JPH0720385A - 顕微鏡対物レンズ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 可視光領域と近紫外領域とを同時に補正し、
操作性を格段に良好にした超長作動距離を有する顕微鏡
対物レンズを提供する。 【構成】 第１レンズ群Ｇ₁ と、第２レンズ群Ｇ₂ とか
らなる。第１レンズ群Ｇ ₁ は凸レンズと凹レンズ、また
は、凸レンズと凹レンズとの接合レンズからなる第１，
第２レンズ組Ｃ_1,Ｃ₂ を有する。第２レンズ群Ｇ₂ は、
単独の凸レンズと、凸レンズおよび凹レンズの接合レン
ズとを含み、接合レンズのうち少なくとも１つは３枚接
合レンズによって形成する。以上の構成において、２
Ｆ＜Ｄ₁₂＜１０Ｆ 、Ｆ＜ IＦ₁I ＜３．５Ｆ、ｎ
_2n−ｎ_2p＞０．１、ν_2p−ν_2n＞２０，ν_2p＞８０の
条件を満たすように各レンズ群の光学定数を設定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、顕微鏡対物レンズに関
する。詳しくは、物体側から遠い側にあり全体として負
の屈折力を有する第１レンズ群と、物体側に近い側にあ
り全体として正の屈折力を有する第２レンズ群とからな
る、いわゆる、レトロフォーカス光学系の無限遠補正型
の顕微鏡対物レンズに関する。

【０００２】

【背景技術】半導体ＩＣパターンの観察などにおいて
は、顕微鏡が利用されている。また、ＹＡＧレーザ（波
長；１０６４ｎｍ）やＹＡＧレーザの第２高調波（波
長；５３２ｎｍ）などによる半導体や半導体マスクのリ
ペアなどのレーザ加工も行われている。最近では、更に
短波長の光〔例えば、ＹＡＧレーザの第３高調波（波
長；３５５ｎｍ）〕を利用して高解像観察や微細加工、
光化学反応を利用してのレーザ加工などが行われ始めよ
うとしている。

【０００３】これらの場合において、操作の便宜上、顕
微鏡対物レンズの作動距離が長いことが要求される。こ
のような要求に対し、本出願人は、先に、作動距離が長
い顕微鏡対物レンズとして、特開昭６０−７０４１２号
公報および特開昭６３−２３１１９号公報のに開示した
対物レンズを提案している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た各公報で開示した顕微鏡対物レンズは、主に、可視光
領域において収差補正されたものである。従って、可視
光領域での観察以外に、近紫外領域のＹＡＧ第３高調波
によるレーザ加工や近紫外観察などを行おうとした場
合、次のような問題が生じる。例えば、可視光領域にお
いて結像条件を満たすように焦点合わせをしたとして
も、近紫外領域においては結像条件を満たさず、そのた
め、ＹＡＧ第３高調波のレーザスポットをＩＣパターン
の正確な位置に照射できないか、肉眼で捉えることがで
きないＹＡＧ第３高調波のレーザスポットを試行錯誤的
に照射して焦点合わせをしなければならないという問題
が生じる。

【０００５】ところで、可視光領域から近紫外領域まで
補正された対物レンズとして、例えば、特開昭６２−４
９３１３号公報に開示された顕微鏡対物レンズが知られ
ている。しかし、この顕微鏡対物レンズの作動距離は、
５０Ｘ程度の倍率の対物レンズにおいて、たかだか焦点
距離の１倍というようにきわめて短いものであるため、
操作上、大きな問題であった。

【０００６】ここに、本発明の目的は、このような従来
の問題を解消し、可視光領域と近紫外領域とを同時に補
正し、操作性を格段に良好にした超長作動距離を有する
顕微鏡対物レンズを提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】そのため、本発明の顕微
鏡対物レンズは、物体側から遠い側にあり全体として負
の屈折力を有する第１レンズ群と、物体側に近い側にあ
り全体として正の屈折力を有する第２レンズ群とからな
る無限遠補正型の顕微鏡対物レンズにおいて、前記第１
レンズ群は、第１レンズ組と第２レンズ組とを有し、各
組はそれぞれ凸レンズと凹レンズ、または、凸レンズと
凹レンズとの接合レンズからなり、前記第２レンズ群
は、単独の凸レンズと、凸レンズおよび凹レンズの接合
レンズとを有し、接合レンズのうち少なくとも１つは３
枚接合レンズからなり、 Ｄ₁₂；第１レンズ群と第２レンズ群のレンズ間隔、 Ｆ ；全体の焦点距離、 Ｆ₁ ；第１レンズ群の焦点距離、 ｎ_2p；第２レンズ群中の接合レンズのうちの凸レンズの
ｄ線における平均屈折率、 ｎ_2n；第２レンズ群中の接合レンズのうちの凹レンズの
ｄ線における平均屈折率、 ν_2p；第２レンズ群中の凸レンズの平均アッベ数、 ν_2n；第２レンズ群中の凹レンズの平均アッベ数、 としたとき、各レンズ群の光学定数が次式 ２Ｆ＜Ｄ₁₂＜１０Ｆ ………………（１） Ｆ＜ IＦ₁I ＜３．５Ｆ………………（２） ｎ_2n−ｎ_2p＞０．１ ………………（３） ν_2p−ν_2n＞２０，ν_2p＞８０………（４） を満たすようにされていることを特徴とする。

【０００８】

【作用】ここで、上記（１）式は、第１レンズ群と第２
レンズ群との間隔を規定するものである。（１）式にお
いて、Ｄ₁₂が上限（１０Ｆ）を超えると、収差補正には
第１レンズ群、第２レンズ群のパワーがゆるくなり有利
であるが、作動距離を長くすることができない。また、
Ｄ₁₂が下限（２Ｆ）を超えると、パワーが強くなり球面
収差やコマ収差などの高次収差が発生し、これを補正す
ることが困難になる。

【０００９】また、上記（２）式は、第１レンズ群の焦
点距離を規定するものである。（２）式において、 IＦ
₁Iが上限（３．５Ｆ）を超えて焦点距離が長くなると、
収差補正が有利になるが、作動距離が短くなる不都合が
発生する。また、 IＦ₁Iが下限（Ｆ）を超えて焦点距離
が短くなると、作動距離を長くするには有利であるが、
第１レンズ群での収差の発生が顕著になり、第１レンズ
群で発生した収差を第２レンズ群で補正しきることが困
難になる。

【００１０】また、上記（３）式は、第２レンズ群中の
接合レンズの屈折率を規定するものである。（３）式を
満たさないと、接合面の曲率半径をきつくしなければな
らず、球面収差、とりわけ、高次収差が発生し、他のレ
ンズ群である第１レンズ群では補正しきれない。特に、
短波長域での収差の発生が激しく、収差のバランスがく
ずれ、収差の補正がきわめて難しくなる。

【００１１】また、上記（４）式は、第２レンズ群中の
レンズのアッベ数を規定するものである。後式のν_2p＞
８０は、凸レンズのアッベ数を規定するものである。こ
の条件を満たさないと、短波長域と可視光域での球面収
差、色収差などの発生に多大なずれを生じ、各波長の諸
収差を同時に補正することが困難になる。前式のν_2p−
ν_2n＞２０は、凸レンズと凹レンズとのアッベ数を規定
するものである。この条件を満たさないと、色収差を補
正したときに凸レンズと凹レンズのパワーが強くなりす
ぎ、球面収差、コマ収差などの高次収差を発生させる。
この発生を小さく抑えるには、レンズ枚数を増やさなけ
ればならず、生産コストの大幅な上昇を招く。

【００１２】本発明では、（１）〜（４）式を同時に満
たすように各レンズ群の光学定数を設定することによ
り、各波長での球面収差、コマ収差、色収差などの諸収
差を同時に補正し、作動距離のきわめて長い、可視域〜
近紫外域まで使用可能な顕微鏡対物レンズを得ることが
できた。

【００１３】

【実施例】以下、本発明の顕微鏡対物レンズについて好
適な実施例を挙げ、図面に基づいて詳細に説明する。第１実施例 第１実施例の顕微鏡対物レンズは、図１に示す如く、物
体側から遠い側にあり全体として負の屈折力を有する第
１レンズ群Ｇ₁ と、物体側に近い側にあり全体として正
の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ₂ とから構成されてい
る。第１レンズ群Ｇ₁ は、第１レンズ組Ｃ₁ と第２レン
ズ組Ｃ₂ とを有し、各組Ｃ ₁,Ｃ₂ はそれぞれ凸レンズＬ
_1,Ｌ₃ と凹レンズＬ_2,Ｌ₄ からなる。第２レンズ群Ｇ₂
は、単独の凸レンズと、凸レンズおよび凹レンズの接合
レンズとを有し、接合レンズのうち少なくとも１つは３
枚接合レンズからなる。具体的には、３枚の単独の凸レ
ンズＬ_5,Ｌ_13, Ｌ₁₄と、凹レンズＬ₆ および凸レンズＬ
₇ からなる２枚接合レンズと、凸レンズＬ₈ 、凹レンズ
Ｌ₉ および凸レンズＬ ₁₀からなる３枚接合レンズと、凸
レンズＬ₁₁および凹レンズＬ₁₂からなる２枚接合レンズ
とを含み形成されている。

【００１４】上記のような構成で、焦点距離２００mmの
結像レンズで結像したときの倍率が５０倍、物体側の開
口数ＮＡが０．４２、焦点距離が４．０mmとなるよう、
前記（１）〜（４）式の関係を満足させて、各レンズの
光学定数を表１に示すように設定したところ、レンズ系
の最も物体側の面の頂点から物体面までの距離（作動距
離）ＷＤが１６．９７mmとなり、長い作動距離を得るこ
とができた。ここで、Ｌ₁ …Ｌ₁₄は各レンズ、ｒ₁ …ｒ
₂₄は各レンズ各面の曲率、ｄ₁ …ｄ ₂₃は各レンズの厚さ
およびレンズ間隔、ｎ₁ …ｎ₁₄は各レンズの屈折率、ν
₁ …ν₁₄は各レンズのアッベ数〔＝（ｎｄ−１）／（ｎ
Ｆ−ｎＣ）〕である。

【００１５】 〔表１〕 ｒ₁ = - 8.928 ｄ₁ = 3.6 ｎ₁ = 1.62004 ν₁ = 36.3 Ｌ₁ ｒ₂ = - 4.68 ｄ₂ = 0.032 ｒ₃ = - 4.55 ｄ₃ = 1.5 ｎ₂ = 1.58913 ν₂ = 61.2 Ｌ₂ ｒ₄ = 16.277 ｄ₄ = 4.4 ｒ₅ = -60.663 ｄ₅ = 4.2 ｎ₃ = 1.62004 ν₃ = 36.3 Ｌ₃ ｒ₆ = - 6.707 ｄ₆ = 0.043 ｒ₇ = - 6.52 ｄ₇ = 1.5 ｎ₄ = 1.51633 ν₄ = 64.1 Ｌ₄ ｒ₈ = ∞ ｄ₈ =14 ｒ₉ = -20.602 ｄ₉ = 5.2 ｎ₅ = 1.45650 ν₅ = 90.3 Ｌ₅ ｒ₁₀= -11.802 ｄ₁₀= 1 ｒ₁₁= -48.514 ｄ₁₁= 1.5 ｎ₆ = 1.69680 ν₆ = 55.5 Ｌ₆ ｒ₁₂= 15.24 ｄ₁₂= 7.2 ｎ₇ = 1.49700 ν₇ = 81.1 Ｌ₇ ｒ₁₃= -34.684 ｄ₁₃= 1 ｒ₁₄= 290.47 ｄ₁₄= 7.2 ｎ₈ = 1.49700 ν₈ = 81.1 Ｌ₈ ｒ₁₅= -18.6 ｄ₁₅= 1.4 ｎ₉ = 1.69680 ν₉ = 55.5 Ｌ₉ ｒ₁₆= 40.06 ｄ₁₆= 6.5 ｎ₁₀= 1.49700 ν₁₀= 81.1 Ｌ₁₀ ｒ₁₇= -33.1 ｄ₁₇= 0.3 ｒ₁₈= 22.12 ｄ₁₈= 9 ｎ₁₁= 1.45650 ν₁₁= 90.3 Ｌ₁₁ ｒ₁₉= -18.831 ｄ₁₉= 1.4 ｎ₁₂= 1.77250 ν₁₂= 49.6 Ｌ₁₂ ｒ₂₀=-145.3 ｄ₂₀= 0.3 ｒ₂₁= 33.1 ｄ₂₁= 5.1 ｎ₁₃= 1.45650 ν₁₃= 90.3 Ｌ₁₃ ｒ₂₂= -46.56 ｄ₂₂= 0.33 ｒ₂₃= 14.003 ｄ₂₃= 4.1 ｎ₁₄= 1.49700 ν₁₄= 81.1 Ｌ₁₄ ｒ₂₄= 30.654

【００１６】以上の各レンズ系の光学定数を基に、上記
（１）〜（４）式を求めると、次の通りである。 （１）式……Ｄ₁₂＝3.5F （２）式… IＦ₁I＝2.5F （３）式……ｎ_2n−ｎ_2p＝0.24 （４）式……ν_2p−ν_2n＝31.5 , ν_2p＝85.0

【００１７】本実施例における、球面収差、非点収差お
よび歪曲収差の測定結果を図２に示す。この図２は、像
側より物体面に向かって光線追跡することによって得ら
れたものであり、Ｙ’は焦点距離２００mmの結像レンズ
で結像させるときの像高さを表す。図から明らかな如
く、開口数ＮＡが大きく、作動距離ＷＤが長いにも拘ら
ず、諸収差が良好に補正されていることがわかる。

【００１８】第２実施例 第２実施例の顕微鏡対物レンズは、図３に示す如く、第
１実施例と同様に、第１レンズ群Ｇ₁ と、第２レンズ群
Ｇ₂ とから構成されている。第１レンズ群Ｇ₁ は、第１
レンズ組Ｃ₁ と第２レンズ組Ｃ₂ とを有し、各組Ｃ ₁,Ｃ
₂ は凸レンズＬ_1,Ｌ₃ および凹レンズＬ_2,Ｌ₄ からなる
接合レンズによって形成されている。第２レンズ群Ｇ₂
は、３枚の単独の凸レンズＬ_5,Ｌ_13, Ｌ₁₄と、凸レンズ
Ｌ₆および凹レンズＬ₇ からなる２枚接合レンズと、凸
レンズＬ₈ 、凹レンズＬ₉ および凸レンズＬ₁₀からなる
３枚接合レンズと、凸レンズＬ₁₁および凹レンズＬ₁₂か
らなる２枚接合レンズとを含み形成されている。

【００１９】上記のような構成で、焦点距離２００mmの
結像レンズで結像したときの倍率が５０倍、物体側の開
口数ＮＡが０．４、焦点距離が４．０mmとなるよう、前
記（１）〜（４）式の関係を満足させて、各レンズの光
学定数を表２に示すように設定したところ、作動距離Ｗ
Ｄが１６．５２mmとなり、長い作動距離を得ることがで
きた。

【００２０】 〔表２〕 ｒ₁ = - 6.76 ｄ₁ = 3.5 ｎ₁ = 1.62004 ν₁ = 36.3 Ｌ₁ ｒ₂ = - 4.07 ｄ₂ = 1.5 ｎ₂ = 1.58913 ν₂ = 61.2 Ｌ₂ ｒ₃ =-444.12 ｄ₃ = 4.5 ｒ₄ = -12.245 ｄ₄ = 4 ｎ₃ = 1.62004 ν₃ = 36.3 Ｌ₃ ｒ₅ = - 5.723 ｄ₅ = 1.5 ｎ₄ = 1.51633 ν₄ = 64.1 Ｌ₄ ｒ₆ = ∞ ｄ₆ =12.1 ｒ₇ = -29.306 ｄ₇ = 5.5 ｎ₅ = 1.49700 ν₅ = 81.1 Ｌ₅ ｒ₈ = -14.227 ｄ₈ = 1.15 ｒ₉ = 118.97 ｄ₉ = 7.5 ｎ₆ = 1.45650 ν₆ = 90.3 Ｌ₆ ｒ₁₀= -14.01 ｄ₁₀= 1.5 ｎ₇ = 1.69680 ν₇ = 55.5 Ｌ₇ ｒ₁₁=-242.23 ｄ₁₁= 1.3 ｒ₁₂= 54.78 ｄ₁₂= 8.5 ｎ₈ = 1.49700 ν₈ = 81.1 Ｌ₈ ｒ₁₃= -19 ｄ₁₃= 1.4 ｎ₉ = 1.69680 ν₉ = 55.5 Ｌ₉ ｒ₁₄= 27.8 ｄ₁₄= 7.5 ｎ₁₀= 1.49700 ν₁₀= 81.1 Ｌ₁₀ ｒ₁₅= -26.929 ｄ₁₅= 0.3 ｒ₁₆= 28.486 ｄ₁₆= 7.5 ｎ₁₁= 1.45650 ν₁₁= 90.3 Ｌ₁₁ ｒ₁₇= -20.88 ｄ₁₇= 1.4 ｎ₁₂= 1.77250 ν₁₂= 49.6 Ｌ₁₂ ｒ₁₈=-294.03 ｄ₁₈= 0.3 ｒ₁₉= 26.5 ｄ₁₉= 5.3 ｎ₁₃= 1.45650 ν₁₃= 90.3 Ｌ₁₃ ｒ₂₀= -52.51 ｄ₂₀= 0.3 ｒ₂₁= 14.79 ｄ₂₁= 4.2 ｎ₁₄= 1.49700 ν₁₄= 81.1 Ｌ₁₄ ｒ₂₂= 38.1

【００２１】以上の各レンズ系の光学定数を基に、上記
（１）〜（４）式を求めると、次の通りである。 （１）式……Ｄ₁₂＝3.0F （２）式… IＦ₁I＝2.0F （３）式……ｎ_2n−ｎ_2p＝0.25 （４）式……ν_2p−ν_2n＝31.5 , ν_2p＝85.0

【００２２】本実施例における、球面収差、非点収差お
よび歪曲収差の測定結果を図４に示す。図から明らかな
如く、開口数ＮＡが大きく、作動距離ＷＤが長いにも拘
らず、諸収差が良好に補正されていることがわかる。

【００２３】第３実施例 第３実施例の顕微鏡対物レンズは、図５に示す如く、第
１実施例と同様に、第１レンズ群Ｇ₁ と、第２レンズ群
Ｇ₂ とから構成されている。第１レンズ群Ｇ₁ は、第１
レンズ組Ｃ₁ と第２レンズ組Ｃ₂ とを有し、各組Ｃ ₁,Ｃ
₂ は凸レンズＬ_1,Ｌ₃ と凹レンズＬ_2,Ｌ₄ とからなる。
第２レンズ群Ｇ₂ は、３枚の単独の凸レンズＬ_5,Ｌ_16,
Ｌ₁₇と、凹レンズＬ₆および凸レンズＬ₇ からなる２枚
接合レンズと、凸レンズＬ₈ 、凹レンズＬ₉ および凸レ
ンズＬ₁₀からなる３枚接合レンズと、凸レンズＬ₁₁、凹
レンズＬ₁₂および凸レンズＬ₁₃からなる３枚接合レンズ
と、凸レンズＬ₁₄および凹レンズＬ₁₅からなる２枚接合
レンズとを含み形成されている。

【００２４】上記のような構成で、焦点距離２００mmの
結像レンズで結像したときの倍率が１００倍、物体側の
開口数ＮＡが０．５、焦点距離が２．０mmとなるよう、
前記（１）〜（４）式の関係を満足させて、各レンズの
光学定数を表３に示すように設定したところ、作動距離
ＷＤが１２．８９mmとなり、長い作動距離を得ることが
できた。

【００２５】 〔表３〕 ｒ₁ = - 7 ｄ₁ = 3.15 ｎ₁ = 1.62004 ν₁ = 36.3 Ｌ₁ ｒ₂ = - 3.816 ｄ₂ = 0.041 ｒ₃ = - 3.654 ｄ₃ = 1 ｎ₂ = 1.58913 ν₂ = 61.2 Ｌ₂ ｒ₄ = 9.609 ｄ₄ = 3.15 ｒ₅ = -11.498 ｄ₅ = 3.42 ｎ₃ = 1.62004 ν₃ = 36.3 Ｌ₃ ｒ₆ = - 4.181 ｄ₆ = 0.038 ｒ₇ = - 4.07 ｄ₇ = 1 ｎ₄ = 1.51633 ν₄ = 64.1 Ｌ₄ ｒ₈ = ∞ ｄ₈ =17.29 ｒ₉ = -35.407 ｄ₉ = 4.5 ｎ₅ = 1.49700 ν₅ = 81.1 Ｌ₅ ｒ₁₀= -13.402 ｄ₁₀= 1.3 ｒ₁₁= -29.643 ｄ₁₁= 1.4 ｎ₆ = 1.51633 ν₆ = 64.1 Ｌ₆ ｒ₁₂= 13.402 ｄ₁₂= 6 ｎ₇ = 1.49700 ν₇ = 81.1 Ｌ₇ ｒ₁₃= -62.519 ｄ₁₃= 0.3 ｒ₁₄= ∞ ｄ₁₄= 5.8 ｎ₈ = 1.49700 ν₈ = 81.1 Ｌ₈ ｒ₁₅= -14.364 ｄ₁₅= 1.5 ｎ₉ = 1.64000 ν₉ = 60.2 Ｌ₉ ｒ₁₆= 28.956 ｄ₁₆= 5.6 ｎ₁₀= 1.49700 ν₁₀= 81.1 Ｌ₁₀ ｒ₁₇= -30.404 ｄ₁₇= 0.3 ｒ₁₈= 31.998 ｄ₁₈= 6.6 ｎ₁₁= 1.45650 ν₁₁= 90.3 Ｌ₁₁ ｒ₁₉= -21.83 ｄ₁₉= 1.5 ｎ₁₂= 1.69680 ν₁₂= 55.5 Ｌ₁₂ ｒ₂₀= 31.998 ｄ₂₀= 4.8 ｎ₁₃= 1.45650 ν₁₃= 90.3 Ｌ₁₃ ｒ₂₁= -54.009 ｄ₂₁= 0.3 ｒ₂₂= 29.295 ｄ₂₂= 5.7 ｎ₁₄= 1.45600 ν₁₄= 90.3 Ｌ₁₄ ｒ₂₃= -26.811 ｄ₂₃= 1.4 ｎ₁₅= 1.74100 ν₁₅= 52.6 Ｌ₁₅ ｒ₂₄= -97.615 ｄ₂₄= 0.35 ｒ₂₅= 26.811 ｄ₂₅= 4.1 ｎ₁₆= 1.45650 ν₁₆= 90.3 Ｌ₁₆ ｒ₂₆=-128.56 ｄ₂₆= 0.34 ｒ₂₇= 11.802 ｄ₂₇= 4.1 ｎ₁₇= 1.49700 ν₁₇= 81.1 Ｌ₁₇ ｒ₂₈= 30.144

【００２６】以上の各レンズ系の光学定数を基に、上記
（１）〜（４）式を求めると、次の通りである。 （１）式……Ｄ₁₂＝8.6F （２）式… IＦ₁I＝2.4F （３）式……ｎ_2n−ｎ_2p＝0.17 （４）式……ν_2p−ν_2n＝27.1 , ν_2p＝85.2

【００２７】本実施例における、球面収差、非点収差お
よび歪曲収差の測定結果を図６に示す。図から明らかな
如く、開口数ＮＡが大きく、作動距離ＷＤが長いにも拘
らず、諸収差が良好に補正されていることがわかる。

【００２８】なお、本発明は無限遠補正型の顕微鏡対物
レンズに関するものであるが、良く補正された小型の結
像レンズを第１レンズ群Ｇ₁ の像面側に設ければ、有限
補正型として使用できることは自明である。

【００２９】

【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、可視光領
域と近紫外領域とを同時に補正し、操作性を格段に良好
にした超長作動距離を有する顕微鏡対物レンズを提供で
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る顕微鏡対物レンズの第１実施例の
レンズ構成を示す線図である。

【図２】同上実施例の諸収差を示す線図である。

【図３】本発明に係る顕微鏡対物レンズの第２実施例の
レンズ構成を示す線図である。

【図４】同上実施例の諸収差を示す線図である。

【図５】本発明に係る顕微鏡対物レンズの第３実施例の
レンズ構成を示す線図である。

【図６】同上実施例の諸収差を示す線図である。

【符号の説明】

Ｇ₁ 第１レンズ群 Ｇ₂ 第２レンズ群 Ｃ₁ 第１レンズ組 Ｃ₂ 第２レンズ組 Ｌ₁ 〜Ｌ₁₇ レンズ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】物体側から遠い側にあり全体として負の屈
   折力を有する第１レンズ群と、物体側に近い側にあり全
   体として正の屈折力を有する第２レンズ群とからなる無
   限遠補正型の顕微鏡対物レンズにおいて、 前記第１レンズ群は、第１レンズ組と第２レンズ組とを
   有し、各組はそれぞれ凸レンズと凹レンズ、または、凸
   レンズと凹レンズとの接合レンズからなり、 前記第２レンズ群は、単独の凸レンズと、凸レンズおよ
   び凹レンズの接合レンズとを有し、接合レンズのうち少
   なくとも１つは３枚接合レンズからなり、 Ｄ₁₂；第１レンズ群と第２レンズ群のレンズ間隔、 Ｆ ；全体の焦点距離、 Ｆ₁ ；第１レンズ群の焦点距離、 ｎ_2p；第２レンズ群中の接合レンズのうちの凸レンズの
   ｄ線における平均屈折率、 ｎ_2n；第２レンズ群中の接合レンズのうちの凹レンズの
   ｄ線における平均屈折率、 ν_2p；第２レンズ群中の凸レンズの平均アッベ数、 ν_2n；第２レンズ群中の凹レンズの平均アッベ数、 としたとき、各レンズ群の光学定数が次式 ２Ｆ＜Ｄ₁₂＜１０Ｆ ………………（１） Ｆ＜ IＦ₁I ＜３．５Ｆ………………（２） ｎ_2n−ｎ_2p＞０．１ ………………（３） ν_2p−ν_2n＞２０，ν_2p＞８０………（４） を満たすようにされていることを特徴とする顕微鏡対物
   レンズ。