JPH07205061A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
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- JPH07205061A JPH07205061A JP206794A JP206794A JPH07205061A JP H07205061 A JPH07205061 A JP H07205061A JP 206794 A JP206794 A JP 206794A JP 206794 A JP206794 A JP 206794A JP H07205061 A JPH07205061 A JP H07205061A
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- JP
- Japan
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- arms
- joint
- pulleys
- links
- link
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- Wire Bonding (AREA)
- Die Bonding (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高い位置決め精度で、高速作動が可能な搬送
装置を提供する。 【構成】 回転中心軸を相互に平行に位置させ、径方向
に取り付けられた第1および第2のアーム4a,4bを
回転させる第1および第2のダイレクトドライブモータ
2a,2bに、第1および第2の回転継手6a,6bを
介して第1および第2のリンク5a,5bを回転自在に
連結する。この第1および第2のリンク5a,5bの他
端は連結継手7によって回転自在に相互に連結されてい
る。そして、連結継手7に被搬送部材を保持する吸着パ
ッド8を取り付ける。また、第1の回転継手6aと連結
継手7には同軸的にプーリを取り付け、このプーリにタ
イミングベルト12を掛け渡す。
装置を提供する。 【構成】 回転中心軸を相互に平行に位置させ、径方向
に取り付けられた第1および第2のアーム4a,4bを
回転させる第1および第2のダイレクトドライブモータ
2a,2bに、第1および第2の回転継手6a,6bを
介して第1および第2のリンク5a,5bを回転自在に
連結する。この第1および第2のリンク5a,5bの他
端は連結継手7によって回転自在に相互に連結されてい
る。そして、連結継手7に被搬送部材を保持する吸着パ
ッド8を取り付ける。また、第1の回転継手6aと連結
継手7には同軸的にプーリを取り付け、このプーリにタ
イミングベルト12を掛け渡す。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は被搬送部材であるワーク
を所定位置に正確に搬送するために用いられる搬送装置
に関する。
を所定位置に正確に搬送するために用いられる搬送装置
に関する。
【0002】
【従来の技術】種々の量産部品や製品の組立工場等にお
いては組立の自動化が隅々にまで行き渡り、ワークにつ
いても多くの場合には搬送装置によって保持されて所定
の位置に移送されている。
いては組立の自動化が隅々にまで行き渡り、ワークにつ
いても多くの場合には搬送装置によって保持されて所定
の位置に移送されている。
【0003】ここで、このワークが半導体チップのよう
な場合には、搬送位置がリードフレームのダイパッド上
やTAB上などのために高い位置決め精度が要求される
ので、搬送装置においてもワークを所定の位置に正確に
搬送することができるものが必要になる。
な場合には、搬送位置がリードフレームのダイパッド上
やTAB上などのために高い位置決め精度が要求される
ので、搬送装置においてもワークを所定の位置に正確に
搬送することができるものが必要になる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の搬送装
置では搬送機構に歯車と送りねじが用いられてバックラ
ッシがあるために反転動作時においてバックラッシ分の
誤差が生じ、正確な搬送をすることは困難であった。
置では搬送機構に歯車と送りねじが用いられてバックラ
ッシがあるために反転動作時においてバックラッシ分の
誤差が生じ、正確な搬送をすることは困難であった。
【0005】また、搬送効率の向上の観点から、搬送装
置はできる限り高速で作動するのが望ましいが、従来の
搬送装置では可動部にモータがあるために慣性モーメン
トが大きくなり、作動スピードには限界があった。
置はできる限り高速で作動するのが望ましいが、従来の
搬送装置では可動部にモータがあるために慣性モーメン
トが大きくなり、作動スピードには限界があった。
【0006】そこで、本発明の目的は、高い位置決め精
度のもとに被搬送部材を搬送することのできる搬送装置
に関する技術を提供することにある。
度のもとに被搬送部材を搬送することのできる搬送装置
に関する技術を提供することにある。
【0007】本発明の他の目的は、高速作動が可能な搬
送装置に関する技術を提供することにある。
送装置に関する技術を提供することにある。
【0008】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【0009】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【0010】すなわち、本発明の搬送装置は、回転中心
軸が相互に平行に位置されて設けられ、径方向に取り付
けられた第1および第2のアームをそれぞれ周方向に回
転させる第1および第2の回転駆動手段と、第1および
第2のアームに第1および第2の回転継手を介してそれ
ぞれ回転自在に連結された第1および第2のリンクと、
この第1および第2のリンクを回転自在に相互に連結す
るとともに半導体チップなどの被搬送部材を保持する保
持手段が設けられた連結継手と、第1および第2の回転
継手のいずれか一方と連結継手とに同軸的に取り付けら
れた一対のプーリと、この一対のプーリに掛け渡された
タイミングベルトとからなるものである。
軸が相互に平行に位置されて設けられ、径方向に取り付
けられた第1および第2のアームをそれぞれ周方向に回
転させる第1および第2の回転駆動手段と、第1および
第2のアームに第1および第2の回転継手を介してそれ
ぞれ回転自在に連結された第1および第2のリンクと、
この第1および第2のリンクを回転自在に相互に連結す
るとともに半導体チップなどの被搬送部材を保持する保
持手段が設けられた連結継手と、第1および第2の回転
継手のいずれか一方と連結継手とに同軸的に取り付けら
れた一対のプーリと、この一対のプーリに掛け渡された
タイミングベルトとからなるものである。
【0011】この場合において、前記の第1および第2
の回転駆動手段としてはたとえばダイレクトドライブモ
ータを用いることが可能である。
の回転駆動手段としてはたとえばダイレクトドライブモ
ータを用いることが可能である。
【0012】
【作用】上記のような構成の搬送装置によれば、バック
ラッシの発生する歯車と送りねじが用いられていないの
で、繰り返し使用による反転動作時において作動誤差が
生じることがなく、被搬送部材を高い位置決め精度のも
とに正確に搬送することが可能になる。
ラッシの発生する歯車と送りねじが用いられていないの
で、繰り返し使用による反転動作時において作動誤差が
生じることがなく、被搬送部材を高い位置決め精度のも
とに正確に搬送することが可能になる。
【0013】また、可動部にはモータなどの重量物がな
いので、搬送時における慣性モーメントが小さくなり、
高速作動によって被搬送部材を搬送することが可能にな
る。
いので、搬送時における慣性モーメントが小さくなり、
高速作動によって被搬送部材を搬送することが可能にな
る。
【0014】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。
に説明する。
【0015】(実施例1)図1は本発明の一実施例であ
る搬送装置を示す斜視図、図2はその搬送装置の連結継
手を示す断面図、そして図3はその搬送装置の動作状態
を示す説明図である。
る搬送装置を示す斜視図、図2はその搬送装置の連結継
手を示す断面図、そして図3はその搬送装置の動作状態
を示す説明図である。
【0016】本実施例の搬送装置1は、たとえば半導体
チップのような被搬送部材を所定の位置に高精度に位置
決めして搬送、載置する搬送装置であり、図1に示すよ
うに、回転中心軸が相互に平行に位置された第1のダイ
レクトドライブモータ(以下「DDモータ」という。)
(第1の回転駆動手段)2aと第2のDDモータ(第2
の回転駆動手段)2bとが基台3に取り付けられてい
る。第1および第2のDDモータ2a,2bの上部には
図示しないモータ軸に連結された第1および第2のアー
ム4a,4bがそれぞれの径方向に延びて取り付けられ
ており、第1および第2のDDモータ2a,2bの回転
によって周方向に回転されるようになっている。
チップのような被搬送部材を所定の位置に高精度に位置
決めして搬送、載置する搬送装置であり、図1に示すよ
うに、回転中心軸が相互に平行に位置された第1のダイ
レクトドライブモータ(以下「DDモータ」という。)
(第1の回転駆動手段)2aと第2のDDモータ(第2
の回転駆動手段)2bとが基台3に取り付けられてい
る。第1および第2のDDモータ2a,2bの上部には
図示しないモータ軸に連結された第1および第2のアー
ム4a,4bがそれぞれの径方向に延びて取り付けられ
ており、第1および第2のDDモータ2a,2bの回転
によって周方向に回転されるようになっている。
【0017】この第1および第2のアーム4a,4bの
先端には、それぞれ第1および第2のリンク5a,5b
が回転自在に連結されている。すなわち、第1および第
2のアーム4a,4bの先端部に第1および第2のリン
ク5a,5bの一端部が軸連結、すなわち第1および第
2のリンク5a,5b側が回転中心軸となって連結され
ることによって第1および第2の回転継手6a,6bが
形成され、これによって第1および第2のリンク5a,
5bは第1および第2のアーム4a,4bと同一平面上
において回転可能とされている。
先端には、それぞれ第1および第2のリンク5a,5b
が回転自在に連結されている。すなわち、第1および第
2のアーム4a,4bの先端部に第1および第2のリン
ク5a,5bの一端部が軸連結、すなわち第1および第
2のリンク5a,5b側が回転中心軸となって連結され
ることによって第1および第2の回転継手6a,6bが
形成され、これによって第1および第2のリンク5a,
5bは第1および第2のアーム4a,4bと同一平面上
において回転可能とされている。
【0018】第2のリンク5bの他端部が第1のリンク
5aの他端部の回転中心軸となって軸連結されることで
連結継手7が形成され、この連結継手7によって両者が
回転自在に相互に連結されている。さらに、図2に示す
ように、この連結継手7の下方には、所定の被搬送部材
を真空にて吸着保持する吸着パッド(保持手段)8が設
けられており、上方に位置するシリンダ9のロッド9a
がカラー10を貫通してこの吸着パッド8に接続される
ことで、吸着パッド8はシリンダ9によって上下動可能
とされている。
5aの他端部の回転中心軸となって軸連結されることで
連結継手7が形成され、この連結継手7によって両者が
回転自在に相互に連結されている。さらに、図2に示す
ように、この連結継手7の下方には、所定の被搬送部材
を真空にて吸着保持する吸着パッド(保持手段)8が設
けられており、上方に位置するシリンダ9のロッド9a
がカラー10を貫通してこの吸着パッド8に接続される
ことで、吸着パッド8はシリンダ9によって上下動可能
とされている。
【0019】前記した第1の回転継手6a(すなわち、
回転中心軸である第1のリンク5a側)およびこの連結
継手7(すなわち、回転中心軸である第2のリンク5b
側)にはそれぞれ同軸的にプーリ11が取り付けられて
タイミングベルト12が掛け渡されており、これによっ
て吸着パッド8に吸着保持された被搬送部材の搬送時に
おける姿勢が一定に保たれるようになっている。
回転中心軸である第1のリンク5a側)およびこの連結
継手7(すなわち、回転中心軸である第2のリンク5b
側)にはそれぞれ同軸的にプーリ11が取り付けられて
タイミングベルト12が掛け渡されており、これによっ
て吸着パッド8に吸着保持された被搬送部材の搬送時に
おける姿勢が一定に保たれるようになっている。
【0020】図3に基づいて本実施例に示す搬送装置1
の動きを説明する。まず、連結継手7がほぼ中央のA位
置に位置している実線に示す状態において、第1および
第2のDDモータ2a,2bによって第1および第2の
アーム4a,4bが共に反時計回りに回転されると、こ
れに連結された第1および第2のリンク5a,5bによ
って連結継手7は図面左側の二点鎖線で示すB位置に移
動する。したがって、この連結継手7に設けられた吸着
パッド8に吸着保持された被搬送部材もA位置からB位
置に移動される。
の動きを説明する。まず、連結継手7がほぼ中央のA位
置に位置している実線に示す状態において、第1および
第2のDDモータ2a,2bによって第1および第2の
アーム4a,4bが共に反時計回りに回転されると、こ
れに連結された第1および第2のリンク5a,5bによ
って連結継手7は図面左側の二点鎖線で示すB位置に移
動する。したがって、この連結継手7に設けられた吸着
パッド8に吸着保持された被搬送部材もA位置からB位
置に移動される。
【0021】また、第1および第2のアーム4a,4b
が反対方向、すなわち時計回りに回転されると、被搬送
部材は図面右側のC位置に移動される。さらに、第1お
よび第2のアーム4a,4bが相互に接近する方向に回
転されるとD位置に、相互に離反する方向に回転される
とE位置に、被搬送部材はそれぞれ移動されることにな
る。このように、第1および第2のDDモータ2a,2
bの回転方向および回転角度を種々に設定することによ
って、被搬送部材を任意の位置に搬送移動することがで
きる。
が反対方向、すなわち時計回りに回転されると、被搬送
部材は図面右側のC位置に移動される。さらに、第1お
よび第2のアーム4a,4bが相互に接近する方向に回
転されるとD位置に、相互に離反する方向に回転される
とE位置に、被搬送部材はそれぞれ移動されることにな
る。このように、第1および第2のDDモータ2a,2
bの回転方向および回転角度を種々に設定することによ
って、被搬送部材を任意の位置に搬送移動することがで
きる。
【0022】ここにおいて、第1の回転継手6aおよび
連結継手7に取り付けられた一対のプーリ11およびこ
れに掛け渡されたタイミングベルト12によって、吸着
保持された被搬送部材はその姿勢が維持された状態、す
なわち第1および第2のアーム4a,4bの回転面にお
ける方向が搬送前と同一方向とされた状態で所定位置に
搬送されることになる。
連結継手7に取り付けられた一対のプーリ11およびこ
れに掛け渡されたタイミングベルト12によって、吸着
保持された被搬送部材はその姿勢が維持された状態、す
なわち第1および第2のアーム4a,4bの回転面にお
ける方向が搬送前と同一方向とされた状態で所定位置に
搬送されることになる。
【0023】そして、本実施例の搬送装置1において
は、第1および第2のDDモータ2a,2b、この第1
および第2のDDモータ2a,2bにそれぞれ設けられ
た第1および第2のアーム4a,4b、そして一端がこ
の第1および第2のアーム4a,4bに、他端が相互に
連結された第1および第2のリンク5a,5bによって
搬送機構が構成されており、歯車と送りねじは用いられ
ていない。したがって、バックラッシによる反転動作時
の位置決め誤差が発生することがなく、高い位置決め精
度のもとに被搬送部材を搬送することが可能になる。
は、第1および第2のDDモータ2a,2b、この第1
および第2のDDモータ2a,2bにそれぞれ設けられ
た第1および第2のアーム4a,4b、そして一端がこ
の第1および第2のアーム4a,4bに、他端が相互に
連結された第1および第2のリンク5a,5bによって
搬送機構が構成されており、歯車と送りねじは用いられ
ていない。したがって、バックラッシによる反転動作時
の位置決め誤差が発生することがなく、高い位置決め精
度のもとに被搬送部材を搬送することが可能になる。
【0024】さらに、可動部である第1および第2のア
ーム4a,4b、第1および第2のリンク5a,5b、
第1および第2の回転継手6a,6b、そして連結継手
7にはモータなどの重量物が取り付けられていないの
で、作動時における慣性モーメントが小さく高応答とな
り、高速作動によって被搬送部材を搬送することができ
る。
ーム4a,4b、第1および第2のリンク5a,5b、
第1および第2の回転継手6a,6b、そして連結継手
7にはモータなどの重量物が取り付けられていないの
で、作動時における慣性モーメントが小さく高応答とな
り、高速作動によって被搬送部材を搬送することができ
る。
【0025】(実施例2)図4は本発明の他の実施例で
ある搬送装置の動作状態を示す説明図である。
ある搬送装置の動作状態を示す説明図である。
【0026】図示するように、本実施例の搬送装置にお
いては、第1のアーム14aの先端部が回転中心軸とな
って第1のリンク15aの一端部が軸連結され、一方、
第2のリンク15bの一端部が回転中心軸となって第2
のアーム14bに軸連結されることによって、それぞれ
第1および第2の回転継手16a,16bが形成されて
いる。また、第1のリンク15aの他端部が第2のリン
ク15bの他端部の回転中心軸となって軸連結されるこ
とで連結継手17が形成されて両者が回転自在に相互に
連結されている。
いては、第1のアーム14aの先端部が回転中心軸とな
って第1のリンク15aの一端部が軸連結され、一方、
第2のリンク15bの一端部が回転中心軸となって第2
のアーム14bに軸連結されることによって、それぞれ
第1および第2の回転継手16a,16bが形成されて
いる。また、第1のリンク15aの他端部が第2のリン
ク15bの他端部の回転中心軸となって軸連結されるこ
とで連結継手17が形成されて両者が回転自在に相互に
連結されている。
【0027】したがって、本実施例に示す搬送装置にお
いて第1の回転継手16aおよび連結継手17に取り付
けられた一対のプーリは、前記実施例1と異なり、それ
ぞれ第1のアーム14a側と第1のリンク15a側に設
けられている。
いて第1の回転継手16aおよび連結継手17に取り付
けられた一対のプーリは、前記実施例1と異なり、それ
ぞれ第1のアーム14a側と第1のリンク15a側に設
けられている。
【0028】本実施例に示す搬送装置によっても、一対
のプーリとこのプーリに掛け渡されたタイミングベルト
によって、吸着保持された被搬送部材はその姿勢が維持
された状態で所定位置に搬送されることになる。
のプーリとこのプーリに掛け渡されたタイミングベルト
によって、吸着保持された被搬送部材はその姿勢が維持
された状態で所定位置に搬送されることになる。
【0029】(実施例3)図5は本発明のさらに他の実
施例である搬送装置の動作状態を示す説明図である。
施例である搬送装置の動作状態を示す説明図である。
【0030】本実施例の搬送装置においては、さらに前
記実施例1および2と異なり、第1のアーム24aの先
端部が回転中心軸となって第1のリンク25aの一端部
が軸連結され、一方、第2のリンク25bの一端部が回
転中心軸となって第2のアーム24bに軸連結されるこ
とによって、それぞれ第1および第2の回転継手26
a,26bが形成されている。また、第2のリンク25
bの他端部が第1のリンク25aの他端部の回転中心軸
となって軸連結されることで連結継手27が形成されて
両者が回転自在に相互に連結されている。
記実施例1および2と異なり、第1のアーム24aの先
端部が回転中心軸となって第1のリンク25aの一端部
が軸連結され、一方、第2のリンク25bの一端部が回
転中心軸となって第2のアーム24bに軸連結されるこ
とによって、それぞれ第1および第2の回転継手26
a,26bが形成されている。また、第2のリンク25
bの他端部が第1のリンク25aの他端部の回転中心軸
となって軸連結されることで連結継手27が形成されて
両者が回転自在に相互に連結されている。
【0031】したがって、本実施例に示す搬送装置にお
いて第1の回転継手26aおよび連結継手27に取り付
けられた一対のプーリは、前記実施例1および2と異な
り、それぞれ第1のアーム24a側と第2のリンク25
b側に設けられている。
いて第1の回転継手26aおよび連結継手27に取り付
けられた一対のプーリは、前記実施例1および2と異な
り、それぞれ第1のアーム24a側と第2のリンク25
b側に設けられている。
【0032】このような搬送装置によっても、プーリに
掛け渡されたタイミングベルトによって、吸着保持され
た被搬送部材の姿勢は一定状態に維持される。
掛け渡されたタイミングベルトによって、吸着保持され
た被搬送部材の姿勢は一定状態に維持される。
【0033】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。
【0034】たとえば、本実施例においては第1および
第2のアーム4a,14a,24a,4b,14b,2
4bを回転させる手段として第1および第2のDDモー
タ2a,2bが用いられているが、これは本発明の最良
な実施例を示すものであり、他の種類のモータを用いる
ことも可能である。また、この第1および第2のDDモ
ータ2a,2bの作動形態は、同期、非同期を問わな
い。
第2のアーム4a,14a,24a,4b,14b,2
4bを回転させる手段として第1および第2のDDモー
タ2a,2bが用いられているが、これは本発明の最良
な実施例を示すものであり、他の種類のモータを用いる
ことも可能である。また、この第1および第2のDDモ
ータ2a,2bの作動形態は、同期、非同期を問わな
い。
【0035】さらに、プーリ11の一方は第1の回転継
手6a,16a,26aに取り付けられているが、これ
を第2の回転継手6b,16b,26b側に取り付ける
ことももちろん可能である。
手6a,16a,26aに取り付けられているが、これ
を第2の回転継手6b,16b,26b側に取り付ける
ことももちろん可能である。
【0036】そして、本実施例における保持手段は、被
搬送部材を真空吸着する吸着パッド8であるが、これに
限定されるものではなく、たとえば被搬送部材の両側か
らこれを挟持するタイプの保持手段であってもよい。
搬送部材を真空吸着する吸着パッド8であるが、これに
限定されるものではなく、たとえば被搬送部材の両側か
らこれを挟持するタイプの保持手段であってもよい。
【0037】さらに、以上の説明では、主として本発明
者によってなされた発明をその背景となった半導体チッ
プ用の搬送装置1について説明したが、本発明の搬送装
置は半導体チップの搬送のみに限定されるものではな
く、他の種々のワークの搬送に適用することが可能であ
る。
者によってなされた発明をその背景となった半導体チッ
プ用の搬送装置1について説明したが、本発明の搬送装
置は半導体チップの搬送のみに限定されるものではな
く、他の種々のワークの搬送に適用することが可能であ
る。
【0038】なお、第1のアーム4a,14a,24a
と第1のリンク5a,15a,25a、第2のアーム4
b,14b,24bと第2のリンク5b,15b,25
b、そして第1および第2のリンク5a,15a,25
a,5b,15b,25bの軸結合における回転中心軸
の設定は、前記実施例1、2および3に示す以外にも他
の形態が考えられる。しかし、プーリ11が同一リンク
の両端に設けられている場合には、回転移動によって一
対のプーリ11が相対的に回転することがないので、プ
ーリ11とタイミングベルト12による被搬送部材の姿
勢維持という機能が発揮されない。したがって、吸着パ
ッド8に吸着保持される被搬送部材が方向性を有するも
のである場合には、プーリ11が同一リンクに設けられ
ていない形態の軸結合を採用するのが適当である。一
方、被搬送部材が方向性を有しないものであればプーリ
11を同一リンクに設けることが可能であるのは言うま
でもない。
と第1のリンク5a,15a,25a、第2のアーム4
b,14b,24bと第2のリンク5b,15b,25
b、そして第1および第2のリンク5a,15a,25
a,5b,15b,25bの軸結合における回転中心軸
の設定は、前記実施例1、2および3に示す以外にも他
の形態が考えられる。しかし、プーリ11が同一リンク
の両端に設けられている場合には、回転移動によって一
対のプーリ11が相対的に回転することがないので、プ
ーリ11とタイミングベルト12による被搬送部材の姿
勢維持という機能が発揮されない。したがって、吸着パ
ッド8に吸着保持される被搬送部材が方向性を有するも
のである場合には、プーリ11が同一リンクに設けられ
ていない形態の軸結合を採用するのが適当である。一
方、被搬送部材が方向性を有しないものであればプーリ
11を同一リンクに設けることが可能であるのは言うま
でもない。
【0039】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【0040】(1).すなわち、本発明の搬送装置では、第
1および第2の回転駆動手段、第1および第2のアー
ム、そして第1および第2のリンクによって搬送機構が
構成され、歯車と送りねじは用いられていない。したが
って、歯車と送りねじにより形成されるバックラッシが
なく、反転動作時の位置決め誤差は発生しない。したが
って、本発明の搬送装置によれば、高い位置決め精度の
もとに被搬送部材を搬送することが可能になる。
1および第2の回転駆動手段、第1および第2のアー
ム、そして第1および第2のリンクによって搬送機構が
構成され、歯車と送りねじは用いられていない。したが
って、歯車と送りねじにより形成されるバックラッシが
なく、反転動作時の位置決め誤差は発生しない。したが
って、本発明の搬送装置によれば、高い位置決め精度の
もとに被搬送部材を搬送することが可能になる。
【0041】(2).また、可動部である連結継手にシリン
ダおよび保持手段が取り付けられているにとどまり、そ
の他の可動部(すなわち、第1および第2のアーム、第
1および第2のリンク、第1および第2の回転継手)に
はモータなどの重量物が取り付けられていないので、作
動時における慣性モーメントが小さく高応答となる。し
たがって、本発明による搬送装置によれば、高速作動に
よって被搬送部材を搬送することができ、搬送効率の向
上を図ることができる。
ダおよび保持手段が取り付けられているにとどまり、そ
の他の可動部(すなわち、第1および第2のアーム、第
1および第2のリンク、第1および第2の回転継手)に
はモータなどの重量物が取り付けられていないので、作
動時における慣性モーメントが小さく高応答となる。し
たがって、本発明による搬送装置によれば、高速作動に
よって被搬送部材を搬送することができ、搬送効率の向
上を図ることができる。
【図1】本発明の実施例1による搬送装置を示す斜視図
である。
である。
【図2】その搬送装置の連結継手を示す断面図である。
【図3】その搬送装置の動作状態を示す説明図である。
【図4】本発明の実施例2による搬送装置の動作状態を
示す説明図である。
示す説明図である。
【図5】本発明の実施例3による搬送装置の動作状態を
示す説明図である。
示す説明図である。
1 搬送装置 2a 第1のダイレクトドライブモータ(第1の回転駆
動手段) 2b 第2のダイレクトドライブモータ(第2の回転駆
動手段) 3 基台 4a 第1のアーム 4b 第2のアーム 5a 第1のリンク 5b 第2のリンク 6a 第1の回転継手 6b 第2の回転継手 7 連結継手 8 吸着パッド(保持手段) 9 シリンダ 9a ロッド 10 カラー 11 プーリ 12 タイミングベルト 14a 第1のアーム 14b 第2のアーム 15a 第1のリンク 15b 第2のリンク 16a 第1の回転継手 16b 第2の回転継手 17 連結継手 24a 第1のアーム 24b 第2のアーム 25a 第1のリンク 25b 第2のリンク 26a 第1の回転継手 26b 第2の回転継手 27 連結継手
動手段) 2b 第2のダイレクトドライブモータ(第2の回転駆
動手段) 3 基台 4a 第1のアーム 4b 第2のアーム 5a 第1のリンク 5b 第2のリンク 6a 第1の回転継手 6b 第2の回転継手 7 連結継手 8 吸着パッド(保持手段) 9 シリンダ 9a ロッド 10 カラー 11 プーリ 12 タイミングベルト 14a 第1のアーム 14b 第2のアーム 15a 第1のリンク 15b 第2のリンク 16a 第1の回転継手 16b 第2の回転継手 17 連結継手 24a 第1のアーム 24b 第2のアーム 25a 第1のリンク 25b 第2のリンク 26a 第1の回転継手 26b 第2の回転継手 27 連結継手
Claims (2)
- 【請求項1】 回転中心軸が相互に平行に位置されて設
けられ、径方向に取り付けられた第1および第2のアー
ムをそれぞれ周方向に回転させる第1および第2の回転
駆動手段と、 前記第1および第2のアームにそれぞれ第1および第2
の回転継手を介して回転自在に連結された第1および第
2のリンクと、 前記第1および第2のリンクを回転自在に相互に連結す
るとともに被搬送部材を保持する保持手段が設けられた
連結継手と、 前記第1および第2の回転継手のいずれか一方と前記連
結継手とに同軸的に取り付けられた一対のプーリと、 前記一対のプーリに掛け渡され、保持された前記被搬送
部材の姿勢を維持するタイミングベルトとからなること
を特徴とする搬送装置。 - 【請求項2】 前記第1および第2の回転駆動手段はダ
イレクトドライブモータであることを特徴とする請求項
1記載の搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP206794A JPH07205061A (ja) | 1994-01-13 | 1994-01-13 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP206794A JPH07205061A (ja) | 1994-01-13 | 1994-01-13 | 搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07205061A true JPH07205061A (ja) | 1995-08-08 |
Family
ID=11519008
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP206794A Pending JPH07205061A (ja) | 1994-01-13 | 1994-01-13 | 搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07205061A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102873681A (zh) * | 2011-07-15 | 2013-01-16 | 袁剑锋 | 一种新型二自由度机械手机构 |
CN104626113A (zh) * | 2015-01-21 | 2015-05-20 | 安徽工业大学 | 一种连杆-同步带联合传动的四自由度机器人 |
CN105437215A (zh) * | 2015-12-21 | 2016-03-30 | 单家正 | 一种平面并联机器人 |
JP2019514719A (ja) * | 2016-04-21 | 2019-06-06 | サバティエ・エス・ア・エス | 頂部及び/または底部に材料ストリップを配置するためのステーション |
-
1994
- 1994-01-13 JP JP206794A patent/JPH07205061A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102873681A (zh) * | 2011-07-15 | 2013-01-16 | 袁剑锋 | 一种新型二自由度机械手机构 |
CN104626113A (zh) * | 2015-01-21 | 2015-05-20 | 安徽工业大学 | 一种连杆-同步带联合传动的四自由度机器人 |
CN105437215A (zh) * | 2015-12-21 | 2016-03-30 | 单家正 | 一种平面并联机器人 |
JP2019514719A (ja) * | 2016-04-21 | 2019-06-06 | サバティエ・エス・ア・エス | 頂部及び/または底部に材料ストリップを配置するためのステーション |
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