JPH07140676A - エポキシ樹脂系フォトソルダーレジストの剥離液 - Google Patents

エポキシ樹脂系フォトソルダーレジストの剥離液

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JPH07140676A
JPH07140676A JP28690893A JP28690893A JPH07140676A JP H07140676 A JPH07140676 A JP H07140676A JP 28690893 A JP28690893 A JP 28690893A JP 28690893 A JP28690893 A JP 28690893A JP H07140676 A JPH07140676 A JP H07140676A
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JP
Japan
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epoxy resin
solder resist
photo solder
solution
resist
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JP28690893A
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English (en)
Inventor
Toshimasa Iwata
年匡 岩田
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Ibiden Co Ltd
Original Assignee
Ibiden Co Ltd
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Publication date
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  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 エポキシ樹脂系フォトソルダーレジストの未
感光部分の剥離時間を短縮することができ、しかも、露
光量を多くした場合、高感度なエポキシ樹脂系フォトソ
ルダーレジストを使用した場合、或は感光後に長時間放
置した場合においても確実に未感光部分を剥離すること
ができるエポキシ樹脂系フォトソルダーレジストの剥離
液を、簡単な構成によって提供すること。 【構成】 エポキシ樹脂系フォトソルダーレジストの未
感光部分を剥離する剥離液であって、アルカリ溶液にプ
ロピレン系グリコールエーテルの添加剤を添加した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、プリント配線板や各種
の印刷物を製造する際の写真工程に使用される剥離液に
関し、特に、エポキシ樹脂系フォトソルダーレジストの
未感光部分を剥離する剥離液に関する。
【0002】
【従来の技術】例えばプリント配線板において、その基
板の表面にソルダーレジストを形成し、アディティブ法
やサブトラクティブ法等により所望のパターンの導体回
路を形成したり、基板の表面に形成された導体回路間に
ソルダーレジストのダムを形成し、電子部品を実装する
ためのハンダによる導体回路間の短絡を防止する場合等
がある。そして、一般に、ソルダーレジストは、写真法
により形成され、ソルダーレジストの材料としては、エ
ポキシ樹脂等により形成された基板との接着性に優れ、
電気的な絶縁性にも優れたエポキシ樹脂系フォトソルダ
ーレジストが使用されている。
【0003】ここで、エポキシ樹脂系フォトソルダーレ
ジストの所望部分を露光して感光した後、未感光の不要
部分は、剥離液により剥離されるのであるが、エポキシ
樹脂系フォトソルダーレジストの未感光部分は、アルカ
リ溶液に溶解されるものであるため、従来より、剥離液
として、5%の水酸化ナトリウム(NaOH)溶液を使
用していた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
剥離液にあっては、次のような課題を有するものであっ
た。
【0005】まず、例えば、感度400のエポキシ樹脂
系フォトソルダーレジスト(400mJ/cm2 の露光
量で9/21段のステップ段数を得ることができる感度
のエポキシ樹脂系フォトソルダーレジストを、感度40
0のエポキシ樹脂系フォトソルダーレジストという。こ
こで、9/21段のステップ段数とは、白から黒までの
21段階のグラデーションを有するマスクを介して露光
した際に、白側の1段目から9段目までが感光される場
合をいう。)を露光量400mJ/cm2 で感光した場
合、換言すれば、エポキシ樹脂系フォトソルダーレジス
トをステップ段数9/21段となるように感光した場
合、エポキシ樹脂系フォトソルダーレジストの未感光部
分の剥離に1時間を要し、プリント配線板を剥離液に長
時間浸漬しなければならなかった。ここで、剥離液にプ
リント配線板を浸漬すると、浸漬時間が長いほど、基板
表面に形成された導体回路等の銅が酸化する所謂アルカ
リ焼けが生じてしまう。よって、浸漬時間は1時間が限
度とされているが、この浸漬時間を極力短くすることが
望まれていた。
【0006】次に、例えば、感度400のエポキシ樹脂
系フォトソルダーレジストを露光量400mJ/cm2
で感光した場合、すなわち、エポキシ樹脂系フォトソル
ダーレジストをステップ段数9/21段となるように感
光した場合、50μm幅のソルダーレジストを形成する
ことができる。ところが、近年の導体回路の細密化の要
望に伴って、ソルダーレジストをさらに細密化しなけれ
ばならなくなってきた。そこで、露光量を多くしたり、
高感度なエポキシ樹脂系フォトソルダーレジストを使用
することにより、ステップ段数が向上するような条件で
感光して、ソルダーレジストの細密化を図ることが考え
られる。しかしながら、露光量を多くしたり、高感度な
エポキシ樹脂系フォトソルダーレジストを使用すると、
以下の如くなる。
【0007】(1)露光量を多くする場合、例えば感度
400のエポキシ樹脂系フォトソルダーレジストを使用
すると、 a.露光量400mJ/cm2 で感光した場合、1時間
で剥離できるが、 b.露光量1000mJ/cm2 で感光した場合、2時
間の剥離時間を要し、 c.露光量2000mJ/cm2 で感光した場合、剥離
不可能となる。 よって、露光量を多くすることによっては、ソルダーレ
ジストの細密化に十分に対応することができなかった。
【0008】(2)高感度なエポキシ樹脂系フォトソル
ダーレジストを使用する場合、例えば露光量2000m
J/cm2 で感光すると、 a.感度2000のエポキシ樹脂系フォトソルダーレジ
ストを使用した場合、1時間で剥離できるが、 b.感度1000のエポキシ樹脂系フォトソルダーレジ
ストを使用した場合、2時間を要し、 c.感度400のエポキシ樹脂系フォトソルダーレジス
トを使用した場合、剥離不可能となる。 よって、高感度なエポキシ樹脂系フォトソルダーレジス
トを使用することによっては、ソルダーレジストの細密
化に十分に対応することができなかった。
【0009】一方、エポキシ樹脂系フォトソルダーレジ
ストを感光した後放置すると、その放置時間が長いほ
ど、エポキシ樹脂系フォトソルダーレジストの未感光部
分を剥離し難くなり、以下の如くなる。
【0010】(3)例えば、感度400のエポキシ樹脂
系フォトソルダーレジストを露光量400mJ/cm2
で感光した場合、すなわち、エポキシ樹脂系フォトソル
ダーレジストをステップ段数9/21段となるように感
光した場合、 a.1日放置した場合、1時間で剥離できるが、 b.2日放置した場合、2時間の剥離時間を要し、 c.3日放置した場合、剥離不可能となる。 よって、エポキシ樹脂系フォトソルダーレジストを感光
した後には、早急に未感光部分を剥離しなければならな
かった。
【0011】本各発明は、このような課題を解決するた
めになされたものであり、その目的とするところは、エ
ポキシ樹脂系フォトソルダーレジストの未感光部分の剥
離時間を短縮することができ、しかも、露光量を多くし
た場合、高感度なエポキシ樹脂系フォトソルダーレジス
トを使用した場合、或は感光後に長時間放置した場合に
おいても確実に未感光部分を剥離することができるエポ
キシ樹脂系フォトソルダーレジストの剥離液を、簡単な
構成によって提供することである。
【0012】
【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
めに本各発明の採った手段を説明すると、まず、請求項
1の発明は、「エポキシ樹脂系フォトソルダーレジスト
の未感光部分を剥離する剥離液であって、アルカリ溶液
にプロピレン系グリコールエーテルの添加剤を添加した
ことを特徴とする剥離液」である。
【0013】次に、請求項2の発明は、「前記アルカリ
溶液を水酸化カリウム溶液としたことを特徴とする請求
項1記載の剥離液」である。
【0014】最後に、請求項3の発明は、「前記添加剤
をジプロピレングリコールメチルエーテルとしたことを
特徴とする請求項1又は請求項2記載の剥離液」であ
る。
【発明の作用】このように構成された本各発明のエポキ
シ樹脂系フォトソルダーレジストの剥離液は、次のよう
に作用する。
【0015】まず、請求項1の発明の剥離液は、水酸化
ナトリウム溶液や水酸化カリウム(KOH)等のアルカ
リ溶液に、プロピレン系グリコールエーテルの添加剤を
添加したものである。このため、エポキシ樹脂系フォト
ソルダーレジストの未感光部分の溶解速度が向上するこ
とになる。なお、プロピレン系グリコールエーテルの添
加剤は、アルカリ溶液の希釈剤的役割を果たし、エポキ
シ樹脂系フォトソルダーレジストの未感光部分の界面剥
離を促進させる膨潤性を向上させ、エポキシ樹脂系フォ
トソルダーレジストの未感光部分にアルカリ溶液を浸透
し易くするため、溶解速度が向上すると思われる。
【0016】次に、請求項2の発明は、アルカリ溶液を
水酸化カリウム溶液とした請求項1の発明の剥離液であ
る。このため、前述した請求項1の発明に剥離液の作用
に加えて、エポキシ樹脂系フォトソルダーレジストの未
感光部分の溶解速度がより一層向上することになる。な
お、カリウム(K)は、例えばナトリウム(Na)に比
して、イオン化傾向が大きく、水容性に優れるため、溶
解速度が向上すると思われる。
【0017】最後に、請求項3の発明は、添加剤をジプ
ロピレングリコールメチルエーテル(CH3 (C36
O)2 H)とした請求項1又は請求項2の発明の剥離液
である。ここで、ジプロピレングリコールメチルエーテ
ルは、引火点が79℃と剥離液の取り扱い温度55±5
℃より高く、沸点が188℃と水の沸点100℃より高
く、水に対する溶解度が∞g/100gと非常に大きい
ため、取り扱いが非常に容易なものである。このため、
前述した請求項1又は請求項2の発明の剥離液の作用に
加えて、剥離液を、取り扱いが容易なものとし得ること
になる。
【0018】
【実施例】次に、本各発明の剥離液の実施例を、詳細に
説明する。
【0019】アルカリ溶液として10±5%(重量比)
の水酸化カリウム溶液に、添加剤として30±5%(重
量比)のジプロピレングリコールメチルエーテルを添加
し、さらに、基板表面に形成された導体回路等の銅のア
ルカリ焼けを防止するために、酸化防止剤として5±1
%(重量比)のOPCパーソリー5(奥野製薬(株)
製)を添加した剥離液により、55±5℃にて、以下の
各条件で感光したエポキシ樹脂系フォトソルダーレジス
トの未感光部分を剥離した。
【0020】(1)感度400のエポキシ樹脂系フォト
ソルダーレジストを使用した。 a.露光量400mJ/cm2 で感光した場合、5分 b.露光量1000mJ/cm2 で感光した場合、15
分 c.露光量2000mJ/cm2 で感光した場合、30
分 で、エポキシ樹脂系フォトソルダーレジストの未感光部
分を剥離できた。
【0021】(2)露光量2000mJ/cm2 で感光
した。 a.感度2000のエポキシ樹脂系フォトソルダーレジ
ストを使用した場合、5分 b.感度1000のエポキシ樹脂系フォトソルダーレジ
ストを使用した場合、15分 c.感度400のエポキシ樹脂系フォトソルダーレジス
トを使用した場合、30分 で、エポキシ樹脂系フォトソルダーレジストの未感光部
分を剥離できた。
【0022】(3)ステップ段数9/21段で感光し
た。 a.1日放置した場合、5分 b.2日放置した場合、15分 c.3日放置した場合、30分 で、エポキシ樹脂系フォトソルダーレジストの未感光部
分を剥離できた。
【0023】なお、請求項1及び請求項3の発明の剥離
液においては、アルカリ溶液として水酸化カリウム溶液
に限らず、例えば水酸化ナトリウム溶液等のアルカリ溶
液であればよいが、請求項2の発明の剥離液の如く、水
酸化カリウム溶液が好ましい。
【0024】また、請求項1及び請求項2の発明の剥離
液においては、添加剤としてジプロピレングリコールメ
チルエーテルに限らず、例えば、 1.プロピレングリコールメチルエーテル (CH3 OCH2 CHOHCH3 ) (沸点120℃、引火点34℃、水に対する溶解度∞g
/100g) 2.トリプロピレングリコールメチルエーテル (CH3 (C36 O)3 H) (沸点188℃、引火点122℃、水に対する溶解度∞
g/100g) 3.プロピレングリコールn−ブチルエーテル (C49 OCH2 OHCH3 ) (沸点170℃、引火点62℃、水に対する溶解度6g
/100g) 4.プロピレングリコールメチルエーテルアセテート (CH3 OCH2 CH(CH3 )OOCH3 ) (沸点146℃、引火点46.5℃、水に対する溶解度
19g/100g) 5.ジプロピレングリコールn−ブチルエーテル (C49 (C36 O)2 H) (沸点229℃、引火点106℃、水に対する溶解度5
g/100g) 6.トリプロピレングリコールn−ブチルエーテル (C49 (C36 O)3 H) (沸点274℃、引火点138℃、水に対する溶解度3
g/100g) 7.プロピレングリコールジアセテート (CH3 COOCH2 (CH2 )OOCH3 ) (沸点190℃、引火点93℃、水に対する溶解度8g
/100g) 8.プロピレングリコールフェニルエーテル (C35 OCH2 CHOHCH3 ) (沸点243℃、引火点121℃、水に対する溶解度1
g/100g) 等のプロピレン系グリコールエーテルの添加剤でもよい
が、請求項3の発明の剥離液の如く、引火点が剥離溶液
の取り扱い温度55±5%より高い79℃、沸点が水の
沸点より低い188℃、水に対する溶解度が∞g/10
0gのジプロピレングリコールメチルエーテルを採用す
ると、引火したり蒸発する虞がなく、また、水を主成分
とする剥離液に十分に溶解するため、取り扱い易く都合
がよい。
【0025】また、一般的に、溶剤としては、ヘキサ
ン、繊維スピリット、ゴム糊、ラッカー、希釈剤、VM
&Pナフサ、ナフトールスピリット、石油スピリット、
ストッダード溶液、無臭石油スピリット、灯油等の脂肪
族系炭化水素溶剤や、ベンゼン、トルエン、エチルベン
ゼン、キシレン、芳香族石油溶剤、芳香族ナフサ等の芳
香族系炭化水素溶剤や、メチレンクロライド、1−1−
1トリクロロエタン、トリクロロエチレン、パークロロ
エチレン、トリクロロトリフロロエタン等のハロゲン化
炭化水素溶剤や、テルペン、アルコール、グリコール、
グリセリン、アミン、エステル、ケトン、グリコールエ
ーテル、テトラヒドロフラン、ジメチルホルムアミド、
水等がある。
【0026】ここで、脂肪族系炭化水素溶剤 、芳香族
系炭化水素溶剤、ハロゲン化炭化水素溶剤等を溶剤とし
て使用する場合、その溶解力、引火点、膨潤性、毒性、
取り扱いの危険性等を考慮すべきである。
【0027】以上、本各発明の剥離液の実施例を説明し
たが、この剥離液は、プリント配線板の製造の際の写真
工程に限らず、エポキシ樹脂系フォトソルダーレジスト
を使用する各種の印刷物の写真工程において、エポキシ
樹脂系フォトソルダーレジストの未感光部分を剥離する
ための剥離液として使用されるものである。
【0028】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、まず、請求
項1の発明の剥離液は、アルカリ溶液にプロピレン系グ
リコールエーテルを添加したものであり、エポキシ樹脂
系フォトソルダーレジストの未感光部分の溶解速度を向
上させ、短時間で剥離できるようにし、且つ、露光量を
多したり、高感度なエポキシ樹脂系フォトソルダーレジ
ストを使用したり、或は感光後長時間放置しても、エポ
キシ樹脂系フォトソルダーレジストの未感光部分を確実
に剥離できるようにしたものである。
【0029】次に、請求項2の発明の剥離液は、アルカ
リ溶液を水酸化カリウム溶液としたものであり、エポキ
シ樹脂系フォトソルダーレジストの未感光部分の溶解速
度をさらに向上させ、より短時間で剥離できるようにし
たものである。
【0030】最後に、請求項3の発明は、添加剤をジプ
ロピレングリコールメチルエーテルとしたものであり、
剥離液をより取り扱い易くしたものである。
【0031】従って、本各発明によれば、エポキシ樹脂
系フォトソルダーレジストの未感光部分の剥離時間を短
縮することができ、しかも、露光量を多くした場合、高
感度なエポキシ樹脂系フォトソルダーレジストを使用し
た場合、或は感光後に長時間放置した場合においても確
実に未感光部分を剥離することができるエポキシ樹脂系
フォトソルダーレジストの剥離液を、簡単な構成によっ
て提供することができる。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】エポキシ樹脂系フォトソルダーレジストの
    未感光部分を剥離する剥離液であって、 アルカリ溶液にプロピレン系グリコールエーテルの添加
    剤を添加したことを特徴とする剥離液。
  2. 【請求項2】前記アルカリ溶液を水酸化カリウム溶液と
    したことを特徴とする請求項1記載の剥離液。
  3. 【請求項3】前記添加剤をジプロピレングリコールメチ
    ルエーテルとしたことを特徴とする請求項1又は請求項
    2記載の剥離液。
JP28690893A 1993-11-16 1993-11-16 エポキシ樹脂系フォトソルダーレジストの剥離液 Pending JPH07140676A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008542830A (ja) * 2005-06-03 2008-11-27 アトテック・ドイチュラント・ゲーエムベーハー ファインラインレジストの剥離方法
KR20190051965A (ko) 2016-09-09 2019-05-15 카오카부시키가이샤 수지 마스크 박리용 세정제 조성물

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