JPH07176653A

JPH07176653A - 冷却装置およびその製造方法

Info

Publication number: JPH07176653A
Application number: JP32239793A
Authority: JP
Inventors: Yoichi Hisamori; 洋一久森; Yoshihiro Kashiba; 良裕加柴; Eiji Itou; ▲えいじ▼ 伊藤
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1993-12-21
Filing date: 1993-12-21
Publication date: 1995-07-14

Abstract

(57)【要約】【目的】簡単な構造にもかかわらず、外形が小さく、
冷却効果および冷却性能に優れ、さらに製造コストも安
価で、装置の性能に合わせた設計変更も容易な冷却装置
を得ること、さらにその製造方法を提供することであ
る。【構成】ろう材を用いて、フィン材２と板材３を交互
に積層し、接合する。このとき、フィン材２の端面と板
材３の端面を連接させて、発熱性電気部品の電力用半導
体５ａ、５ｂ，５ｃを搭載する平面を形成し、一方で板
材３の接合されないフィン材２の部分を持つことによ
り、この部分が冷却フィンとなる。必要に応じ、冷却フ
ァン４からの冷却風を用いてこの冷却フィンが電力用半
導体５ａ、５ｂ，５ｃからの発熱を冷却する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、例えばインバータ
や、パワーモジュール等の発熱性電気部品を取り付け
て、発生する熱の放散を促進する冷却装置およびその製
造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図１３は従来の発熱性電気部品用冷却装
置を示す斜視図である。図において、１は冷却体であ
り、被冷却体である発熱性電気部品の設置部１ａととも
に、冷却体１と一体に押し出し形成され、放熱板として
の機能を有する複数の冷却フィン１ｂを有している。ま
た冷却体１はアルミ押し出し成形材のため、反りが生
じ、発熱性電気部品の設置部１ａは平面度を改善するた
めに面切削加工が施されている。４は冷却体１の複数の
冷却フィン１ｂ間に冷却風を送風する冷却ファンであ
り、冷却フィン１ｂに対して垂直の位置関係を有して設
置されている。５ａ、５ｂ、５ｃは各々発熱性電気部品
であり、例えば電力用半導体、３は電力用半導体５ａ、
５ｂ，５ｃを冷却体１の設置部１ａに着脱自在に取り付
けるためのネジである。図のように冷却フィン１ｂは表
面積が大きい構造をなしている。

【０００３】上記のように構成された従来の発熱性電気
部品用冷却装置の冷却動作について説明する。電力用半
導体５ａ、５ｂ、５ｃの使用により温度が上昇するの
で、この温度上昇を使用許容温度以内に押さえる必要が
あった。このため、電力用半導体５ａ、５ｂ、５ｃが発
する熱は冷却体１に伝熱され、冷却フィン１ｂで放熱さ
れる。この冷却フィン１ｂは表面積が大きく、自然放熱
も行い得るが、放熱を促進し、冷却能力を増大させるた
めに、冷却ファン４を用いて冷却フィン１ｂの間に強制
的に冷却風を流していた。以上のように、電力用半導体
５ａ、５ｂ、５ｃを設置した冷却体１から熱を奪うこと
により間接的に電力用半導体５ａ、５ｂ，５ｃを使用許
容温度以内の適正な温度条件にしていた。

【０００４】また、図１４は実開平４ー７７２９２公報
に記載の発熱性電気部品用の冷却装置を示すものであ
る。図の冷却装置はフィンピッチの厚さで形成され複数
のフィン素材を積み重ねて固定することにより形成さ
れ、かつ個々のフィン素材は互いに固定される部分を除
いた箇所を薄くした形状のものである。図において、
１、４〜６までは図１３の符号と同一のものである。３
０は冷却体を構成する冷却フィン素材で、アルミニウム
の押し出し成形品を切断したもので、３０ａはフィン素
材間を接続固定するための接続面で、一面には三角形の
凸状形状３０ｂが形成されており、反対の面には同一位
置にその三角形状に合致する凹状形状の溝３０ｃが設け
てある。３０ｄは冷却ファン４からの冷却風が送風され
るフィン部、３０ｅは発熱性電気部品の設置される設置
面である。設置面３０ｅの幅は所望のフィンピッチ分を
とり、フィン部３０ｄは設置面３０ｅの幅より薄く成形
されている。３０ｆはフィン素材３０の接続面３０ａ部
に形成されるボルトを通すボルト穴である。３１は冷却
フィン３０を複数重ね合わせて形成される冷却体組立品
で、ボルト穴３０ｆに図に示すボルト１３を通してナッ
ト１４で冷却フィン３０を密着固定している。設置面３
０ｅが連接されて、電力用半導体５ａ、５ｂ，５ｃを設
置する平面を構成する。

【０００５】この冷却装置による冷却動作も図１３のも
のと同様であり、電力用半導体５ａ、５ｂ，５ｃの発す
る熱が冷却体組立品３１に伝熱され、フィン部３０ｄで
放熱される。フィン部３０ｄの間を冷却ファン４により
冷却風を送ることでフィン部３０ｄの表面の熱交換を行
う。

【０００６】図１４の冷却装置の冷却体組立品３１は押
し出し成形品の冷却フィン素材３０を積み重ねて形成す
るので、フィンピッチを小さくすることができた。ま
た、フィンの積み重ねを容易にするために三角突起と溝
を両面の設けたことにより位置決めが簡単にできる構造
となっていた。

【０００７】さらに、図１５は特開昭６３ー８１８３８
公報に掲載のろう付を利用した冷却装置を示す。図にお
いて、３２はベース材で、両端に側壁３２ａを有する。
３３は薄い板材状のはんだ、３４はコルゲート状に成形
された放熱フィンである。

【０００８】図１５の冷却装置の構成方法を説明する。
ベース材３２上にはんだ３３を置いてろう付しておく。
そして必要に応じてフリット（図示せず）を設けて、コ
ルゲート化された放熱フィン３４を、弾性的に狭めた形
でベース材３２に入れると、放熱フィン３４がスプリン
グバックして、その両側が側壁３２ａの基部で係止めさ
れることにより位置決めされる。これを加熱炉に入れて
はんだ３３を溶融して放熱フィン３４をベース材３２に
はんだ付けし、加熱炉から取り出して冷却すると図１５
のような冷却装置が得られる。

【０００９】この冷却装置の冷却動作も図１３、図１４
の冷却装置と同一で、この装置においても放熱フィン３
４の間を冷却ファン（図１５では図示せず）による冷却
風を送り、放熱フィン３４の表面の熱交換を行う。上記
構成の冷却装置により、放熱特性が向上し、機械的強度
が大きくなり、生産性が高くなる。

【００１０】

【課題を解決しようとする課題】図１３に示す従来の発
熱性電気部品用冷却装置において、電力用半導体５ａ、
５ｂ，５ｃを設置する冷却体１はアルミ押し出し成形品
であるため、図の冷却フィン１ｂの上下方向の長さに対
してフィンの間隔が制限されて間隔を狭くすることがで
きず、冷却体の外径寸法が大きくなるという課題があっ
た。

【００１１】また、図１４に示す冷却装置では、冷却フ
ィン素材３０を積み重ねて、押しつけたのみなので、冷
却フィン素材３０の接触部に空気が介在し、熱伝導率が
低下してしまう。よって発熱性電気部品５ａ、５ｂ、５
ｃが発する熱が効率よくフィン部３０ｂまで伝わらず、
フィンピッチを狭くできたにもかかわらず、放熱特性の
低い冷却装置になるという課題があった。

【００１２】さらに図１５で示した冷却装置では、薄板
をコルゲート状に成形するため、はじめからフィンの高
さを大きく成形することが困難であり、フィンを高くす
るためには予めピッチの大きいフィンを成形し、それを
ベース材３２にろう付する時に弾性的に狭める工程を必
要とした。またコルゲート状に成形された放熱フィン３
４を係止するためにはベース材３２の両側に側壁３２ａ
等を設ける必要があり、ベース材の形状を複雑にすると
いう課題があった。

【００１３】この発明は、上記のような問題点を解決す
るためになされたもので、外形寸法が小さく、冷却効率
および冷却性能に優れ、また複雑なベース材を必要とせ
ず、安価で性能に合わせた設計変更も容易な冷却装置を
得ることを目的とし、さらにこのような冷却装置の製造
方法を提供することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】この発明に係る冷却装置
は、第一の金属材の一部を残して、第一の金属材と第二
の金属材を交互に積層して接合し、この第一と第二の金
属材のそれぞれの端面により発熱部品を搭載する平面を
形成し、さらに第一と第二の金属材との接合されない部
分により冷却フィンを形成するものである。

【００１５】この発明に係る冷却装置の製造方法は、第
一の金属材の一面の相対する両端辺より所定領域を残し
て第二の金属材が配置されるように第一の金属材と第二
の金属材を交互に積層する工程と、その第一と第二の金
属材とを接合、一体にする工程と、第一の金属材と第二
の金属材との接合部分を切断する工程を含むものであ
る。

【００１６】また、この発明に係る冷却装置の製造方法
は、第一の金属材の一面の相対する両端辺より所定領域
に、第二と第三の金属材の間に空間が形成されるように
この第二と第三の金属材を配置するとともに、第一の金
属材と第二および第三の金属材を交互に積層する工程
と、この第一の金属材と第二および第三の金属材を接
合、一体にする工程と、上記の空間部分を切断する工程
を含むものである。

【００１７】また、この発明に係る冷却装置の製造方法
は、第一の金属材の一面の相対する両端辺より所定領域
を残して第二の金属材を配置するとともに、第一と第二
の金属材にそれぞれ予め設けられた孔が重なるように第
一の金属材と第二の金属材を交互に積層する工程と、そ
の第一と第二の金属材とを接合、一体にする工程と、上
記の孔を通るように切断する工程を含むものである。

【００１８】また、この発明に係る冷却装置の製造方法
は、第一の金属材の一面の相対する両端辺より所定領域
に、第二と第三の金属材の間に空間が形成されるように
この第二と第三の金属材を配置するとともに、第一の金
属材に予め設けられた孔が空間部分の同一位置に並ぶよ
うに第一の金属材と第二および第三の金属材を交互に積
層する工程と、その第一の金属材と第二および第三の金
属材を接合、一体にする工程と、上記の孔を通るように
切断する工程を含むものである。

【００１９】また、この発明に係る冷却装置は、第一の
金属材の一部を残して、第一の金属材と第二の金属材を
交互に積層して接合し、この第一と第二の金属材のそれ
ぞれの端面が発熱部品の搭載されるベース材に接合さ
れ、さらに第一と第二の金属材との接合されない部分に
より冷却フィンが形成されるものである。

【００２０】また、この発明に係る冷却装置は、第一の
金属材の一部を残して、第一の金属材と第二の金属材を
交互に積層して接合し、この第一と第二の金属材のそれ
ぞれの端面が発熱部品と接続される配線パターンを持つ
基板に接合され、さらに第一と第二の金属材との接合さ
れない部分により冷却フィンが形成されるものである。

【００２１】また、この発明に係る冷却装置は、一の面
に発熱部品が搭載され、さらに内部に液体の流れる流路
が形成され、流路の入出口が表面に設けられたベース材
と、第一の金属材と、第一の金属材の一部を残して、第
一の金属材と第二の金属材を交互に積層して接合される
第二の金属材を備え、第一および第二の金属材との接合
されない部分により冷却フィンが形成されるものであ
る。

【００２２】また、この発明に係る上記の冷却装置は、
第二の金属材と接合されない第一の金属材の表面部分に
凹凸形状が形成されたものである。

【００２３】

【作用】上記の冷却装置は、第一の金属材の一部を残し
て、第一の金属材と第二の金属材を交互に積層して接合
するので、第一と第二の金属材の板厚により冷却装置の
外径寸法が任意に設定され、さらにこの第一と第二の金
属材の端面が発熱部品を搭載する平面を形成し、第一と
第二の金属材とが接合されない部分により冷却フィンが
形成されるので、発熱部品からフィンへの熱伝導率が良
く、冷却性能が向上される。

【００２４】また、上記の冷却装置の製造方法は、第一
の金属材の一面の相対する両端辺より所定領域を残して
第二の金属材が配置されるように第一の金属材と第二の
金属材を交互に積層して接合し、さらに第一の金属材と
第二の金属材との接合部分を切断する工程を含むので、
同時に２個の冷却装置が製造される。

【００２５】また、上記の冷却装置の製造方法は、第一
の金属材の一面の相対する両端辺より所定領域に、第二
と第三の金属材の間に空間を形成するようにこの第二と
第三の金属材を配置するとともに、第一の金属材と第二
および第三の金属材を交互に積層して接合し、さらに空
間部分を切断する工程を含むので、同様に、同時に２個
の冷却装置が製造される。

【００２６】また、上記の冷却装置の製造方法は、第一
と第二の金属材に予め設けられた孔が重なるように第一
の金属材と第二の金属材を交互に積層して接合し、さら
に上記の孔を通るように切断するので、同時に２個の冷
却装置を製造する際、切断に要する時間が短縮され、ま
た積層、接合の際に金属材を固定する治具を、この孔を
利用して取り付けられる。

【００２７】また、上記の冷却装置の製造方法は、この
第一の金属材の一面に配置された第二と第三の金属材間
に空間を形成し、第一の金属材に予め設けられた孔が空
間部分の同一位置に並ぶように第一の金属材と第二およ
び第三の金属材を交互に積層して接合し、さらに上記の
孔を通るように切断するので、同様に、同時に２個の冷
却装置を製造する際、切断に要する時間が短縮され、ま
た積層、接合の際に金属材を固定する治具を、この孔を
利用して取り付けられる。

【００２８】また、上記の冷却装置は、第一と第二の金
属材のそれぞれの端面が発熱部品の搭載されるベース材
に接合され、さらに第一と第二の金属材とが接合されな
い部分により冷却フィンが形成されるので、発熱部品を
冷却装置に搭載するための面加工を要しない。

【００２９】また、上記の冷却装置は、この第一と第二
の金属材のそれぞれの端面が発熱部品と接続される配線
パターンを持つ基板に接合され、さらに第一と第二の金
属材とが接合されない部分により冷却フィンが形成され
るので、電力用半導体のような発熱素子を搭載する場合
でも、ネジ留め等を要さず、発生する熱は効率よく冷却
フィンに伝わり、さらに冷却装置本体も小型化される。

【００３０】また、上記の冷却装置は、一の面に発熱部
品が搭載され、かつ内部に液体の流れる流路が形成され
たベース材を備え、第一と第二の金属材のそれぞれの端
面が上記ベース材に接合され、さらに第一と第二の金属
材とが接合されない部分により冷却フィンが形成される
ので、冷却フィンと発熱部品とが離れた箇所にあっても
発熱部品より発生する熱は液体により効率良く冷却フィ
ンまで伝わる。

【００３１】また、上記の冷却装置は、第二の金属材と
接合されない第一の金属材の表面部分に凹凸形状が形成
されたので、表面積が増大して放熱効果が増し、さらに
ファンにより強制で空冷し、フィン間を流れる空気の境
界層がより破壊されやすい。

【００３２】

【実施例】

実施例１．以下この発明の一実施例を図１に示す。図１
はこの発明より得られる冷却装置を示す斜視図で、１は
冷却装置の本体となる冷却体、２は放熱体となる矩形状
のフィン材であり、例えばアルミ板（ＪＩＳ規格A110
0、以下に示す規格番号はすべてＪＩＳ規格のもの）か
らなる。３は横方向はフィン材２と同一長さの辺を持
ち、垂直方向はフィン材２より短い辺を持つ矩形状（以
下短冊状と呼ぶ）の板で、心材（例えばA3003）がアル
ミ材でその両面にろう材（例えばBA4343）が板厚に対し
て１０％程度クラッドされたブレージングシートを用い
る。フィン材２とブレージングシート３はほぼ同じ板厚
を有する。４は冷却体１の複数のフィン材２間に冷却風
を送風する冷却ファンであり、フィン材２に対して正面
の位置関係を有して設置されている。５ａ、５ｂ、５ｃ
は従来例と同様な各々発熱性電気部品である電力用半導
体であり、冷却体１の設置部１ａにネジ６により着脱自
在に取り付けられている。また上記ではフィン材２とし
てアルミ板、短冊状の板３にブレージングシートを使用
した例を挙げたが、フィン材２に銅板を用い、さらに短
冊状の板３に半田めっき（溶融温度２２０〜３００
℃）、あるいはニッケルめっき（ろう付温度１０００〜
１１００℃）を施したものでよい。さらにフィン材と短
冊状の板材の素材はアルミや銅に限定するものでなく、
熱伝導率の高い材料であればよい。

【００３３】冷却装置の本体となる冷却体１はフィン材
２とブレージングシート３のそれぞれ辺どうしを一致さ
せてブレージングシート３の全面をフィン材２の面に合
わせるように交互に積み重ねて、ブレージングシート３
のろう材によりろう付し、一体化させることにより形成
される。フィン材２とブレージングシート３の辺を連接
させたことで電力用半導体５ａ、５ｂ，５ｃを搭載する
設置部１ａを形成するが、上記のろう付時にブレージン
グシート３のろう材がはみでてしまい、平面が形成され
ないので面切削加工を施している。一方、ブレージング
シート３とろう付されないフィン材２の部分が冷却フィ
ン１ｂを形成し、冷却フィン１ｂのフィンピッチはブレ
ージングシート３の板厚とほぼ同じ大きさを持つ。この
冷却フィン１ｂに冷却ファン４により送風され、熱交換
を行う。また図１５の従来技術のように、ベース材を持
たない構成になっている。

【００３４】上記構成の冷却装置によりブレージングシ
ートの板厚により、フィンピッチを任意に決定できるの
で、かなり小さいフィンピッチも可能で、従って冷却装
置の小型化も容易である。また各部材をろう材で一体接
合しているので、装置全体の熱伝導性も向上する。また
部品加工も複雑な形状を必要とせず、この冷却装置の製
造工程も簡単で、製造コストも安価で、冷却装置の設
計、または設計変更も、種々の用途により容易にでき
る。

【００３５】次に上記冷却装置の製造方法を図２を用い
て説明する。放熱板としてのフィン材２には銅板を、ま
た短冊状の板材３には半田めっきまたはニッケルめっき
が施された銅板を用いる。これらは簡易金型などを用い
たプレス加工により成形される。銅板の材料は、無酸素
銅が望ましく、半田めっきの場合はSn-Pb系またはSn-Ag
系を用い、ニッケルめっきを行うときは、無電解ニッケ
ルめっき(Ni-PまたはNi-B)を使用する。これらをフィン
材２、板材３と交互に積み重ねる。この時、図２(ａ)に
示したようにフィン２の下面と板材３のそれぞれ下面を
そろえるようにして重ねる。そして、半田付けまたはろ
う付用治具７により、圧力（面圧で、０．５kgf/cm²程
度）を加え、各板材を密着するようにする。治具７は、
半田付けまたはろう付時に拡散接合されないように、ス
テンレス材を予め酸化させた材料（オーステナイト系、
例えばSUS304）により製作される。例えば図２（ｂ）
は、治具にとりつけられた状態を示す図（図２（ａ）を
下方から見た図）であり、本実施例の治具７では、ボル
トとナットによるネジ力により面圧をかけている。さら
にフィン材２と板材３とろう付するために加熱する際、
この治具を付けたままで（ａ）の状態から逆さまにして
（治具７の取り付けられた面を上にして）、半田用炉ま
たはろう付用炉にいれ、各半田材の半田付け温度（２２
０〜３００℃）または、各ニッケルめっき材の溶融温度
（ろう付温度１０００〜１１００℃）まで加熱する。逆
さまにして接合することにより、接合材がフィン材２面
の下方に流れ、逆に冷却体の設置面１ａにあふれでる量
が少なくなる。一定時間（２〜５分間）加熱し、その後
冷却して一体に融着させる。ろう付後、治具７を取り外
し、接合された冷却体１の設置部１ａになる面を、面切
削加工により平面度を出す。

【００３６】また、フィン材２としてアルミ板、短冊状
の板材３として短冊状の板材３は心材（例えばA3003）
がアルミ材で、その両面にろう材（例えばBA4343）が板
厚に対して10％程度クラッドされたブレージングシート
を用いた場合の冷却装置本体の製造方法について説明す
る。アルミ板の材料は、ろう付し易い純アルミ系材料A1
100やA1050または、Al-Mn系材料A3003等が望ましい。ブ
レージングシートに使用するろう材は、液相線と固相線
の温度ができるだけ離れたBA4343が望ましい。またアル
ミ板やブレージングシートは上記と同様に簡易金型など
を用いたプレス加工により成形される。

【００３７】これらにより冷却装置の冷却体を形成する
方法は上記と同じ工程による。ただしアルミ材をろう付
する際、アルミろう付用炉に入れ、アルミろう材の固相
線（５７７℃）と液相線（６１５℃）の間の温度（およ
そ６００〜６０５℃）に加熱する。この温度によりろう
材は程良くアルミ材をろう付させる。

【００３８】実施例２．図３は本発明による冷却装置の
製造方法を示すもので、（ａ）は正面図、（ｂ）はその
側面図である。放熱体となるフィン材２はアルミ板であ
り、図３の断面図からみたフィン材２の側辺は、例えば
実施例１（図１）のフィン材側辺の２倍の長さを持つ。
同じく断面図からみた短冊状の板材３の側辺も実施例１
の板材の側辺の２倍の長さを持つブレージングシートを
材料とするもので、フィン材２と板材３はともに簡易金
型などを用いたプレス加工により成形される。また、ア
ルミ板の材料は、ろう付しやすい純アルミ系材料A1100
やA1050または、Al-Mn系材料A3003等が望ましく、ブレ
ージングシートに使用するろう材は、液相線と固相線の
温度が離れたBA4343が望ましい。

【００３９】上記フィン材２と板材３により冷却装置の
冷却体を形成する方法について説明する。実施例１と同
様にフィン材２、板材３と交互に積み重ねる。この時、
図３に示すフィン材２の上端辺と下端辺より冷却フィン
となる部分を残して、例えば板材３の真ん中がフィン材
２の真ん中に合わせるように位置決めして積み重ねる。
このとき図のように治具７で締め付けるためフィン材２
と板材３に予め形成しておいたボルト穴８を利用して位
置決めすれば良い。そして、ろう付用治具７により、圧
力（面圧で、０．５kgf/cm²程度）をかけ各板材が密着
するようにする。治具７は、アルミろう付時に拡散接合
されないように、ステンレス材（オーステナイト系、例
えばSUS304）を予め酸化させた材料等により製作され
る。次に、この治具を付けた状態で、アルミろう付用炉
にいれ、アルミろう材の固相線（５７７℃）と液相線
（６１５℃）の間の温度（６００〜６０５℃）に加熱す
る。ろう付後、治具７を取り外し、アルミ材２と板材３
の重なりあった部分の中央を切断する（図ＡーＡ断
面）。その切断面は接合された冷却体１の設置部になる
面で、切断後に面切削加工を行う。一度のろう付で２個
の製品を得る。このことにより、一個あたりの製作費用
と制作時間をかなり削減することができる。

【００４０】実施例３．実施例２と同様に、一度のろう
付で２個の製品を効率よく作り出す別の実施例を図４に
示す。例えば、放熱体となるフィン材２は実施例１のフ
ィン材の側辺の２倍の長さを持つアルミ材、短冊状の板
材３は実施例１の板材と同じ大きさ、形のブレージング
シートである。

【００４１】上記フィン材２と板材３により冷却装置の
冷却体を形成する方法について説明する。図４に示すよ
うに、一枚のフィン材２に対して、フィン材２の上端面
と下端面に、それぞれ二つの板材３の側面がそろうよう
に、位置決めして交互に積み重ねる。そして、ろう付用
治具７により、圧力（面圧で、０．５kgf/cm²程度）を
かけ、各板材が密着するようにする。治具７は、フィン
材２に均等に圧力がかかる形状であり、アルミろう付時
に拡散接合されないように、ステンレス材（オーステナ
イト系、例えばSUS304）を予め酸化させた材料等により
製作される。次に、この治具を付けた状態で、アルミろ
う付用炉にいれ、アルミろう材の固相線（５７７℃）と
液相線（６１５℃）の間の温度（６００〜６０５℃）に
加熱する。ろう付後、治具７を取り外し、板材３がろう
付されていないフィン材２の部分、図４ではフィン材２
の中心を切断する（図のＡーＡ断面）。上記ようにフィ
ン材２と板材３の面をそろえて交互に接合してできた面
は設置部１ａになる。このとき表面の平面度をよくする
ために面切削加工を施す。このようにして一度のろう付
で２個の製品を得るので、一個あたりの製作費用、制作
時間が削減できる。

【００４２】実施例４．図５は本発明による冷却装置の
別の製造方法を示すものである。放熱体となるフィン材
２はアルミ板であり、図５（ａ）はフィン材で、その側
辺は、例えば実施例１（図１）のフィン材側辺の２倍の
長さを持つ。図５（ｂ）は短冊状の板材３で、その側辺
も実施例１の板材の側辺の２倍の長さを持つブレージン
グシートを材料とするものである。フィン材２と板材３
は実施例２と同じ方法により、交互に積層され、ろう付
後に切断されるが、ろう付する前に、両者のともに切断
される部分にあらかじめ矩形状の穴９をあけておく。図
５ではフィン材２と板材３の中心部より横方向に長い穴
９が、ともに同じ大きさ、形で設けられており、その外
形と中心部の穴は簡易金型などを用いたプレス加工によ
り成形される。アルミ板の材料はA1100・A1050または、
A3003等が望ましく、ブレージングシートに使用するろ
う材は、BA4343が望ましい。

【００４３】上記フィン材２と板材３により冷却装置の
冷却体を形成する方法について説明する。図５（ｃ）の
ように、実施例２と同様、フィン材２、板材３と交互に
積み重ねるが、両者に設けられた穴９を一致させるよう
に位置決めする。例えば、この穴を通して図のように治
具７のボルトにより各部材を位置決めすれば良く、この
穴を利用して治具７を取り付けるので、治具も簡単な形
状のものが使用できる。そして、ろう付用治具７によ
り、圧力（面圧で、０．５kgf/cm²程度）をかけ各板材
が密着するようにする。治具７は、アルミろう付時に拡
散接合されないように、ステンレス材（オーステナイト
系、例えばSUS304）を予め酸化させた材料等により製作
される。次に、この治具を付けた状態で、アルミろう付
用炉にいれ、アルミろう材の固相線（５７７℃）と液相
線（６１５℃）の間の温度（６００〜６０５℃）に加熱
する。ろう付後、図３と同様に治具７を取り外し、接合
された二つの冷却体１のフィン２と板材３の矩形穴９以
外の中心部分を切断し、一度のろう付で２個の製品を得
る。このことにより、一個あたりの製作費用が削減でき
るだけでなく、切断にともなう機械加工時間も削減でき
る。

【００４４】実施例５．実施例４を同様にして、一度の
ろう付で２個の製品を効率よく作り出し、かつ、切断に
ともなう時間も削減する別の実施例を図６に示す。図６
（ａ）は放熱体となるフィン材２で、実施例４と同じ大
きさ、形のアルミ板、（ｂ）は短冊状の板材３で、実施
例３の板材と同じ大きさ、形のブレージングシートを材
料とするものである。また、実施例３と同様にして、フ
ィン材２と二つの板材３とを交互に積み重ねてろう付
し、その後にフィン材２が切断される。ただし本実施例
ではフィン材２の切断される箇所、二つの板材３がろう
付されないフィン材２の部分（図ではフィン材の中心
部）にあらかじめ矩形状の穴９を設けておき、フィン材
２と板材３の外形、中心部の穴を簡易金型などを用いた
プレス加工により成形する。アルミ板の材料はA1100・A
1050または、A3003等が望ましく、ブレージングシート
に使用するろう材は、BA4343が望ましい。

【００４５】上記フィン材２と板材３により冷却装置の
冷却体を形成する方法について図６（ｃ）を用いて説明
する。実施例３の図４のように、一枚のフィン材２に対
して、フィン材２の上端面と下端面に、それぞれ二つの
板材３の側面がそろうように、位置決めして交互に積み
重ねる。そして、ろう付用治具７により、圧力（面圧
で、０．５kgf/cm²程度）をかけ各板材が密着するよう
にする。治具７は、フィン材２に均等に圧力がかかる形
状であり、アルミろう付時に拡散接合されないように、
ステンレス材（オーステナイト系、例えばSUS304）を予
め酸化させた材料等により製作される。次に、この治具
を付けた状態で、アルミろう付用炉にいれ、アルミろう
材の固相線（５７７℃）と液相線（６１５℃）の間の温
度（６００〜６０５℃）に加熱する。ろう付後、図４と
同様に治具７を取り外し、二つの板材３が接合されてい
ないフィン２部分に設けられてある矩形穴９以外の中心
部分を切断し、一度のろう付で２個の製品を得る。この
ことにより、一個あたりの製作費用が削減できるだけで
なく、切断にともなう機械加工時間も削減できる。

【００４６】実施例６．図７は本発明による冷却装置の
他の実施例を示すものである。図において、この発明の
放熱体となるフィン材２はアルミ板であり、短冊状の板
材３は心材（例えばA3003）がアルミ材でその両面にろ
う材（例えばBA4343）が板厚に対して１０％程度クラッ
ドされたブレージングシートで、実施例１のものと同一
であり、これらは簡易金型などを用いたプレス加工によ
り成形される。７は治具、１０はアルミ平板のベース材
であり、底面には発熱性電気部品を取り付けるためのネ
ジ穴１１が加工されている。ベース材１０は、アルミの
押出材を機械加工または、プレス加工により成形したも
のである。ベース材１０のアルミ板の材料は、ろう付し
やすい純アルミ系材料A1100やA1050または、Al-Mn系材
料A3003等が望ましい。ブレージングシートに使用する
ろう材は、液相線と固相線の温度がなるべく離れたBA43
43が望ましい。図７（ａ）はフィン材２、板材３をベー
ス材１０に載せ、さらに治具７で固定した状態の一方向
から見た図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図である。

【００４７】本実施例では、フィン材２と板材３と交互
に積み重ね、さらにこれらをベース材１０の上に載せ、
これらの部材を接合して一体化することにより冷却装置
本体である冷却体を構成する。さらにベース材１０の表
面に形成されたネジ穴１１により発熱性電気部品をネジ
止めする。

【００４８】この冷却体を形成する方法について説明す
る。実施例１と同様に、フィン材２と板材３のそれぞれ
辺どうしをあわせるように交互に積み重ねる。さらにフ
ィン材２と板材３それぞれの側面をそろえた部分をベー
ス材１０の上面に接するように位置決めする。７はろう
付用治具（例えばSUS304）で、位置決めされた多数枚の
フィン材２をそれぞれ固定し、上方からフィン２と板材
３をベース材１０に押しつける。ベース材１０に対し
て、圧力（面圧で０．５kgf/cm²程度）をかける。一
方、加熱時に治具材７(SUS304)に対し、フィン２(A110
0)・板材３(A1100)は線膨張率が大きく、この線膨張率
の差により横方向の圧力が発生するので、この圧力がフ
ィン材２と板材３との間を固定するための圧力となる。
治具７は、アルミろう付時に拡散接合されないように、
ステンレス材（オーステナイト系、例えばSUS304）を予
め酸化させた材料により製作される。

【００４９】次に、この治具を付けた状態で（図７
（ｂ）参照）、アルミろう付用炉にいれ、アルミろう材
の固相線（５７７℃）と液相線（６１５℃）の間の温度
（６００〜６０５℃）に加熱する。ベース材１０を下に
して接合することにより、板材３のアルミろう材がろう
付中にはみ出して、ベース材１０に到達し、フィン材
２、板材３とベース材１０を一体に接合する。また、フ
ィン材２、板材３とベース材１０とをさらに強固に接合
させるために、あらかじめフィン材２の端面に対して板
材３をわずかに突出させるようにずらしてベース材１０
の表面に配置する。その突出した板材部分のろう材がさ
らに強固に接合させる。ろう付後、治具７を取り外す。
接合された冷却体１の設置部１ａになる面は、面切削加
工をせずとも平面度がでており、ネジ穴１１に直接、発
熱性電気部品を取り付けることができる（図７
（ｃ））。

【００５０】実施例７．図８は本発明の冷却装置の他の
実施例を示すものである。図（ａ）において、１２は表
面に銅材などであらかじめマスキング等により配線パタ
ーンが描かれ、発熱性半導体が半田付けされる部分１９
を備えた、銅などを素材とする基板、１３は接着剤やセ
ラミックス板からなる絶縁層で、例えばアルミろう材の
ろう付温度（約６２０℃）でも溶けない絶縁材が好まし
い。１４は銅材やアルミ材などからなる基板で、絶縁層
１３を挟んで、上面に基板１２の配線パターンを持つ面
の裏面を、下面に基板１４を接合する。そして絶縁層１
３の下面の基板１４の底面にはアルミろう材が濡れやす
いニッケルめっき１５が施されている。以上基板１２、
１４と絶縁層１３で発熱性半導体部品の取付基板１６を
形成する。例えば、いま発熱性半導体部品の取付基板１
６の絶縁層１３がセラミック板からなるとすると、上面
の基板１２と下面の基板１３は、別工程で拡散接合が施
され一体化される。その後、下面の基板１４の低面にニ
ッケルめっき１５を施す。さらに前記実施例と同様に、
放熱体となるフィン材２はアルミ板(例えばA1100)であ
り、短冊状の板材３は心材（例えばA3003）がアルミ材
でその両面にろう材（例えばBA4343）が板厚に対して１
０％程度クラッドされたブレージングシートであり、こ
れらは簡易金型などを用いたプレス加工により成形され
る。

【００５１】図における発熱性半導体部品の冷却装置は
前記実施例と同様にフィン材２と板材３を交互に積み重
ね、一体化したものに半導体部品の配線された基板を直
接載せたものである。本実施例の冷却装置の形成方法を
説明する。図８（ｂ）に示したように、取り付け基板１
６の基板１４側を上に向けて、フィン２端面と板材３の
下端面が発熱性半導体部品の基板１４上に接するように
交互に積み重ね、ろう付用治具７により、圧力（面圧
で、０．５kgf/cm²程度）をかけ各板材が密着し、垂直
方向には重しなどにより、押し付け、フィン材２・板材
３を基板１４上に固定する。治具７は、アルミろう付時
に拡散接合されないように、ステンレス材（オーステナ
イト系、例えばSUS304）を予め酸化させた材料により製
作される。

【００５２】次に、この治具を付けた状態で（図８
（ｂ）参照）、アルミろう付用炉にいれ、アルミろう材
の固相線（５７７℃）と液相線（６１５℃）の間の温度
（６００〜６０５℃）に加熱する。発熱性半導体部品の
取付基板１６を下にして接合することにより、板材３の
アルミろう材がろう付中にはみ出して、取付基板１６に
到達し、フィン材２、取付基板１６と板材３を一体に接
合する。また実施例６と同様に、フィン材２、板材３と
取付基板１６とをさらに強固に接合させるために、あら
かじめフィン材２の端面に対して板材３をわずかに突出
させるようにずらして取付基板１６の表面に配置する。
その突出した板材部分のろう材がさらに強固に接合させ
る。ろう付後、治具７を取り外す。ろう付後、上面の基
板１２の配線パターン以外の部分は絶縁レジスト１７を
塗布すことにより、発熱性半導体５が取り付けられる回
路を製作する。そして、基板１５に発熱性半導体部品５
を半田付けし、その後、必要があるのなら、ワイヤーボ
ンダーでその他の配線１８を行う（図８（ｃ））。

【００５３】これにより、発熱性半導体５の取付基板１
６に直接放熱用フィン２がろう付されたので、フィン部
２と取付基板１６の熱伝導が、パッケージ化された発熱
性半導体５をネジで固定した方式ものより良く、放熱性
が格段に向上する。そのため、フィン面積を削減するこ
とができるので、フィン枚数を減らしたり、フィン高さ
を低くすることができ、全体のシステムを小型化でき
る。

【００５４】さらに、図９は配線パターンを持つ取付基
板にフィン材２をろう付することにより形成される冷却
装置の別の実施例を示すものである。上記と同様に、発
熱性半導体部品の取付基板１６は、中央部に接着剤やセ
ラミックス板からなる絶縁層１３を持ち、表面には銅材
などで配線パターンが描かれ、発熱性半導体が半田付け
される部分を備えた銅などを素材とする基板１２と、下
面は銅材やアルミ材などの基板１４からなる。さらに下
面の基板１４の底面にはアルミろう材がぬれやすいニッ
ケルめっき１５が施されている。そして、放熱体となる
フィン材２はアルミニュウム板(例えばA1100)であり、
簡易金型などを用いたプレス加工により成形される。ま
た、１６ａは一方の面を基板１４に接合させ、裏面に多
数のフィン材２を配置する平板のベース材であり、心材
（例えばA3003）がアルミ材でその両面にろう材（例え
ばBA4343）が板厚に対して５％程度クラッドされたブレ
ージングシートである。

【００５５】上記構成の冷却装置の形成方法を説明す
る。７は治具で、フィン材間のピッチを制御できるよう
に多数のフィン材２を固定する。治具７は、アルミろう
付時に拡散接合されないように、ステンレス材（オース
テナイト系、例えばSUS304）を予め酸化させた材料によ
り製作される。そして、治具７により、所定のピッチを
形成してフィン材２を取り付け、さらにそのフィン材２
の上方にベース材１６ａ、さらに基板１４側を下面とし
て取付基板１６の順に重ね、重しなどにより（図示せ
ず）押しつける（図９（ａ））。

【００５６】次に、この治具を付けた状態でアルミろう
付用炉にいれ、アルミろう材の固相線（５７７℃）と液
相線（６１５℃）の間の温度（６１５〜６０５℃）に加
熱する。フィン材２を下側にしたことにより、ベース材
１６ａのろう材がフィン材２の表面に沿って流れ出して
フィレットが大きく形成されるので、ろう付がしっかり
なされ、ベース材１６ａとフィン材２との熱伝導率が高
くなる。

【００５７】ろう付後、治具７を取り外す（図９
（ｂ））。上面の基板１２には、配線パターンの部分だ
けマスキングを行い、その他の部分は絶縁レジスト17を
塗布すことにより、発熱性半導体部品５が取り付けられ
る回路が形成される。そして、上面の基板１２に発熱性
半導体部品５を半田付けし、その後、必要があるのな
ら、ワイヤーボンダーでその他の配線１８を行う。これ
により、発熱性半導体５の取付基板１６に直接放熱用フ
ィン２がろう付されたので、フィン部２と取付基板１６
の熱伝導が、パッケージ化された発熱性半導体５をネジ
で固定した方式ものより良く、放熱性が格段に向上す
る。そのため、フィン面積を削減することができるの
で、フィン枚数を減らしたり、フィン高さを低くするこ
とができ、全体のシステムを小型化できる。

【００５８】実施例８．図１０は本発明の冷却装置にお
ける他の実施例を示すものである。図（ａ）において、
２、３は実施例１と同じそれぞれフィン材と短冊状の板
材、２０は例えばアルミ(例えばA1100)を素材とする端
板、２１は心材（例えばA3003）がアルミ材でその両面
にろう材（例えば、BA4343）が板厚に対して１０％程度
クラッドされたブレージングシートからなる熱交換板で
あり、流路となる部分が打ち抜き加工されており、これ
らは簡易金型などを用いたプレス加工により成形され
る。２２は端板２０と同じ材料の端板であり、入口管２
３と出口管２４が取り付く穴があけられている。熱交換
板２１はその両面に板材２０、２２を配置させることに
より流路を形成する。２３は冷媒などの流体が流路に流
入するアルミパイプの入口管、２４は同流体が流出する
アルミパイプの出口管である。

【００５９】上記構成の冷却装置の形成方法を説明す
る。実施例１と同様に、フィン２の下端面と板材３のそ
れぞれ下端面がともに端板２０に接するように交互に積
み重ね、ろう付用治具（図示せず）により、圧力（面圧
で、０．５kgf/cm²程度）をかけ各板材が密着し、垂直
方向には重しなどにより押し付け、フィン材２と板材３
を端板２０に固定し、さらに端板２０の下方に熱交換板
２１、端板２２の順に積み重ねて、重しなどにより押し
付る。そして、入口管23と出口管24を差し込み、アルミ
のリングろうにフラックスを塗布して固定する。

【００６０】次に、治具を付けた状態で、アルミろう付
用炉にいれ、アルミろう材の固相線（５７７℃）と液相
線（６１５℃）の間の温度（６００〜６０５℃）に加熱
する。端板２０を下にして接合することにより、板材３
のアルミろう材がろう付中にはみ出して、端板２０に到
達して接合される。よってフィン材２、板材３、端材２
０、２２と熱交換板２１、及び入口管２３と出口管２４
は一体に接合される。ろう付後、発熱性半導体部品５を
ネジで、またはアルミ半田で端板２０に固定する（図１
０（ｂ））。また、装置の用途により端板２２側に固定
してもよい。

【００６１】入口管２３から、冷媒などの熱交換流体を
流すことにより、発熱性半導体５が発熱を熱交換流体に
伝え、熱交換流体がフィン２部までこの熱を伝達し、フ
ィン２部で大気と熱交換する事により、熱交換流体の温
度を下げ、出口管２４から流出させる。この実施例によ
り、発熱性半導体５の裏面にスペースがなく、直接フィ
ン２を取り付けることができなくとも、少ない熱損失
で、発熱性半導体５が発熱した熱を、スペースが取れる
ところに設けたフィン２部に伝え、放熱する事ができ
る。例えば、図１１のように、分散して配置されている
複数（本図では２個の例を示す。）の発熱性半導体５に
一つのフィン２部を持たせることも可能になる。

【００６２】実施例９．図１２は本発明の冷却装置のさ
らに別の実施例を示すものである。図１２（ａ）におい
て、２５はアルミ板(例えばA1100)からなるフィン材
で、冷却ファン４から通風されるフィン面に凹凸があ
り、ブレージングシートからなる短冊状の板材３が取付
く面２６は凹凸がないフラットな面になっている。その
他の符号は実施例１と同様である。

【００６３】実施例１と同様に、これらをフィン材２５
とそのフラットな面に配置される板材３とを交互に積み
重ねて、治具７により加圧密着させ、アルミろう付用炉
に入れ、アルミろう材の固相線（５７７℃）と液相線
（６１５℃）の間の温度（６００〜６０５℃）に加熱し
て接合する。ろう付後、治具７を取り外し、接合された
冷却体１の設置部１ａになる面を、面切削加工により平
面度を出している。さらにネジ等で電力用半導体部品５
ａ、５ｂ，５ｃを設置部１ａに搭載する（図１２
（ｂ））。この実施例の冷却体１はフィン部２５に凹凸
がある板を用いているので、（ｂ）に示したファン４に
より強制で空冷し、フィン間２５を流れる空気の境界層
を破壊し、さらに表面積が増大するので放熱効率が向上
する効果がある。

【００６４】また、実施例１ばかりでなく、実施例２〜
８に記載したフィン材２のフィン部にも同様にして凹凸
を設けても放熱効果は向上する。

【００６５】実施例１０．なお、上記実施例１〜９では
短冊状の板材３をアルミのブレージングシートとし、フ
ィン材２、または凹凸状のフィン材２５の材料にアルミ
板を使用したが、短冊状の板材３をアルミ板とし、フィ
ン材２の材料をアルミのブレージングシートを使用して
も、材料費は高くなるが、同様の効果が得られる。これ
以外にもＮｉ粒子を用いても同様な効果が得られる。

【００６６】また、上記実施例１〜９では、アルミ板の
材料に、ろう付し易い純アルミ系材料A1100やA1050また
は、Al-Mn系材料A3003等を用い、ブレージングシートに
使用するろう材に、液相線と固相線の温度がなるべく離
れたBA4343を使用したが、アルミ板の材料には熱処理強
化形(A2024やA7075等)以外のアルミ合金であれば、ろう
付性は悪くなるものの、使用は可能であり、ブレージン
グシートに使用するろう材も、この他のろう材(BA4045
等)でも使用可能である。

【００６７】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、第一の金属材の一部を残して、第一の金属材と第二
の金属材とを交互に積層して接合し、第一の金属材の一
の端面と第二の金属材の一の端面により発熱部品の搭載
される平面を形成し、さらに第一の金属材と第二の金属
材の接合されない部分によって冷却フィンが形成される
ので、簡単な構造で、かつ冷却効率の良い冷却装置が得
られ、また複雑な加工も必要ないので、製造コストも安
価で、冷却装置の性能に合わせた設計が容易であるとい
う効果を奏する。

【００６８】また、この発明における冷却装置の製造方
法は、第一の金属材の一面の相対する両端辺より所定領
域を残して第二の金属材が配置されるように第一の金属
材と第二の金属材を交互に積層する工程と、その第一と
第二の金属材とを接合、一体にする工程と、第一の金属
材と第二の金属材との接合部分を切断する工程を含むの
で、同時に複数個の冷却装置が製造され、加工時間を短
縮でき、冷却装置一個当たりの加工時間や製造コストを
削減できるという効果を奏する。

【００６９】また、上記の冷却装置の製造方法は、第一
と第二の金属材に予め設けられた孔が重なるように第一
の金属材と第二の金属材を交互に積層する工程と、その
第一と第二の金属材とを接合、一体にする工程と、上記
の孔を通るように切断する工程を含むので、同時に複数
個の冷却装置を製造する際、切断に要する時間を短縮で
き、加工時間や製造コストを削減することができるとい
う効果を奏する。

【００７０】また、第一と第二の金属材の端面を発熱部
品の搭載されるベース材に接合し、さらに第一と第二の
金属材とが接合されない部分により冷却フィンを形成す
るので、発熱部品を冷却装置に搭載するための面加工を
要せず、加工時間を削減できるという効果を奏する。

【００７１】また、この第一と第二の金属材の端面を発
熱部品と接続される配線パターンを持つ基板に接合し、
さらに第一と第二の金属材とが接合されない部分により
冷却フィンを形成するので、発熱性電気部品を冷却装置
にネジ等の別治具で密着させることなく、発生する熱を
効率よく冷却フィンに伝え、さらに冷却装置本体も小型
化することができるという効果を奏する。

【００７２】また、一の面に発熱部品が搭載され、さら
に内部に液体の流れる流路が形成され、流路の入出口が
表面に設けられたベース材を備え、第一と第二の金属材
の端面をこのベース材に接合し、さらに第一と第二の金
属材とが接合されない部分により冷却フィンを形成する
ので、発熱部品より発生する熱は液体により効率良く冷
却フィンまで伝わり、冷却フィンと発熱部品を分散させ
る等、用途に応じて設計の自由度が増すという効果を奏
する。

【００７３】また、第二の金属材と接合されない第一の
金属材の表面部分は凹凸形状をなしているので、表面積
が増大して放熱性が良くなるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す冷却装置の外観斜視図
である。

【図２】図１における冷却装置の製造方法を示す工程図
である。

【図３】本発明の実施例２を示す冷却装置の製造方法を
示す工程図である。

【図４】本発明の実施例３を示す冷却装置の製造方法を
示す工程図である。

【図５】本発明の実施例４を示す冷却装置の製造方法を
示す工程図である。

【図６】本発明の実施例５を示す冷却装置の製造方法を
示す工程図である。

【図７】本発明の実施例６を示す冷却装置とその製造方
法を示す工程図である。

【図８】本発明の実施例７を示す冷却装置とその製造方
法を示す工程図である。

【図９】本発明の実施例７における他の実施例を示す冷
却装置の断面図とその製造方法を示す工程図である。

【図１０】本発明の実施例８を示す冷却装置とその製造
方法を示す斜視図である。

【図１１】本発明の実施例８における他の実施例を示す
冷却装置を示す斜視図である。

【図１２】本発明の実施例９を示す冷却装置の外観斜視
図である。

【図１３】従来技術により冷却装置を示す外観斜視図で
ある。

【図１４】従来技術により他の冷却装置を示す外観斜視
図である。

【図１５】従来技術により他の冷却装置を示す断面図で
ある。

【符号の説明】

１冷却体１ａ電気部品設置面２フィン材３板材５ａ電力用半導体５ｂ電力用半導体５ｃ電力用半導体６電気部品留めネジ７治具８ボルト穴９矩型穴１０ベース材１１ネジ穴１２基板１３絶縁層１４基板１５ニッケルめっき１６取り付け基板１７絶縁レジスト１８配線２０端材２１熱交換材２２端材２３入口管２４出口管２５凹凸状のフィン材

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】第一の金属材の一部を残して、第一の金
属材と第二の金属材とを交互に積層して接合するととも
に、上記第一の金属材の一の端面と第二の金属材の一の
端面により発熱部品の搭載される平面を形成し、かつ上
記第一の金属材と第二の金属材の接合されない部分によ
って冷却フィンを形成したことを特徴とする冷却装置。
【請求項２】第一の金属材の一面の相対する端辺から
所定の領域を除いて第二の金属材が配置されるように上
記第一の金属材と第二の金属材とを交互に積層する工程
と、上記第一の金属材と第二の金属材とを接合して一体
にする工程と、上記第一の金属材と第二の金属材が接合
された部分を切断する工程を含んだことを特徴とする冷
却装置の製造方法。
【請求項３】第一の金属材の一面の相対する端辺より
所定の領域に、第二の金属材と第三の金属材の間に空間
が形成されるように上記第二の金属材と第三の金属材を
配置するとともに、上記第一の金属材と第二および第三
の金属材を交互に積層する工程と、上記第一の金属材と
第二および第三の金属材を接合して一体にする工程と、
上記第二と第三の金属材との間の空間部分を切断する工
程を含んだことを特徴とする冷却装置の製造方法。
【請求項４】第一の金属材の一面の相対する端辺から
所定の領域を除いて第二の金属材が配置されるととも
に、上記第一の金属材の所定位置に予め設けられた孔と
上記第二の金属材の所定位置に予め設けられた孔とが重
なるように、上記第一の金属材と第二の金属材とを交互
に積層する工程と、上記第一の金属材と第二の金属材と
を接合して一体にする工程と、上記第一および第二の金
属材の重なりあった孔を通るように切断する工程を含ん
だことを特徴とする冷却装置の製造方法。
【請求項５】第一の金属材の一面の相対する端辺よ
り所定の領域に、第二の金属材と第三の金属材の間に空
間が形成されるように上記第二の金属材と第三の金属材
を配置するとともに、上記第一の金属材にあらかじめ設
けられた孔が上記空間部分の同一位置に並ぶように、上
記第一の金属材と第二および第三の金属材を交互に積層
する工程と、上記第一の金属材と第二および第三の金属
材を接合して一体にする工程と、上記孔を通るように切
断する工程を含んだことを特徴とする冷却装置の製造方
法。
【請求項６】第一の金属材の一部を残して、第一の金
属材と第二の金属材とを交互に積層して接合するととも
に、上記第一の金属材の一の端面および第二の金属材の
一の端面を発熱部品が搭載されるベース材に接合し、か
つ上記第一の金属材と第二の金属材の接合されない部分
によって冷却フィンを形成したことを特徴とする冷却装
置。
【請求項７】第一の金属材の一部を残して、第一の金
属材と第二の金属材とを交互に積層して接合するととも
に、上記第一の金属材の一の端面および第二の金属材の
一の端面を発熱部品が接続される配線パターンの形成さ
れた基板に接合し、かつ上記第一の金属材と第二の金属
材の接合されない部分によって冷却フィンを形成したこ
とを特徴とする冷却装置。
【請求項８】一の面に発熱部品が搭載され、かつ内
部に液体の通る流路が形成され、流路の入出口が表面に
設けられたベース材と、第一の金属材と、上記第一の金
属材の一部を残して、第一の金属材と交互に積層して接
合される第二の金属材を備え、上記第一の金属材の一の
端面および第二の金属材の一の端面を上記ベース材に接
合するとともに、上記第一の金属材と第二の金属材の接
合されない部分によって冷却フィンを形成したことを特
徴とする冷却装置。
【請求項９】ベース材は流路となる部分が取り除かれ
た熱交換材と上記熱交換材を両面から挟持する端板を備
え、上記端板の表面に流路の入出口が形成されたことを
特徴とした請求項８に記載の冷却装置。
【請求項１０】第二の金属材と接合されない第一の金
属材の表面部分を凹凸形状にしたことを特徴とする請求
項１、請求項６ないし請求項９のいずれか一項記載の冷
却装置。
【請求項１１】第二の金属材の両面にはんだめっき、
またはニッケルめっきが施されたもの、あるいはシート
ろう材が張り合わされたものを、加熱することにより第
一の金属材に接合することを特徴とする請求項１、請求
項６ないし請求項１０のいずれか一項記載の冷却装置。