JPH0719167A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH0719167A JPH0719167A JP5162633A JP16263393A JPH0719167A JP H0719167 A JPH0719167 A JP H0719167A JP 5162633 A JP5162633 A JP 5162633A JP 16263393 A JP16263393 A JP 16263393A JP H0719167 A JPH0719167 A JP H0719167A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piston
- pistons
- vacuum pump
- cylinder
- fluid
- Prior art date
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- Granted
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Compressor (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 往復ピストンを用いた容積移送型のポンプで
あって、流体移送の通路に、圧力差で開閉する弁の如く
の機械的な弁を設けない真空ポンプを提供することを目
的としている。 【構成】 ピストンと、該ピストンを往復移動可能に収
容したシリンダーとで構成され、ピストンの往復移動に
よってピストンの一側の流体をピストンの他側へ順次流
動させるようにした真空ポンプであって、ピストン1
a、1bが往復移動可能で、かつ回動可能としてあり、
ピストン1a、1bの周面に設けた縦スロット12とピ
ストン室6a、6bの内面に形成した凹入溝13で、ピ
ストン1a、1bの回動によって遮断可能の通路が構成
してあり、軸2の外面に設けた凹入溝14とシリンダー
3の仕切壁5に設けた連通孔19で、ピストン1a、1
bの回動によって遮断可能の通路が構成してある。
あって、流体移送の通路に、圧力差で開閉する弁の如く
の機械的な弁を設けない真空ポンプを提供することを目
的としている。 【構成】 ピストンと、該ピストンを往復移動可能に収
容したシリンダーとで構成され、ピストンの往復移動に
よってピストンの一側の流体をピストンの他側へ順次流
動させるようにした真空ポンプであって、ピストン1
a、1bが往復移動可能で、かつ回動可能としてあり、
ピストン1a、1bの周面に設けた縦スロット12とピ
ストン室6a、6bの内面に形成した凹入溝13で、ピ
ストン1a、1bの回動によって遮断可能の通路が構成
してあり、軸2の外面に設けた凹入溝14とシリンダー
3の仕切壁5に設けた連通孔19で、ピストン1a、1
bの回動によって遮断可能の通路が構成してある。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、筒状のシリンダと、
往復移動するピストンで構成した真空ポンプに関する。
往復移動するピストンで構成した真空ポンプに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、真空ポンプには、種々の形式のも
のが知られている。大気圧より排気が行えるポンプとし
ては、油回転ポンプが最も一般的で、各方面に多用され
ている。然し乍ら、前記油回転ポンプは、ポンプ中の油
が真空容器側に逆拡散することが避けられないことか
ら、半導体デバイス製造装置や食品製造装置など、クリ
ーンな真空が要求される分野では、油の汚染を防止する
ための工夫や、油の汚染の少ないルーツ型や、スクリュ
ー型の真空ポンプの利用が図られ、また、往復ピストン
による容積移送型のポンプの開発が進められている。
のが知られている。大気圧より排気が行えるポンプとし
ては、油回転ポンプが最も一般的で、各方面に多用され
ている。然し乍ら、前記油回転ポンプは、ポンプ中の油
が真空容器側に逆拡散することが避けられないことか
ら、半導体デバイス製造装置や食品製造装置など、クリ
ーンな真空が要求される分野では、油の汚染を防止する
ための工夫や、油の汚染の少ないルーツ型や、スクリュ
ー型の真空ポンプの利用が図られ、また、往復ピストン
による容積移送型のポンプの開発が進められている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】前記往復ピストンによ
る容積移送型のポンプは、ルーツ型やスクリュー型の真
空ポンプに比べて、製造が比較的容易であり、また大き
な排気速度の真空ポンプとできる点で優れていたが、流
体移送の通路に逆止弁のような圧力差で開閉する弁を介
設する必要があり、この点でいくつかの問題点があっ
た。
る容積移送型のポンプは、ルーツ型やスクリュー型の真
空ポンプに比べて、製造が比較的容易であり、また大き
な排気速度の真空ポンプとできる点で優れていたが、流
体移送の通路に逆止弁のような圧力差で開閉する弁を介
設する必要があり、この点でいくつかの問題点があっ
た。
【0004】即ち、ポンプを長時間連続運転する場合
や、腐食性のガスを排気するような場合に、圧力差で開
閉する弁の動作上の信頼性が損なわれるおそれがあり、
解決する必要があった。
や、腐食性のガスを排気するような場合に、圧力差で開
閉する弁の動作上の信頼性が損なわれるおそれがあり、
解決する必要があった。
【0005】
【課題を解決する為の手段】この発明は、前記のような
問題点に鑑みてなされたもので、往復ピストンを用いた
容積移送型のポンプであって、流体移送の通路に圧力差
で開閉する弁の如くの機械的な弁を設けない真空ポンプ
を提供することを目的としている。
問題点に鑑みてなされたもので、往復ピストンを用いた
容積移送型のポンプであって、流体移送の通路に圧力差
で開閉する弁の如くの機械的な弁を設けない真空ポンプ
を提供することを目的としている。
【0006】斯る目的を達成するこの発明の真空ポンプ
は、ピストンと、該ピストンを往復移動可能に収容した
シリンダーとで構成され、ピストンの往復移動によって
ピストンの一側の流体をピストンの他側へ順次流動させ
るようにした真空ポンプにおいて、前記ピストンが往復
移動可能で、かつ回動可能としてあり、前記ピストンの
周面と、該周面と対向するシリンダーの内面との間に、
前記流体流動の為の通路が、ピストンの回動によって遮
断可能に設けてあることを特徴としている。
は、ピストンと、該ピストンを往復移動可能に収容した
シリンダーとで構成され、ピストンの往復移動によって
ピストンの一側の流体をピストンの他側へ順次流動させ
るようにした真空ポンプにおいて、前記ピストンが往復
移動可能で、かつ回動可能としてあり、前記ピストンの
周面と、該周面と対向するシリンダーの内面との間に、
前記流体流動の為の通路が、ピストンの回動によって遮
断可能に設けてあることを特徴としている。
【0007】また、この発明の真空ポンプは、前記の構
成に加えて更に、ピストンは共通の軸に複数設けてあ
り、ピストン間の軸の外面と、該外面と対向するシリン
ダーの内面との間に、隣接ピストン間の流体の流動の為
の通路が、ピストンの回動によって遮断可能に設けてあ
ることを特徴としている。
成に加えて更に、ピストンは共通の軸に複数設けてあ
り、ピストン間の軸の外面と、該外面と対向するシリン
ダーの内面との間に、隣接ピストン間の流体の流動の為
の通路が、ピストンの回動によって遮断可能に設けてあ
ることを特徴としている。
【0008】
【作用】この発明の真空ポンプによれば、流体の流動の
為の通路が、ピストンの回動によって遮断可能としてあ
るので、逆止弁のような圧力差で開閉する機械的弁を流
体通路に設けることなく、流体を順次排出側へ流動させ
る真空ポンプを得ることができる。
為の通路が、ピストンの回動によって遮断可能としてあ
るので、逆止弁のような圧力差で開閉する機械的弁を流
体通路に設けることなく、流体を順次排出側へ流動させ
る真空ポンプを得ることができる。
【0009】
【実施例】以下、この発明を実施例に基づいて説明す
る。
る。
【0010】図1において、1a、1bがピストン、2
a、2bがピストン1a、1bを駆動する軸、3がピス
トン1a、1bを収容したシリンダーである。実施例
は、ピストンを2個、間隔を保って設けた串刺状のもの
であるが、ピストンは1個又は複数個とするもので、2
個に限定されるものではない。前記軸2a、2bは連結
ボルト4で連結して一体の軸2としてある。
a、2bがピストン1a、1bを駆動する軸、3がピス
トン1a、1bを収容したシリンダーである。実施例
は、ピストンを2個、間隔を保って設けた串刺状のもの
であるが、ピストンは1個又は複数個とするもので、2
個に限定されるものではない。前記軸2a、2bは連結
ボルト4で連結して一体の軸2としてある。
【0011】シリンダー3は円筒状部3aと端板部3
b、3cとで構成され、円筒状部3aの中間に設けた仕
切壁5を挟んで両側にピストン室6a、6bが構成さ
れ、ピストン室6a内にピストン1aが、またピストン
室6b内にピストン1bが収容され、各ピストンが夫々
のピストン室内で往復移動できるようになっている。
b、3cとで構成され、円筒状部3aの中間に設けた仕
切壁5を挟んで両側にピストン室6a、6bが構成さ
れ、ピストン室6a内にピストン1aが、またピストン
室6b内にピストン1bが収容され、各ピストンが夫々
のピストン室内で往復移動できるようになっている。
【0012】ピストン1a、1bの軸2は、前記端板部
3b、3cに夫々設けた軸受7および軸シール8で気密
に支持され、軸2およびピストン1a、1bは、図示し
ない駆動装置によって矢示9のように往復駆動されると
共に、矢示10のように回転駆動されるようにしてあ
る。
3b、3cに夫々設けた軸受7および軸シール8で気密
に支持され、軸2およびピストン1a、1bは、図示し
ない駆動装置によって矢示9のように往復駆動されると
共に、矢示10のように回転駆動されるようにしてあ
る。
【0013】前記ピストン1a、1bの周面一側には、
図2に示したようなピストンリング11が嵌着してあ
り、ピストンリング11の外面一側に形成した縦スロッ
ト12が、ピストン室6a、6bの内面に沿って斜めに
形成した凹入溝13と対向するようにしてある。
図2に示したようなピストンリング11が嵌着してあ
り、ピストンリング11の外面一側に形成した縦スロッ
ト12が、ピストン室6a、6bの内面に沿って斜めに
形成した凹入溝13と対向するようにしてある。
【0014】また、前記仕切壁5の内面と対向する軸2
aの外面に沿って斜めに凹入溝14が形成してあると共
に、仕切壁5側には、軸2aの外面と対向する内面の開
口部15およびピストン1bのピストン端面16と対向
するシリンダー内端面17に開口部18を有する連通孔
19が形成してある。
aの外面に沿って斜めに凹入溝14が形成してあると共
に、仕切壁5側には、軸2aの外面と対向する内面の開
口部15およびピストン1bのピストン端面16と対向
するシリンダー内端面17に開口部18を有する連通孔
19が形成してある。
【0015】前記凹入溝13がピストン室の内面に沿っ
て形成される範囲、並びに凹入溝14が軸2aの外面に
沿って形成される範囲は、ピストン1a、1bの往復移
動工程において、回動される角度範囲と対応させるもの
で、実施例では、1往復でピストン1a、1bを360
度回動させるのに対し、凹入溝13、14は180度の
角度に亘って形成した。
て形成される範囲、並びに凹入溝14が軸2aの外面に
沿って形成される範囲は、ピストン1a、1bの往復移
動工程において、回動される角度範囲と対応させるもの
で、実施例では、1往復でピストン1a、1bを360
度回動させるのに対し、凹入溝13、14は180度の
角度に亘って形成した。
【0016】図中、20は、前記ピストン室6aに連通
可能に設けた吸気口、21は、軸2bの側壁に形成した
切欠部22を介してピストン室6bに連通可能に設けた
排気口である。また、23はシールリング、24はOリ
ングである。
可能に設けた吸気口、21は、軸2bの側壁に形成した
切欠部22を介してピストン室6bに連通可能に設けた
排気口である。また、23はシールリング、24はOリ
ングである。
【0017】次に上記実施例の真空ポンプの動作を図3
に基づいて説明する。図は、ピストン1a、1bの1回
の往復移動工程を示したもので、図の左半分が往路工
程、右半分が復路工程となっており、ピストン1a、1
bは、、…、と移動するものである。図中鎖線
aは凹入溝13の傾斜を表わし、鎖線bは凹入溝14の
傾斜を表わしたものである。
に基づいて説明する。図は、ピストン1a、1bの1回
の往復移動工程を示したもので、図の左半分が往路工
程、右半分が復路工程となっており、ピストン1a、1
bは、、…、と移動するものである。図中鎖線
aは凹入溝13の傾斜を表わし、鎖線bは凹入溝14の
傾斜を表わしたものである。
【0018】先ず、の下死点にあるピストン1aを
、のように上昇させると、ピストン室6aにおける
ピストン1aの上側の流体は、前記ピストンリング11
の縦スロット12と凹入溝13を通して、ピストン1a
の下側へ移動する。このピストン1aの上昇に際し、ピ
ストン1aは180度回動させるので、斜に形成した凹
入溝13は、縦スロット12側から見て縦スロット12
の上昇に従って上昇し、図示したように縦スロット12
と凹入溝13を通して、ピストン1aの上下の空間が常
に連通状態となるものである。
、のように上昇させると、ピストン室6aにおける
ピストン1aの上側の流体は、前記ピストンリング11
の縦スロット12と凹入溝13を通して、ピストン1a
の下側へ移動する。このピストン1aの上昇に際し、ピ
ストン1aは180度回動させるので、斜に形成した凹
入溝13は、縦スロット12側から見て縦スロット12
の上昇に従って上昇し、図示したように縦スロット12
と凹入溝13を通して、ピストン1aの上下の空間が常
に連通状態となるものである。
【0019】次にの上死点にあるピストン1aを
のように下降させると、前記縦スロット12と凹入溝1
3による流通路は遮断されており、ピストン室6aにお
けるピストン1aの下側の流体は、軸2aの外面に形成
した凹入溝14と仕切壁5に形成した連通孔19を通し
てピストン室6b側の、ピストン1bの上側空間に移動
する。前記凹入溝14は、ピストン室6aの内面に形成
した凹入溝13の180度に続く180度の角度に亘っ
て斜めに形成されているもので、この復路工程では、ピ
ストン1aの上下空間は遮断状態となる一方、ピストン
室6aのピストン1aの下側空間とピストン室6bのピ
ストン1bの上側空間とは、工程中、常に凹入溝14と
連通孔19を介して連通状態となるものである。
のように下降させると、前記縦スロット12と凹入溝1
3による流通路は遮断されており、ピストン室6aにお
けるピストン1aの下側の流体は、軸2aの外面に形成
した凹入溝14と仕切壁5に形成した連通孔19を通し
てピストン室6b側の、ピストン1bの上側空間に移動
する。前記凹入溝14は、ピストン室6aの内面に形成
した凹入溝13の180度に続く180度の角度に亘っ
て斜めに形成されているもので、この復路工程では、ピ
ストン1aの上下空間は遮断状態となる一方、ピストン
室6aのピストン1aの下側空間とピストン室6bのピ
ストン1bの上側空間とは、工程中、常に凹入溝14と
連通孔19を介して連通状態となるものである。
【0020】の下死点にあるピストン1aをのよ
うに上昇させる時には、ピストン1bも同様に上昇する
もので、従ってこの往路工程では、ピストン室6bにお
いてピストン1bの上側の流体は、凹入溝13と縦スロ
ット12を介してピストン1bの下側へ移動する。
うに上昇させる時には、ピストン1bも同様に上昇する
もので、従ってこの往路工程では、ピストン室6bにお
いてピストン1bの上側の流体は、凹入溝13と縦スロ
ット12を介してピストン1bの下側へ移動する。
【0021】ピストン1a、1bを下降させる復路工程
において、ピストン室6bの、ピストン1bの下側の流
体は、軸2に形成した切欠部22を通して排気口21側
へ排出される(図1参照)。
において、ピストン室6bの、ピストン1bの下側の流
体は、軸2に形成した切欠部22を通して排気口21側
へ排出される(図1参照)。
【0022】従って上記のように軸2を介してピストン
1a、1bを回動と共に往復移動させると、吸気口20
側の流体をピストン室6a、6bを経て排気口21側へ
順次移送することができ、吸気口20側を真空排気する
ことができる。
1a、1bを回動と共に往復移動させると、吸気口20
側の流体をピストン室6a、6bを経て排気口21側へ
順次移送することができ、吸気口20側を真空排気する
ことができる。
【0023】流体の移送に際し、流体の圧縮はないの
で、ピストン1a、1bの駆動力は小さくて済み、ポン
プ全体の小型化ができる。
で、ピストン1a、1bの駆動力は小さくて済み、ポン
プ全体の小型化ができる。
【0024】また、流体の移送に際して必要な、連通/
遮断する弁機構は、ピストン室6a、6bの内面に形成
した凹入溝13とピストン1a、1bの周面に形成した
縦スロット12並びに、仕切壁5に形成した連通孔19
と軸2の外面に形成した凹入溝14で構成し、従来の逆
止弁のような、スプリング、弁体等の可動部品による機
械的な弁構造を無くしたので、長時間の連続運転や、苛
酷な運転条件にも充分耐え、信頼性を向上することがで
きる。
遮断する弁機構は、ピストン室6a、6bの内面に形成
した凹入溝13とピストン1a、1bの周面に形成した
縦スロット12並びに、仕切壁5に形成した連通孔19
と軸2の外面に形成した凹入溝14で構成し、従来の逆
止弁のような、スプリング、弁体等の可動部品による機
械的な弁構造を無くしたので、長時間の連続運転や、苛
酷な運転条件にも充分耐え、信頼性を向上することがで
きる。
【0025】尚、前記凹入溝13は斜めに形成してある
が、図4(a)に示した展開図のように、上昇(又は下
降)する縦スロット12に対して、ハッチング部分25
のように、常に対向、連通部分が構成できるようにすれ
ば、凹入溝13はピストンと平行に形成しても良い。図
4(b)は流通路の別の例で、ピストンの周面半周に亘
って設けた凹入溝13aと、シリンダの内周面に縦方向
に形成した縦凹溝12aを交差するようにして、ハッチ
ング部分25の対向、連通部分が、ピストンが180度
回動する期間(鎖線図示のように凹入溝13aがピスト
ンと共に昇降する)中、常時形成されるようにしたもの
である。このような流通路は、軸2の外面と仕切壁5の
内周面に形成する流通路でも同様の考え方で構成するこ
とができるものである。また、縦スロット12は、仕切
壁5に設けた連通孔19のように、ピストン1a、1b
の周面およびピストン端面(上面)に開口部を有する連
通孔とすることもできる。
が、図4(a)に示した展開図のように、上昇(又は下
降)する縦スロット12に対して、ハッチング部分25
のように、常に対向、連通部分が構成できるようにすれ
ば、凹入溝13はピストンと平行に形成しても良い。図
4(b)は流通路の別の例で、ピストンの周面半周に亘
って設けた凹入溝13aと、シリンダの内周面に縦方向
に形成した縦凹溝12aを交差するようにして、ハッチ
ング部分25の対向、連通部分が、ピストンが180度
回動する期間(鎖線図示のように凹入溝13aがピスト
ンと共に昇降する)中、常時形成されるようにしたもの
である。このような流通路は、軸2の外面と仕切壁5の
内周面に形成する流通路でも同様の考え方で構成するこ
とができるものである。また、縦スロット12は、仕切
壁5に設けた連通孔19のように、ピストン1a、1b
の周面およびピストン端面(上面)に開口部を有する連
通孔とすることもできる。
【0026】また、シリンダ3において、軸2aの端部
を挿通した端板部3bの軸孔26は盲孔となるので、吸
気口20とバイパス管27で接続するようにすることも
できる(図1鎖線図示参照)。
を挿通した端板部3bの軸孔26は盲孔となるので、吸
気口20とバイパス管27で接続するようにすることも
できる(図1鎖線図示参照)。
【0027】
【発明の効果】以上に説明したように、この発明によれ
ば、機械的な弁機構を用いることなく、容積移送型ポン
プを構成したので、信頼性を向上した真空ポンプを提供
できる効果がある。また、流体移送に際し、圧縮工程を
無くしたので、小型大容量の真空ポンプを提供できる効
果がある。
ば、機械的な弁機構を用いることなく、容積移送型ポン
プを構成したので、信頼性を向上した真空ポンプを提供
できる効果がある。また、流体移送に際し、圧縮工程を
無くしたので、小型大容量の真空ポンプを提供できる効
果がある。
【図1】この発明の実施例の断面図である。
【図2】同じく実施例のピストンリングの斜視図であ
る。
る。
【図3】この発明の実施例の動作を説明する図である。
【図4】(a)、(b)は、この発明の他の実施例の凹
入溝と縦スロットの関係を表わした展開図である。
入溝と縦スロットの関係を表わした展開図である。
1a、1b ピストン 2、2a、2b 軸 3 シリンダー 4 連結ボルト 5 仕切壁 6a、6b ピストン室 11 ピストンリング 12 縦スロット 13、14 凹入溝 15、18 開口部 16 ピストン端面 17 シリンダー内端面 19 連通孔 20 吸気口 21 排気口 22 切欠部
Claims (5)
- 【請求項1】 ピストンと、該ピストンを往復移動可能
に収容したシリンダーとで構成され、ピストンの往復移
動によってピストンの一側の流体をピストンの他側へ順
次流動させるようにした真空ポンプにおいて、前記ピス
トンが往復移動可能で、かつ回動可能としてあり、前記
ピストンの周面と、該周面と対向するシリンダーの内面
との間に、前記流体流動の為の通路が、ピストンの回動
によって遮断可能に設けてあることを特徴とする真空ポ
ンプ。 - 【請求項2】 通路は、シリンダーの内面に沿って、所
定の角度に亘って形成した凹入溝と、ピストンの周面に
形成した切欠溝又はピストンの周面と端面間に設けた連
通孔で構成した請求項1記載の真空ポンプ。 - 【請求項3】 凹入溝は、シリンダ内面に沿って斜設し
てある請求項2記載の真空ポンプ。 - 【請求項4】 ピストンと、該ピストンを往復移動可能
に収容したシリンダーとで構成され、ピストンの往復移
動によって、ピストンの一側の流体をピストンの他側へ
順次流動させるようにした真空ポンプにおいて、前記ピ
ストンが往復移動可能で、かつ回動可能としてあり、前
記ピストンの周面と、該周面と対向するシリンダーの内
面との間に、前記流体流動の為の通路が、ピストンの回
動によって遮断可能に設けてあると共に、前記ピストン
は共通の軸に複数設けてあり、ピストン間の軸の外面
と、該外面と対向するシリンダーの内面との間に、隣接
ピストン間の流体の流動の為の通路が、ピストンの回動
によって遮断可能に設けてあることを特徴とする真空ポ
ンプ。 - 【請求項5】 隣接ピストン間の流体の流動の為の通路
は、軸の外面に沿って所定の角度に亘って形成した凹入
溝と、前記軸の外面と対向するシリンダー内面およびピ
ストン端面と対向するシリンダー内端面に開口部を有す
る連通孔で構成した請求項4記載の真空ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5162633A JP2587771B2 (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5162633A JP2587771B2 (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 真空ポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0719167A true JPH0719167A (ja) | 1995-01-20 |
JP2587771B2 JP2587771B2 (ja) | 1997-03-05 |
Family
ID=15758327
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5162633A Expired - Fee Related JP2587771B2 (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2587771B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002371960A (ja) * | 2001-06-14 | 2002-12-26 | Toshiba Eng Co Ltd | 気体圧縮装置 |
KR100586139B1 (ko) * | 2003-12-03 | 2006-06-07 | 할덱스 브레이크 코포레이션 | 멀티디렉션 펌프 |
KR20200041181A (ko) * | 2018-10-11 | 2020-04-21 | (주)엘오티베큠 | 과 압축 발생을 방지하는 진공펌프 하우징 및 이를 포함한 진공펌프 |
-
1993
- 1993-06-30 JP JP5162633A patent/JP2587771B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2002371960A (ja) * | 2001-06-14 | 2002-12-26 | Toshiba Eng Co Ltd | 気体圧縮装置 |
KR100586139B1 (ko) * | 2003-12-03 | 2006-06-07 | 할덱스 브레이크 코포레이션 | 멀티디렉션 펌프 |
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JP2587771B2 (ja) | 1997-03-05 |
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