JPH07144928A - 光ファイバ母材の製造方法及び光ファイバ母材の製造装置 - Google Patents
光ファイバ母材の製造方法及び光ファイバ母材の製造装置Info
- Publication number
- JPH07144928A JPH07144928A JP5292296A JP29229693A JPH07144928A JP H07144928 A JPH07144928 A JP H07144928A JP 5292296 A JP5292296 A JP 5292296A JP 29229693 A JP29229693 A JP 29229693A JP H07144928 A JPH07144928 A JP H07144928A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- soot
- glass
- flame
- optical fiber
- tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/04—Multi-nested ports
- C03B2207/06—Concentric circular ports
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/20—Specific substances in specified ports, e.g. all gas flows specified
- C03B2207/22—Inert gas details
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/40—Mechanical flame shields
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/46—Comprising performance enhancing means, e.g. electrostatic charge or built-in heater
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 サーモフォレシス効果によって堆積速度を増
大し、均一に密度０．２４〜０．３０ｇ／cm3 でクラッ
ドスートを堆積させてクラッドスート中に低密度スート
の部分を形成することなく、透明ガラス化後に微小気泡
の残留をなくし、大幅な生産コストの削減を図って高品
質な光ファイバ用母材を得ること。 【構成】 トーチからガラス微粒子含有火炎を放射し火
炎加水分解によって生じたガラス微粒子をガラス種棒に
堆積させて、光ファイバ用多孔質母材を得る光ファイバ
母材の製造方法において、トーチから放射されるガラス
微粒子含有火炎の周囲に冷却不活性ガスをガラス微粒子
含有火炎放射と同時に噴射せしめ、ガラス微粒子がガラ
ス種棒長手方向へ拡散するのを防止すると共にスート堆
積表面が加熱されないようにしてスート堆積表面と微粒
子との温度差を大きく保つようにしたものである。
大し、均一に密度０．２４〜０．３０ｇ／cm3 でクラッ
ドスートを堆積させてクラッドスート中に低密度スート
の部分を形成することなく、透明ガラス化後に微小気泡
の残留をなくし、大幅な生産コストの削減を図って高品
質な光ファイバ用母材を得ること。 【構成】 トーチからガラス微粒子含有火炎を放射し火
炎加水分解によって生じたガラス微粒子をガラス種棒に
堆積させて、光ファイバ用多孔質母材を得る光ファイバ
母材の製造方法において、トーチから放射されるガラス
微粒子含有火炎の周囲に冷却不活性ガスをガラス微粒子
含有火炎放射と同時に噴射せしめ、ガラス微粒子がガラ
ス種棒長手方向へ拡散するのを防止すると共にスート堆
積表面が加熱されないようにしてスート堆積表面と微粒
子との温度差を大きく保つようにしたものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、火炎加水分解反応によ
ってガラス微粒子を生成し、出発材上に堆積させて多孔
質ガラス体を得る光ファイバ母材の製造方法に係り、特
に透明ガラス化後の微小気泡の残留を防止し高品質光フ
ァイバ母材を得ることのできる光ファイバ母材の製造方
法及び光ファイバ母材の製造装置に関する。
ってガラス微粒子を生成し、出発材上に堆積させて多孔
質ガラス体を得る光ファイバ母材の製造方法に係り、特
に透明ガラス化後の微小気泡の残留を防止し高品質光フ
ァイバ母材を得ることのできる光ファイバ母材の製造方
法及び光ファイバ母材の製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、光ファイバにおいては、光は光
ファイバのコアとクラッドの境界面で全反射しながらコ
アの中を伝搬していく。このような光ファイバにおいて
は、入射した光の強さが減衰することなく出射されるの
が理想的であるが、光が光ファイバのコアの中を伝搬し
ていく間に種々の原因で伝送損失を生じる。光ファイバ
中を伝搬していく間に光の強さが弱くなっていく度合が
光ファイバの伝送損失である。
ファイバのコアとクラッドの境界面で全反射しながらコ
アの中を伝搬していく。このような光ファイバにおいて
は、入射した光の強さが減衰することなく出射されるの
が理想的であるが、光が光ファイバのコアの中を伝搬し
ていく間に種々の原因で伝送損失を生じる。光ファイバ
中を伝搬していく間に光の強さが弱くなっていく度合が
光ファイバの伝送損失である。
【０００３】このような光ファイバ母材の製造は、従
来、図６に示す如くハイブリッド法に基づく光ファイバ
母材の製造装置によって製造されている。図中、１は反
応室、２はトーチ、３は包囲管、４、５はエンドバーナ
ー、６はガラス微粒子含有火炎、７はガラス種棒、８は
スート、９は排気ダクトである。すなわち、反応室１内
の下方に配置したトーチ２に、ガラス原料としてのＳｉ
Ｃｌ4 、ド−プ原料としてのＧｅＣｌ4 を供給し、トー
チ２からその上方のタ−ゲットとしてのガラス種棒７に
向けてガラス微粒子含有火炎６を包囲管３を介して噴射
し、ガラス微粒子のコアスート８をガラス種棒７の先端
に付着、堆積させることにより多孔質の光ファイバ母材
を形成する。包囲管３は、トーチ２から放射されるガラ
ス微粒子含有火炎６が気流によって揺らぐのを防ぐため
のものである。コアスート８はトーチ２及びトーチ２か
ら吹き出されるガラス微粒子含有火炎６上で図６に図示
の矢印Ｄに示す如く回転しながら、図６に図示の矢印Ｅ
に示す如く往復運動し、ガラス微粒子が付着してクラッ
ドスートに成長する。このクラッドスートの密度は、
０．２４〜０．３０ｇ／cm3 が最適であり、この値以下
では透明ガラス化後の気泡残留の恐れがある。
来、図６に示す如くハイブリッド法に基づく光ファイバ
母材の製造装置によって製造されている。図中、１は反
応室、２はトーチ、３は包囲管、４、５はエンドバーナ
ー、６はガラス微粒子含有火炎、７はガラス種棒、８は
スート、９は排気ダクトである。すなわち、反応室１内
の下方に配置したトーチ２に、ガラス原料としてのＳｉ
Ｃｌ4 、ド−プ原料としてのＧｅＣｌ4 を供給し、トー
チ２からその上方のタ−ゲットとしてのガラス種棒７に
向けてガラス微粒子含有火炎６を包囲管３を介して噴射
し、ガラス微粒子のコアスート８をガラス種棒７の先端
に付着、堆積させることにより多孔質の光ファイバ母材
を形成する。包囲管３は、トーチ２から放射されるガラ
ス微粒子含有火炎６が気流によって揺らぐのを防ぐため
のものである。コアスート８はトーチ２及びトーチ２か
ら吹き出されるガラス微粒子含有火炎６上で図６に図示
の矢印Ｄに示す如く回転しながら、図６に図示の矢印Ｅ
に示す如く往復運動し、ガラス微粒子が付着してクラッ
ドスートに成長する。このクラッドスートの密度は、
０．２４〜０．３０ｇ／cm3 が最適であり、この値以下
では透明ガラス化後の気泡残留の恐れがある。
【０００４】トーチ２からガラス微粒子含有火炎６を噴
射して、ガラス種棒７にスート８を堆積させようとする
と、トーチ２から噴射されたガラス微粒子含有火炎６
は、図７に図示の如く、コアスート８の表面で、ガラス
微粒子がスート長手方向に拡散してしまう。このため、
コアスート８の表面には、低密度のスート層（０．２ｇ
／cm3 以下）が生じてしまう。そこで、従来の光ファイ
バ母材の製造装置では、図６に示す如く、トーチ２を挟
みスート長手方向の位置に、トーチ２から所定距離離し
てエンドバーナー４、５を設け、図７に図示の如きガラ
ス微粒子のスート長手方向に拡散してしまうのを防止し
ている。すなわち、エンドバーナー４、５からは、コア
スート８の表面に向かって酸水素火炎４１、５１が放射
されており、このエンドバーナー４、５から放射される
酸水素火炎４１、５１によって図８に図示の如くコアス
ート８の表面を漂うようにガラス微粒子の長手方向へ拡
散するのを防止している。このようにエンドバーナー
４、５によってガラス微粒子の長手方向への拡散をある
程度防止し、かつ低密度のスート層を加熱によって高密
度化することを図っている。トーチ２から噴射されたガ
ラス微粒子含有火炎６によってガラス種棒７の先端にス
ート８を堆積する際に発生する腐食性ガス及び残余スー
トは、図示の矢印Ｆに示す如く排気ダクト９から排気さ
れ図示されていない排気ガス処理装置に送られる。
射して、ガラス種棒７にスート８を堆積させようとする
と、トーチ２から噴射されたガラス微粒子含有火炎６
は、図７に図示の如く、コアスート８の表面で、ガラス
微粒子がスート長手方向に拡散してしまう。このため、
コアスート８の表面には、低密度のスート層（０．２ｇ
／cm3 以下）が生じてしまう。そこで、従来の光ファイ
バ母材の製造装置では、図６に示す如く、トーチ２を挟
みスート長手方向の位置に、トーチ２から所定距離離し
てエンドバーナー４、５を設け、図７に図示の如きガラ
ス微粒子のスート長手方向に拡散してしまうのを防止し
ている。すなわち、エンドバーナー４、５からは、コア
スート８の表面に向かって酸水素火炎４１、５１が放射
されており、このエンドバーナー４、５から放射される
酸水素火炎４１、５１によって図８に図示の如くコアス
ート８の表面を漂うようにガラス微粒子の長手方向へ拡
散するのを防止している。このようにエンドバーナー
４、５によってガラス微粒子の長手方向への拡散をある
程度防止し、かつ低密度のスート層を加熱によって高密
度化することを図っている。トーチ２から噴射されたガ
ラス微粒子含有火炎６によってガラス種棒７の先端にス
ート８を堆積する際に発生する腐食性ガス及び残余スー
トは、図示の矢印Ｆに示す如く排気ダクト９から排気さ
れ図示されていない排気ガス処理装置に送られる。
【０００５】また、他の従来例として、特開昭６３−７
９０５５号があり、この特開昭６３−７９０５５号は、
二重管構造の保護管を使用し、伸縮可能に構成してい
る。この二重管構造の保護管は、ガラス微粒子の集束の
ためのものである。
９０５５号があり、この特開昭６３−７９０５５号は、
二重管構造の保護管を使用し、伸縮可能に構成してい
る。この二重管構造の保護管は、ガラス微粒子の集束の
ためのものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ガラス微粒
子がスート８上へ付着堆積していく効率である堆積効率
ρは、 ρ＝ｋΔＴ 但し、 ρ：堆積効率 ｋ：比例定数 ΔＴ：微粒子とスート堆積表面との温度差 という関係を有している。すなわち、ガラス微粒子のス
ート表面への堆積効率は、微粒子と堆積表面の温度差に
比例するサーモフォレシス力によっている。
子がスート８上へ付着堆積していく効率である堆積効率
ρは、 ρ＝ｋΔＴ 但し、 ρ：堆積効率 ｋ：比例定数 ΔＴ：微粒子とスート堆積表面との温度差 という関係を有している。すなわち、ガラス微粒子のス
ート表面への堆積効率は、微粒子と堆積表面の温度差に
比例するサーモフォレシス力によっている。
【０００７】従来の光ファイバ母材の製造装置は、エン
ドバーナー４、５を用い、エンドバーナー４、５の酸水
素火炎によってガラス微粒子の長手方向への拡散を防止
し、ガラス微粒子の堆積された表面を加熱することによ
って低密度のスート層を高密度化し、低密度のクラッド
層形成を抑制することとなっている。このため、従来の
光ファイバ母材の製造装置にあっては、エンドバーナー
４、５の酸水素火炎によってスート堆積表面が加熱され
てしまい、スート堆積表面と微粒子との温度差が少なく
なり、サーモフォレシス力の効果が少ないという問題点
を有している。このため、クラッドスートの堆積速度
が、１．０ｇ／min と小さく、必要なクラッドスート量
を堆積させるためには長時間を要し、ガラス原材料（Ｓ
ｉＣｌ4）において約２．２ｋｇ、燃焼用ガスＣＨ4 、
Ｏ2 各々約９００ｓｃｃｍ、２３００ｓｃｃｍを消費
し、生産コストが上昇するという問題点を有している。
ドバーナー４、５を用い、エンドバーナー４、５の酸水
素火炎によってガラス微粒子の長手方向への拡散を防止
し、ガラス微粒子の堆積された表面を加熱することによ
って低密度のスート層を高密度化し、低密度のクラッド
層形成を抑制することとなっている。このため、従来の
光ファイバ母材の製造装置にあっては、エンドバーナー
４、５の酸水素火炎によってスート堆積表面が加熱され
てしまい、スート堆積表面と微粒子との温度差が少なく
なり、サーモフォレシス力の効果が少ないという問題点
を有している。このため、クラッドスートの堆積速度
が、１．０ｇ／min と小さく、必要なクラッドスート量
を堆積させるためには長時間を要し、ガラス原材料（Ｓ
ｉＣｌ4）において約２．２ｋｇ、燃焼用ガスＣＨ4 、
Ｏ2 各々約９００ｓｃｃｍ、２３００ｓｃｃｍを消費
し、生産コストが上昇するという問題点を有している。
【０００８】本発明の目的とするところは、サーモフォ
レシス効果によって堆積速度を増大し、均一に密度０．
２４〜０．３０ｇ／cm3 でクラッドスートを堆積させて
クラッドスート中に低密度スートの部分を形成すること
なく、透明ガラス化後に微小気泡の残留をなくし、大幅
な生産コストの削減を図って高品質な光ファイバ用母材
を得ることにある。
レシス効果によって堆積速度を増大し、均一に密度０．
２４〜０．３０ｇ／cm3 でクラッドスートを堆積させて
クラッドスート中に低密度スートの部分を形成すること
なく、透明ガラス化後に微小気泡の残留をなくし、大幅
な生産コストの削減を図って高品質な光ファイバ用母材
を得ることにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の光ファイバ母材の製造方法は、トーチから
ガラス微粒子含有火炎を放射し火炎加水分解によって生
じたガラス微粒子をガラス種棒に堆積させて、光ファイ
バ用多孔質母材を得る光ファイバ母材の製造方法におい
て、トーチから放射されるガラス微粒子含有火炎の周囲
に冷却不活性ガスをガラス微粒子含有火炎放射と同時に
噴射せしめ、ガラス微粒子がガラス種棒長手方向へ拡散
するのを防止すると共にスート堆積表面が加熱されない
ようしてスート堆積表面と微粒子との温度差を大きく保
つようにしたものである。
に、本発明の光ファイバ母材の製造方法は、トーチから
ガラス微粒子含有火炎を放射し火炎加水分解によって生
じたガラス微粒子をガラス種棒に堆積させて、光ファイ
バ用多孔質母材を得る光ファイバ母材の製造方法におい
て、トーチから放射されるガラス微粒子含有火炎の周囲
に冷却不活性ガスをガラス微粒子含有火炎放射と同時に
噴射せしめ、ガラス微粒子がガラス種棒長手方向へ拡散
するのを防止すると共にスート堆積表面が加熱されない
ようしてスート堆積表面と微粒子との温度差を大きく保
つようにしたものである。
【００１０】また、上記目的を達成するために、本発明
の光ファイバ母材の製造装置は、反応室内の下部に配置
しガラス微粒子含有火炎を放射してガラス種棒にスート
を堆積させるトーチと、前記スート堆積箇所の上方で反
応室内の上部に設けられ排気ガス処理室に接続される排
気ダクトを備えてなる光ファイバ母材の製造装置におい
て、上記トーチの上に内管と外管の二重管構造となして
中空路を形成し、内管・外管の両端部を封止すると共に
ガラス微粒子含有火炎の放射方向に吹出口を備え、前記
外管側面から不活性ガス冷却媒体を前記中空路内に供給
する導入管を接続した包囲管を設け、ガラス微粒子含有
火炎の放射時に導入管から不活性ガス冷却媒体を供給し
前記中空路内を介して吹出口から噴射してトーチから放
射するガラス微粒子含有火炎の周囲に冷却媒体層を形成
してガラス種棒にスートを堆積させるようにしたもので
ある。
の光ファイバ母材の製造装置は、反応室内の下部に配置
しガラス微粒子含有火炎を放射してガラス種棒にスート
を堆積させるトーチと、前記スート堆積箇所の上方で反
応室内の上部に設けられ排気ガス処理室に接続される排
気ダクトを備えてなる光ファイバ母材の製造装置におい
て、上記トーチの上に内管と外管の二重管構造となして
中空路を形成し、内管・外管の両端部を封止すると共に
ガラス微粒子含有火炎の放射方向に吹出口を備え、前記
外管側面から不活性ガス冷却媒体を前記中空路内に供給
する導入管を接続した包囲管を設け、ガラス微粒子含有
火炎の放射時に導入管から不活性ガス冷却媒体を供給し
前記中空路内を介して吹出口から噴射してトーチから放
射するガラス微粒子含有火炎の周囲に冷却媒体層を形成
してガラス種棒にスートを堆積させるようにしたもので
ある。
【００１１】そして、上記包囲管に供給する冷却媒体を
噴射する吹出口を、ガラス微粒子含有火炎の放射側端部
で、ガラス種棒の長手方向と交差しスート堆積位置の真
下に位置する放射側端部の少なくとも二ヵ所にスート長
手方向と交差するように開口させて設けてある。
噴射する吹出口を、ガラス微粒子含有火炎の放射側端部
で、ガラス種棒の長手方向と交差しスート堆積位置の真
下に位置する放射側端部の少なくとも二ヵ所にスート長
手方向と交差するように開口させて設けてある。
【００１２】さらに、上記包囲管の中空路内に導入する
冷却媒体を、Ｎ2 、Ａｒ、Ｈｅ等の不活性ガスとし、液
化Ｎ2 等で導入管の周囲を冷却することによって不活性
ガスを冷却する。
冷却媒体を、Ｎ2 、Ａｒ、Ｈｅ等の不活性ガスとし、液
化Ｎ2 等で導入管の周囲を冷却することによって不活性
ガスを冷却する。
【００１３】
【作用】トーチからガラス微粒子含有火炎を放射し火炎
加水分解によって生じたガラス微粒子をガラス種棒に堆
積させて、光ファイバ用多孔質母材を得る光ファイバ母
材の製造方法で、トーチから放射されるガラス微粒子含
有火炎の周囲に冷却不活性ガスをガラス微粒子含有火炎
放射と同時に噴射せしめ、ガラス微粒子がガラス種棒長
手方向へ拡散するのを防止すると共にスート堆積表面が
加熱されないようしてスート堆積表面と微粒子との温度
差を大きく保つようにしてあるため、サーモフォレシス
効果によって堆積速度を増大し、均一に密度０．２４〜
０．３０ｇ／cm3 でクラッドスートを堆積させてクラッ
ドスート中に低密度スートの部分を形成することなく、
透明ガラス化後に微小気泡の残留をなくすことができ
る。
加水分解によって生じたガラス微粒子をガラス種棒に堆
積させて、光ファイバ用多孔質母材を得る光ファイバ母
材の製造方法で、トーチから放射されるガラス微粒子含
有火炎の周囲に冷却不活性ガスをガラス微粒子含有火炎
放射と同時に噴射せしめ、ガラス微粒子がガラス種棒長
手方向へ拡散するのを防止すると共にスート堆積表面が
加熱されないようしてスート堆積表面と微粒子との温度
差を大きく保つようにしてあるため、サーモフォレシス
効果によって堆積速度を増大し、均一に密度０．２４〜
０．３０ｇ／cm3 でクラッドスートを堆積させてクラッ
ドスート中に低密度スートの部分を形成することなく、
透明ガラス化後に微小気泡の残留をなくすことができ
る。
【００１４】反応室内の下部に配置しガラス微粒子含有
火炎を放射してガラス種棒にスートを堆積させるトーチ
と、前記スート堆積箇所の上方で反応室内の上部に設け
られ排気ガス処理室に接続される排気ダクトを備えてな
る光ファイバ母材の製造装置のトーチの上に内管と外管
の二重管構造となして中空路を形成し、内管・外管の両
端部を封止すると共にガラス微粒子含有火炎の放射方向
に吹出口を備え、外管側面から不活性ガス冷却媒体を中
空路内に供給する導入管を接続した包囲管を設け、ガラ
ス微粒子含有火炎の放射時に導入管から不活性ガス冷却
媒体を供給し中空路内を介して吹出口から噴射してトー
チから放射するガラス微粒子含有火炎の周囲に冷却媒体
層を形成してガラス種棒にスートを堆積させるようにし
てあるため、サーモフォレシス効果によって堆積速度を
増大し、均一に密度０．２４〜０．３０ｇ／cm3 でクラ
ッドスートを堆積させてクラッドスート中に低密度スー
トの部分を形成させず、透明ガラス化後に微小気泡が残
留するの抑え、大幅な生産コストの削減を図って高品質
な光ファイバ用母材を得ることができる。
火炎を放射してガラス種棒にスートを堆積させるトーチ
と、前記スート堆積箇所の上方で反応室内の上部に設け
られ排気ガス処理室に接続される排気ダクトを備えてな
る光ファイバ母材の製造装置のトーチの上に内管と外管
の二重管構造となして中空路を形成し、内管・外管の両
端部を封止すると共にガラス微粒子含有火炎の放射方向
に吹出口を備え、外管側面から不活性ガス冷却媒体を中
空路内に供給する導入管を接続した包囲管を設け、ガラ
ス微粒子含有火炎の放射時に導入管から不活性ガス冷却
媒体を供給し中空路内を介して吹出口から噴射してトー
チから放射するガラス微粒子含有火炎の周囲に冷却媒体
層を形成してガラス種棒にスートを堆積させるようにし
てあるため、サーモフォレシス効果によって堆積速度を
増大し、均一に密度０．２４〜０．３０ｇ／cm3 でクラ
ッドスートを堆積させてクラッドスート中に低密度スー
トの部分を形成させず、透明ガラス化後に微小気泡が残
留するの抑え、大幅な生産コストの削減を図って高品質
な光ファイバ用母材を得ることができる。
【００１５】包囲管に供給する冷却媒体を噴射する吹出
口を、ガラス微粒子含有火炎の放射側端部で、ガラス種
棒の長手方向と交差しスート堆積位置の真下に位置する
放射側端部の少なくとも二ヵ所にスート長手方向と交差
するように開口させて設けてあるため、効率良くサーモ
フォレシス効果を上げて堆積速度を増大することができ
る。
口を、ガラス微粒子含有火炎の放射側端部で、ガラス種
棒の長手方向と交差しスート堆積位置の真下に位置する
放射側端部の少なくとも二ヵ所にスート長手方向と交差
するように開口させて設けてあるため、効率良くサーモ
フォレシス効果を上げて堆積速度を増大することができ
る。
【００１６】包囲管の中空路内に導入する冷却媒体に、
Ｎ2 、Ａｒ、Ｈｅ等の不活性ガスを用い、導入管の周囲
を冷却することにより不活性ガスを冷却しているため、
サーモフォレシス効果を効率良く上げて堆積速度を増大
することができる。
Ｎ2 、Ａｒ、Ｈｅ等の不活性ガスを用い、導入管の周囲
を冷却することにより不活性ガスを冷却しているため、
サーモフォレシス効果を効率良く上げて堆積速度を増大
することができる。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。図
１〜５には、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法及
び光ファイバ母材の製造装置の一実施例が示されてい
る。
１〜５には、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法及
び光ファイバ母材の製造装置の一実施例が示されてい
る。
【００１８】図において、図６に図示の符号と同一の符
号の付されている部材は、図６に図示の部材と同一であ
るので、ここでの説明は省略する。本実施例が図６に図
示従来例と異なる点は、エンドバーナー４、５を取り除
き、トーチ２の上に従来例とは異なる構成の包囲管を設
けた点である。すなわち、図１中、１は反応室、２はト
ーチ、６はガラス微粒子含有火炎、７はガラス種棒、８
はスート、９は排気ダクトである。１０は包囲管で、ト
ーチ２の上に設けられている。この包囲管１０は、トー
チ２上に固定しても良く、図１に示す如くトーチ２から
多少離して設けてもよい。この包囲管１０は、図２に示
す如き構成を有している。包囲管１０は、内管１１と外
管１２の二重管構造の石英ガラス管によって構成されて
いる。１３は上蓋で、所定の間隔を置いて設けられる内
管１１と外管１２の二重管によって形成される空間を上
端部で封止するためのものである。この内管１１と外管
１２の二重管によって形成される空間によって中空路２
０が構成されている。そして、この内管１１、外管１２
の上蓋１３取り付け側がガラス微粒子含有火炎の放射方
向になる。
号の付されている部材は、図６に図示の部材と同一であ
るので、ここでの説明は省略する。本実施例が図６に図
示従来例と異なる点は、エンドバーナー４、５を取り除
き、トーチ２の上に従来例とは異なる構成の包囲管を設
けた点である。すなわち、図１中、１は反応室、２はト
ーチ、６はガラス微粒子含有火炎、７はガラス種棒、８
はスート、９は排気ダクトである。１０は包囲管で、ト
ーチ２の上に設けられている。この包囲管１０は、トー
チ２上に固定しても良く、図１に示す如くトーチ２から
多少離して設けてもよい。この包囲管１０は、図２に示
す如き構成を有している。包囲管１０は、内管１１と外
管１２の二重管構造の石英ガラス管によって構成されて
いる。１３は上蓋で、所定の間隔を置いて設けられる内
管１１と外管１２の二重管によって形成される空間を上
端部で封止するためのものである。この内管１１と外管
１２の二重管によって形成される空間によって中空路２
０が構成されている。そして、この内管１１、外管１２
の上蓋１３取り付け側がガラス微粒子含有火炎の放射方
向になる。
【００１９】１４、１５は吹出口、１６は誘導路、１７
は下蓋、１８は導入管である。誘導路１６は、内管１１
によって形成され、トーチ２から放射されるガラス微粒
子含有火炎６を所定の方向（図１では、上方向）に誘導
するもので、ガラス微粒子含有火炎６が気流によって揺
らぐのを防ぐためのものである。
は下蓋、１８は導入管である。誘導路１６は、内管１１
によって形成され、トーチ２から放射されるガラス微粒
子含有火炎６を所定の方向（図１では、上方向）に誘導
するもので、ガラス微粒子含有火炎６が気流によって揺
らぐのを防ぐためのものである。
【００２０】また、下蓋１７は所定の空間を置いて設け
られる内管１１と外管１２の二重管の空間を下端部で封
止するためのものである。また、導入管１８は、外管１
２の側面に設けられ（具体的には、半田付け、溶着
等）、中空路２０と連通しており、不活性ガス冷却媒体
を中空路２０内に導入するためのものである。したがっ
て、この下蓋１７と上蓋１３とによって、中空路２０
は、導入管１８から導入される不活性ガス冷却媒体を内
管１１の外壁に沿って充満させ吹出口１４、１５から冷
却した不活性ガス３０、４０となって噴射するような構
成となっている。この導入管１８から導入される不活性
ガス冷却媒体は、Ｎ2 、Ａｒ、Ｈｅ等の不活性ガスであ
り、導入管１８の周囲は、図示されていないが液化Ｎ2
等で冷却するようになっている。したがって、導入管１
８から導入される不活性ガスは、導入管１８の周囲の冷
却によって冷却されるようになっている。
られる内管１１と外管１２の二重管の空間を下端部で封
止するためのものである。また、導入管１８は、外管１
２の側面に設けられ（具体的には、半田付け、溶着
等）、中空路２０と連通しており、不活性ガス冷却媒体
を中空路２０内に導入するためのものである。したがっ
て、この下蓋１７と上蓋１３とによって、中空路２０
は、導入管１８から導入される不活性ガス冷却媒体を内
管１１の外壁に沿って充満させ吹出口１４、１５から冷
却した不活性ガス３０、４０となって噴射するような構
成となっている。この導入管１８から導入される不活性
ガス冷却媒体は、Ｎ2 、Ａｒ、Ｈｅ等の不活性ガスであ
り、導入管１８の周囲は、図示されていないが液化Ｎ2
等で冷却するようになっている。したがって、導入管１
８から導入される不活性ガスは、導入管１８の周囲の冷
却によって冷却されるようになっている。
【００２１】吹出口１４、１５は、導入管１８から導入
され、中空路２０内に供給された不活性ガス冷却媒体を
ガラス微粒子含有火炎６の放射方向と同一方向に噴射す
るためのものである。そして、この吹出口１４、１５
は、ガラス微粒子含有火炎６の放射側端部である上蓋１
３で、ガラス種棒の長手方向と交差しスート堆積位置の
真下に位置する箇所の少なくとも相対向する二ヵ所に、
スート長手方向と交差するように開口させて設けられて
いる。ここで、吹出口１４、１５の形成位置をスートの
長手方向で対向する形で包囲管１０の上蓋１３に設けた
のは、他の位置では、スート堆積表面でのガラス微粒子
流れが乱されるためである。したがって、不活性ガス冷
却媒体は、導入管１８から導入され、中空路２０内を通
り、吹出口１４、１５から包囲管１０の長手方向（図３
の上方向）に噴射される。
され、中空路２０内に供給された不活性ガス冷却媒体を
ガラス微粒子含有火炎６の放射方向と同一方向に噴射す
るためのものである。そして、この吹出口１４、１５
は、ガラス微粒子含有火炎６の放射側端部である上蓋１
３で、ガラス種棒の長手方向と交差しスート堆積位置の
真下に位置する箇所の少なくとも相対向する二ヵ所に、
スート長手方向と交差するように開口させて設けられて
いる。ここで、吹出口１４、１５の形成位置をスートの
長手方向で対向する形で包囲管１０の上蓋１３に設けた
のは、他の位置では、スート堆積表面でのガラス微粒子
流れが乱されるためである。したがって、不活性ガス冷
却媒体は、導入管１８から導入され、中空路２０内を通
り、吹出口１４、１５から包囲管１０の長手方向（図３
の上方向）に噴射される。
【００２２】次に、本実施例の作用について説明する。
トーチ２から吹出されたガラス微粒子含有火炎６は、包
囲管１０の誘導路１６を通ってスート８へ吹き付けられ
る。これと同時に包囲管１０の吹出口１４、１５より吹
き出されたＮ2 等の冷却された不活性ガス３０、４０
は、スート８堆積表面左右近くに吹き付けられる。する
と、スート８の長手方向左右へと流れていこうとするガ
ラス微粒子含有火炎６は、冷却された不活性ガス３０、
４０によってスート８堆積表面へと押し戻される。この
作用によって、スート８へのスートの堆積は、火炎が吹
き付けられている堆積面近くのみで行われるため、従来
のように低密度のクラッドスートが生じることはない。
トーチ２から吹出されたガラス微粒子含有火炎６は、包
囲管１０の誘導路１６を通ってスート８へ吹き付けられ
る。これと同時に包囲管１０の吹出口１４、１５より吹
き出されたＮ2 等の冷却された不活性ガス３０、４０
は、スート８堆積表面左右近くに吹き付けられる。する
と、スート８の長手方向左右へと流れていこうとするガ
ラス微粒子含有火炎６は、冷却された不活性ガス３０、
４０によってスート８堆積表面へと押し戻される。この
作用によって、スート８へのスートの堆積は、火炎が吹
き付けられている堆積面近くのみで行われるため、従来
のように低密度のクラッドスートが生じることはない。
【００２３】また、包囲管１０の吹出口１４、１５より
吹き出されたＮ2 等の冷却された不活性ガス３０、４０
がスート８堆積表面に吹き付けられると、ガラス微粒子
含有火炎６によってスートが堆積するスート８の左右の
堆積表面が冷却されるため、サーモフォレシスによる効
果が増大し、堆積速度の増大を図ることができる。
吹き出されたＮ2 等の冷却された不活性ガス３０、４０
がスート８堆積表面に吹き付けられると、ガラス微粒子
含有火炎６によってスートが堆積するスート８の左右の
堆積表面が冷却されるため、サーモフォレシスによる効
果が増大し、堆積速度の増大を図ることができる。
【００２４】ここでＮ2 等の不活性ガス３０、４０は、
包囲管１０へ導かれる一部において、液化Ｎ2 等によっ
て冷却すれば、より効果を発揮する。また、この冷却不
活性ガスの流量としては、合計で４０ＳＬＰＭ程度が適
しており、これ以上ではトーチ２からの火炎が乱される
ため、適当でない。
包囲管１０へ導かれる一部において、液化Ｎ2 等によっ
て冷却すれば、より効果を発揮する。また、この冷却不
活性ガスの流量としては、合計で４０ＳＬＰＭ程度が適
しており、これ以上ではトーチ２からの火炎が乱される
ため、適当でない。
【００２５】
【発明の効果】本発明によれば、トーチから放射される
ガラス微粒子含有火炎の周囲に冷却不活性ガスをガラス
微粒子含有火炎放射と同時に噴射せしめ、ガラス微粒子
がガラス種棒長手方向へ拡散するのを防止しているた
め、スート堆積表面が加熱されないようしてスート堆積
表面と微粒子との温度差を大きく保ち、クラッドスート
中に０．２４〜０．３０ｇ／cm3 の密度で均一にクラッ
ドスートが堆積され、低密度スートの部分を形成するこ
となく、透明ガラス化後に微小気泡の残留がなくし、高
品質な光ファイバ用母材を得ることができる。
ガラス微粒子含有火炎の周囲に冷却不活性ガスをガラス
微粒子含有火炎放射と同時に噴射せしめ、ガラス微粒子
がガラス種棒長手方向へ拡散するのを防止しているた
め、スート堆積表面が加熱されないようしてスート堆積
表面と微粒子との温度差を大きく保ち、クラッドスート
中に０．２４〜０．３０ｇ／cm3 の密度で均一にクラッ
ドスートが堆積され、低密度スートの部分を形成するこ
となく、透明ガラス化後に微小気泡の残留がなくし、高
品質な光ファイバ用母材を得ることができる。
【００２６】また、本発明によれば、トーチの上に内管
と外管の二重管構造となして中空路を形成し、内管・外
管の両端部を封止すると共にガラス微粒子含有火炎の放
射方向に吹出口を備え、前記外管側面から不活性ガス冷
却媒体を前記中空路内に供給する導入管を接続した包囲
管を設け、ガラス微粒子含有火炎の放射時に導入管から
不活性ガス冷却媒体を供給し前記中空路内を介して吹出
口から噴射してトーチから放射するガラス微粒子含有火
炎の周囲に冷却媒体層を形成してガラス種棒にスートを
堆積させるようにしてあるため、スート堆積表面が加熱
されないようしてスート堆積表面と微粒子との温度差を
大きく保ち、クラッドスート中に０．２４〜０．３０ｇ
／cm3 の密度で均一にクラッドスートが堆積され、低密
度スートの部分を形成することなく、透明ガラス化後に
微小気泡の残留がなくし、高品質な光ファイバ用母材を
得ることができる。
と外管の二重管構造となして中空路を形成し、内管・外
管の両端部を封止すると共にガラス微粒子含有火炎の放
射方向に吹出口を備え、前記外管側面から不活性ガス冷
却媒体を前記中空路内に供給する導入管を接続した包囲
管を設け、ガラス微粒子含有火炎の放射時に導入管から
不活性ガス冷却媒体を供給し前記中空路内を介して吹出
口から噴射してトーチから放射するガラス微粒子含有火
炎の周囲に冷却媒体層を形成してガラス種棒にスートを
堆積させるようにしてあるため、スート堆積表面が加熱
されないようしてスート堆積表面と微粒子との温度差を
大きく保ち、クラッドスート中に０．２４〜０．３０ｇ
／cm3 の密度で均一にクラッドスートが堆積され、低密
度スートの部分を形成することなく、透明ガラス化後に
微小気泡の残留がなくし、高品質な光ファイバ用母材を
得ることができる。
【００２７】さらに、本発明によれば、包囲管に供給す
る冷却媒体を噴射する吹出口を、ガラス微粒子含有火炎
の放射側端部で、ガラス種棒の長手方向と交差しスート
堆積位置の真下に位置する放射側端部の少なくとも二ヵ
所にスート長手方向と交差するように開口させて設けて
あるため、効率良くサーモフォレシス効果を上げて堆積
速度を増大することができる。
る冷却媒体を噴射する吹出口を、ガラス微粒子含有火炎
の放射側端部で、ガラス種棒の長手方向と交差しスート
堆積位置の真下に位置する放射側端部の少なくとも二ヵ
所にスート長手方向と交差するように開口させて設けて
あるため、効率良くサーモフォレシス効果を上げて堆積
速度を増大することができる。
【００２８】またさらに、本発明によれば、包囲管の中
空路内に導入する冷却媒体に、Ｎ2、Ａｒ、Ｈｅ等の不
活性ガスを用い、導入管の周囲を冷却することにより不
活性ガスを冷却しているため、サーモフォレシス効果を
効率良く上げて堆積速度を増大することができる。
空路内に導入する冷却媒体に、Ｎ2、Ａｒ、Ｈｅ等の不
活性ガスを用い、導入管の周囲を冷却することにより不
活性ガスを冷却しているため、サーモフォレシス効果を
効率良く上げて堆積速度を増大することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る光ファイバ母材の製造方法及び光
ファイバ母材の製造装置の実施例を示す模式図である。
ファイバ母材の製造装置の実施例を示す模式図である。
【図２】図１に図示の包囲管の平面図である。
【図３】図１に図示の一部断面正面図である。
【図４】図１に図示の包囲管の底面図である。
【図５】図１に図示のトーチと包囲管の作動状態を示す
拡大図である。
拡大図である。
【図６】従来の光ファイバ母材の製造装置を示す模式図
である。
である。
【図７】図６に図示のトーチから放射されるガラス微粒
子含有火炎のスート堆積表面における流れを示す図であ
る。
子含有火炎のスート堆積表面における流れを示す図であ
る。
【図８】図６に図示のトーチに隣接してエンドバーナー
を設けた場合のガラス微粒子含有火炎のスート堆積表面
における流れを示す図である。
を設けた場合のガラス微粒子含有火炎のスート堆積表面
における流れを示す図である。
１……………………………………………………………反
応室 ２……………………………………………………………ト
ーチ ６……………………………………………………………ガ
ラス微粒子含有火炎 ７……………………………………………………………ガ
ラス種棒 ８……………………………………………………………ス
ート １０…………………………………………………………包
囲管 １１…………………………………………………………内
管 １２…………………………………………………………外
管 １３…………………………………………………………上
蓋 １４，１５…………………………………………………吹
出口 １６…………………………………………………………誘
導路 １７…………………………………………………………下
蓋 １８…………………………………………………………導
入管 ２０…………………………………………………………中
空路 ３０，４０…………………………………………………不
活性ガス
応室 ２……………………………………………………………ト
ーチ ６……………………………………………………………ガ
ラス微粒子含有火炎 ７……………………………………………………………ガ
ラス種棒 ８……………………………………………………………ス
ート １０…………………………………………………………包
囲管 １１…………………………………………………………内
管 １２…………………………………………………………外
管 １３…………………………………………………………上
蓋 １４，１５…………………………………………………吹
出口 １６…………………………………………………………誘
導路 １７…………………………………………………………下
蓋 １８…………………………………………………………導
入管 ２０…………………………………………………………中
空路 ３０，４０…………………………………………………不
活性ガス
Claims (4)
- 【請求項１】 トーチからガラス微粒子含有火炎を放射
し火炎加水分解によって生じたガラス微粒子をガラス種
棒に堆積させて、光ファイバ用多孔質母材を得る光ファ
イバ母材の製造方法において、トーチから放射されるガ
ラス微粒子含有火炎の周囲に冷却不活性ガスをガラス微
粒子含有火炎放射と同時に噴射せしめ、ガラス微粒子が
ガラス種棒長手方向へ拡散するのを防止すると共にスー
ト堆積表面が加熱されないようにしてスート堆積表面と
微粒子との温度差を大きく保つようにしたことを特徴と
する光ファイバ母材の製造方法。 - 【請求項２】 反応室内の下部に配置しガラス微粒子含
有火炎を放射してガラス種棒にスートを堆積させるトー
チと、前記スート堆積箇所の上方で反応室内の上部に設
けられ排気ガス処理室に接続される排気ダクトを備えて
なる光ファイバ母材の製造装置において、上記トーチの
上に内管と外管の二重管構造となして中空路を形成し、
内管・外管の両端部を封止すると共にガラス微粒子含有
火炎の放射方向に吹出口を備え、前記外管側面から不活
性ガス冷却媒体を前記中空路内に供給する導入管を接続
した包囲管を設け、ガラス微粒子含有火炎の放射時に導
入管から不活性ガス冷却媒体を供給し前記中空路内を介
して吹出口から噴射してトーチから放射するガラス微粒
子含有火炎の周囲に冷却媒体層を形成してガラス種棒に
スートを堆積させることを特徴とする光ファイバ母材の
製造装置。 - 【請求項３】 上記包囲管に供給する冷却媒体を噴射す
る吹出口は、ガラス微粒子含有火炎の放射側端部で、ガ
ラス種棒の長手方向と交差しスート堆積位置の真下に位
置する放射側端部の少なくとも二ヵ所にスート長手方向
と交差するように開口させて設けたものである請求項２
記載の光ファイバ母材の製造装置。 - 【請求項４】 上記包囲管の中空路内に導入する冷却媒
体は、Ｎ2 、Ａｒ、Ｈｅ等の不活性ガスであり、導入管
の周囲を液化Ｎ2 等で冷却することにより冷却したもの
である請求項２又は３記載の光ファイバ母材の製造装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5292296A JP2991397B2 (ja) | 1993-11-24 | 1993-11-24 | 光ファイバ母材の製造方法及び光ファイバ母材の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5292296A JP2991397B2 (ja) | 1993-11-24 | 1993-11-24 | 光ファイバ母材の製造方法及び光ファイバ母材の製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07144928A true JPH07144928A (ja) | 1995-06-06 |
| JP2991397B2 JP2991397B2 (ja) | 1999-12-20 |
Family
ID=17779926
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5292296A Expired - Lifetime JP2991397B2 (ja) | 1993-11-24 | 1993-11-24 | 光ファイバ母材の製造方法及び光ファイバ母材の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2991397B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005066085A1 (ja) * | 2004-01-07 | 2005-07-21 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | 光ファイバ用多孔質母材の製造方法及びガラス母材 |
| FR2914298A1 (fr) * | 2007-03-27 | 2008-10-03 | Draka Comteq France | Procede et equipement de fabrication d'une preforme de fibre optique. |
| EP2208716A1 (en) * | 2008-12-26 | 2010-07-21 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method and apparatus for manufacturing optical fiber preform using high frequency induction thermal plasma torch |
| CN113213753A (zh) * | 2021-07-08 | 2021-08-06 | 藤仓烽火光电材料科技有限公司 | 一种提高ovd沉积效率的装置及方法 |
| CN113548796A (zh) * | 2019-07-15 | 2021-10-26 | 富通集团（嘉善）通信技术有限公司 | 一种光纤预制棒的沉积设备 |
-
1993
- 1993-11-24 JP JP5292296A patent/JP2991397B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005066085A1 (ja) * | 2004-01-07 | 2005-07-21 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | 光ファイバ用多孔質母材の製造方法及びガラス母材 |
| US8297079B2 (en) | 2004-01-07 | 2012-10-30 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method of manufacturing porous glass base material used for optical fibers, and glass base material |
| FR2914298A1 (fr) * | 2007-03-27 | 2008-10-03 | Draka Comteq France | Procede et equipement de fabrication d'une preforme de fibre optique. |
| EP1978002A1 (en) | 2007-03-27 | 2008-10-08 | Draka comteq B.V. | Method and apparatus for manufacturing an optical fiber preform. |
| EP2208716A1 (en) * | 2008-12-26 | 2010-07-21 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method and apparatus for manufacturing optical fiber preform using high frequency induction thermal plasma torch |
| CN113548796A (zh) * | 2019-07-15 | 2021-10-26 | 富通集团（嘉善）通信技术有限公司 | 一种光纤预制棒的沉积设备 |
| CN113213753A (zh) * | 2021-07-08 | 2021-08-06 | 藤仓烽火光电材料科技有限公司 | 一种提高ovd沉积效率的装置及方法 |
| CN113213753B (zh) * | 2021-07-08 | 2021-09-21 | 藤仓烽火光电材料科技有限公司 | 一种提高ovd沉积效率的装置及方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2991397B2 (ja) | 1999-12-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3997361B2 (ja) | 石英ガラスブランクの製造方法のために適した装置 | |
| GB1580152A (en) | Continuous optical fibre preform fabrication method | |
| JPS605036A (ja) | 単モ−ド光導波プリフオ−ムの製造方法 | |
| JP4043768B2 (ja) | 光ファイバ用母材の製造方法 | |
| JPH07144928A (ja) | 光ファイバ母材の製造方法及び光ファイバ母材の製造装置 | |
| US4203553A (en) | Ribbon burner | |
| JP4241173B2 (ja) | 多孔質ガラス微粒子堆積体の製造法及び前記製造法に用いられるガラス合成用バーナ | |
| US20030029202A1 (en) | Method and apparatus for producing porous glass soot body | |
| KR100511936B1 (ko) | 수정화학기상증착용 광섬유 모재 제조장치 | |
| CA2064110A1 (en) | Methods of and apparatus for heating elongated glass substrate | |
| KR101350037B1 (ko) | 낮은 ｏｈ 오버 클래딩을 제조하는 방법 및 장치 | |
| EP2208716B1 (en) | Method and apparatus for manufacturing optical fiber preform using high frequency induction thermal plasma torch | |
| JP2004161606A (ja) | 光ファイバ母材製造装置 | |
| JP3653902B2 (ja) | ガラス母材合成用バーナ及びガラス母材の製造方法 | |
| JPH07300332A (ja) | 光ファイバ母材製造装置 | |
| JPS6311541A (ja) | プラズマト−チ及び該プラズマト−チを用いた光フアイバ用ガラス母材の製造方法 | |
| JP2002326833A (ja) | 光ファイバ母材の製造装置及びそれを用いた光ファイバ母材の製造方法 | |
| US4530709A (en) | Method for producing optical fiber | |
| US5366531A (en) | Preparation of a preform of optical fibers | |
| JP3098873B2 (ja) | 光ファイバ母材の製造装置 | |
| JPS62162637A (ja) | 光フアイバ母材の製造方法 | |
| EP4365142A1 (en) | Systems and methods for producing optical fiber preforms | |
| JPH11116256A (ja) | 合成石英ガラス製造用バーナーおよびその修理方法 | |
| JPH11271553A (ja) | 光導波路用ガラス膜の形成方法及びその装置 | |
| JPH06420Y2 (ja) | プラズマト−チ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050329 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050726 |