact probe bends and comes into contact with the adjacent contact probe when actually used in a multi-point contact probe head, it is covered. , No longer electrically shorted to each other.
【００１５】[0015]
【実施例】以下に、図面に基づいて本発明のコンタクト
プローブを詳細に説明する。図１は、本発明のコンタク
トプローブＡの断面構造を示す断面図である。図１にお
いて、コンタクトプローブＡは、芯線１と、その全面を
被覆する導電性コーティング層２と、先端部Ａ1 および
後端部Ａ2 を除いた他の部分、すなわち中間部を被覆す
る絶縁性コーティング層３とで構成されている。ここ
で、先端部Ａ1の端面は尖頭形状になっていて、この部
分がプリント基板の被検査個所に押圧され、また、基端
部Ａ2 には例えばスリーブが嵌着されてリード取付部が
形成される。The contact probe of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view showing a sectional structure of a contact probe A of the present invention. In FIG. 1, the contact probe A includes a core wire 1, a conductive coating layer 2 that covers the entire surface thereof, and an insulating property that covers a portion other than the front end portion A 1 and the rear end portion A 2 , that is, an intermediate portion. And the coating layer 3. Here, the end face of the tip end portion A 1 has a pointed shape, and this portion is pressed against a portion to be inspected of the printed circuit board, and the base end portion A 2 is fitted with a sleeve, for example, to provide a lead attachment portion. Is formed.
【００１６】まず、芯線１はＨＲＣが４０以上の鋼の線
材から成る。ＨＲＣが４０より低い鋼で芯線１を構成す
ると、実使用時における先端部Ａ1 の摩耗が大きく使用
寿命が短くなるとともに、線径0.２〜0.５mmに細径化し
たときの機械的強度の低下が大きくなるからである。芯
線１に用いる鋼としては、具体的には、ＳＫＨ５１，高
速度鋼，ばね鋼，ピアノ線材などを好適なものとしてあ
げることができる。First, the core wire 1 is made of a steel wire rod having an HRC of 40 or more. If the core wire 1 is made of steel having an HRC of less than 40, the wear of the tip end A 1 during actual use will be large and the service life will be shortened, and the mechanical diameter when the wire diameter is reduced to 0.2 to 0.5 mm. This is because the strength is greatly reduced. As the steel used for the core wire 1, specifically, SKH51, high speed steel, spring steel, piano wire and the like can be cited as preferable ones.
【００１７】芯線１の線径は0.２〜0.５mmに設定され
る。線径を0.２mmより細くすると、ＨＲＣ４０以上の鋼
であっても、その機械的強度、とくに耐摩耗性が低下し
て実使用時におけるショット回数の減少を招き、また、
0.５mmより大径にすると、線間距離が0.３mmまたはそれ
よりも狭い回路パターンの検査に適合できなくなるから
である。The diameter of the core wire 1 is set to 0.2 to 0.5 mm. If the wire diameter is smaller than 0.2 mm, even if the steel has a HRC of 40 or more, its mechanical strength, especially wear resistance, will decrease, leading to a decrease in the number of shots during actual use.
This is because if the diameter is larger than 0.5 mm, the distance between the lines cannot be inspected for a circuit pattern of 0.3 mm or narrower.
【００１８】更に、芯線１の長さは２０〜１００mmに設
定される。芯線の長さを２０mmよりも短くすると、実使
用時におけるピン圧は線径0.２mmであっても４００ｇ以
上になるため、コンタクトプローブの先端や被検査個所
を損傷させるような事態を招きやすい。また、芯線の長
さを１００mmより長くすると、ピン圧が小さくなりすぎ
て検査時における誤動作を招きやすくなるからである。Further, the length of the core wire 1 is set to 20 to 100 mm. If the core wire length is shorter than 20 mm, the pin pressure during actual use will be 400 g or more even if the wire diameter is 0.2 mm, so it is easy to cause a situation where the tip of the contact probe or the part to be inspected is damaged. . Further, if the length of the core wire is longer than 100 mm, the pin pressure becomes too small and the malfunction during the inspection is likely to occur.
【００１９】導電性コーティング層２は、芯線１の材料
よりも高導電率の材料で形成される。具体的には、金，
ロジウムまたはそれらの合金で形成することが好適であ
る。この導電性コーティング層２は、例えば電気めっき
によって形成される。その場合、芯線１の全面を洗浄し
たのち、そこに厚み0.１〜0.２μｍ程度のフッ化銅の下
地層を形成し、更にその上に厚み３〜５μｍ程度のニッ
ケルの下地層を形成したのち、厚み0.３〜0.４μｍ程度
の金層を形成すると、その導電性コーティング層２は良
好な導電性を確保するとともに、芯線１との密着性も良
好となり、実使用時にコンタクトプローブが湾曲した場
合でも剥離することがないので好適である。The conductive coating layer 2 is formed of a material having a higher conductivity than the material of the core wire 1. Specifically, gold,
It is preferably formed of rhodium or an alloy thereof. The conductive coating layer 2 is formed by electroplating, for example. In that case, after cleaning the entire surface of the core wire 1, a copper fluoride underlayer having a thickness of about 0.1 to 0.2 μm is formed thereon, and a nickel underlayer having a thickness of about 3 to 5 μm is further formed thereon. After that, when a gold layer having a thickness of about 0.3 to 0.4 μm is formed, the conductive coating layer 2 secures good conductivity and also has good adhesion to the core wire 1, so that the contact probe is actually used. It is suitable because it does not peel off even when curved.
【００２０】絶縁性コーティング層３は、例えば、テフ
ロンの焼付けコーティングやエナメル塗料を塗布して形
成される。また、電気絶縁性の熱収縮チューブに芯線１
を挿入したのち加熱して形成することもできる。この絶
縁性コーティング層３の厚みは格別限定されるものでは
なく、適度に可撓性が発現する厚みであればよい。な
お、本発明のコタンクトプローブにおいて、先端部Ａ1
の端面は図示したような尖頭形状に限定されるものでは
なく、複数個の鋭角の山を有する形状であってもよい。
例えば、図２で示したように、頂角が１５°程度の鋭角
に加工された山を３個有する三つ山構造であってもよ
い。また図３で示したように曲面構造になっていてもよ
い。The insulating coating layer 3 is formed by, for example, applying Teflon baking coating or enamel coating. Also, the core wire 1 should be attached to the electrically insulating heat-shrinkable tube.
It is also possible to form by heating after inserting. The thickness of this insulating coating layer 3 is not particularly limited, and may be any thickness as long as it exhibits flexibility appropriately. In addition, in the kotank probe of the present invention, the tip portion A 1
The end surface of is not limited to the pointed shape as shown in the figure, and may have a shape having a plurality of acute angle peaks.
For example, as shown in FIG. 2, a three-mountain structure having three peaks with a vertical angle of about 15 ° may be used. Further, it may have a curved structure as shown in FIG.
【００２１】鋭角の複数の山を有する端面形状は、この
部分を被検査個所に押圧したときにすべりにくいととも
に、１つの山が被検査個所から外れても残る山で被検査
個所との接触が確保されるので、検査ミスが有効に防止
できる。また、後者の端面形状は、被検査個所が損傷さ
れることを忌避するような場合、例えば液晶実装のガラ
ス基板を検査するときのコンタクトプローブの先端形状
として好適である。The end face shape having a plurality of acute-angled peaks is unlikely to slip when this portion is pressed against the inspected portion, and even if one mountain is removed from the inspected portion, the contact with the inspected portion remains. Since it is secured, inspection errors can be effectively prevented. The latter end surface shape is suitable as the tip shape of a contact probe when inspecting a glass substrate mounted with liquid crystal, for example, when avoiding damage to a portion to be inspected.
【００２２】本発明のコンタクトプローブは、図４で示
したように、その基端部Ａ2 にスリーブ４の一端を外嵌
し、スリーブ４の他端からリード線５を挿入し、基端部
Ａ2とリード線５を半田６で接続したのち、スリーブ４
を基端部Ａ2 とリード線５の外側から加締めることによ
りリード線５との接続がなされる。このとき、基端部Ａ
2 の外表面が金であると、半田６との濡れ性が良好にな
る。In the contact probe of the present invention, as shown in FIG. 4, one end of the sleeve 4 is externally fitted to the base end portion A 2 , and the lead wire 5 is inserted from the other end of the sleeve 4 to form the base end portion. After connecting A 2 and lead wire 5 with solder 6, sleeve 4
The lead wire 5 is connected by caulking the base end portion A 2 and the lead wire 5 from the outside. At this time, the base end A
When the outer surface of 2 is gold, the wettability with the solder 6 is good.
【００２３】このコンタクトプローブは例えば次のよう
にして製造することができる。まず、所定の鋼から成
り、所望の線径と長さを有する線材を例えばバレル研磨
したのち、先端部の端面加工を行って芯線１とする。こ
のバレル研磨を行うと、線材表面に微小クラックなどが
存在していてもそれらを除去することができ、そのこと
により、実使用時に折損することのない芯線を得ること
ができる。ついで、芯線１の表面の脱脂・洗浄処理を行
ったのち例えば電気めっきで所望する導電性コーティン
グ層２を形成し、更に、先端部Ａ1 ，基端部Ａ2 を除い
た個所に絶縁性コーティング層３を形成する。This contact probe can be manufactured, for example, as follows. First, a wire rod made of a predetermined steel and having a desired wire diameter and length is barrel-polished, for example, and then the end face of the tip portion is processed to form the core wire 1. By performing this barrel polishing, even if there are minute cracks or the like on the surface of the wire, they can be removed, and thus a core wire that does not break during actual use can be obtained. Next, the surface of the core wire 1 is degreased and washed, and then a desired conductive coating layer 2 is formed by, for example, electroplating, and further, an insulating coating is applied to the portions excluding the tip A 1 and the base A 2. Form layer 3.
【００２４】最後に、基端部Ａ2 にスリーブが外嵌さ
れ、リード線が接続されて、本発明のコンタクトプロー
ブが得られる。本発明のコンタクトプローブは、多点コ
ンタクトプローブヘッドに組み込まれて使用される。そ
の状態を図５に示す。図５は、多点コンタクトプローブ
ヘッド７の概略構成を示し、同図は、ヘッド７のコンタ
クトプローブＡを被検査物８に押し当て使用している状
態を示している。Finally, the sleeve is externally fitted to the base end portion A 2 and the lead wire is connected to obtain the contact probe of the present invention. The contact probe of the present invention is used by being incorporated in a multipoint contact probe head. The state is shown in FIG. FIG. 5 shows a schematic configuration of the multi-point contact probe head 7, which shows a state in which the contact probe A of the head 7 is pressed against the object 8 to be inspected.
【００２５】ヘッド７は、基盤７ａと、基盤７ａに対し
て所定の距離だけ離隔して基盤７ａに固定され、被検査
物８に対向して配置されるガイド９と、被検査物８の各
検査点に対応してそれぞれ配置された複数のコンタクト
プローブＡ，Ａ…と、ガイド９に平行して基盤７ａとガ
イド９間にカラー１０を介して配設され、各コンタクト
プローブＡの湾曲する中間部Ａ3 の長さを調整してピン
圧を調整する第２のガイド１１を備えて構成される。The head 7 is fixed to the base 7a by being separated from the base 7a by a predetermined distance with respect to the base 7a, and each of the inspection target 8 and the guide 9 arranged to face the inspection target 8. A plurality of contact probes A, A ... Are respectively arranged corresponding to the inspection points, and are arranged in parallel with the guide 9 between the base 7a and the guide 9 via the collar 10, and the middle of each contact probe A is curved. A second guide 11 for adjusting the pin pressure by adjusting the length of the portion A 3 is provided.
【００２６】各コンタクトプローブＡは、その先端部Ａ
1 および基端部Ａ2 の除く中間部Ａ 3 は絶縁性コーティ
ング層が形成されている。各コンタクトプローブＡは、
その基端部Ａ2 側が基盤７ａに固定されるとともに、先
端部Ａ1 がガイド９にガイドされてガイド９から被検出
物８側に進退可能に突出している。基盤７ａと第２のガ
イド１１、およびそれらの間に介挿されるカラー１０に
よってピン圧調整部が構成され、ガイド９と第２のガイ
ド１１によって画成される空間によって、使用時に湾曲
することによって発生するコンタクトプローブＡのピン
圧を調整している。すなわち、ガイド９と第２ガイド１
１間に形成された空間が、ヘッド７のピン圧発生部を構
成している。Each contact probe A has a tip A.
1And base A2Excluding middle part A 3Is an insulating coat
A ring layer is formed. Each contact probe A
Its base A2The side is fixed to the base 7a and the tip
Edge A1Is guided by the guide 9 and detected from the guide 9.
It projects so that it can move back and forth toward the object 8. Base 7a and second moth
On the id 11 and the collar 10 inserted between them
Therefore, the pin pressure adjusting unit is configured, and the guide 9 and the second guide
Curved when used due to the space defined by the door 11.
Pin of contact probe A generated by
Adjusting pressure. That is, the guide 9 and the second guide 1
The space formed between the two heads forms the pin pressure generating portion of the head 7.
Is made.
【００２７】図５に示されるように、ヘッド７に取りつ
けられる全てのコンタクトプローブＡは、基盤７ａから
コンタクトプローブＡの先端部Ａ1 に到るまでの長さが
略同じにしてある。そして、上述のように構成されるヘ
ッド７を実際に使用する際には、図５に示されるよう
に、コンタクトプローブＡの先端部Ａ1 が被検出物（プ
リント基板および部品面）８に当接した状態で、その中
間部Ａ3 が湾曲し、その湾曲によって各コンタクトプロ
ーブＡに反発力が発生し、この反発力によってコンタク
トプローブＡと被検出物８との良好な接触を得ている。As shown in FIG. 5, all the contact probes A mounted on the head 7 have substantially the same length from the base 7a to the tip A 1 of the contact probe A. Then, when actually using the head 7 configured as described above, as shown in FIG. 5, the tip portion A 1 of the contact probe A contacts the object to be detected (printed circuit board and component surface) 8. In the contact state, the intermediate portion A 3 is curved, and the repulsive force is generated in each contact probe A due to the curving, and the contact probe A and the detected object 8 are in good contact with each other by this repulsive force.
【００２８】[0028]
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明の
コンタクトプローブは、芯線が弾性に富みかつ機械的強
度が大きく耐摩耗性が良好な鋼材で構成されているの
で、0.２〜0.５mm程度にまで細径化しても機械的強度は
低下せず、線間距離が0.３mm程度の回路パターンの検査
が可能である。また、プローブ先端の摩耗量は少なくな
るので、ショット数１００万回以上の使用寿命を備えて
いる。更に、芯線の長さを調節することにより、ピン圧
を任意の値に設定することができるので、被検査個所の
損傷などを防止することが可能である。As is apparent from the above description, the contact probe of the present invention has a core wire which is rich in elasticity and has a large mechanical strength and a good wear resistance. The mechanical strength does not decrease even if the diameter is reduced to about 0.5 mm, and it is possible to inspect a circuit pattern with a line distance of about 0.3 mm. Further, since the amount of wear of the tip of the probe is reduced, it has a service life of one million shots or more. Furthermore, since the pin pressure can be set to an arbitrary value by adjusting the length of the core wire, it is possible to prevent damage to the inspected part.
【００２９】また、芯線の全面は導電性が優れたコーテ
ィング層で被覆されているので、微小な検査電流でも感
応することができ、検査結果の信頼度は高い。更に、絶
縁性コーティング層の働きにより、実使用時に隣のコン
タクトプローブと接触した場合であっても両者間の電気
的短絡は防止される。このように、本発明のコンタクト
プローブは構造が極めて簡単であるにもかかわらず、高
密度実装のプリント基盤の検査にとって好適であり、そ
の工業的価値は大である。Further, since the whole surface of the core wire is covered with the coating layer having excellent conductivity, it is possible to respond to a minute inspection current, and the reliability of the inspection result is high. Further, the function of the insulating coating layer prevents an electrical short circuit between the contact probes even when they come into contact with the adjacent contact probe during actual use. As described above, the contact probe of the present invention is suitable for inspection of a high-density mounted printed circuit board and has a great industrial value despite its extremely simple structure.
【図１】本発明のコンタクトプローブの１例を示す断面
図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of a contact probe of the present invention.
【図２】コンタクトプローブの先端部の端面例を示す側
面図である。FIG. 2 is a side view showing an example of an end face of a tip portion of a contact probe.
【図３】先端部の端面の他の例を示す側面図である。FIG. 3 is a side view showing another example of the end face of the tip portion.
【図４】コンタクトプローブの基端部にリード線を接続
した状態を示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state in which a lead wire is connected to a base end portion of a contact probe.
【図５】多点コンタクトプローブヘッドの概略構成と、
検査時の使用状態を示す全体図である。FIG. 5 is a schematic configuration of a multi-point contact probe head,
It is a whole figure showing the use condition at the time of inspection.
【符号の説明】 Ａ コンタクトプローブ Ａ1 コンタクトプローブＡの先端部 Ａ2 コンタクトプローブＡの基端部 １ 芯線 ２ 導電性コーティング層 ３ 絶縁性コーティング層 ４ スリーブ ５ リード線 ６ 半田 ７ 多点コンタクトプローブヘッド ７ａ 多点コンタクトプローブヘッドの基盤 ８ 被検査物（プリント基板） ９ ガイド １０ カラー １１ 第２のガイド[Explanation of symbols] A contact probe A 1 tip part of contact probe A A 2 base end part of contact probe A 1 core wire 2 conductive coating layer 3 insulating coating layer 4 sleeve 5 lead wire 6 solder 7 multi-point contact probe head 7a Base of multi-point contact probe head 8 Object to be inspected (printed circuit board) 9 Guide 10 Color 11 Second guide
Claims (5)
ら成り、線径0.２〜0.５mm，長さ２０〜１００mmである
芯線と、前記芯線の全面を被覆し、前記鋼よりも導電性
が優れている材料から成る導電性コーティング層と、先
端部および基端部を除いた前記導電性コーティング層の
表面を被覆して成る絶縁性コーティング層とを備えてい
ることを特徴とするコンタクトプローブ。1. A core wire made of steel having a Rockwell hardness of 40 or more, having a wire diameter of 0.2 to 0.5 mm and a length of 20 to 100 mm, and covering the entire surface of the core wire, and is more conductive than the steel. A contact comprising a conductive coating layer made of a material having excellent conductivity, and an insulating coating layer formed by coating the surface of the conductive coating layer excluding the front end portion and the base end portion. probe.
る請求項１のコンタクトプローブ。2. The contact probe according to claim 1, wherein a sleeve is fitted on the base end portion.
銅，ニッケル，金をこの順序で積層しためっき層である
請求項１のコンタクトプローブ。3. The contact probe according to claim 1, wherein the conductive coating layer is a plating layer in which copper fluoride, nickel and gold are laminated in this order.
いる請求項１のコンタクトプローブ。4. The contact probe according to claim 1, wherein the end surface of the tip portion has a three-peak shape.
る請求項１のコンタクトプローブ。5. The contact probe according to claim 1, wherein an end surface of the tip portion has a curved shape.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6040881A JPH07248337A (en) | 1994-03-11 | 1994-03-11 | Contact probe |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6040881A JPH07248337A (en) | 1994-03-11 | 1994-03-11 | Contact probe |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07248337A true JPH07248337A (en) | 1995-09-26 |
Family
ID=12592860
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6040881A Pending JPH07248337A (en) | 1994-03-11 | 1994-03-11 | Contact probe |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07248337A (en) |
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-
1994
- 1994-03-11 JP JP6040881A patent/JPH07248337A/en active Pending
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