JPH07190203A - Throttle valve - Google Patents
Throttle valveInfo
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- JPH07190203A JPH07190203A JP35497793A JP35497793A JPH07190203A JP H07190203 A JPH07190203 A JP H07190203A JP 35497793 A JP35497793 A JP 35497793A JP 35497793 A JP35497793 A JP 35497793A JP H07190203 A JPH07190203 A JP H07190203A
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- blind
- drive shaft
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Abstract
Description
【０００１】［産業上の利用分野］本発明は、主に半導
体製造用真空装置または液晶パネル製造用真空装置と、
これら真空装置からの気体を排除する真空ポンプとの間
に接続されるスロットルバルブに関するものである。[Field of Industrial Application] The present invention mainly relates to a vacuum device for semiconductor production or a liquid crystal panel production vacuum device,
The present invention relates to a throttle valve connected to a vacuum pump that removes gas from these vacuum devices.
【０００２】［従来の技術］従来、上記の使用目的に供
されるスロットルバルブとして、バタフライ型スロット
ルバルブとベーン型スロットバルブが存在する。前者の
バタフライ型スロットルバルブは、円形羽根の中心軸を
９０°回転させて羽根の開閉がなされるものである。後
者のベーン型スロットルバルブは、バルブ本体の中心軸
線上に複数の円形羽根を分割して設け、各円形羽根ごと
にプーリーを設けて金属ワイヤーを交互に絡めた構造の
ものであり、一枚の円形羽根を動作させると、金属ワイ
ヤーに伴って他の円形羽根を回転させることができる。2. Description of the Related Art Conventionally, there are butterfly type throttle valves and vane type slot valves as throttle valves used for the above purposes. In the former butterfly type throttle valve, the blade is opened and closed by rotating the central axis of the circular blade by 90 °. The latter vane type throttle valve has a structure in which a plurality of circular blades are provided separately on the central axis of the valve body, a pulley is provided for each circular blade, and metal wires are alternately entwined. When the circular blade is operated, the other circular blade can be rotated along with the metal wire.
【０００３】［発明が解決しょうとする問題点］しか
し、前者のバタフライ型スロットルバルブは、構造が簡
単なものであるにもかかわらず、全開時の円形羽根の有
効スペースを考慮しなければならず、また、この種のバ
ルブは、排気速度を自動制御する自動圧力コントローラ
ーと組合わせた仕様となるため、装置全体が大型なもの
になっていた。また、後者のベーン型スロットルバルブ
にあっては、バルブ径が大口径になっても円形羽根の分
割数によって全開時の有効スペースを押さえることがで
きるので、前者のバタフライ型スロットルバルブ構造よ
り優位であるが、構造が複雑であるために信頼性を欠く
等の問題点があった。[Problems to be Solved by the Invention] However, the former butterfly-type throttle valve has a simple structure, but must consider the effective space of the circular blade when fully opened. Also, since this type of valve has a specification that is combined with an automatic pressure controller that automatically controls the exhaust speed, the entire device is large. Also, in the latter vane type throttle valve, even if the valve diameter becomes large, the effective space at full opening can be suppressed by the number of divisions of the circular blade, so it is superior to the former butterfly type throttle valve structure. However, there are problems such as lack of reliability due to the complicated structure.
【０００４】［問題点を解決するための手段］本発明
は、上述のような問題点を解決することを目的としてな
されたもので、詳しくは本発明は、排気系の主ポンプと
真空容器本体との間に接続するブラインド型スロットル
バルブであって、このスロットルバルブは、モーター軸
に軸支されたカップリンブを介して回転する一方のドラ
イブシャフトと、このドライブシャフトに連結され、か
つ、モーターの制御によって９０°方向に全開、全閉し
て回転する第一のブラインドと、クランクに連結され、
かつ、このクランクの伝達によって９０°方向に全開、
全閉して回転する第二のブラインドおよび第三のブライ
ンドと、バルブ本体に設けた一体のギヤーによって前記
一方のドライブシャフトとは対象的に回転する他方のド
ライブシャフトと、このドライブシャフトに連結され、
かつ、モーターの制御によって９０°方向に全開、全閉
して回転する第四のブラインドと、クランクに連結さ
れ、かつ、このクランクの伝達によって９０゜方向に全
開、全閉して回転する第五のブラインドおよび第六のブ
ラインドとを具備することを特徴とするスロットルバル
ブである。[Means for Solving the Problems] The present invention has been made for the purpose of solving the above-mentioned problems. More specifically, the present invention relates to an exhaust system main pump and a vacuum container body. A blind type throttle valve connected between the drive shaft and one drive shaft that rotates via a coupling that is axially supported by the motor shaft, and the throttle valve is connected to the drive shaft and controls the motor. It is connected to the crank and the first blind that rotates fully open and closed in 90 ° direction.
And by the transmission of this crank, it fully opens in the 90 ° direction,
The second blind and the third blind which are fully closed and rotated, and the other drive shaft which is symmetrically rotated with the one drive shaft by the integral gear provided on the valve body are connected to the drive shaft. ,
Also, the fourth blind, which is fully opened and fully closed and rotated in the 90 ° direction under the control of the motor, is connected to the crank, and the fifth blind, which is fully opened and fully closed and rotated in the 90 ° direction by the transmission of the crank. And a sixth blind.
【０００５】［作 用］本発明のスロットルバルブは、
バルブ本体に一体のギヤーを設けているために、二軸ド
ライブ構造で対象的な動きをなすことができ、同時に複
数のブラインドをクランクによって連動させることが可
能である。[Operation] The throttle valve of the present invention is
Since the valve body is provided with an integral gear, it is possible to perform symmetrical movement with a biaxial drive structure, and at the same time, it is possible to interlock a plurality of blinds by a crank.
【０００６】上記のような使用目的に使用されるスロッ
トルバルブは、ブラインドの全開時は開孔面積を最大
に、ブラインドの全閉時は開孔面積を最小にするのが望
ましい。本実施例のスロットルバルブにあっては、全開
時において、各ブラインドンを、全て９０°の開状態に
保持させることが可能であるために、最大有効面積を得
ることができる。また、全閉時には、相隣る各ブライン
ド同志がドライブシャフトの軸線上で僅に重り合い、し
かも、両端に設定されるブラインドもバルブ本体の内側
に重なるため開孔面積は最小となる。このように、シン
メトリックなブラインドの動きによって、均一なな排気
が行なわれる。また、ブラインドのドライブ機構にワイ
ヤー等を使用しないため、ガス溜り等の弊害を解消する
ことができる。さらに、スロットルバルブの用途分野は
使用条件が厳しく、特に強腐食性のガス等に耐える必要
がある。本発明のスロットルバルブ全体は耐腐食性材料
を用いて構成されているので、耐久性にも優れている。
また、長期に亘る正常な開閉作動が期待できる。しか
も、ブラインド部、バルブ全体とも簡単構造に構成され
ているので、交換やメンテナンス作業等も無駄なく容易
に行うことができると共に、信頼生が向上する。It is desirable that the throttle valve used for the above purpose has a maximum opening area when the blind is fully opened and a minimum opening area when the blind is fully closed. In the throttle valve of this embodiment, all blindons can be held in the open state of 90 ° when fully opened, so that the maximum effective area can be obtained. Further, when the blinds are fully closed, the adjacent blinds slightly overlap each other on the axis of the drive shaft, and the blinds set at both ends overlap the inside of the valve body, so that the opening area is minimized. In this way, uniform exhaust is performed by the symmetric movement of the blinds. Further, since no wire or the like is used for the drive mechanism of the blind, it is possible to eliminate the harmful effects such as gas accumulation. Further, the usage field of the throttle valve is severe, and it is necessary to endure particularly corrosive gas. Since the entire throttle valve of the present invention is made of a corrosion resistant material, it has excellent durability.
In addition, a normal opening / closing operation over a long period can be expected. Moreover, since the blind portion and the valve as a whole are constructed in a simple structure, replacement and maintenance work can be easily performed without waste, and reliability is improved.
【０００７】［実施例］本発明の実施例を図１ないし図
４に基き説明する。図１は、本発明に係るスロットルバ
ルブの正面図であり、図２は、同じく背面図である。図
３は、複数ブラインドの全閉作動状態説明図、図４は、
同じく全開状態作動説明図である。図において、符号１
はスロットルバルブ、２はモーター、３はカップリン
グ、４は一方のドライブシャフトを示し、このドライブ
シャフト４には、モーターの制御によって９０°方向に
全開、全閉して回転する第一のブラインド５が連結され
ている。図中６は第二のブラインド、７は第三のブライ
ンドを示し、これら第二のブラインド６および第三のブ
ラインド７にはクランク８が連結されており、このクラ
ンク８の伝達によって、第二のブラインド６および第三
のブラインド７が９０°方向に全開、全閉して回転す
る。[Embodiment] An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a front view of a throttle valve according to the present invention, and FIG. 2 is a rear view of the same. FIG. 3 is an explanatory view of a fully closed operation state of a plurality of blinds, and FIG.
Similarly, it is operation | movement explanatory drawing of a fully open state. In the figure, reference numeral 1
Is a throttle valve, 2 is a motor, 3 is a coupling, and 4 is one drive shaft. The drive shaft 4 has a first blind 5 which is fully opened and fully closed in a 90 ° direction by the control of the motor. Are connected. In the figure, 6 indicates a second blind, 7 indicates a third blind, and a crank 8 is connected to the second blind 6 and the third blind 7, and the transmission of the crank 8 causes the second blind 6 to move. The blind 6 and the third blind 7 are fully opened and fully closed and rotated in the 90 ° direction.
【０００８】バルブ本体９には一対のギヤー１０が設け
ており、このギヤー１０によって別のドライブシャフト
１１が回転する。そして、このドライブシャフト１１に
は、モーターの制御によって９０°方向に全開、全閉し
て回転する第四のブラインド１２が連結されている。図
中１３は第五のブラインド、１４は第六のブラインドを
示し、これら第五のブラインド１３および第六のブライ
ンド１４にはクランク１５が連結されており、このクラ
ンク１５の伝達によって、第五のブラインド１３および
第六のブラインド１４が９０°方向に全開、全閉して回
転する。なお、上記の実施例では、ブラインドを、第一
のブラインド６ないし第六のブラインド１４の６枚で構
成したが、ブラインドの数は、それを凌駕するものであ
っても本発明に含まれる。The valve body 9 is provided with a pair of gears 10, and the gears 10 rotate another drive shaft 11. The drive shaft 11 is connected with a fourth blind 12 which is fully opened and fully closed and rotated in a 90 ° direction under the control of a motor. In the figure, 13 indicates a fifth blind and 14 indicates a sixth blind. A crank 15 is connected to the fifth blind 13 and the sixth blind 14, and the transmission of the crank 15 causes the fifth blind to move. The blind 13 and the sixth blind 14 rotate fully open and fully closed in the 90 ° direction. In addition, in the above-mentioned embodiment, the blinds are composed of the first blind 6 to the sixth blind 14, but the number of blinds is included in the present invention even if it exceeds that number.
【０００９】［発明の効果］従って本発明は、バルブ本
体に複数のブラインドが設けられているために、全開時
の有効スペースを同径バタフライ型スロットルバルブに
比べ１／５〜１／１０、コンダクタンスを約３倍にする
ことができるという効果が得られる。また、全閉時には
ブラインド同志の重ね合によって最小コンダクタンスを
得ることができる。また、ブラインドの対象的な動きに
よって均一な排気効果が期待できる。さらに、簡単構造
にして、各ブラインドの開閉作動に確実性と速応性があ
り、かつ、メンテナンス等も容易であり、耐腐食性を発
揮するため、信頼性が向上し、特に半導体製造または液
晶パネル製造に使用される真空装置の排気に有利であ
る。[Advantages of the Invention] Therefore, according to the present invention, since the valve body is provided with a plurality of blinds, the effective space at the time of full opening is 1/5 to 1/10 of that of the butterfly type throttle valve of the same diameter and conductance. Can be approximately tripled. In addition, the minimum conductance can be obtained by superimposing the blinds when fully closed. Also, a uniform exhaust effect can be expected due to the symmetrical movement of the blinds. Furthermore, with a simple structure, opening and closing operations of each blind are reliable and quick, maintenance is easy, and corrosion resistance is exhibited, so reliability is improved, especially in semiconductor manufacturing or liquid crystal panel. It is advantageous for evacuation of the vacuum device used for manufacturing.
【００１０】[0010]
【図１】図１は、本発明に係るスロットルバルブの構造
正面図である。FIG. 1 is a structural front view of a throttle valve according to the present invention.
【図２】図２は、同、構造背面図である。FIG. 2 is a structural rear view of the same.
【図３】図３は、ブラインドの全閉作動状態説明図であ
る。FIG. 3 is an explanatory view of a fully closed operation state of a blind.
【図４】図４は、ブラインドの全開作動状態説明図であ
る。FIG. 4 is an explanatory view of a fully open operation state of a blind.
【００１１】[0011]
１ スロットルバルブ ２ モーター ３ カップリング ４ ドライブシャフト ５ 第一のブラインド ６ 第二のブラインド ７ 第三のブラインド ８ クランク ９ バルブ本体 １０ ギヤー １１ ドライブシャフト １２ 第四のブラインド １３ 第五のブラインド １４ 第六のブラインド １５ クランク 1 Throttle Valve 2 Motor 3 Coupling 4 Drive Shaft 5 First Blind 6 Second Blind 7 Third Blind 8 Crank 9 Valve Body 10 Gear 11 Drive Shaft 12 Fourth Blind 13 Fifth Blind 14 Sixth Blind Blind 15 crank
Claims (1)
接続するブラインド型スロットルバルブであって、この
スロットルバルブは、モーター軸に軸支されたカップリ
ンブを介して回転する一方のドライブシャフトと、この
ドライブシャフトに連結され、かつ、モーターの制御に
よって９０°方向に全開、全閉して回転する第一のブラ
インドと、クランクに連結され、かつ、このクランクの
伝達によって９０゜方向に全開、全閉して回転する第二
のブラインドおよび第三のブラインドと、バルブ本体に
設けた一体のギヤーによって前記一方のドライブシャフ
トとは対象的に回転する他方のドライブシャフトと、こ
のドライブシャフトに連結され、かつ、モーターの制御
によって９０゜方向に全開、全閉して回転する第四のブ
ラインドと、クランクに連結され、かつ、このクランク
の伝達によって９０°方向に全開、全閉して回転する第
五のブラインドおよび第六のブラインドとを具備するこ
とを特徴とするスロットルバルブ。1. A blind type throttle valve connected between an exhaust system main pump and a vacuum container body, wherein the throttle valve is one drive shaft that rotates via a coupling that is axially supported by a motor shaft. And a first blind which is connected to the drive shaft and which is fully opened and fully closed and rotated in the 90 ° direction under the control of the motor, and is connected to the crank and is fully opened in the 90 ° direction by the transmission of the crank. , A second blind and a third blind that are fully closed and rotate, and another drive shaft that rotates symmetrically with the one drive shaft by an integral gear provided in the valve body, and the drive shaft is connected to the drive shaft. And a fourth blind that fully opens and closes in 90 ° direction under the control of the motor, and a clutch. It is connected to the click, and a throttle valve, characterized in that the crank of the fully open at 90 ° direction by the transmission comprises a fifth blind and sixth blind to rotate fully closed.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35497793A JPH07190203A (en) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | Throttle valve |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35497793A JPH07190203A (en) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | Throttle valve |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07190203A true JPH07190203A (en) | 1995-07-28 |
Family
ID=18441148
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35497793A Pending JPH07190203A (en) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | Throttle valve |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07190203A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004286131A (en) * | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Smc Corp | Gate valve |
| US7472581B2 (en) | 2005-03-16 | 2009-01-06 | Tokyo Electron Limited | Vacuum apparatus |
| JP2014525016A (en) * | 2011-07-20 | 2014-09-25 | フェローテック（ユーエスエー）コーポレイション | Multi-vane throttle valve |
| CN109372639A (en) * | 2018-12-26 | 2019-02-22 | 潍柴动力股份有限公司 | A kind of intake-air throttle valve and engine |
| US20220223383A1 (en) * | 2019-04-05 | 2022-07-14 | Applied Materials, Inc. | Process system with variable flow valve |
-
1993
- 1993-12-27 JP JP35497793A patent/JPH07190203A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004286131A (en) * | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Smc Corp | Gate valve |
| US7472581B2 (en) | 2005-03-16 | 2009-01-06 | Tokyo Electron Limited | Vacuum apparatus |
| JP2014525016A (en) * | 2011-07-20 | 2014-09-25 | フェローテック（ユーエスエー）コーポレイション | Multi-vane throttle valve |
| CN109372639A (en) * | 2018-12-26 | 2019-02-22 | 潍柴动力股份有限公司 | A kind of intake-air throttle valve and engine |
| US20220223383A1 (en) * | 2019-04-05 | 2022-07-14 | Applied Materials, Inc. | Process system with variable flow valve |
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