JPH07202482A - マガジンへのストッパー挿入装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 マガジンへのストッパーの挿入作業を自動的
に実施する。 【構成】 ストッパー挿入路３６をストッパー挿入ステ
ージ３１に保持された実マガジン１０Ａの開口部１５に
対向するように配設し、ストッパー挿入路３６へストッ
パーを１個宛供給するストッパー供給路３５をストッパ
ー挿入路３６に接続する。ストッパー挿入路３６にプッ
シュロッド３７を実マガジンと反対側から進退自在に挿
入し、このプッシュロッドにストッパー挿入路３６内に
エア４０を噴射するエア噴射路３９を開設する。 【効果】 実マガジン開口部にストッパーを挿入する
際、エア噴射路３９からエアが噴射されてストッパーに
吹き付けられると、ストッパーはストッパー挿入路３６
内にてエアで自動調芯されつつ実マガジンの方向に押し
やられて開口部に整合した状態になるため、開口部内へ
ストッパーをプッシュロッド３７で適正かつ自動的に押
し込める。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、マガジンへのストッパ
ー挿入装置、例えば、半導体装置の製造工程において、
半導体装置が収納されたスティック状のマガジンの一端
開口部内にストッパーを挿入するのに利用して有効なも
のに関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体装置の製造工程におい
て、製造された半導体装置はＩＣハンドラーによって良
品不良品についての選別検査を受けるとともに、良品は
マガジン内に自動的に収納されて行く。そして、半導体
装置が収納されたマガジンは段ボール箱等が用いられた
コンテナーに順次収納されて行く。

【０００３】従来、半導体装置が詰められたマガジンが
コンテナーに梱包されるに際して、半導体装置が詰めら
れたマガジンの開口部にはストッパーが挿入され、コン
テナー内において、詰められた半導体装置がマガジン内
から脱落するのを防止されている。そして、マガジンへ
のストッパー作業は作業者の手作業によって実施されて
いる。

【０００４】なお、ＩＣハンドラーを述べてある例とし
ては、株式会社工業調査会発行「電子１９８９年１１月
号別冊」平成１年１１月１０日発行 Ｐ１６３〜Ｐ１６
７、がある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来のＩＣハンドラー
においては、半導体装置のマガジンへの梱包作業までが
自動化されているにもかかわらず、実マガジンへのスト
ッパーの挿入作業が自動化されていないため、結局、作
業者による手作業が必要になり、無人化運転を実現する
ことができない。

【０００６】本発明の目的は、マガジンへのストッパー
の挿入作業を自動的に実施することができるマガジンへ
のストッパー挿入装置を提供することにある。

【０００７】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。

【０００９】すなわち、角筒形状に形成されて物品を収
納するマガジンの開口部内へストッパーを挿入するマガ
ジンへのストッパー挿入装置において、前記マガジンが
位置決めされて保持されるストッパー挿入ステージと、
ストッパー挿入ステージに保持されたマガジンの開口部
に対向するように配設されているストッパー挿入路と、
ストッパー挿入路に接続されてストッパーを１個宛スト
ッパー挿入路へ供給するストッパー供給路と、ストッパ
ー挿入路にマガジンと反対側から進退自在に挿入されて
いるプッシュロッドと、プッシュロッドに開設されてス
トッパー挿入路内にエアを噴射するエア噴射路とを備え
ていることを特徴とする。

【００１０】

【作用】前記した手段において、ストッパー挿入ステー
ジにマガジンが固定されると、ストッパーがストッパー
挿入路に供給される。続いて、エア噴射路からエアが噴
射されてストッパーに吹き付けられる。エアを吹き付け
られたストッパーはストッパー挿入路内においてマガジ
ンの方向に押しやられて、マガジンの開口部に整合した
状態になる。また、このエアの噴射によってストッパー
挿入路内の塵埃が排出されるため、ストッパー挿入路内
が常に掃除されることになり、ストッパー挿入路内にお
いてストッパーが詰まり、挿入作業が不能になる事態が
発生するのを未然に防止することができる。

【００１１】次いで、プュッシュロッドが駆動装置によ
って前進作動される。エアの吹き付けによってマガジン
の開口部に整合されたストッパーは、このプュッシュロ
ッドの前進作動によってマガジンの開口部内へ押し込め
られる。この際、ストッパーはマガジンの開口部に予め
整合されているため、プュッシュロッドはストッパーを
マガジンの開口部内に適正かつ迅速に押し込むことがで
きる。

【００１２】マガジンの開口部内へ押し込まれたストッ
パーは圧縮変形された状態になって、マガジンの開口部
の内周面に押接した状態になるため、ストッパーにマガ
ジンの内側方向から押し出し力が作用しても、ストッパ
ーが容易に脱落するのを防止することができる。

【００１３】以上、前記した手段によれば、マガジンの
開口部へストッパーを自動的に整合させた上で、開口部
内へストッパーをプッシュロッドによって自動的に押し
込むことができるため、マガジンへのストッパーの挿入
作業を人の介在なしに自動的に実行することができる。

【００１４】

【実施例】図１は本発明の一実施例であるマガジンへの
ストッパー挿入装置を示しており、（ａ）は挿入前を示
す拡大部分断面図、（ｂ）は挿入後を示す拡大部分断面
図である。図２はそのマガジンへのストッパー挿入装置
が付設されたマガジンの整列装置を示しており、（ａ）
は移載前の状態を示す一部省略正面断面図、（ｂ）は移
載後を示す一部省略正面断面図である。図３（ａ）はそ
の保持状態を示す一部省略正面断面図、（ｂ）は（ａ）
のｂ部の拡大部分断面図、（ｃ）は（ｂ）のｃ−ｃ線に
沿う断面図である。図４は図３（ａ）の側面断面図であ
る。図５はマガジンへのストッパー挿入装置およびマガ
ジンの整列装置の全体を示す斜視図である。

【００１５】本実施例において、本発明に係るマガジン
へのストッパー挿入装置は、ＩＣハンドラーに付設され
て良品の半導体装置が収納されたマガジン（以下、実マ
ガジンということがある。）の開口部にストッパーを挿
入するものとして構成されている。また、このマガジン
へのストッパー挿入装置には、ストッパーが挿入された
実マガジンをコンテナーに収納しつつ多段積みに整列さ
せて行くマガジンの整列装置が付設されている。

【００１６】本実施例において、ストッパー挿入対象物
としてのマガジン１０は、樹脂等が用いられて細長い棒
状（スティック状）の角筒形状に一体成形されている。
マガジン１０は本体１１を備えており、本体１１は断面
形状が略台形の角筒形状に形成されている。すなわち、
マガジン本体１１の一対の側壁は傾斜壁１２、１２に左
右対称形にそれぞれ形成されている。マガジン本体１１
における台形の短辺である天井壁にはスリット１３が中
央に配されて、長手方向に延在するように全長にわたっ
て細長く開設されている。マガジン本体１１における台
形の長辺である底壁には鞍部１４がチャンネル形状に直
角方向上向きに突設されており、この鞍部１４には被梱
包物としてのデュアル・インライン・パッケージを備え
ている半導体集積回路装置（以下、ＤＩＰ・ＩＣまたは
単にＩＣということがある。）が載置されるようになっ
ている。

【００１７】マガジン１０への被梱包物品としてのＤＩ
Ｐ・ＩＣ１は長方形の略直方体形状に形成されたパッケ
ージ２を備えており、パッケージ２の長辺側の両側面に
はアウタリード３が複数本、長手方向に等間隔に配され
て下向きに屈曲されている。そして、ＤＩＰ・ＩＣ１は
マガジン１０内にそのパッケージ２の下面が鞍部１４上
に載置され、かつ、両側のアウタリード３群が鞍部１４
の両脇に垂下された状態で収納される。

【００１８】本実施例において、マガジンへのストッパ
ー挿入装置およびマガジンの整列装置はＩＣハンドラー
（一部のみが図示されている。）２０の傾斜台２１にそ
れぞれ組み込まれている。傾斜台２１はＩＣ１がマガジ
ン１０内を滑落し得る角度に傾斜されている。なお、図
１〜図４においては、便宜上、傾斜が省略されて図示さ
れている。

【００１９】傾斜台２１の上側端部には分類シュート
（図示せず）が配設されており、この分類シュートはＩ
Ｃハンドラー２０の測定部（図示せず）に接続され、測
定部で測定されたＩＣ１を良品と不良品に分類して流す
ように構成されている。

【００２０】分類シュートの下方位置には不良品シュー
トと良品シュート（いずれも図示せず）とが互いに平行
に配設されている。不良品シュートは分類シュートから
受け渡された不良品ＩＣを不良品梱包用のマガジン（図
示せず）に送り込むように構成されている。

【００２１】他方、傾斜台２１上における良品シュート
の下流側開口位置には良品詰めステージ２２が対向する
ように設定されており、傾斜台２１上におけるこのステ
ージ２２の片脇には空マガジンホルダー２３（図４参
照）が配設されている。空マガジンホルダー２３は多数
本の空マガジン１０を１列に多段積みして保持するよう
に構成されている。そして、ホルダー２３に多段積みさ
れた空マガジン１０はローディング装置（図示せず）に
より１本宛、良品詰めステージ２２に順次払い出される
ようになっている。

【００２２】本実施例において、マガジンの整列装置は
コンテナー２４を保持するコンテナーホルダー２５を備
えており、ホルダー２４は傾斜台２１の下側における良
品詰めステージ２２の空マガジンホルダー２３と反対側
の片脇（以下、右脇とする。）に、傾斜台２１と平行に
配されて据え付けられている。このコンテナーホルダー
２５は箱形の引き出し構造に形成されており、コンテナ
ー２４を交換可能に収容するように構成されている。コ
ンテナー２４は長方形の箱形状に形成されており、マガ
ジンを多数本、横方向に並べて上下方向に多段積みし得
るように構成されている。

【００２３】本実施例において、傾斜台２１上における
良品詰めステージ２２の右脇にはマガジンへのストッパ
ー挿入装置３０が設備されている。すなわち、良品詰め
ステージ２２の右脇にはストッパー挿入ステージ３１が
設定されており、このストッパー挿入ステージ３１には
良品詰めステージ２２においてＩＣ１が詰められた実マ
ガジン１０Ａがローディング装置（図示せず）によって
１本宛、順次払い出されて来るようになっている。そし
て、良品詰めステージ２２およびストッパー詰めステー
ジ２１にそれぞれ払い出されたマガジン１０および実マ
ガジン１０Ａはマガジン押さえ装置２６によって保持さ
れるようになっている。

【００２４】マガジンへのストッパー挿入装置３０はス
トッパー３２を供給するためのパーツフィーダー３３を
備えており、このパーツフィーダー３３はストッパー３
２を１列に並べてストッパー供給管３４の供給路３５に
供給するように構成されている。ストッパー３２はゴム
または樹脂の弾性材料が用いられて球形状に一体成形さ
れており、マガジン１０の鞍部１４と天井面との間の空
間に弾性変形を伴うようにして挿入し得る大きさに形成
されている。

【００２５】ストッパー供給管３４はその上端部がパー
ツフィーダー３３に接続されており、その下端部がスト
ッパー挿入ステージ３１の上流側位置に配されて実マガ
ジン１０Ａの上流側開口部１５に対向するようになって
いる。ストッパー供給管３４に開設された供給路３５は
ストッパー３２を通過させ得る断面積に形成されてい
る。ストッパー供給路３５の下流側端部にはストッパー
挿入路３６が直角に接続されており、この挿入路３６は
ストッパー挿入ステージ３１に保持された実マガジン１
０Ａの上流側開口部１５に一直線状に対向するように配
設されている。

【００２６】ストッパー挿入路３６にはプュッシュロッ
ド３７が実マガジン１０Ａと反対側から進退自在に挿入
されるように配設されており、このプュッシュロッド３
７はエアシリンダ装置３８により進退駆動されるように
構成されている。そして、プュッシュロッド３７はエア
シリンダ装置３８によって前進されることにより、挿入
路３６内のストッパー３２を実マガジン１０の開口部１
５内へ押し込むようになっている。また、プッシュロッ
ド３７の先端面には迎え角部３７ａが円錐穴形状に没設
されている。

【００２７】また、プュッシュロッド３７の中心線上に
はエア供給装置（図示せず）に接続されたエア噴射路３
９が開設されており、このエア噴射路３９はエア供給装
置から送給されたエア４０をストッパー挿入路３６内の
ストッパー３２に噴射するとともに、ストッパー挿入路
３６内を掃気するようになっている。

【００２８】ストッパー供給路３５におけるストッパー
挿入路３６の上流側には一対の分離ロッドが、上下にお
いて供給路３５と直角方向に延在するように配されて進
退自在に挿入されている。上側の分離ロッド４１は上側
のエアシリンダ装置４２によって進退駆動されるように
なっており、下側の分離ロッド４３は下側のエアシリン
ダ装置４４によって進退駆動されるようになっている。
そして、両分離ロッド４１と４３とは交互に進退される
ことにより上下方向に１列に並んだストッパー３２を１
個宛分離して、ストッパー挿入路３６に供給して行くよ
うに構成されている。

【００２９】本実施例において、マガジンの整列装置５
０は昇降台５１を一対備えており、両昇降台５１、５１
はコンテナーホルダー２５の両脇（以下、前脇および後
脇とする。）にそれぞれ配されて、複数本のガイドレー
ル５２によりコンテナー２４の傾斜方向と直角方向に昇
降自在にそれぞれ支持されている。

【００３０】両昇降台５１、５１の中央部の真下には各
エアシリンダ装置５３、５３がそれぞれ配されて上向き
に据え付けられている。エアシリンダ装置５３のピスト
ンロッド５４は昇降台５１の下面に当接自在に対向され
ている。つまり、エアシリンダ装置５３のピストンロッ
ド５４は昇降台５１に固定されていない。このため、昇
降台５１はその下降作動においてピストンロッド５４の
短縮作動から独立して停止し得る状態になっている。

【００３１】両昇降台５１、５１には実マガジン１０Ａ
の前後端部を着脱自在に保持するハンドリング装置５５
がそれぞれ設備されている。両ハンドリング装置５５、
５５は被ハンドリング物としての実マガジンの長さ方向
の移動を止めて保定するための保定アームと、その実マ
ガジンの重量を支えて着脱自在に保持する保持アーム
と、保持アームを開閉駆動するための駆動装置としての
電磁プランジャー装置とをそれぞれ備えている。

【００３２】保定アーム５６はガイド部材５７を一対備
えており、両ガイド部材５７、５７は昇降台５１の左右
両端部においてコンテナー２４の方向（以下、内側方向
とする。）に突出するようにそれぞれ配されて固定され
ている。したがって、保定アーム５６は昇降台５１と共
に昇降するようになっている。各ガイド部材５７には各
吊り部材５８がコンテナー２４の底面方向に突出するよ
うにそれぞれ一体的に垂下されており、各吊り部材５８
は長さがコンテナー２４の深さよりも長い長方形の板形
状に形成されている。両吊り部材５８、５８には保定板
５９が直角に架設されて固定されている。保定板５９は
その左右方向の幅がコンテナー２４の左右方向の幅より
も若干小さめで、高さがマガジンの高さよりも大きい長
方形の板形状に形成されており、実マガジン１０Ａの端
面に当接し得るように構成されている。

【００３３】他方、保持アーム６０は縦辺がコンテナー
２４の深さよりも大きく、横辺がコンテナー２４の左右
方向の幅よりも若干小さい長方形の板形状に形成された
本体６１を備えている。保持アーム本体６１の上部には
長方形のガイド孔６２が一対、左右に配されて厚さ方向
にそれぞれ開設されている。両ガイド孔６２、６２は昇
降台５１に固定された一対のガイド部材５７、５７に内
外方向に摺動自在にそれぞれ嵌合されている。したがっ
て、保持アーム６０は昇降台５１に内外方向に摺動自在
に吊持された状態になっている。

【００３４】保持アーム本体６１の下端辺にはマガジン
保持部６３が全長にわたって内側方向へ直角に屈曲され
ており、この保持部６３は実マガジン１０Ａの端末部に
下側から係合することにより、実マガジン１０Ａを下か
ら支えて保持するようになっている。また、マガジン保
持部６３は本体６１の左右方向の全長にわたって形成さ
れているため、保持部６３は複数本の実マガジン１０Ａ
を１列に並べた状態で、同時に保持し得るようになって
いる。

【００３５】電磁プランジャー装置６４は昇降台５１の
中央部において内側を向くように据え付けられており、
その出力軸６５の先端には保持アーム６０が固定されて
いる。したがって、保持アーム６０は電磁プランジャー
装置６４によって内外方向に進退駆動されるようになっ
ている。

【００３６】次に作用を説明する。ＩＣハンドラー２０
の測定部によって電気的特性を測定されて良品と判定さ
れたＩＣ１は、分類シュートによって良品シュートに送
給される。良品シュート内を滑落して来た良品のＩＣ１
は、良品詰めステージ２２に待機しているマガジン１０
に自動的に詰められる。

【００３７】このようにして、良品のＩＣ１が良品詰め
ステージ２２上のマガジン１０に順次詰められて行き、
マガジン１０に所定個数のＩＣ１が詰められると、満杯
になった実マガジン１０Ａはローディング装置によって
ストッパー挿入ステージ３１に払い出される。

【００３８】また、実マガジン１０Ａを払い出した良品
詰めステージ２２には空マガジンホルダー２３から空マ
ガジン１０がローディング装置によって払い出される。
そして、良品詰めステージ２２の空マガジン１０および
ストッパー挿入ステージ３１の実マガジン１０Ａはマガ
ジン押さえ装置２６によって押さえられる。

【００３９】ストッパー挿入ステージ３１に実マガジン
１０Ａが固定されると、図１（ａ）、（ｂ）に示されて
いるように、上下の分離ロッド４１および４３の協働作
業によりストッパー３２が１個分離されて、ストッパー
挿入路３６に供給される。

【００４０】続いて、エア噴射路３９からエア４０が噴
射されてストッパー３２に吹き付けられる。エア４０を
吹き付けられたストッパー３２はストッパー挿入路３６
内において実マガジン１０Ａの方向に自動的に調芯され
ながら押しやられて、図１（ａ）に想像線で示されてい
るように、実マガジン１０Ａの開口部１５に整合した状
態になる。

【００４１】また、このエア４０の噴射によってストッ
パー挿入路３６内の塵埃（図示せず）が排出されるた
め、ストッパー挿入路３６内が常に掃除されることにな
り、ストッパー挿入路３６内においてストッパー３２が
詰まり、ストッパーの挿入作業が不能になる事態が発生
するのを未然に防止することができる。

【００４２】次いで、図１（ｂ）に示されているよう
に、プュッシュロッド３７がエアシリンダ装置３８によ
って前進作動される。エア４０の吹き付けによって実マ
ガジン１０Ａの開口部１５に整合されたストッパー３２
は、このプュッシュロッド３７の前進作動によって実マ
ガジン１０Ａの開口部１５内へ押し込められる。この
際、ストッパー３２は実マガジン１０Ａの天井面と鞍部
１４との間に予め整合されているとともに、プッシュロ
ッド３７の先端面に迎え角部３７ａが没設されているた
め、プュッシュロッド３７はストッパー３２を実マガジ
ン１０Ａの開口部１５内に適正かつ迅速に押し込むこと
ができる。

【００４３】実マガジン１０Ａの開口部１５内へ押し込
まれたストッパー３２は圧縮変形された状態になって、
実マガジン１０Ａの開口部１５の内周面に押接した状態
になるため、ストッパー３２に実マガジン１０Ａの内側
方向から押し出し力が作用しても、ストッパー３２が容
易に脱落するのを防止することができる。なお、実マガ
ジン１０Ａの反対側の開口部にはストッパーが自動また
は手作業により予め挿入されている。

【００４４】以上のようにして実マガジン１０Ａの開口
端部にストッパー３２が挿入されると、ストッパー挿入
ステージ３１の実マガジン１０Ａはマガジン押さえ装置
２６による保持を解除されるとともに、ローディング装
置により挿入ステージ３１からマガジンの整列装置５０
へ払い出される（図４参照）。

【００４５】そして、ストッパー挿入ステージ３１から
払い出された実マガジン１０Ａは、図３に示されている
ように、マガジンの整列装置５０における前後のハンド
リング装置５５、５５間に移載される。すなわち、払い
出された実マガジン１０Ａの前後端部は前後のハンドリ
ング装置５５、５５における保持アーム６０、６０のマ
ガジン保持部６３、６３の上に乗った状態になるため、
実マガジン１０Ａは前後の保持アーム６０、６０間に架
橋された状態で、前後のハンドリング装置５５、５５に
保持された状態になる。

【００４６】この際、実マガジン１０Ａは前後のハンド
リング装置５５、５５における保定アーム５６、５６間
に挿入される状態になり、その前後端面が前後の保定ア
ーム５６、５６に極近接して対向した状態になるため、
実マガジン１０Ａは前後方向の移動を前後の保定アーム
５６、５６によって阻止された状態になる。

【００４７】以上のストッパー挿入ステージ３１からマ
ガジンの整列装置５０への実マガジン１０Ａの供給がス
トッパー３２の挿入作動毎に繰り返されて行くことによ
り、マガジンの整列装置５０における前後のハンドリン
グ装置５５、５５間に実マガジン１０Ａが順次移載され
て行く。その結果、図４に示されているように、前後の
ハンドリング装置５５、５５間には複数本の実マガジン
１０Ａが１列に整列された状態になって行く。

【００４８】所定本数の実マガジン１０Ａが前後のハン
ドリング装置５５、５５間に１列に整列した状態になる
と、前後のエアシリンダ装置５３、５３が作動されて各
ピストンロッド５４、５４が同時に短縮される。ピスト
ンロッド５４、５４が短縮されると、前後の昇降台５
１、５１が同時に下降されるため、両昇降台５１、５１
にそれぞれ吊持された前後のハンドリング装置５５、５
５が同時に下降する。この下降により、前後のハンドリ
ング装置５５、５５間に架橋された状態で保持された実
マガジン１０Ａ群はコンテナー２４の内部に下降されて
行く。

【００４９】前後のハンドリング装置５５、５５間に保
持された実マガジン１０Ａ群がコンテナー２４内に下降
されて行き、図２（ａ）に示されているように、コンテ
ナー２４内にて先に多段積みされた最上段の実マガジン
群の上面に前後の保持アーム６０、６０における保持部
６３、６３の下面がそれぞれ当接すると、前後のハンド
リング装置５５、５５は両保持アーム６０、６０によっ
て支えられた状態になるため、昇降台５１、５１の下降
が停止することになる。

【００５０】ちなみに、昇降台５１に加わるハンドリン
グ装置５５の荷重と略均衡するバランサー（図示せず）
を昇降台５１に連結しておくことにより、保持アーム６
０が実マガジンに当接して支持される状態になった際
に、実マガジンに加わる荷重は小さく抑制することがで
きる。

【００５１】前後のハンドリング装置５５、５５が両保
持アーム６０、６０によって支持された状態になると、
エアシリンダ装置５３のピストンロッド５４は昇降台５
１に当接自在に構成されているため、図１（ａ）に示さ
れているように、両ピストンロッド５４、５４は各昇降
台５１、５１から離れる。そして、昇降台５１から離れ
たピストンロッド５４はエアシリンダ装置５３の最下限
位置迄短縮することができる。

【００５２】このようにして、本実施例においては、ハ
ンドリング装置５５に保持された実マガジン１０Ａが既
に多段積みされた最上段の実マガジンの位置、すなわ
ち、保持した実マガジン１０Ａを移載する位置迄下降す
ると、保持アーム６０が最上段の実マガジンに当接する
ことにより、自己制御的に停止することができる。その
ため、ハンドリング装置５５が保持した実マガジン１０
Ａを移載する位置を検出するための専用の検出器を付帯
設備する必要がない。

【００５３】ここで、最上段の実マガジンの位置、すな
わち、実マガジンを移載すべき位置は段積み作業が進行
する毎に変動するので、当該位置を検出する専用の検出
器の構成は複雑で高級になる。また、その検出器の検出
結果に基づいて制御される駆動装置およびコントローラ
も複雑で高級になる。したがって、これらを使用するマ
ガジンの整列装置全体としてのコストもきわめて高額に
なってしまう。しかし、本実施例においては、検出器を
使用しなくて済むため、マガジンの整列装置全体として
のコストを低く抑制することができる。

【００５４】そして、ハンドリング装置５５を支持して
いたピストンロッド５４は、ハンドリング装置５５の自
動停止後に昇降台５１から離反することができるため、
ハンドリング装置５５を搭載した昇降台５１の自動停止
から独立して短縮することができる。したがって、ピス
トンロッド５４はハンドリング装置５５が実マガジン１
０Ａをコンテナー２４内に移載する位置に無関係に、上
限位置と下限位置との間を単純に往復作動すれば済む。

【００５５】ピストンロッド５４が上限位置と下限位置
との間を単純に往復作動すれば済むため、前記位置検出
器を付帯しなくて済むこととあいまって、昇降台５１の
昇降駆動装置としてはエアシリンダ装置５３を使用する
ことができる。その結果、送りねじ軸装置等を使用する
場合に比べて設備費用およびランニングコストを大幅に
軽減することができる。

【００５６】換言すれば、専用の検出器によって実マガ
ジン１０Ａを移載する位置が検出される場合には、昇降
台５１を下降させるピストンロッド５４を各検出位置に
てその都度停止させることが必要になるため、単純に往
復作動するエアシリンダ装置は採用することができず
に、送りねじ軸装置等を採用する必要がある。

【００５７】翻って、ハンドリング装置５５に保持され
た実マガジン１０Ａが既に多段積みされた最上段の実マ
ガジンの位置、すなわち、保持した実マガジン１０Ａを
移載する位置迄下降して、保持アーム６０が最上段の実
マガジンに当接することにより自己制御的に停止する
と、図２（ｂ）に示されているように、前後のハンドリ
ング装置５５、５５における電磁プランジャー６４、６
４が短縮作動することにより、各保持アーム６０、６０
がそれぞれ外側に開かれる。両保持アーム６０、６０が
外側に開かれると、マガジン保持部６３、６３が実マガ
ジン１０Ａの前後端部からそれぞれ離脱するため、実マ
ガジン１０Ａは既に多段積みされた最上段の実マガジン
の上に積み重ねられるように移載される。

【００５８】この移載作動に際して、実マガジン１０Ａ
はその前後端面を保定アーム５６、５６によって位置規
制された状態になっているため、マガジン保持部６３、
６３が外側方向に離脱してもそれに追従することがな
く、実マガジン１０Ａは両保持部６３、６３の離脱に伴
って、真下に下降して最上段に積まれた実マガジンの上
に積み重なるように適正に移載されることになる。した
がって、移載された実マガジン１０Ａ群は適正な整列状
態を維持することができ、以降の移載作業の実施に際し
て、その上への適正な積み重ね作動を確保することがで
きる。

【００５９】移載が終了すると、前後のエアシリンダ装
置５３、５３が作動されてピストンロッド５４、５４が
同時に上昇される。ピストンロッド５４は先に昇降台５
１から離脱した位置迄上昇すると、昇降台５１に当接す
る状態になり、それ以後、昇降台５１を上昇させて行
き、上限位置にて昇降台５１を停止させる。昇降台５１
が上昇を停止すると、前後のハンドリング装置５５、５
５がストッパー挿入ステージ３１に対向する元の位置に
戻った状態になる。次いで、電磁プランジャー装置６４
が伸長作動されることにより、各保持アーム６０、６０
がそれぞれ内側に閉じられて、両マガジン保持部６３、
６３が元の位置に戻される。

【００６０】以降、前述した作動が繰り返されることに
より、コンテナー２４内に実マガジン１０Ａが整列され
た状態で、多段積みされて行く。

【００６１】前記実施例によれば次の効果が得られる。 （１） ストッパー挿入路３６をストッパー挿入ステー
ジ３１に保持された実マガジン１０Ａの開口部１５に対
向するように配設するとともに、ストッパー挿入路３６
へストッパーを１個宛供給するストッパー供給路３５を
ストッパー挿入路３６に接続し、また、ストッパー挿入
路３６にプッシュロッド３７を実マガジン１０Ａと反対
側から進退自在に挿入し、このプッシュロッドにストッ
パー挿入路３６内にエア４０を噴射するエア噴射路３９
を開設することにより、実マガジン１０Ａの開口部１５
にストッパー３２を挿入するに際して、エア噴射路３９
からエア４０が噴射されてストッパー３２に吹き付けら
れると、エアを吹き付けられたストッパー３２はストッ
パー挿入路３６内において実マガジン１０Ａの方向に自
動的に調芯されながら押しやられて、実マガジン１０Ａ
の開口部１５に整合した状態になるため、実マガジン１
０Ａの開口部１５へストッパー３２を自動的に整合させ
た上で、開口部１５内へストッパー３２をプッシュロッ
ド３７によって自動的に押し込むことができ、その結
果、マガジンへのストッパーの挿入作業を人の介在なし
に自動的に実行することができる。

【００６２】（２） また、エア噴射路３９からのエア
４０の噴射によってストッパー挿入路３６内の塵埃が排
出されるため、ストッパー挿入路３６内が常に掃除され
ることになり、ストッパー挿入路３６内においてストッ
パー３２が詰まり、挿入作業が不能になる事態が発生す
るのを未然に防止することができる。

【００６３】（３） 実マガジン１０Ａ群が整列状態で
収容されるコンテナー２４の両脇に実マガジン１０Ａの
積み上げ方向と平行に昇降自在に一対の昇降台５１、５
１を配設するとともに、両昇降台５１、５１の下側に昇
降台をピストンロッド５４の伸縮作動により昇降させる
一対のエアシリンダ装置５３を、ピストンロッドが昇降
台に当接自在に対向するようにそれぞれ上向きに配設
し、両昇降台５１、５１に実マガジン１０Ａの両端部を
着脱自在に保持する一対のハンドリング装置５５、５５
をそれぞれ搭載することにより、実マガジン１０Ａを互
いに平行で、かつ、隣接させて整列させつつ、コンテナ
ー２４内に整列された実マガジン群の列の上に、自動的
に積み重ねて行くことができるため、実マガジン１０Ａ
の整列作業および多段積み作業を人の介在なしに自動的
に実行することができる。

【００６４】（４） ハンドリング装置５５に保持され
た実マガジン１０Ａが既に多段積みされた最上段の実マ
ガジンの位置、すなわち、保持した実マガジン１０Ａを
移載する位置迄下降すると、保持アーム６０が最上段の
実マガジンに当接することにより、自己制御的に停止す
ることができるため、ハンドリング装置５５が保持した
実マガジン１０Ａを移載する位置を検出するための専用
の検出器を付帯しなくて済む。

【００６５】（５） ハンドリング装置５５が搭載され
た昇降台５１を支えていたピストンロッド５４は昇降台
５１の自動停止後に昇降台５１から離反することができ
るため、昇降台５１の下降停止から独立して短縮するこ
とができる。したがって、ピストンロッド５４はハンド
リング装置５５が実マガジン１０Ａをコンテナー２４内
に移載する位置に無関係に、上限位置と下限位置との間
を単純に往復作動するように構成すれば済む。

【００６６】（６） 前記（４）、（５）により、ハン
ドリング装置５５を搭載した昇降台５１の昇降駆動装置
としてはエアシリンダ装置５３を使用することができる
ため、送りねじ軸装置等を使用する場合に比べて設備費
用を大幅に軽減することができる。つまり、専用の検出
器によって実マガジン１０Ａを移載する位置が検出され
る場合には、ハンドリング装置５５を搭載した昇降台５
１を下降させるピストンロッド５４を各検出位置にてそ
の都度停止させることが必要になるため、単純に往復作
動するエアシリンダ装置は採用することができずに、送
りねじ軸装置等を採用する必要がある。

【００６７】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。

【００６８】例えば、１列に並んだストッパーを１個宛
に分離する手段や、プッシュロッドを進退駆動する手段
およびストッパー供給路とストッパー挿入路との接続構
造等は、前記実施例に係る構成を採用するに限らず、他
の構成を採用することができる。

【００６９】ストッパーの挿入対象マガジンは、半導体
装置を梱包するものに限らず、小形の電子部品等の他の
物品を梱包するものであってもよい。また、ストッパー
の挿入対象マガジンは、半導体装置等の物品が詰められ
た実マガジンに限らず、これから半導体装置等の物品が
詰められる空マガジンであってもよい。

【００７０】マガジンの整列装置は省略することができ
る。

【００７１】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるＩＣハ
ンドラーに適用した場合について説明したが、それに限
定されるものではなく、マガジンへのストッパー挿入装
置全般に適用することができる。

【００７２】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。

【００７３】ストッパー挿入路をストッパー挿入ステー
ジに保持されたマガジンの開口部に対向するように配設
するとともに、ストッパー挿入路へストッパーを供給す
るストッパー供給路をストッパー挿入路に接続し、ま
た、ストッパー挿入路にプッシュロッドを実マガジンと
反対側から進退自在に挿入し、このプッシュロッドにス
トッパー挿入路内にエアを噴射するエア噴射路を開設す
ることにより、マガジンの開口部にストッパーを挿入す
るに際して、エア噴射路からエアが噴射されてストッパ
ーに吹き付けられると、エアを吹き付けられたストッパ
ーはストッパー挿入路内においてマガジンの方向に自動
的に調芯されながら押しやられて、マガジンの開口部に
整合した状態になるため、マガジンの開口部へストッパ
ーを自動的に整合させた上で、開口部内へストッパーを
プッシュロッドによって自動的に押し込むことができ、
その結果、マガジンへのストッパーの挿入作業を人の介
在なしに自動的に実行することができる。

【００７４】また、エア噴射路からのエアの噴射によっ
てストッパー挿入路内の塵埃が排出されるため、ストッ
パー挿入路内が常に掃除されることになり、ストッパー
挿入路内においてストッパーが詰まり、挿入作業が不能
になる事態が発生するのを未然に防止することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるマガジンへのストッパ
ー挿入装置を示しており、（ａ）は挿入前を示す拡大部
分断面図、（ｂ）は挿入後を示す拡大部分断面図であ
る。

【図２】そのマガジンへのストッパー挿入装置が付設さ
れたマガジンの整列装置を示しており、（ａ）は移載前
の状態を示す一部省略正面断面図、（ｂ）は移載後を示
す一部省略正面断面図である。

【図３】（ａ）はマガジンの保持状態を示す一部省略正
面断面図、（ｂ）は（ａ）のｂ部の拡大部分断面図、
（ｃ）は（ｂ）のｃ−ｃ線に沿う断面図である。

【図４】図２（ａ）の側面断面図である。

【図５】マガジンへのストッパー挿入装置およびマガジ
ンの整列装置の全体を示す斜視図である。

【符号の説明】

１…ＤＩＰ・ＩＣ、２…パッケージ、３…アウタリー
ド、１０…マガジン、１０Ａ…実マガジン（被整列棒状
物）、１１…本体、１２…傾斜壁、１３…スリット、１
４…鞍部、１５…開口部、２０…ＩＣハンドラー、２１
…傾斜台、２２…良品詰めステージ、２３…空マガジン
ホルダー、２４…コンテナー、２５…コンテナーホルダ
ー、２６…マガジン押さえ装置、３０…マガジンへのス
トッパー挿入装置、３１…ストッパー挿入ステージ、３
２…ストッパー、３３…パーツフィーダー、３４…スト
ッパー供給管、３５…ストッパー供給路、３６…ストッ
パー挿入路、３７…プュッシュロッド、３７ａ…迎え角
部、３８…エアシリンダ装置、３９…エア噴射路、４０
…エア、４１…上側分離ロッド、４２…エアシリンダ装
置、４３…下側分離ロッド、４４…エアシリンダ装置、
５０…マガジンの整列装置、５１…昇降台、５２…ガイ
ドレール、５３…エアシリンダ装置、５４…ピストンロ
ッド、５５…ハンドリング装置、５６…保定アーム、５
７…ガイド部材、５８…吊り部材、５９…保定板、６０
…保持アーム、６１…本体、６２…ガイド孔、６３…保
持部、６４…電磁プランジャー装置、６５…出力軸。

フロントページの続き (72)発明者 坂本 友男 東京都小平市上水本町５丁目20番１号 株 式会社日立製作所半導体事業部内 (72)発明者 岡本 和明 東京都千代田区大手町二丁目６番２号 日 立電子エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 入澤 一之 東京都千代田区大手町二丁目６番２号 日 立電子エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 石栗 正彦 東京都国分寺市南町二丁目16番13号 東洋 電子工業株式会社内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 角筒形状に形成されて物品を収納するマ
   ガジンの開口部内へストッパーを挿入するマガジンへの
   ストッパー挿入装置において、 前記マガジンが位置決めされて保持されるストッパー挿
   入ステージと、 ストッパー挿入ステージに保持されたマガジンの開口部
   に対向するように配設されているストッパー挿入路と、 ストッパー挿入路に接続されてストッパーを１個宛スト
   ッパー挿入路へ供給するストッパー供給路と、 ストッパー挿入路にマガジンと反対側から進退自在に挿
   入されているプッシュロッドと、 プッシュロッドに開設されてストッパー挿入路内にエア
   を噴射するエア噴射路とを備えていることを特徴とする
   マガジンへのストッパー挿入装置。
2. 【請求項２】 ストッパー供給路におけるストッパー挿
   入路の上流側に一対の分離ロッドがそれぞれ進退自在に
   挿入されており、両分離ロッドが駆動装置によって交互
   に進退されることにより、ストッパーがストッパー挿入
   路に１個宛供給されることを特徴とする請求項１に記載
   のマガジンへのストッパー挿入装置。
3. 【請求項３】 ストッパー挿入ステージが、マガジンに
   物品を詰めるステージと、物品が詰められ、かつ、開口
   部にストッパーが挿入されたマガジンを整列させるマガ
   ジンの整列装置との間に、互いに平行になるように配設
   されていることを特徴とする請求項１に記載のマガジン
   へのストッパー挿入装置。