JPH07109024A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPH07109024A JPH07109024A JP25589293A JP25589293A JPH07109024A JP H07109024 A JPH07109024 A JP H07109024A JP 25589293 A JP25589293 A JP 25589293A JP 25589293 A JP25589293 A JP 25589293A JP H07109024 A JPH07109024 A JP H07109024A
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- JP
- Japan
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- arm
- carrier
- levitation body
- vacuum container
- electromagnet
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 真空容器の容積を小さくすると共に、発塵お
よび放出ガスの原因となり、また高価なシール材を不要
にする。 【構成】 真空容器11内に、被搬送物13を載置する
アーム15が取り付けられた浮上体12を設け、真空容
器11の上側に、浮上体12を磁気浮上させるための電
磁石26を有するキャリア25を設ける。ボールねじ1
9によってキャリア25を前後動させることによって浮
上体12およびアーム15を前後動させ、モータ17に
よってキャリア25を回転させることによって浮上体1
2およびアーム15を回転させ、複数の電磁石26の励
磁電流を制御することによって浮上体12を傾け、アー
ム15を上下動させる。
よび放出ガスの原因となり、また高価なシール材を不要
にする。 【構成】 真空容器11内に、被搬送物13を載置する
アーム15が取り付けられた浮上体12を設け、真空容
器11の上側に、浮上体12を磁気浮上させるための電
磁石26を有するキャリア25を設ける。ボールねじ1
9によってキャリア25を前後動させることによって浮
上体12およびアーム15を前後動させ、モータ17に
よってキャリア25を回転させることによって浮上体1
2およびアーム15を回転させ、複数の電磁石26の励
磁電流を制御することによって浮上体12を傾け、アー
ム15を上下動させる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、搬送装置に係り、詳細
には、磁気浮上させた浮上体によって被搬送物を搬送す
る搬送装置に関する。
には、磁気浮上させた浮上体によって被搬送物を搬送す
る搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、IC製造装置のような高度なクリ
ーン環境が要求される場所では、磁気浮上により非接触
で移動する浮上体によって、半導体ウエハ等を搬送する
搬送装置が用いられている。
ーン環境が要求される場所では、磁気浮上により非接触
で移動する浮上体によって、半導体ウエハ等を搬送する
搬送装置が用いられている。
【0003】図5は従来の搬送装置の断面図である。こ
の搬送装置は真空容器51を備えている。この真空容器
51の底部には円形の開口部が設けられ、この開口部に
フランジ52が設けられている。このフランジ52に
は、金属製のベローズ53およびフランジ54を介し
て、真空容器51内に配設されたθ軸外筒55が取り付
けられている。このθ軸外筒55内には、ベアリング5
6および磁性流体シール57を介してθ軸内筒58が保
持されている。また、フランジ54の下部にはブラケッ
ト60が取り付けられ、このブラケット60には、θ軸
内筒58を回転させるためのモータ61と、θ軸内筒5
8を上下動させるためのシリンダ62とが取り付けられ
ている。モータ61の回転軸はギア63,64,65を
介してθ軸内筒58に連結され、モータ61を回転させ
ることによってθ軸内筒58を回転できるようになって
いる。また、シリンダ62は、真空容器51の底部に取
り付けられたブラケット66上に取り付けられている。
ブラケット66には、ガイド67が設けられ、このガイ
ド67にブラケット60のガイド部60aが摺動自在に
係合して、シリンダ62によってブラケット60等を介
してθ軸内筒58が上下動されるようになっている。
の搬送装置は真空容器51を備えている。この真空容器
51の底部には円形の開口部が設けられ、この開口部に
フランジ52が設けられている。このフランジ52に
は、金属製のベローズ53およびフランジ54を介し
て、真空容器51内に配設されたθ軸外筒55が取り付
けられている。このθ軸外筒55内には、ベアリング5
6および磁性流体シール57を介してθ軸内筒58が保
持されている。また、フランジ54の下部にはブラケッ
ト60が取り付けられ、このブラケット60には、θ軸
内筒58を回転させるためのモータ61と、θ軸内筒5
8を上下動させるためのシリンダ62とが取り付けられ
ている。モータ61の回転軸はギア63,64,65を
介してθ軸内筒58に連結され、モータ61を回転させ
ることによってθ軸内筒58を回転できるようになって
いる。また、シリンダ62は、真空容器51の底部に取
り付けられたブラケット66上に取り付けられている。
ブラケット66には、ガイド67が設けられ、このガイ
ド67にブラケット60のガイド部60aが摺動自在に
係合して、シリンダ62によってブラケット60等を介
してθ軸内筒58が上下動されるようになっている。
【0004】真空容器51内には、θ軸内筒58に取り
付けられた筒状隔壁70が配設されている。この筒状隔
壁70内には、ガイドレール71と、このガイドレール
71に沿って前後動する搬送機本体72とが配設されて
いる。筒状隔壁70の外周側には、搬送機本体72によ
って磁気浮上される筒状の浮上体73が配設されてい
る。この浮上体73には、一端部に半導体ウエハ等の被
搬送物74が載置される載置部75aを備えた搬送棒7
5の他端部が固定されている。そして、磁気浮上された
浮上体73、搬送棒75および被搬送物74は、図示し
ないリニアモータによって駆動される搬送機本体72の
移動に伴って前後に移動するようになっている。
付けられた筒状隔壁70が配設されている。この筒状隔
壁70内には、ガイドレール71と、このガイドレール
71に沿って前後動する搬送機本体72とが配設されて
いる。筒状隔壁70の外周側には、搬送機本体72によ
って磁気浮上される筒状の浮上体73が配設されてい
る。この浮上体73には、一端部に半導体ウエハ等の被
搬送物74が載置される載置部75aを備えた搬送棒7
5の他端部が固定されている。そして、磁気浮上された
浮上体73、搬送棒75および被搬送物74は、図示し
ないリニアモータによって駆動される搬送機本体72の
移動に伴って前後に移動するようになっている。
【0005】搬送機本体72内の前側には2つの下側電
磁石76と上下に2つずつ計4つの変位センサ77が配
設され、後側には上下に2つずつ計4つの電磁石78
と、同じく上下に2つずつ計4つの変位センサ79が配
設されている。浮上体73の内側には、各電磁石76,
78に対向する位置に図示しない強磁性材からなるター
ゲットが配設され、各電磁石は対向するターゲットとの
間で吸引力を発生するようになっている。浮上体73の
変位は変位センサ77,79によって検出され、その検
出値に基づいて電磁石76,78の励磁電流がフィード
バック制御され、浮上体73が所定位置に浮上保持され
るようになっている。
磁石76と上下に2つずつ計4つの変位センサ77が配
設され、後側には上下に2つずつ計4つの電磁石78
と、同じく上下に2つずつ計4つの変位センサ79が配
設されている。浮上体73の内側には、各電磁石76,
78に対向する位置に図示しない強磁性材からなるター
ゲットが配設され、各電磁石は対向するターゲットとの
間で吸引力を発生するようになっている。浮上体73の
変位は変位センサ77,79によって検出され、その検
出値に基づいて電磁石76,78の励磁電流がフィード
バック制御され、浮上体73が所定位置に浮上保持され
るようになっている。
【0006】なお、電磁石および変位センサに接続され
たケーブル80は、筒状隔壁70の下側の通路81およ
びθ軸内筒58内を通って真空容器51の外部に導出さ
れている。以上のように構成された搬送装置では、真空
容器51内において、筒状隔壁70の内側は大気側、筒
状隔壁70の外側は真空側である。真空と大気の遮断
は、筒状隔壁70、磁性流体シール57およびベローズ
53によって行われる。また、真空容器51内におい
て、被搬送物74が載置された搬送棒75は、搬送機本
体72の移動によって前後動し、θ軸内筒58の回転に
よって回転し、θ軸内筒58の上下動によって上下動す
る。
たケーブル80は、筒状隔壁70の下側の通路81およ
びθ軸内筒58内を通って真空容器51の外部に導出さ
れている。以上のように構成された搬送装置では、真空
容器51内において、筒状隔壁70の内側は大気側、筒
状隔壁70の外側は真空側である。真空と大気の遮断
は、筒状隔壁70、磁性流体シール57およびベローズ
53によって行われる。また、真空容器51内におい
て、被搬送物74が載置された搬送棒75は、搬送機本
体72の移動によって前後動し、θ軸内筒58の回転に
よって回転し、θ軸内筒58の上下動によって上下動す
る。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】従来の搬送装置では、
真空容器51内に、筒状隔壁70を介しているが、電磁
石や搬送機本体72の駆動部といった主構成物が存在す
る。そのため、真空容器51の容積が大きくなり、その
結果、到達真空度が悪くなり、排気時間が長くかかり、
フロアスペースを多く取り、搬送装置が高価になるとい
う問題点があった。
真空容器51内に、筒状隔壁70を介しているが、電磁
石や搬送機本体72の駆動部といった主構成物が存在す
る。そのため、真空容器51の容積が大きくなり、その
結果、到達真空度が悪くなり、排気時間が長くかかり、
フロアスペースを多く取り、搬送装置が高価になるとい
う問題点があった。
【0008】また、シール材による発塵および放出ガス
の発生が生じるという問題点があった。詳しく説明する
と、金属製のベローズ53は繰り返しの動作により金属
粉の発塵を生じさせ、半導体に対するごみとなるという
問題を生じ、磁性流体シール57は蒸発ガスを発生さ
せ、真空度の低下等の問題を生じさせる。
の発生が生じるという問題点があった。詳しく説明する
と、金属製のベローズ53は繰り返しの動作により金属
粉の発塵を生じさせ、半導体に対するごみとなるという
問題を生じ、磁性流体シール57は蒸発ガスを発生さ
せ、真空度の低下等の問題を生じさせる。
【0009】さらに、高価なシール材が必要なことか
ら、搬送装置が高価になるという問題点があった。そこ
で、本発明の目的は、真空容器の容積を小さくできると
共に、発塵および放出ガスの原因となり、かつ高価なシ
ール材を不要とした搬送装置を提供することにある。
ら、搬送装置が高価になるという問題点があった。そこ
で、本発明の目的は、真空容器の容積を小さくできると
共に、発塵および放出ガスの原因となり、かつ高価なシ
ール材を不要とした搬送装置を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明では、内部が真空
状態にされる真空容器と、この真空容器内に収納され、
磁気的吸引力によって浮上する浮上体と、一端が浮上体
に固定され、他端に被搬送物を載置する載置部を有する
アームと、真空容器の外側に設けられ、浮上体を浮上さ
せるための電磁石を有するキャリアと、このキャリアを
アームの軸方向に沿って移動させることによって浮上体
およびアームを軸方向に移動させる軸方向移動手段と、
キャリアを回転させることによって浮上体およびアーム
を回転させる回転方向移動手段と、電磁石を制御して浮
上体を傾斜させることによって載置部を上下動させる上
下方向移動手段とを搬送装置に具備させて、前記目的を
達成する。
状態にされる真空容器と、この真空容器内に収納され、
磁気的吸引力によって浮上する浮上体と、一端が浮上体
に固定され、他端に被搬送物を載置する載置部を有する
アームと、真空容器の外側に設けられ、浮上体を浮上さ
せるための電磁石を有するキャリアと、このキャリアを
アームの軸方向に沿って移動させることによって浮上体
およびアームを軸方向に移動させる軸方向移動手段と、
キャリアを回転させることによって浮上体およびアーム
を回転させる回転方向移動手段と、電磁石を制御して浮
上体を傾斜させることによって載置部を上下動させる上
下方向移動手段とを搬送装置に具備させて、前記目的を
達成する。
【0011】
【作用】本発明の搬送装置では、キャリアの電磁石によ
って浮上体が磁気浮上され、軸方向移動手段によってキ
ャリアをアームの軸方向に沿って移動させることによっ
て浮上体およびアームが軸方向に移動され、回転方向移
動手段によってキャリアを回転させることによって浮上
体およびアームが回転され、上下方向移動手段によって
電磁石を制御して浮上体を傾斜させることで載置部が上
下動される。
って浮上体が磁気浮上され、軸方向移動手段によってキ
ャリアをアームの軸方向に沿って移動させることによっ
て浮上体およびアームが軸方向に移動され、回転方向移
動手段によってキャリアを回転させることによって浮上
体およびアームが回転され、上下方向移動手段によって
電磁石を制御して浮上体を傾斜させることで載置部が上
下動される。
【0012】
【実施例】以下、本発明の搬送装置おける一実施例を図
1ないし図4を参照して詳細に説明する。 図1は本実
施例の搬送装置を示す断面図、図2は図1の搬送装置に
おける電磁石部及び駆動部を下側から見た平面図、図3
は図1の搬送装置における浮上体およびアームを示す平
面図、図4は図1の搬送装置とその周囲の処理室等の配
置を示す説明図である。
1ないし図4を参照して詳細に説明する。 図1は本実
施例の搬送装置を示す断面図、図2は図1の搬送装置に
おける電磁石部及び駆動部を下側から見た平面図、図3
は図1の搬送装置における浮上体およびアームを示す平
面図、図4は図1の搬送装置とその周囲の処理室等の配
置を示す説明図である。
【0013】図1に示すように、本実施例の搬送装置1
0は、内部が真空状態にされる真空容器11と、この真
空容器11内に収納された浮上体12と、一端が浮上体
12に固定され、他端に半導体ウエハ等の被搬送物13
を載置する載置部としてのサーバ14を有するアーム1
5とを備えている。真空容器11の上面は非磁性の薄板
11aで閉じられている。
0は、内部が真空状態にされる真空容器11と、この真
空容器11内に収納された浮上体12と、一端が浮上体
12に固定され、他端に半導体ウエハ等の被搬送物13
を載置する載置部としてのサーバ14を有するアーム1
5とを備えている。真空容器11の上面は非磁性の薄板
11aで閉じられている。
【0014】図4に示すように、真空容器11は例えば
上から見た形が六角形をなしており、各辺に対向して処
理室1〜3やロード室4やアンロード室5が設けられて
いる。本実施例の搬送装置10は、半導体ウエハの製造
処理工程において、半導体ウエハを処理室1〜3やロー
ド室4やアンロード室5に対して出し入れするための装
置である。
上から見た形が六角形をなしており、各辺に対向して処
理室1〜3やロード室4やアンロード室5が設けられて
いる。本実施例の搬送装置10は、半導体ウエハの製造
処理工程において、半導体ウエハを処理室1〜3やロー
ド室4やアンロード室5に対して出し入れするための装
置である。
【0015】真空容器11の上側には、支持部材16が
取り付けられ、この支持部材16に、ダイレクトモータ
等のモータ17が、下側に向けて取り付けられている。
このモータ17の出力軸にはボールねじ支持部材18が
取り付けられ、このボールねじ支持部材18にボールね
じ19が取り付けられている。ボールねじ支持部材18
の一端部にはモータ20が取り付けられている。このモ
ータ20の出力軸に取り付けられた歯車21はボールね
じ19に取り付けられた歯車22に噛合しており、モー
タ20を回転させることによりボールねじ19が回転さ
れるようになっている。ボールねじ19には図示しない
ガイドに沿って移動する移動部材23が螺合しており、
この移動部材23の下側に、浮上体12を磁気浮上させ
るためのキャリア25が取り付けられている。
取り付けられ、この支持部材16に、ダイレクトモータ
等のモータ17が、下側に向けて取り付けられている。
このモータ17の出力軸にはボールねじ支持部材18が
取り付けられ、このボールねじ支持部材18にボールね
じ19が取り付けられている。ボールねじ支持部材18
の一端部にはモータ20が取り付けられている。このモ
ータ20の出力軸に取り付けられた歯車21はボールね
じ19に取り付けられた歯車22に噛合しており、モー
タ20を回転させることによりボールねじ19が回転さ
れるようになっている。ボールねじ19には図示しない
ガイドに沿って移動する移動部材23が螺合しており、
この移動部材23の下側に、浮上体12を磁気浮上させ
るためのキャリア25が取り付けられている。
【0016】図2に示すように、キャリア25には、下
側に向けて6個の電磁石26が取り付けられている。こ
の電磁石26は、キャリア25の前側(図における右
側)の左右に1つずつ、後側の左右に1つずつ、前後の
中央部の左右に1つずつ、それぞれ配置されている。こ
のうち、前後の4つの電磁石26は浮上体12を引き上
げ、また浮上体12の前後方向のずれを補正するための
ものであり、中央部の2つの電磁石26は浮上体12の
左右方向のずれを補正するためのものである。
側に向けて6個の電磁石26が取り付けられている。こ
の電磁石26は、キャリア25の前側(図における右
側)の左右に1つずつ、後側の左右に1つずつ、前後の
中央部の左右に1つずつ、それぞれ配置されている。こ
のうち、前後の4つの電磁石26は浮上体12を引き上
げ、また浮上体12の前後方向のずれを補正するための
ものであり、中央部の2つの電磁石26は浮上体12の
左右方向のずれを補正するためのものである。
【0017】また、前側の2個の電磁石26には、永久
磁石27が組み込まれている。この永久磁石27は電磁
石26の負担を軽減するために設けられている。すなわ
ち、前側の電磁石26の位置で最大吸引力が必要とな
り、永久磁石27がないと最大吸引力を出すために電流
を上げなければならないが、そうすると発熱量および消
費電流が増加してしまう。そこで、発熱量と消費電流を
低減するため、永久磁石27を設けている。
磁石27が組み込まれている。この永久磁石27は電磁
石26の負担を軽減するために設けられている。すなわ
ち、前側の電磁石26の位置で最大吸引力が必要とな
り、永久磁石27がないと最大吸引力を出すために電流
を上げなければならないが、そうすると発熱量および消
費電流が増加してしまう。そこで、発熱量と消費電流を
低減するため、永久磁石27を設けている。
【0018】また、各電磁石26の近傍にはホール素子
からなる位置センサ28が配設されている。図3に示す
ように、浮上体12には、キャリア25の各電磁石26
に対向する位置にそれぞれ強磁性材よりなるターゲット
29が配設されている。また、浮上体12には、キャリ
ア25の位置センサ28に対向する位置にそれぞれセン
サターゲット30が配設されている。位置センサ28
は、このセンサターゲット30との間の距離を検出する
ことによって、浮上体12の絶対位置を検出するように
なっている。
からなる位置センサ28が配設されている。図3に示す
ように、浮上体12には、キャリア25の各電磁石26
に対向する位置にそれぞれ強磁性材よりなるターゲット
29が配設されている。また、浮上体12には、キャリ
ア25の位置センサ28に対向する位置にそれぞれセン
サターゲット30が配設されている。位置センサ28
は、このセンサターゲット30との間の距離を検出する
ことによって、浮上体12の絶対位置を検出するように
なっている。
【0019】次に本実施例の搬送装置10の動作につい
て説明する。まず、キャリア25の電磁石26に励磁電
流を供給し、この電磁石26と浮上体12のターゲット
29との間に磁気的吸引力を発生させて、浮上体12を
磁気浮上させる。また、位置センサ28によって浮上体
12の位置を検出し、この検出値によって電磁石26の
励磁電流をフィードバック制御することによって、浮上
体12を、薄板11aに接触しない所定の位置に保持す
る。
て説明する。まず、キャリア25の電磁石26に励磁電
流を供給し、この電磁石26と浮上体12のターゲット
29との間に磁気的吸引力を発生させて、浮上体12を
磁気浮上させる。また、位置センサ28によって浮上体
12の位置を検出し、この検出値によって電磁石26の
励磁電流をフィードバック制御することによって、浮上
体12を、薄板11aに接触しない所定の位置に保持す
る。
【0020】アーム15を前後動させる場合は、モータ
20によってボールねじ19を回転させ、キャリア25
を前後動させる。これにより、キャリア25の移動に伴
って浮上体12およびアーム15が前後動する。また、
アーム15を回転させる場合は、モータ17によってボ
ールねじ支持部材18を回転させ、キャリア25を回転
させる。これにより、キャリア25の回転に伴って浮上
体12およびアーム15が回転する。
20によってボールねじ19を回転させ、キャリア25
を前後動させる。これにより、キャリア25の移動に伴
って浮上体12およびアーム15が前後動する。また、
アーム15を回転させる場合は、モータ17によってボ
ールねじ支持部材18を回転させ、キャリア25を回転
させる。これにより、キャリア25の回転に伴って浮上
体12およびアーム15が回転する。
【0021】また、アーム15の先端のサーバ14を上
下動させる場合は、位置センサ28の検出値に基づいて
複数の電磁石26の励磁電流を制御して、前側の電磁石
26とターゲット29との間の距離と、後側の電磁石2
6とターゲット29との間の距離とを変えることによっ
て、浮上体12を傾け、アーム15を上下方向に首振り
動作をさせる。これにより、サーバ14が上下方向に移
動し、半導体ウエハ等の被搬送物13を他の支持台へ受
け渡すことが可能となる。
下動させる場合は、位置センサ28の検出値に基づいて
複数の電磁石26の励磁電流を制御して、前側の電磁石
26とターゲット29との間の距離と、後側の電磁石2
6とターゲット29との間の距離とを変えることによっ
て、浮上体12を傾け、アーム15を上下方向に首振り
動作をさせる。これにより、サーバ14が上下方向に移
動し、半導体ウエハ等の被搬送物13を他の支持台へ受
け渡すことが可能となる。
【0022】本実施例では、浮上体12を浮上させるた
めの電磁石部や浮上体12を移動させるための駆動部を
真空容器11の外側に設けたので、真空容器11の容積
を、図5に示す従来例に比べて1/10程度に小さくす
ることができる。これにより、真空容器11内の到達真
空度を向上でき、排気時間を短くでき、また、フロアス
ペースを少なくすることができる。
めの電磁石部や浮上体12を移動させるための駆動部を
真空容器11の外側に設けたので、真空容器11の容積
を、図5に示す従来例に比べて1/10程度に小さくす
ることができる。これにより、真空容器11内の到達真
空度を向上でき、排気時間を短くでき、また、フロアス
ペースを少なくすることができる。
【0023】また、本実施例では、ベローズや磁性流体
シールのような発塵および放出ガスの原因となるシール
材を用いていないので、発塵および放出ガスをなくすこ
とができる。また、真空容器11の容積が小さいことお
よび高価なシール材を用いていないことから、搬送装置
の価格を下げることができる。
シールのような発塵および放出ガスの原因となるシール
材を用いていないので、発塵および放出ガスをなくすこ
とができる。また、真空容器11の容積が小さいことお
よび高価なシール材を用いていないことから、搬送装置
の価格を下げることができる。
【0024】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、浮
上体を浮上させるための電磁石や浮上体を移動させるた
めの軸方向移動手段、回転方向移動手段および上下方向
移動手段を真空容器の外側に設けたので、真空容器の容
積を小さくできると共に、発塵および放出ガスの原因と
なり、また高価なシール材が不要になるという効果があ
る。
上体を浮上させるための電磁石や浮上体を移動させるた
めの軸方向移動手段、回転方向移動手段および上下方向
移動手段を真空容器の外側に設けたので、真空容器の容
積を小さくできると共に、発塵および放出ガスの原因と
なり、また高価なシール材が不要になるという効果があ
る。
【図1】本発明の一実施例の搬送装置を示す断面図であ
る。
る。
【図2】図1の搬送装置における電磁石部及び駆動部を
下側から見た平面図である。
下側から見た平面図である。
【図3】図1の搬送装置における浮上体およびアームを
示す平面図である。
示す平面図である。
【図4】図1の搬送装置とその周囲の処理室等の配置を
示す説明図である。
示す説明図である。
【図5】従来の搬送装置を示す断面図である。
10 搬送装置 11 真空容器 12 浮上体 13 被搬送物 14 サーバ 15 アーム 17 モータ 19 ボールねじ 20 モータ 25 キャリア 26 電磁石 28 位置センサ
Claims (1)
- 【請求項1】 内部が真空状態にされる真空容器と、 この真空容器内に収納され、磁気的吸引力によって浮上
する浮上体と、 一端が前記浮上体に固定され、他端に被搬送物を載置す
る載置部を有するアームと、 前記真空容器の外側に設けられ、前記浮上体を浮上させ
るための電磁石を有するキャリアと、 このキャリアを前記アームの軸方向に沿って移動させる
ことによって前記浮上体およびアームを軸方向に移動さ
せる軸方向移動手段と、 前記キャリアを回転させることによって前記浮上体およ
びアームを回転させる回転方向移動手段と、 前記電磁石を制御して前記浮上体を傾斜させることによ
って前記載置部を上下動させる上下方向移動手段とを具
備することを特徴とする搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25589293A JP3414449B2 (ja) | 1993-10-13 | 1993-10-13 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP25589293A JP3414449B2 (ja) | 1993-10-13 | 1993-10-13 | 搬送装置 |
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JPH07109024A true JPH07109024A (ja) | 1995-04-25 |
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Family
ID=17285023
Family Applications (1)
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JP25589293A Expired - Fee Related JP3414449B2 (ja) | 1993-10-13 | 1993-10-13 | 搬送装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP3414449B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008028179A (ja) * | 2006-07-21 | 2008-02-07 | Yaskawa Electric Corp | 搬送機構およびそれを備えた処理装置 |
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-
1993
- 1993-10-13 JP JP25589293A patent/JP3414449B2/ja not_active Expired - Fee Related
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US8337621B2 (en) | 2006-11-29 | 2012-12-25 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus |
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