JPH07190203A - スロットルバルブ - Google Patents
スロットルバルブInfo
- Publication number
- JPH07190203A JPH07190203A JP35497793A JP35497793A JPH07190203A JP H07190203 A JPH07190203 A JP H07190203A JP 35497793 A JP35497793 A JP 35497793A JP 35497793 A JP35497793 A JP 35497793A JP H07190203 A JPH07190203 A JP H07190203A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blind
- drive shaft
- fully
- throttle valve
- rotate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Lift Valve (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】全開時の開孔面積を最大に、全閉時の開孔面積
を最小にするブラインド型のスロットルバルブを提供す
る。 【構成】スロットルバルブは、モーター軸２に軸支され
たカップリンブ３を介して回転する一方のドライブシャ
フト４と、モーターの制御によって９０°方向に全開、
全閉して回転する第一のブラインド５と、クランクの伝
達によって９０°方向に全開、全閉して回転する第二の
ブラインド６および第三のブラインド７と、バルブ本体
９に設けた一体のギヤー１０によって回転する他方のド
ライブシャフト１１と、モーターの制御によって９０゜
方向に全開、全閉して回転する第四のブラインド１２
と、クランクの伝達によって９０゜方向に全開、全閉し
て回転する第五のブラインド１３および第六のブライン
ド１４とを具備する。
を最小にするブラインド型のスロットルバルブを提供す
る。 【構成】スロットルバルブは、モーター軸２に軸支され
たカップリンブ３を介して回転する一方のドライブシャ
フト４と、モーターの制御によって９０°方向に全開、
全閉して回転する第一のブラインド５と、クランクの伝
達によって９０°方向に全開、全閉して回転する第二の
ブラインド６および第三のブラインド７と、バルブ本体
９に設けた一体のギヤー１０によって回転する他方のド
ライブシャフト１１と、モーターの制御によって９０゜
方向に全開、全閉して回転する第四のブラインド１２
と、クランクの伝達によって９０゜方向に全開、全閉し
て回転する第五のブラインド１３および第六のブライン
ド１４とを具備する。
Description
【０００１】［産業上の利用分野］本発明は、主に半導
体製造用真空装置または液晶パネル製造用真空装置と、
これら真空装置からの気体を排除する真空ポンプとの間
に接続されるスロットルバルブに関するものである。
体製造用真空装置または液晶パネル製造用真空装置と、
これら真空装置からの気体を排除する真空ポンプとの間
に接続されるスロットルバルブに関するものである。
【０００２】［従来の技術］従来、上記の使用目的に供
されるスロットルバルブとして、バタフライ型スロット
ルバルブとベーン型スロットバルブが存在する。前者の
バタフライ型スロットルバルブは、円形羽根の中心軸を
９０°回転させて羽根の開閉がなされるものである。後
者のベーン型スロットルバルブは、バルブ本体の中心軸
線上に複数の円形羽根を分割して設け、各円形羽根ごと
にプーリーを設けて金属ワイヤーを交互に絡めた構造の
ものであり、一枚の円形羽根を動作させると、金属ワイ
ヤーに伴って他の円形羽根を回転させることができる。
されるスロットルバルブとして、バタフライ型スロット
ルバルブとベーン型スロットバルブが存在する。前者の
バタフライ型スロットルバルブは、円形羽根の中心軸を
９０°回転させて羽根の開閉がなされるものである。後
者のベーン型スロットルバルブは、バルブ本体の中心軸
線上に複数の円形羽根を分割して設け、各円形羽根ごと
にプーリーを設けて金属ワイヤーを交互に絡めた構造の
ものであり、一枚の円形羽根を動作させると、金属ワイ
ヤーに伴って他の円形羽根を回転させることができる。
【０００３】［発明が解決しょうとする問題点］しか
し、前者のバタフライ型スロットルバルブは、構造が簡
単なものであるにもかかわらず、全開時の円形羽根の有
効スペースを考慮しなければならず、また、この種のバ
ルブは、排気速度を自動制御する自動圧力コントローラ
ーと組合わせた仕様となるため、装置全体が大型なもの
になっていた。また、後者のベーン型スロットルバルブ
にあっては、バルブ径が大口径になっても円形羽根の分
割数によって全開時の有効スペースを押さえることがで
きるので、前者のバタフライ型スロットルバルブ構造よ
り優位であるが、構造が複雑であるために信頼性を欠く
等の問題点があった。
し、前者のバタフライ型スロットルバルブは、構造が簡
単なものであるにもかかわらず、全開時の円形羽根の有
効スペースを考慮しなければならず、また、この種のバ
ルブは、排気速度を自動制御する自動圧力コントローラ
ーと組合わせた仕様となるため、装置全体が大型なもの
になっていた。また、後者のベーン型スロットルバルブ
にあっては、バルブ径が大口径になっても円形羽根の分
割数によって全開時の有効スペースを押さえることがで
きるので、前者のバタフライ型スロットルバルブ構造よ
り優位であるが、構造が複雑であるために信頼性を欠く
等の問題点があった。
【０００４】［問題点を解決するための手段］本発明
は、上述のような問題点を解決することを目的としてな
されたもので、詳しくは本発明は、排気系の主ポンプと
真空容器本体との間に接続するブラインド型スロットル
バルブであって、このスロットルバルブは、モーター軸
に軸支されたカップリンブを介して回転する一方のドラ
イブシャフトと、このドライブシャフトに連結され、か
つ、モーターの制御によって９０°方向に全開、全閉し
て回転する第一のブラインドと、クランクに連結され、
かつ、このクランクの伝達によって９０°方向に全開、
全閉して回転する第二のブラインドおよび第三のブライ
ンドと、バルブ本体に設けた一体のギヤーによって前記
一方のドライブシャフトとは対象的に回転する他方のド
ライブシャフトと、このドライブシャフトに連結され、
かつ、モーターの制御によって９０°方向に全開、全閉
して回転する第四のブラインドと、クランクに連結さ
れ、かつ、このクランクの伝達によって９０゜方向に全
開、全閉して回転する第五のブラインドおよび第六のブ
ラインドとを具備することを特徴とするスロットルバル
ブである。
は、上述のような問題点を解決することを目的としてな
されたもので、詳しくは本発明は、排気系の主ポンプと
真空容器本体との間に接続するブラインド型スロットル
バルブであって、このスロットルバルブは、モーター軸
に軸支されたカップリンブを介して回転する一方のドラ
イブシャフトと、このドライブシャフトに連結され、か
つ、モーターの制御によって９０°方向に全開、全閉し
て回転する第一のブラインドと、クランクに連結され、
かつ、このクランクの伝達によって９０°方向に全開、
全閉して回転する第二のブラインドおよび第三のブライ
ンドと、バルブ本体に設けた一体のギヤーによって前記
一方のドライブシャフトとは対象的に回転する他方のド
ライブシャフトと、このドライブシャフトに連結され、
かつ、モーターの制御によって９０°方向に全開、全閉
して回転する第四のブラインドと、クランクに連結さ
れ、かつ、このクランクの伝達によって９０゜方向に全
開、全閉して回転する第五のブラインドおよび第六のブ
ラインドとを具備することを特徴とするスロットルバル
ブである。
【０００５】［作 用］本発明のスロットルバルブは、
バルブ本体に一体のギヤーを設けているために、二軸ド
ライブ構造で対象的な動きをなすことができ、同時に複
数のブラインドをクランクによって連動させることが可
能である。
バルブ本体に一体のギヤーを設けているために、二軸ド
ライブ構造で対象的な動きをなすことができ、同時に複
数のブラインドをクランクによって連動させることが可
能である。
【０００６】上記のような使用目的に使用されるスロッ
トルバルブは、ブラインドの全開時は開孔面積を最大
に、ブラインドの全閉時は開孔面積を最小にするのが望
ましい。本実施例のスロットルバルブにあっては、全開
時において、各ブラインドンを、全て９０°の開状態に
保持させることが可能であるために、最大有効面積を得
ることができる。また、全閉時には、相隣る各ブライン
ド同志がドライブシャフトの軸線上で僅に重り合い、し
かも、両端に設定されるブラインドもバルブ本体の内側
に重なるため開孔面積は最小となる。このように、シン
メトリックなブラインドの動きによって、均一なな排気
が行なわれる。また、ブラインドのドライブ機構にワイ
ヤー等を使用しないため、ガス溜り等の弊害を解消する
ことができる。さらに、スロットルバルブの用途分野は
使用条件が厳しく、特に強腐食性のガス等に耐える必要
がある。本発明のスロットルバルブ全体は耐腐食性材料
を用いて構成されているので、耐久性にも優れている。
また、長期に亘る正常な開閉作動が期待できる。しか
も、ブラインド部、バルブ全体とも簡単構造に構成され
ているので、交換やメンテナンス作業等も無駄なく容易
に行うことができると共に、信頼生が向上する。
トルバルブは、ブラインドの全開時は開孔面積を最大
に、ブラインドの全閉時は開孔面積を最小にするのが望
ましい。本実施例のスロットルバルブにあっては、全開
時において、各ブラインドンを、全て９０°の開状態に
保持させることが可能であるために、最大有効面積を得
ることができる。また、全閉時には、相隣る各ブライン
ド同志がドライブシャフトの軸線上で僅に重り合い、し
かも、両端に設定されるブラインドもバルブ本体の内側
に重なるため開孔面積は最小となる。このように、シン
メトリックなブラインドの動きによって、均一なな排気
が行なわれる。また、ブラインドのドライブ機構にワイ
ヤー等を使用しないため、ガス溜り等の弊害を解消する
ことができる。さらに、スロットルバルブの用途分野は
使用条件が厳しく、特に強腐食性のガス等に耐える必要
がある。本発明のスロットルバルブ全体は耐腐食性材料
を用いて構成されているので、耐久性にも優れている。
また、長期に亘る正常な開閉作動が期待できる。しか
も、ブラインド部、バルブ全体とも簡単構造に構成され
ているので、交換やメンテナンス作業等も無駄なく容易
に行うことができると共に、信頼生が向上する。
【０００７】［実施例］本発明の実施例を図１ないし図
４に基き説明する。図１は、本発明に係るスロットルバ
ルブの正面図であり、図２は、同じく背面図である。図
３は、複数ブラインドの全閉作動状態説明図、図４は、
同じく全開状態作動説明図である。図において、符号１
はスロットルバルブ、２はモーター、３はカップリン
グ、４は一方のドライブシャフトを示し、このドライブ
シャフト４には、モーターの制御によって９０°方向に
全開、全閉して回転する第一のブラインド５が連結され
ている。図中６は第二のブラインド、７は第三のブライ
ンドを示し、これら第二のブラインド６および第三のブ
ラインド７にはクランク８が連結されており、このクラ
ンク８の伝達によって、第二のブラインド６および第三
のブラインド７が９０°方向に全開、全閉して回転す
る。
４に基き説明する。図１は、本発明に係るスロットルバ
ルブの正面図であり、図２は、同じく背面図である。図
３は、複数ブラインドの全閉作動状態説明図、図４は、
同じく全開状態作動説明図である。図において、符号１
はスロットルバルブ、２はモーター、３はカップリン
グ、４は一方のドライブシャフトを示し、このドライブ
シャフト４には、モーターの制御によって９０°方向に
全開、全閉して回転する第一のブラインド５が連結され
ている。図中６は第二のブラインド、７は第三のブライ
ンドを示し、これら第二のブラインド６および第三のブ
ラインド７にはクランク８が連結されており、このクラ
ンク８の伝達によって、第二のブラインド６および第三
のブラインド７が９０°方向に全開、全閉して回転す
る。
【０００８】バルブ本体９には一対のギヤー１０が設け
ており、このギヤー１０によって別のドライブシャフト
１１が回転する。そして、このドライブシャフト１１に
は、モーターの制御によって９０°方向に全開、全閉し
て回転する第四のブラインド１２が連結されている。図
中１３は第五のブラインド、１４は第六のブラインドを
示し、これら第五のブラインド１３および第六のブライ
ンド１４にはクランク１５が連結されており、このクラ
ンク１５の伝達によって、第五のブラインド１３および
第六のブラインド１４が９０°方向に全開、全閉して回
転する。なお、上記の実施例では、ブラインドを、第一
のブラインド６ないし第六のブラインド１４の６枚で構
成したが、ブラインドの数は、それを凌駕するものであ
っても本発明に含まれる。
ており、このギヤー１０によって別のドライブシャフト
１１が回転する。そして、このドライブシャフト１１に
は、モーターの制御によって９０°方向に全開、全閉し
て回転する第四のブラインド１２が連結されている。図
中１３は第五のブラインド、１４は第六のブラインドを
示し、これら第五のブラインド１３および第六のブライ
ンド１４にはクランク１５が連結されており、このクラ
ンク１５の伝達によって、第五のブラインド１３および
第六のブラインド１４が９０°方向に全開、全閉して回
転する。なお、上記の実施例では、ブラインドを、第一
のブラインド６ないし第六のブラインド１４の６枚で構
成したが、ブラインドの数は、それを凌駕するものであ
っても本発明に含まれる。
【０００９】［発明の効果］従って本発明は、バルブ本
体に複数のブラインドが設けられているために、全開時
の有効スペースを同径バタフライ型スロットルバルブに
比べ１／５〜１／１０、コンダクタンスを約３倍にする
ことができるという効果が得られる。また、全閉時には
ブラインド同志の重ね合によって最小コンダクタンスを
得ることができる。また、ブラインドの対象的な動きに
よって均一な排気効果が期待できる。さらに、簡単構造
にして、各ブラインドの開閉作動に確実性と速応性があ
り、かつ、メンテナンス等も容易であり、耐腐食性を発
揮するため、信頼性が向上し、特に半導体製造または液
晶パネル製造に使用される真空装置の排気に有利であ
る。
体に複数のブラインドが設けられているために、全開時
の有効スペースを同径バタフライ型スロットルバルブに
比べ１／５〜１／１０、コンダクタンスを約３倍にする
ことができるという効果が得られる。また、全閉時には
ブラインド同志の重ね合によって最小コンダクタンスを
得ることができる。また、ブラインドの対象的な動きに
よって均一な排気効果が期待できる。さらに、簡単構造
にして、各ブラインドの開閉作動に確実性と速応性があ
り、かつ、メンテナンス等も容易であり、耐腐食性を発
揮するため、信頼性が向上し、特に半導体製造または液
晶パネル製造に使用される真空装置の排気に有利であ
る。
【００１０】
【図１】図１は、本発明に係るスロットルバルブの構造
正面図である。
正面図である。
【図２】図２は、同、構造背面図である。
【図３】図３は、ブラインドの全閉作動状態説明図であ
る。
る。
【図４】図４は、ブラインドの全開作動状態説明図であ
る。
る。
【００１１】
１ スロットルバルブ ２ モーター ３ カップリング ４ ドライブシャフト ５ 第一のブラインド ６ 第二のブラインド ７ 第三のブラインド ８ クランク ９ バルブ本体 １０ ギヤー １１ ドライブシャフト １２ 第四のブラインド １３ 第五のブラインド １４ 第六のブラインド １５ クランク
Claims (1)
- 【請求項１】排気系の主ポンプと真空容器本体との間に
接続するブラインド型スロットルバルブであって、この
スロットルバルブは、モーター軸に軸支されたカップリ
ンブを介して回転する一方のドライブシャフトと、この
ドライブシャフトに連結され、かつ、モーターの制御に
よって９０°方向に全開、全閉して回転する第一のブラ
インドと、クランクに連結され、かつ、このクランクの
伝達によって９０゜方向に全開、全閉して回転する第二
のブラインドおよび第三のブラインドと、バルブ本体に
設けた一体のギヤーによって前記一方のドライブシャフ
トとは対象的に回転する他方のドライブシャフトと、こ
のドライブシャフトに連結され、かつ、モーターの制御
によって９０゜方向に全開、全閉して回転する第四のブ
ラインドと、クランクに連結され、かつ、このクランク
の伝達によって９０°方向に全開、全閉して回転する第
五のブラインドおよび第六のブラインドとを具備するこ
とを特徴とするスロットルバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35497793A JPH07190203A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | スロットルバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35497793A JPH07190203A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | スロットルバルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07190203A true JPH07190203A (ja) | 1995-07-28 |
Family
ID=18441148
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35497793A Pending JPH07190203A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | スロットルバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07190203A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004286131A (ja) * | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Smc Corp | ゲートバルブ |
| US7472581B2 (en) | 2005-03-16 | 2009-01-06 | Tokyo Electron Limited | Vacuum apparatus |
| JP2014525016A (ja) * | 2011-07-20 | 2014-09-25 | フェローテック（ユーエスエー）コーポレイション | マルチベーン型スロットルバルブ |
| CN109372639A (zh) * | 2018-12-26 | 2019-02-22 | 潍柴动力股份有限公司 | 一种进气节流阀及发动机 |
| US20220223383A1 (en) * | 2019-04-05 | 2022-07-14 | Applied Materials, Inc. | Process system with variable flow valve |
-
1993
- 1993-12-27 JP JP35497793A patent/JPH07190203A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004286131A (ja) * | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Smc Corp | ゲートバルブ |
| US7472581B2 (en) | 2005-03-16 | 2009-01-06 | Tokyo Electron Limited | Vacuum apparatus |
| JP2014525016A (ja) * | 2011-07-20 | 2014-09-25 | フェローテック（ユーエスエー）コーポレイション | マルチベーン型スロットルバルブ |
| CN109372639A (zh) * | 2018-12-26 | 2019-02-22 | 潍柴动力股份有限公司 | 一种进气节流阀及发动机 |
| US20220223383A1 (en) * | 2019-04-05 | 2022-07-14 | Applied Materials, Inc. | Process system with variable flow valve |
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