JPH0697259A - ウェハ移送機構 - Google Patents
ウェハ移送機構Info
- Publication number
- JPH0697259A JPH0697259A JP24318992A JP24318992A JPH0697259A JP H0697259 A JPH0697259 A JP H0697259A JP 24318992 A JP24318992 A JP 24318992A JP 24318992 A JP24318992 A JP 24318992A JP H0697259 A JPH0697259 A JP H0697259A
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- JP
- Japan
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- wafer
- motor
- transfer mechanism
- cassette
- arm
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 異なった大きさの半導体ウェハ又は、該ウェ
ハを収容したカセットを適切な把持力で把持し、さら
に、前記ウェハ又は、前記カセットの大きさを自動検出
してウェハを移送する。 【構成】 駆動源となるモータ１と、該モータ１の回転
軸に取り付けられ、該回転軸の回転角度を検出するロー
タリーエンコーダ２と前記回転軸から伝達される回転運
動をボールねじ５へ伝達する中間軸３と、中間軸３のト
ルクを検出するために該中間軸３に取り付けられたトル
クセンサ４と、半導体ウェハ８を把持するアーム６と把
持部７とにより構成されるウェハ移送機構とする。
ハを収容したカセットを適切な把持力で把持し、さら
に、前記ウェハ又は、前記カセットの大きさを自動検出
してウェハを移送する。 【構成】 駆動源となるモータ１と、該モータ１の回転
軸に取り付けられ、該回転軸の回転角度を検出するロー
タリーエンコーダ２と前記回転軸から伝達される回転運
動をボールねじ５へ伝達する中間軸３と、中間軸３のト
ルクを検出するために該中間軸３に取り付けられたトル
クセンサ４と、半導体ウェハ８を把持するアーム６と把
持部７とにより構成されるウェハ移送機構とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、熱処理や洗浄時におけ
る半導体ウェハ（以下、単にウェハと略す）又は、該ウ
ェハを収容するカセットを移送する技術に関するもので
ある。
る半導体ウェハ（以下、単にウェハと略す）又は、該ウ
ェハを収容するカセットを移送する技術に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来、ウェハの熱処理やカセットレス洗
浄において、ウェハの移し換えが行われているが、ウェ
ハの洗浄装置や移し換え装置の機構は、ウェハのある一
種類の大きさの専用装置であったり、異なった種々の大
きさに対応されているとしても外部からのウェハの大き
さ等に関する多量の情報を入力する必要があり、操作性
においても非常に面倒であるという問題があった。
浄において、ウェハの移し換えが行われているが、ウェ
ハの洗浄装置や移し換え装置の機構は、ウェハのある一
種類の大きさの専用装置であったり、異なった種々の大
きさに対応されているとしても外部からのウェハの大き
さ等に関する多量の情報を入力する必要があり、操作性
においても非常に面倒であるという問題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前述した技
術において、ウェハの大きさ等に関する情報の入力ミス
が把持ミスやウェハ破損を起こすという問題点があり、
ウェハの大きさを装置自身で自動検出するというもので
なく、ウェハに対しての把持力も適切と言えるものでは
なかった。
術において、ウェハの大きさ等に関する情報の入力ミス
が把持ミスやウェハ破損を起こすという問題点があり、
ウェハの大きさを装置自身で自動検出するというもので
なく、ウェハに対しての把持力も適切と言えるものでは
なかった。
【０００４】本発明の目的は、外部からのウェハの大き
さ等に関する情報の入力をせずに、装置自身がウェハの
大きさを自動検出し、さらに適切な把持力によりウェハ
を把持して移送するウェハ移送機構を提供することにあ
る。
さ等に関する情報の入力をせずに、装置自身がウェハの
大きさを自動検出し、さらに適切な把持力によりウェハ
を把持して移送するウェハ移送機構を提供することにあ
る。
【０００５】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【０００７】すなわち、装置の駆動軸にロータリーエン
コーダを取り付け、動力伝達軸にトルクセンサを取り付
けることにより、ロータリーエンコーダからはウェハ又
はウェハが収容されたカセットの大きさを自動検出し、
トルクセンサからはウェハ又はウェハが収容されたカセ
ットを把持する把持力を検出することが可能となる。
コーダを取り付け、動力伝達軸にトルクセンサを取り付
けることにより、ロータリーエンコーダからはウェハ又
はウェハが収容されたカセットの大きさを自動検出し、
トルクセンサからはウェハ又はウェハが収容されたカセ
ットを把持する把持力を検出することが可能となる。
【０００８】
【作用】ウェハ又は、前記ウェハを収容するカセットを
最適な把持力で把持することにより、ウェハの破損を防
止することができる。また、ウェハの大きさを自動で検
出することが可能となる。
最適な把持力で把持することにより、ウェハの破損を防
止することができる。また、ウェハの大きさを自動で検
出することが可能となる。
【０００９】
【実施例１】図１は本発明の一実施例であるウェハ移送
機構を示す構成図である。
機構を示す構成図である。
【００１０】本実施例によるウェハ移送機構は、駆動源
となるモータ１と、該モータ１の回転軸に取り付けら
れ、該回転軸の回転角度を検出するロータリーエンコー
ダ２と、前記回転軸から伝達される回転運動をボールね
じ５へ伝達する中間軸３と、さらに中間軸３のトルクを
検出するために中間軸３に取り付けられたトルクセンサ
４と、半導体ウェハ８を把持するアーム６と把持部７と
により構成されている。
となるモータ１と、該モータ１の回転軸に取り付けら
れ、該回転軸の回転角度を検出するロータリーエンコー
ダ２と、前記回転軸から伝達される回転運動をボールね
じ５へ伝達する中間軸３と、さらに中間軸３のトルクを
検出するために中間軸３に取り付けられたトルクセンサ
４と、半導体ウェハ８を把持するアーム６と把持部７と
により構成されている。
【００１１】図１において、ウェハ８又は、前記ウェハ
８が収容された図示しないカセットを把持する際の動作
について説明すると、駆動源であるモータ１の回転運動
はベルト１１を介し中間軸３へ伝達され、さらにボール
ねじ５へも伝達される。その後、ボールねじ５の回転運
動がアーム６の直線運動に変換され、アーム６の開閉に
伴って把持部７がウェハ８をつかんだり、離したりする
ことができる。
８が収容された図示しないカセットを把持する際の動作
について説明すると、駆動源であるモータ１の回転運動
はベルト１１を介し中間軸３へ伝達され、さらにボール
ねじ５へも伝達される。その後、ボールねじ５の回転運
動がアーム６の直線運動に変換され、アーム６の開閉に
伴って把持部７がウェハ８をつかんだり、離したりする
ことができる。
【００１２】前記アーム６が閉じていく時、ウェハ８と
把持部７が接触すると中間軸３に捩じれが発生する。前
記捩じれをトルクセンサ４によって検出し、前もって設
定された値（トルクの限界値）となったら、モータ１の
駆動は停止されるため適切な把持力によりウェハ８は把
持されることが可能となる。さらに、モータ１の回転軸
に取り付けられたロータリーエンコーダ２から検出され
る数値より、ウェハ８の大きさを認識することができる
ため、前もって用意されたウェハ８のデータと比較して
不一致となれば素早く装置が停止することが可能とな
る。
把持部７が接触すると中間軸３に捩じれが発生する。前
記捩じれをトルクセンサ４によって検出し、前もって設
定された値（トルクの限界値）となったら、モータ１の
駆動は停止されるため適切な把持力によりウェハ８は把
持されることが可能となる。さらに、モータ１の回転軸
に取り付けられたロータリーエンコーダ２から検出され
る数値より、ウェハ８の大きさを認識することができる
ため、前もって用意されたウェハ８のデータと比較して
不一致となれば素早く装置が停止することが可能とな
る。
【００１３】また、アーム６の把持部７がウェハ８を離
すときはモータ１の回転軸を逆回転させることにより、
アーム６を原点位置まで戻すことが可能となる。
すときはモータ１の回転軸を逆回転させることにより、
アーム６を原点位置まで戻すことが可能となる。
【００１４】図２に本発明の一実施例である制御フロー
チャートを示す。
チャートを示す。
【００１５】上記動作をフローチャートを用いて説明す
ると、スタート後まず、ステップ１０１においてアーム
６の把持部７がウェハ８をつかめた場合、モータ１の回
転軸は正回転をする。
ると、スタート後まず、ステップ１０１においてアーム
６の把持部７がウェハ８をつかめた場合、モータ１の回
転軸は正回転をする。
【００１６】ステップ１０１においてアーム６の把持部
７がウェハ８をつかめなかった場合、モータ１の回転軸
は逆回転をし、アーム６が原点位置に戻るまで本動作を
繰り返す。
７がウェハ８をつかめなかった場合、モータ１の回転軸
は逆回転をし、アーム６が原点位置に戻るまで本動作を
繰り返す。
【００１７】ステップ１０１においてアーム６がウェハ
８をつかめた後、モータ１の回転軸は正回転し、ステッ
プ１０２において中間軸３の捩じれが設定トルクの数値
と等しくなるまでモータ１の回転軸は正回転し続ける。
８をつかめた後、モータ１の回転軸は正回転し、ステッ
プ１０２において中間軸３の捩じれが設定トルクの数値
と等しくなるまでモータ１の回転軸は正回転し続ける。
【００１８】ステップ１０２において中間軸３の捩じれ
が設定トルクの数値と等しくなった後モータ１は停止
し、さらにステップ１０３においてロータリーエンコー
ダ２によってモータ１の回転軸の回転角度が検出される
ため、ステップ１０４において装置がウェハ８の大きさ
を判別し、ウェハ８のデータとロータリーエンコーダ２
から検出された大きさが不一致であれば直ちに装置は停
止される。
が設定トルクの数値と等しくなった後モータ１は停止
し、さらにステップ１０３においてロータリーエンコー
ダ２によってモータ１の回転軸の回転角度が検出される
ため、ステップ１０４において装置がウェハ８の大きさ
を判別し、ウェハ８のデータとロータリーエンコーダ２
から検出された大きさが不一致であれば直ちに装置は停
止される。
【００１９】
【実施例２】図３は、本発明の他の実施例のウェハ移送
機構を示す部分斜視図である。
機構を示す部分斜視図である。
【００２０】本実施例では、図１に示したウェハ８を把
持する際の把持力の検出にトルクセンサ４を用いるので
はなく、ウェハ８を把持する把持部７に感圧センサ９を
設けたことを特徴としている。
持する際の把持力の検出にトルクセンサ４を用いるので
はなく、ウェハ８を把持する把持部７に感圧センサ９を
設けたことを特徴としている。
【００２１】つまり、アーム６の把持部７がウェハ８を
つかもうとして閉じていき、把持部７に設けられた感圧
センサ９がウェハ８に接触することで圧力を感知し、モ
ータ１の駆動が停止されるため、適切な把持力によりウ
ェハ８は把持されることが可能となる。
つかもうとして閉じていき、把持部７に設けられた感圧
センサ９がウェハ８に接触することで圧力を感知し、モ
ータ１の駆動が停止されるため、適切な把持力によりウ
ェハ８は把持されることが可能となる。
【００２２】さらに、実施例１で述べたのと同様に、モ
ータ１の回転軸に取り付けられたロータリーエンコーダ
２から検出される数値より、ウェハ８の大きさを認識す
ることができるため、前もって用意されたウェハ８のデ
ータと比較して不一致となれば素早く装置が停止するこ
とが可能となる。
ータ１の回転軸に取り付けられたロータリーエンコーダ
２から検出される数値より、ウェハ８の大きさを認識す
ることができるため、前もって用意されたウェハ８のデ
ータと比較して不一致となれば素早く装置が停止するこ
とが可能となる。
【００２３】また、アーム６の把持部７がウェハ８を離
すときはモータ１の回転軸を逆回転させることにより、
アーム６を原点位置まで戻すことが可能となる。
すときはモータ１の回転軸を逆回転させることにより、
アーム６を原点位置まで戻すことが可能となる。
【００２４】
【実施例３】図４は、本発明の他の実施例のウェハ移送
機構を示す部分斜視図である。
機構を示す部分斜視図である。
【００２５】本実施例では、図１に示したウェハ８を把
持する際の把持力の検出のために、アーム６に歪ゲージ
１０を設けたことを特徴としている。
持する際の把持力の検出のために、アーム６に歪ゲージ
１０を設けたことを特徴としている。
【００２６】つまり、アーム６の把持部７がウェハ８を
つかもうとして閉じていき、つかみ始めてから発生する
歪ゲージ１０の変形量が、ある設定された変形量に達し
た時点でモータ１の駆動が停止されるため、適切な把持
力によりウェハ８は把持されることが可能となる。
つかもうとして閉じていき、つかみ始めてから発生する
歪ゲージ１０の変形量が、ある設定された変形量に達し
た時点でモータ１の駆動が停止されるため、適切な把持
力によりウェハ８は把持されることが可能となる。
【００２７】さらに、実施例１で述べたのと同様に、モ
ータ１の回転軸に取り付けられたロータリーエンコーダ
２から検出される数値より、ウェハ８の大きさを認識す
ることができるため、前もって用意されたウェハ８のデ
ータと比較して不一致となれば素早く装置が停止するこ
とが可能となる。
ータ１の回転軸に取り付けられたロータリーエンコーダ
２から検出される数値より、ウェハ８の大きさを認識す
ることができるため、前もって用意されたウェハ８のデ
ータと比較して不一致となれば素早く装置が停止するこ
とが可能となる。
【００２８】また、アーム６の把持部７がウェハ８を離
すときはモータ１の回転軸を逆回転させることにより、
アーム６を原点位置まで戻すことが可能となる。
すときはモータ１の回転軸を逆回転させることにより、
アーム６を原点位置まで戻すことが可能となる。
【００２９】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。
【００３０】例えば、ウェハに限らず、他の異なった大
きさの高脆性材を把持する必要のある運搬装置等は全て
含まれる。
きさの高脆性材を把持する必要のある運搬装置等は全て
含まれる。
【００３１】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
【００３２】（１).ウェハの大きさを自動検出すること
により、異なった大きさのウェハを混流させて自動洗浄
することが可能である。
により、異なった大きさのウェハを混流させて自動洗浄
することが可能である。
【００３３】（２).ウェハを最適な力で把持できるた
め、脆性材料であるウェハを直に把持することが可能と
なる。
め、脆性材料であるウェハを直に把持することが可能と
なる。
【００３４】（３).ウェハが収容されるカセットを使用
せずに済むため、洗浄装置においては洗浄効果を高める
ことが可能となる。
せずに済むため、洗浄装置においては洗浄効果を高める
ことが可能となる。
【図１】本発明の一実施例であるウェハ移送機構を示す
構成図である。
構成図である。
【図２】本発明の一実施例である制御フローチャートで
ある。
ある。
【図３】本発明の実施例２によるウェハ移送機構を示す
部分斜視図である。
部分斜視図である。
【図４】本発明の実施例３によるウェハ移送機構を示す
部分斜視図である。
部分斜視図である。
１ モータ ２ ロータリーエンコーダ ３ 中間軸 ４ トルクセンサ ５ ボールねじ ６ アーム ７ 把持部 ８ 半導体ウェハ ９ 感圧センサ １０ 歪ゲージ １１ ベルト
Claims (3)
- 【請求項１】 一枚あるいは複数枚のウェハを直に又
は、カセットに収容した状態で把持して移送する機構に
おいて、トルクセンサを設けることにより前記ウェハ又
は、前記ウェハが収容されたカセットを適切な力で把持
し、また、ロータリーエンコーダを設けることにより、
前記ウェハ又は、前記カセットの大きさを識別すること
を可能とするウェハ移送機構。 - 【請求項２】 前記トルクセンサの代わりに感圧センサ
を設け、前記ウェハ又は、前記カセットと把持部との接
触部に該感圧センサが取り付けられた請求項１記載のウ
ェハ移送機構。 - 【請求項３】 前記トルクセンサの代わりに歪ゲージを
設け、前記ウェハ又は、前記カセットを把持するアーム
に該歪ゲージが取り付けられた請求項１記載のウェハ移
送機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24318992A JPH0697259A (ja) | 1992-09-11 | 1992-09-11 | ウェハ移送機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24318992A JPH0697259A (ja) | 1992-09-11 | 1992-09-11 | ウェハ移送機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0697259A true JPH0697259A (ja) | 1994-04-08 |
Family
ID=17100156
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24318992A Pending JPH0697259A (ja) | 1992-09-11 | 1992-09-11 | ウェハ移送機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0697259A (ja) |
Cited By (17)
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1992
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