JPH07190922A - 分光光度計 - Google Patents
分光光度計Info
- Publication number
- JPH07190922A JPH07190922A JP33055393A JP33055393A JPH07190922A JP H07190922 A JPH07190922 A JP H07190922A JP 33055393 A JP33055393 A JP 33055393A JP 33055393 A JP33055393 A JP 33055393A JP H07190922 A JPH07190922 A JP H07190922A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- spectrophotometer
- holder
- measurement
- holders
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】分光光度計における試料設置部を改良し、測定
時間を短縮させ、より精度良いデータを得る。 【構成】試料ホルダー１とバックグランド測定用試料ホ
ルダー２の２つのホルダーで構成されており、ホルダー
は試料室の窓を開けることなく切り替えられるように、
回転ステージ３を用い、コントローラー４で制御させる
ことにより、精度良いデータを得る。また、ホルダー自
体も回転ステージ３で構成されていることにより、必要
に応じてホルダーを回転させ、また傾けて測定すること
が可能である。
時間を短縮させ、より精度良いデータを得る。 【構成】試料ホルダー１とバックグランド測定用試料ホ
ルダー２の２つのホルダーで構成されており、ホルダー
は試料室の窓を開けることなく切り替えられるように、
回転ステージ３を用い、コントローラー４で制御させる
ことにより、精度良いデータを得る。また、ホルダー自
体も回転ステージ３で構成されていることにより、必要
に応じてホルダーを回転させ、また傾けて測定すること
が可能である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、試料に光を照射し、そ
れによる吸光または発光スペクトルを測定する分光光度
計に関する。
れによる吸光または発光スペクトルを測定する分光光度
計に関する。
【０００２】
【従来の技術】分光光度計は、試料に紫外光、可視光、
赤外光等の光を照射したときに生じる吸光または発光現
象を利用し、物質の定性に用いる分析装置である。この
種の分光光度計の装置構成は、大きく分けて光源部、試
料設置部、検出部に分けられる。試料設置部に設けられ
ている試料ホルダーは、光路中に１つであり、ホルダー
自体は不動である。
赤外光等の光を照射したときに生じる吸光または発光現
象を利用し、物質の定性に用いる分析装置である。この
種の分光光度計の装置構成は、大きく分けて光源部、試
料設置部、検出部に分けられる。試料設置部に設けられ
ている試料ホルダーは、光路中に１つであり、ホルダー
自体は不動である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の分光光
度計測定系では、試料とバックグランドを設置し変える
ことで測定を行っていた。測定中は窒素パージを行って
おり、精度良いデータを得るには、試料とバックグラン
ド測定用試料の測定雰囲気をできるだけ同一にするため
に、長時間の窒素パージが必要であった。また、平らな
面を持つ試料を測定する場合、ホルダーが不動なため得
られるデータは平面内の情報のみで、平面外の情報を得
ることができなかった。
度計測定系では、試料とバックグランドを設置し変える
ことで測定を行っていた。測定中は窒素パージを行って
おり、精度良いデータを得るには、試料とバックグラン
ド測定用試料の測定雰囲気をできるだけ同一にするため
に、長時間の窒素パージが必要であった。また、平らな
面を持つ試料を測定する場合、ホルダーが不動なため得
られるデータは平面内の情報のみで、平面外の情報を得
ることができなかった。
【０００４】従って、本発明の目的は、測定時間を短縮
させ、より精度の良いデータを得ることができるもので
あり、試料を回転させ、または傾けて測定が可能な分光
光度形を提供することである。
させ、より精度の良いデータを得ることができるもので
あり、試料を回転させ、または傾けて測定が可能な分光
光度形を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、分光光
度計において、試料設置部が、試料を設置するホルダー
と、バックグランド測定用試料を設置するホルダーとで
構成され、これらホルダーに自動回転ステージを設け、
さらにその回転を制御するコントローラーを備える分光
光度計である。
度計において、試料設置部が、試料を設置するホルダー
と、バックグランド測定用試料を設置するホルダーとで
構成され、これらホルダーに自動回転ステージを設け、
さらにその回転を制御するコントローラーを備える分光
光度計である。
【０００６】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【０００７】図１は本発明の分光光度計の一実施例を示
す概略構成図である。この分光光度計は、図１に示すよ
うに、回転ステージ３を用いて試料ホルダー１とバック
グランド測定用試料ホルダー２をコントローラー４で制
御するものである。試料ホルダー１とバックグランド測
定用試料ホルダー２自体にも回転ステージが用いられて
おり、回転と傾けができる構成をしている。実験は、バ
ックグランド測定用試料ホルダー２および試料ホルダー
１にバックグランド測定用試料および試料を設置し、バ
ックグランド測定後、回転ステージ３により、コントロ
ーラー４で試料ホルダー１を光路中に設置するように制
御し、測定を行うことで、試料室の窓を開けることなく
測定が可能なものである。
す概略構成図である。この分光光度計は、図１に示すよ
うに、回転ステージ３を用いて試料ホルダー１とバック
グランド測定用試料ホルダー２をコントローラー４で制
御するものである。試料ホルダー１とバックグランド測
定用試料ホルダー２自体にも回転ステージが用いられて
おり、回転と傾けができる構成をしている。実験は、バ
ックグランド測定用試料ホルダー２および試料ホルダー
１にバックグランド測定用試料および試料を設置し、バ
ックグランド測定後、回転ステージ３により、コントロ
ーラー４で試料ホルダー１を光路中に設置するように制
御し、測定を行うことで、試料室の窓を開けることなく
測定が可能なものである。
【０００８】また、試料ホルダー１およびバックグラン
ド測定用試料ホルダー２に用いられている回転ステージ
により、ホルダーを回転させ種々の方向および角度から
試料の測定を行うことができる。例えば、平らな面を持
つ配向試料を測定した場合、偏光子を用いた分析におい
て、平面内での配向方向の情報を得ることができる。ま
た、薄膜分析においては、膜厚や角度依存の情報も高精
度で得ることができる。更に、ホルダーを傾けて平らな
面を持つ試料を測定した場合、平面外の情報を得ること
ができる。
ド測定用試料ホルダー２に用いられている回転ステージ
により、ホルダーを回転させ種々の方向および角度から
試料の測定を行うことができる。例えば、平らな面を持
つ配向試料を測定した場合、偏光子を用いた分析におい
て、平面内での配向方向の情報を得ることができる。ま
た、薄膜分析においては、膜厚や角度依存の情報も高精
度で得ることができる。更に、ホルダーを傾けて平らな
面を持つ試料を測定した場合、平面外の情報を得ること
ができる。
【０００９】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、試料室の
窓を開けることなくバックグランド測定用試料と試料を
コントローラーで制御できるため、両者の同じ雰囲気で
の測定を可能にすることによって、測定時間を短縮し、
精度良いデータを得るという効果がある。また、必要に
応じてホルダーを回転させ、または傾けて測定できるこ
とによって、平らな面を持つ試料を測定した場合、平面
内の情報以外に平面外の情報も得ることができるという
効果もある。
窓を開けることなくバックグランド測定用試料と試料を
コントローラーで制御できるため、両者の同じ雰囲気で
の測定を可能にすることによって、測定時間を短縮し、
精度良いデータを得るという効果がある。また、必要に
応じてホルダーを回転させ、または傾けて測定できるこ
とによって、平らな面を持つ試料を測定した場合、平面
内の情報以外に平面外の情報も得ることができるという
効果もある。
【図１】本発明の分光光度計の一実施例を示す概略構成
図である。
図である。
１ 試料ホルダー ２ バックグランドホルダー ３ 回転ステージ ４ コントローラー
Claims (1)
- 【請求項１】 分光光度計において、試料設置部が、試
料を設置するホルダーと、バックグランド測定用試料を
設置するホルダーとで構成され、これらホルダーに自動
回転ステージを設け、さらにその回転を制御するコント
ローラーを備えることを特徴とする分光光度計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33055393A JPH07190922A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 分光光度計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33055393A JPH07190922A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 分光光度計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07190922A true JPH07190922A (ja) | 1995-07-28 |
Family
ID=18233941
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33055393A Pending JPH07190922A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 分光光度計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07190922A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013528808A (ja) * | 2010-06-04 | 2013-07-11 | ヘムロック・セミコンダクター・コーポレーション | 縁部方向のフォトルミネセンスを使用して半導体材料の妨害不純物を測定する方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03103752A (ja) * | 1989-09-18 | 1991-04-30 | Shimadzu Corp | 分光光度計 |
| JPH03218439A (ja) * | 1990-01-24 | 1991-09-26 | Hitachi Ltd | 試料基板保持具及びそれを用いる赤外発光分光装置 |
| JPH05322655A (ja) * | 1992-05-15 | 1993-12-07 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 自動変角３次元分光光度計 |
-
1993
- 1993-12-27 JP JP33055393A patent/JPH07190922A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03103752A (ja) * | 1989-09-18 | 1991-04-30 | Shimadzu Corp | 分光光度計 |
| JPH03218439A (ja) * | 1990-01-24 | 1991-09-26 | Hitachi Ltd | 試料基板保持具及びそれを用いる赤外発光分光装置 |
| JPH05322655A (ja) * | 1992-05-15 | 1993-12-07 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 自動変角３次元分光光度計 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013528808A (ja) * | 2010-06-04 | 2013-07-11 | ヘムロック・セミコンダクター・コーポレーション | 縁部方向のフォトルミネセンスを使用して半導体材料の妨害不純物を測定する方法 |
| KR20130093519A (ko) * | 2010-06-04 | 2013-08-22 | 헴로크세미컨덕터코포레이션 | 에지-온 광발광을 사용하여 반도체 재료의 벌크 불순물을 측정하는 방법 |
| US9261464B2 (en) | 2010-06-04 | 2016-02-16 | Hemlock Semiconductor Corporation | Applying edge-on photoluminescence to measure bulk impurities of semiconductor materials |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0350869A1 (en) | Method of and apparatus for measuring film thickness | |
| JPH07146295A (ja) | ラマン分光測定による免疫分析方法及び装置 | |
| Spillman et al. | Computer-controlled programmable monochromator system with automated wavelength calibration and background correction | |
| US2707900A (en) | Movable sample holders in a spectrophotometer integrating sphere | |
| US6535286B1 (en) | Positionable multiple detector system for spectrophotomer, ellipsometer, polarimeter and systems, and methodology of use | |
| US4653908A (en) | Grazing incidence reflection spectrometer | |
| JPH07190922A (ja) | 分光光度計 | |
| JPS5913941A (ja) | ミクロト−ムのナイフ検査装置 | |
| US2953963A (en) | Comparison colorimeter | |
| Lapworth et al. | A fully automatic optical system for determining the volume emission coefficient of radiation throughout plasmas | |
| JPH10274593A (ja) | 液晶パネルの光透過率測定装置 | |
| JPH0310901B2 (ja) | ||
| US3490875A (en) | Photoelectric measuring system including two controlled radiation attenuators | |
| JP2001343283A (ja) | 紫外・可視光検出装置 | |
| JPS5924378B2 (ja) | 回転キュベット式の迅速分析装置 | |
| CN220772917U (zh) | 样品固定组件及红外光谱测量装置 | |
| EP1865304A1 (en) | Microcell and microcell holder | |
| JP2002005858A (ja) | 全反射蛍光ｘ線分析装置 | |
| JP2520576Y2 (ja) | 分析装置 | |
| GB2072841A (en) | Spectrophotometer | |
| JPS6122240A (ja) | 微小部ｘ線分析装置 | |
| JPH02502402A (ja) | 改良された自動原子吸光分光分析装置 | |
| JP2001099796A (ja) | 光電子分光装置 | |
| Efstathiou et al. | Multisample rotating-disc module for spectrometric analytical methods | |
| JP2005172670A (ja) | ラマン散乱測定方法およびその測定装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19971111 |