JPH0678413A - 磁気浮上搬送装置 - Google Patents
磁気浮上搬送装置Info
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- JPH0678413A JPH0678413A JP5143660A JP14366093A JPH0678413A JP H0678413 A JPH0678413 A JP H0678413A JP 5143660 A JP5143660 A JP 5143660A JP 14366093 A JP14366093 A JP 14366093A JP H0678413 A JPH0678413 A JP H0678413A
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60L—PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
- B60L13/00—Electric propulsion for monorail vehicles, suspension vehicles or rack railways; Magnetic suspension or levitation for vehicles
- B60L13/04—Magnetic suspension or levitation for vehicles
- B60L13/06—Means to sense or control vehicle position or attitude with respect to railway
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67709—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using magnetic elements
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60L—PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
- B60L2200/00—Type of vehicles
- B60L2200/26—Rail vehicles
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
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- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は磁気浮上搬送装置に関し、レールの
継ぎ目を通過するとき、及び走行方向の如何にかかわら
ず安定して搬送台車が走行できる磁気浮上搬送装置を実
現することを目的とする。 【構成】 レール11a、11bに沿って走行可能な搬
送台車12と、浮上用磁石15a〜15dと、該搬送台
車と該レールとの間のギャップを検出するギャップ検出
手段16a〜16dと、該レールの隣接するレールエレ
メント間の継ぎ目を検出する継ぎ目検出手段16a〜1
6dと、該ギャップ検出手段の出力に応じて該浮上用磁
石へ供給する電流を制御するとともに、該継ぎ目検出手
段によりレールの継ぎ目が検出されたときに該ギャップ
検出手段の出力を無効にし且つ該継ぎ目検出手段により
レールの継ぎ目が検出されないときに該ギャップ検出手
段の出力を有効にする制御手段20とを備えた構成す
る。
継ぎ目を通過するとき、及び走行方向の如何にかかわら
ず安定して搬送台車が走行できる磁気浮上搬送装置を実
現することを目的とする。 【構成】 レール11a、11bに沿って走行可能な搬
送台車12と、浮上用磁石15a〜15dと、該搬送台
車と該レールとの間のギャップを検出するギャップ検出
手段16a〜16dと、該レールの隣接するレールエレ
メント間の継ぎ目を検出する継ぎ目検出手段16a〜1
6dと、該ギャップ検出手段の出力に応じて該浮上用磁
石へ供給する電流を制御するとともに、該継ぎ目検出手
段によりレールの継ぎ目が検出されたときに該ギャップ
検出手段の出力を無効にし且つ該継ぎ目検出手段により
レールの継ぎ目が検出されないときに該ギャップ検出手
段の出力を有効にする制御手段20とを備えた構成す
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はレールの継ぎ目を安定し
て走行できるようにした磁気浮上搬送装置に関する。
て走行できるようにした磁気浮上搬送装置に関する。
【0002】昨今の半導体産業に於いては、ウエハの処
理工程においてウエハをできるだけ塵が付着しないよう
に自動搬送することが多くなっている。リニアモーター
カーのような磁気浮上搬送装置は、搬送台車とレールと
の間で摩擦による塵の発生がなく、且つウエハを高速で
安定して搬送することができるので、ウエハの自動搬送
装置として適している。
理工程においてウエハをできるだけ塵が付着しないよう
に自動搬送することが多くなっている。リニアモーター
カーのような磁気浮上搬送装置は、搬送台車とレールと
の間で摩擦による塵の発生がなく、且つウエハを高速で
安定して搬送することができるので、ウエハの自動搬送
装置として適している。
【0003】
【従来の技術】磁気浮上搬送装置は、所定の経路で設け
られたレールに対して一定のギャップで浮上しつつ走行
する搬送台車を含む。搬送台車はレールに対してリニア
モーターにより駆動され、且つ浮上用コイルにより磁気
的に浮上せしめられる。浮上用コイルは搬送台車に取り
付けられている。さらに、搬送台車にはギャップセンサ
が取り付けられ、搬送台車とレールとの間のギャップを
一定に保つように浮上用磁石に電流を供給するようにな
っている。例えば四個の浮上用磁石が搬送台車に取り付
けられている場合には、ギャップセンサは各浮上用磁石
の中心に取り付けられ、ギャップセンサと搬送台車との
間のギャップが、浮上用磁石と搬送台車との間のギャッ
プに一致するようになっている。
られたレールに対して一定のギャップで浮上しつつ走行
する搬送台車を含む。搬送台車はレールに対してリニア
モーターにより駆動され、且つ浮上用コイルにより磁気
的に浮上せしめられる。浮上用コイルは搬送台車に取り
付けられている。さらに、搬送台車にはギャップセンサ
が取り付けられ、搬送台車とレールとの間のギャップを
一定に保つように浮上用磁石に電流を供給するようにな
っている。例えば四個の浮上用磁石が搬送台車に取り付
けられている場合には、ギャップセンサは各浮上用磁石
の中心に取り付けられ、ギャップセンサと搬送台車との
間のギャップが、浮上用磁石と搬送台車との間のギャッ
プに一致するようになっている。
【0004】レールは通常複数個の所定の長さのレール
エレメントを順次に接続してなり、隣接するレールエレ
メントの間には継ぎ目がある。この継ぎ目はレールエレ
メントを溶接等により接合したものではなく、単に前後
のレールエレメントの端部を隙間をあけて対向させてい
るだけであり、よってレールの継ぎ目はレールの不連続
部となっている。
エレメントを順次に接続してなり、隣接するレールエレ
メントの間には継ぎ目がある。この継ぎ目はレールエレ
メントを溶接等により接合したものではなく、単に前後
のレールエレメントの端部を隙間をあけて対向させてい
るだけであり、よってレールの継ぎ目はレールの不連続
部となっている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の磁気浮上搬
送装置では、ギャップセンサがレールの継ぎ目に差し掛
かると、ギャップセンサの出力は浮上用磁石と搬送台車
との間の実際のギャップよりも大きな値になるという問
題点があった。このため、レールの継ぎ目を検出してい
るギャップセンサと関連する浮上用磁石には大きな電流
が流れるようになり、搬送台車の姿勢がくずれ、そして
浮上用磁石への供給電流は継ぎ目を通過した後で急激に
通常の電流値に戻るため、搬送台車の姿勢に振動が発生
することがある。
送装置では、ギャップセンサがレールの継ぎ目に差し掛
かると、ギャップセンサの出力は浮上用磁石と搬送台車
との間の実際のギャップよりも大きな値になるという問
題点があった。このため、レールの継ぎ目を検出してい
るギャップセンサと関連する浮上用磁石には大きな電流
が流れるようになり、搬送台車の姿勢がくずれ、そして
浮上用磁石への供給電流は継ぎ目を通過した後で急激に
通常の電流値に戻るため、搬送台車の姿勢に振動が発生
することがある。
【0006】このような問題点はレールの継ぎ目を無く
すことにより解決できるが、レールの継ぎ目を無くすこ
とは、レールのシビアな加工精度、誤差を埋める為の調
整用レールが必要となり、工場でのレールの設置、接続
が非常に難しいという問題点がある。また、搬送台車が
レールの継ぎ目を通過するに、浮上用コイルに供給する
電流が大きくなると、電池の消耗が早くなり、充電時間
を長くしなければならず、稼動率を低下させるといった
問題が生じていた。
すことにより解決できるが、レールの継ぎ目を無くすこ
とは、レールのシビアな加工精度、誤差を埋める為の調
整用レールが必要となり、工場でのレールの設置、接続
が非常に難しいという問題点がある。また、搬送台車が
レールの継ぎ目を通過するに、浮上用コイルに供給する
電流が大きくなると、電池の消耗が早くなり、充電時間
を長くしなければならず、稼動率を低下させるといった
問題が生じていた。
【0007】また、浮上用磁石はレールの幅と対応する
幅を有し、自動調心作用を行うようになっている。すな
わち、搬送台車に横方向の外力がかかって浮上用磁石が
レールから横にそれた場合に、浮上用磁石とレールとの
間の磁気吸引力により自動的に浮上用磁石がレールの真
下に戻り、搬送台車が正しくレールに沿って走行できる
ようになっている。
幅を有し、自動調心作用を行うようになっている。すな
わち、搬送台車に横方向の外力がかかって浮上用磁石が
レールから横にそれた場合に、浮上用磁石とレールとの
間の磁気吸引力により自動的に浮上用磁石がレールの真
下に戻り、搬送台車が正しくレールに沿って走行できる
ようになっている。
【0008】しかし、浮上用磁石は正方形断面形状では
なく、矩形断面形状をしているのが好ましく、そして搬
送台車が、一定の向きのままで、交差するレールを走行
するようにした場合には、自動調心作用が異なる。すな
わち、搬送台車が交差するレールの第1のレール部分に
沿って走行し、浮上用磁石の長辺が第1のレール部分に
垂直に向いている場合と、搬送台車が交差するレールの
第1のレール部分と垂直な第2のレール部分に沿って走
行し、浮上用磁石の短辺が第2のレール部分に垂直に向
いている場合場合とを考えると、前者の場合に上記自動
調心作用があとすると、後者の場合には浮上用磁石の幅
とレールの幅とが対応しないので、前者と同じような自
動調心作用が得られない。また、浮上用磁石を正方形断
面形状にすると、浮上用磁石が全体的に大きくなり、搬
送台車の重量が重くなる。
なく、矩形断面形状をしているのが好ましく、そして搬
送台車が、一定の向きのままで、交差するレールを走行
するようにした場合には、自動調心作用が異なる。すな
わち、搬送台車が交差するレールの第1のレール部分に
沿って走行し、浮上用磁石の長辺が第1のレール部分に
垂直に向いている場合と、搬送台車が交差するレールの
第1のレール部分と垂直な第2のレール部分に沿って走
行し、浮上用磁石の短辺が第2のレール部分に垂直に向
いている場合場合とを考えると、前者の場合に上記自動
調心作用があとすると、後者の場合には浮上用磁石の幅
とレールの幅とが対応しないので、前者と同じような自
動調心作用が得られない。また、浮上用磁石を正方形断
面形状にすると、浮上用磁石が全体的に大きくなり、搬
送台車の重量が重くなる。
【0009】本発明の目的は、レールの継ぎ目を通過す
るとき、及び走行方向の如何にかかわらず安定して搬送
台車が走行できるようにした磁気浮上搬送装置を提供す
ることである。
るとき、及び走行方向の如何にかかわらず安定して搬送
台車が走行できるようにした磁気浮上搬送装置を提供す
ることである。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明による磁気浮上搬
送装置は、複数個のレールエレメントを順次に接続して
なる固定のレール11a、11bと、該レールに沿って
走行可能な搬送台車12と、該搬送台車を該レールに対
して磁気的に浮上させて支持するために該搬送台車に設
けられた少なくとも1つの浮上用磁石15a〜15d
と、該搬送台車と該レールとの間のギャップを検出する
ギャップ検出手段16a〜16dと、該レールの隣接す
るレールエレメント間の継ぎ目を検出する継ぎ目検出手
段16a〜16d、56a〜56dと、該ギャップ検出
手段の出力に応じて該浮上用磁石へ供給する電流を制御
するとともに、該継ぎ目検出手段によりレールの継ぎ目
が検出されたときに該ギャップ検出手段の出力を無効に
し且つ該継ぎ目検出手段によりレールの継ぎ目が検出さ
れないときに該ギャップ検出手段の出力を有効にする制
御手段20とを備えたことを特徴とする。
送装置は、複数個のレールエレメントを順次に接続して
なる固定のレール11a、11bと、該レールに沿って
走行可能な搬送台車12と、該搬送台車を該レールに対
して磁気的に浮上させて支持するために該搬送台車に設
けられた少なくとも1つの浮上用磁石15a〜15d
と、該搬送台車と該レールとの間のギャップを検出する
ギャップ検出手段16a〜16dと、該レールの隣接す
るレールエレメント間の継ぎ目を検出する継ぎ目検出手
段16a〜16d、56a〜56dと、該ギャップ検出
手段の出力に応じて該浮上用磁石へ供給する電流を制御
するとともに、該継ぎ目検出手段によりレールの継ぎ目
が検出されたときに該ギャップ検出手段の出力を無効に
し且つ該継ぎ目検出手段によりレールの継ぎ目が検出さ
れないときに該ギャップ検出手段の出力を有効にする制
御手段20とを備えたことを特徴とする。
【0011】この場合、該浮上用磁石が永久磁石と電磁
石との組み合わせからなり、また、該永久磁石及び電磁
石が、該永久磁石が中央にあって2個の該電磁石が該永
久磁石の両側に立ったU字形に配置される構成にすると
好ましい。好ましい態様においては、4個の浮上用磁石
が四角形を形成するように該搬送台車に配置され、ギャ
ップ検出手段がそれぞれ該浮上用磁石の上又はその近傍
に配置される。
石との組み合わせからなり、また、該永久磁石及び電磁
石が、該永久磁石が中央にあって2個の該電磁石が該永
久磁石の両側に立ったU字形に配置される構成にすると
好ましい。好ましい態様においては、4個の浮上用磁石
が四角形を形成するように該搬送台車に配置され、ギャ
ップ検出手段がそれぞれ該浮上用磁石の上又はその近傍
に配置される。
【0012】この場合の好ましい態様の一つは、該4個
の浮上用磁石(15)が形成する四角形が、不平行四辺
形であり、且つ向かい合う二辺が該搬送台車(12)の
長手及び横中心線に関してそれぞれ対称になるように形
成されていることである。この場合の好ましい態様のも
う一つは、該4個の浮上用磁石(15)の形成する四角
形の向かい合う二辺が該搬送台車(12)の長手及び横
中心線にそれぞれ平行になるように形成され、そして、
該搬送台車の長手中心線は該レールと平行であり、該4
個の浮上用磁石(15)が形成する四角形のうちの向か
い合う第1及び第2の辺は該長手中心線の両側にあり、
該第1の辺の上にある2組の該ギャップ検出手段及び該
継ぎ目検出手段は関連する浮上用磁石(15)よりも一
定の進行方向で見て前方にあり、該第2の辺の上にある
2組の該ギャップ検出手段及び該継ぎ目検出手段は関連
する浮上用磁石(15)よりも該一定の進行方向で見て
後方にあるように形成されていることである。
の浮上用磁石(15)が形成する四角形が、不平行四辺
形であり、且つ向かい合う二辺が該搬送台車(12)の
長手及び横中心線に関してそれぞれ対称になるように形
成されていることである。この場合の好ましい態様のも
う一つは、該4個の浮上用磁石(15)の形成する四角
形の向かい合う二辺が該搬送台車(12)の長手及び横
中心線にそれぞれ平行になるように形成され、そして、
該搬送台車の長手中心線は該レールと平行であり、該4
個の浮上用磁石(15)が形成する四角形のうちの向か
い合う第1及び第2の辺は該長手中心線の両側にあり、
該第1の辺の上にある2組の該ギャップ検出手段及び該
継ぎ目検出手段は関連する浮上用磁石(15)よりも一
定の進行方向で見て前方にあり、該第2の辺の上にある
2組の該ギャップ検出手段及び該継ぎ目検出手段は関連
する浮上用磁石(15)よりも該一定の進行方向で見て
後方にあるように形成されていることである。
【0013】
【作用】本発明では、搬送台車と該レールとの間のギャ
ップを検出するギャップ検出手段と、レールの隣接する
レールエレメント間の継ぎ目を検出する継ぎ目検出手段
とを設け、該ギャップ検出手段の出力に応じて該浮上用
磁石へ供給する電流を制御するとともに、該継ぎ目検出
手段によりレールの継ぎ目が検出されたときに該ギャッ
プ検出手段の出力を無効にし且つ該継ぎ目検出手段によ
りレールの継ぎ目が検出されないときに該ギャップ検出
手段の出力を有効にするようにしたので、レールの継ぎ
目においては、ギャップ検出手段の出力のままに浮上用
磁石へ供給する電流を増大することがなくなり、搬送台
車の姿勢がくずれるのがなくなり、電池の消耗も押さえ
られる。
ップを検出するギャップ検出手段と、レールの隣接する
レールエレメント間の継ぎ目を検出する継ぎ目検出手段
とを設け、該ギャップ検出手段の出力に応じて該浮上用
磁石へ供給する電流を制御するとともに、該継ぎ目検出
手段によりレールの継ぎ目が検出されたときに該ギャッ
プ検出手段の出力を無効にし且つ該継ぎ目検出手段によ
りレールの継ぎ目が検出されないときに該ギャップ検出
手段の出力を有効にするようにしたので、レールの継ぎ
目においては、ギャップ検出手段の出力のままに浮上用
磁石へ供給する電流を増大することがなくなり、搬送台
車の姿勢がくずれるのがなくなり、電池の消耗も押さえ
られる。
【0014】なお、継ぎ目検出手段によりレールの継ぎ
目が検出されたときに該ギャップ検出手段の出力を無効
にしたときには、(a)関連する浮上用磁石への電流供
給を停止するか、あるいは(b)3個のギャップ検出手
段からの出力により残りの1個のギャップ検出手段のギ
ャップを推定するようにすることができる。
目が検出されたときに該ギャップ検出手段の出力を無効
にしたときには、(a)関連する浮上用磁石への電流供
給を停止するか、あるいは(b)3個のギャップ検出手
段からの出力により残りの1個のギャップ検出手段のギ
ャップを推定するようにすることができる。
【0015】また、浮上用磁石はその中心のまわりで回
転可能に構成されていると、搬送台車が、一定の向きの
ままで、交差するレールを走行する場合にも、同じよう
な自動調心作用が得られる。
転可能に構成されていると、搬送台車が、一定の向きの
ままで、交差するレールを走行する場合にも、同じよう
な自動調心作用が得られる。
【0016】
【実施例】図1から図10は本発明の第1実施例を示す
図である。図1及び図2に示されるように、本発明によ
る磁気浮上搬送装置は、天井10から吊り下げられた磁
性体からなる平行な2本のレール11a、11bと、レ
ール11a、11bに沿ってこのレールに無接触で走行
する搬送台車12とからなる。リニアモータの一次巻線
50がレール11a、11bの間において天井10に取
り付けられ、二次導体51が搬送台車12の中央部に設
けられる。よって、搬送台車12はレール11a、11
bに沿って走行可能である。
図である。図1及び図2に示されるように、本発明によ
る磁気浮上搬送装置は、天井10から吊り下げられた磁
性体からなる平行な2本のレール11a、11bと、レ
ール11a、11bに沿ってこのレールに無接触で走行
する搬送台車12とからなる。リニアモータの一次巻線
50がレール11a、11bの間において天井10に取
り付けられ、二次導体51が搬送台車12の中央部に設
けられる。よって、搬送台車12はレール11a、11
bに沿って走行可能である。
【0017】4個の浮上用磁石15a〜15dが四角形
をなすように搬送台車12に取り付けられる。各浮上用
磁石15a〜15dは、図3に示されるように、中央の
永久磁石13と、永久磁石13の両側に立ったU字形に
配置された電磁石14とからなる。各電磁石14は鉄心
14aとコイル14bとからなり、コイル14bに電流
を流すことにより磁束が鉄心14aを貫くように形成さ
れる。永久磁石13はN極とS極を有し、永久磁石13
のN極から発した磁力線は、図3で左側の電磁石14か
ら右側の電磁石14へ矢印Mで示されるように向かい、
永久磁石13のS極へ至る。図1に示されるように、各
浮上用磁石15a〜15dは磁束の向きが搬送台車12
の進行方向(矢印P)に対して垂直となるように配置さ
れる。
をなすように搬送台車12に取り付けられる。各浮上用
磁石15a〜15dは、図3に示されるように、中央の
永久磁石13と、永久磁石13の両側に立ったU字形に
配置された電磁石14とからなる。各電磁石14は鉄心
14aとコイル14bとからなり、コイル14bに電流
を流すことにより磁束が鉄心14aを貫くように形成さ
れる。永久磁石13はN極とS極を有し、永久磁石13
のN極から発した磁力線は、図3で左側の電磁石14か
ら右側の電磁石14へ矢印Mで示されるように向かい、
永久磁石13のS極へ至る。図1に示されるように、各
浮上用磁石15a〜15dは磁束の向きが搬送台車12
の進行方向(矢印P)に対して垂直となるように配置さ
れる。
【0018】ギャップセンサ16a〜16dが各浮上用
磁石15a〜15dと関連して設けられる。第1実施例
においては、ギャップセンサ16a〜16dは各浮上用
磁石15a〜15dの中央に設けられる。図1及び図3
に示されるように、ギャップセンサ16a〜15d及び
浮上用磁石15a〜15dは、それぞれユニット18a
〜18dとして回転可能に設けられる。
磁石15a〜15dと関連して設けられる。第1実施例
においては、ギャップセンサ16a〜16dは各浮上用
磁石15a〜15dの中央に設けられる。図1及び図3
に示されるように、ギャップセンサ16a〜15d及び
浮上用磁石15a〜15dは、それぞれユニット18a
〜18dとして回転可能に設けられる。
【0019】図3に示されるように、各ユニット18a
(他のユニット18b〜18dについても同様)は、搬
送台車12に固定されるユニットベース18pと、回転
可能なユニットプレート18qと、モータ17とを含
む。モータ17は搬送台車12に固定されるとともに、
その回転軸に接続された回転体17aがユニットベース
18pに取り付けられた軸受け18rに回転可能に支承
される。ユニットプレート18qは回転体17aに支持
され、よってユニットプレート18qに取り付けられた
浮上用磁石15a及びギャップセンサ16aは、モータ
17により90度ずつ時計回り、及び反時計回りに回転
せしめられる。なお、図3から図5に示されるように、
ギャップセンサ16aは、中央の永久磁石13を跨いで
ユニットプレート18qに固定された逆U字状のステー
18sに支持されている。
(他のユニット18b〜18dについても同様)は、搬
送台車12に固定されるユニットベース18pと、回転
可能なユニットプレート18qと、モータ17とを含
む。モータ17は搬送台車12に固定されるとともに、
その回転軸に接続された回転体17aがユニットベース
18pに取り付けられた軸受け18rに回転可能に支承
される。ユニットプレート18qは回転体17aに支持
され、よってユニットプレート18qに取り付けられた
浮上用磁石15a及びギャップセンサ16aは、モータ
17により90度ずつ時計回り、及び反時計回りに回転
せしめられる。なお、図3から図5に示されるように、
ギャップセンサ16aは、中央の永久磁石13を跨いで
ユニットプレート18qに固定された逆U字状のステー
18sに支持されている。
【0020】ギャップセンサ16a〜16dは種々のも
のを使用することができる。例えば、図6は光学式ギャ
ップセンサ16aを示し、これは発光部16pと受光部
16qとを有し、発光部16pから出射した光のレール
11bで反射した光の成分を検出することにより、ギャ
ップセンサ16aとレール11bとの間のギャップGを
検出する。図7は磁気式ギャップセンサ16aを示し、
これは高周波発射コイル16rと高周波検出コイル16
sとを有し、レール11bで形成される渦電流を検出す
ることにより、ギャップセンサ16aとレール11bと
の間のギャップGを検出する。これらのギャップセンサ
16a〜16dは公知である。
のを使用することができる。例えば、図6は光学式ギャ
ップセンサ16aを示し、これは発光部16pと受光部
16qとを有し、発光部16pから出射した光のレール
11bで反射した光の成分を検出することにより、ギャ
ップセンサ16aとレール11bとの間のギャップGを
検出する。図7は磁気式ギャップセンサ16aを示し、
これは高周波発射コイル16rと高周波検出コイル16
sとを有し、レール11bで形成される渦電流を検出す
ることにより、ギャップセンサ16aとレール11bと
の間のギャップGを検出する。これらのギャップセンサ
16a〜16dは公知である。
【0021】図8及び図9に示されるように、各レール
11a、11bは、複数個の所定の長さのレールエレメ
ント11eを順次に接続してなり、隣接するレールエレ
メントの間には継ぎ目Jがある。この継ぎ目Jは前後の
レールエレメント11eの対向端部間に形成される隙間
を含み、よってレール11a、11bの継ぎ目Jはレー
ルの不連続部となっている。実施例においては、レール
エレメント11eの端部には面取り11fがされてお
り、レールエレメント11eの厚さtは5.0mm、面
取り11f間の隙間Cは1mm、レールエレメント11
eの対向端部間の隙間cは0.2mmである。
11a、11bは、複数個の所定の長さのレールエレメ
ント11eを順次に接続してなり、隣接するレールエレ
メントの間には継ぎ目Jがある。この継ぎ目Jは前後の
レールエレメント11eの対向端部間に形成される隙間
を含み、よってレール11a、11bの継ぎ目Jはレー
ルの不連続部となっている。実施例においては、レール
エレメント11eの端部には面取り11fがされてお
り、レールエレメント11eの厚さtは5.0mm、面
取り11f間の隙間Cは1mm、レールエレメント11
eの対向端部間の隙間cは0.2mmである。
【0022】また、図2に示されるように、搬送台車1
2には、浮上用磁石15a〜15dの電磁石14を励磁
するための電池19及び制御装置が搭載され、さらにウ
エハ21を支持することができる支持部22が設けられ
ている。
2には、浮上用磁石15a〜15dの電磁石14を励磁
するための電池19及び制御装置が搭載され、さらにウ
エハ21を支持することができる支持部22が設けられ
ている。
【0023】図1に示されるように、4個の浮上用磁石
15a〜15d(浮上用ユニット18a〜18d)が形
成する四角形が、不平行四辺形であり、且つ向かい合う
二辺が搬送台車12の長手及び横中心線に関してそれぞ
れ対称になるように形成されている。すなわち、隣接す
る2個の浮上用磁石15a〜15dの中心を結ぶ線が搬
送台車12の移動方向A又は横方向の中心線に対し、平
行ではなく左右対称にある角度を有するように配置され
ている。また、浮上用磁石15a〜15dの幅はレール
11a、11bの幅よりも小さく、搬送台車12の移動
方向Aで見て前側にある2個の浮上用磁石15a、15
bの内端部はレール11a、11bの内端部に接し、後
側にある2個の浮上用磁石15c、15dの外端部はレ
ール11a、11bの外端部に接している。従って、こ
の配置によっても、搬送台車12のレール11a、11
bに対する自動調心作用を行うことができる。
15a〜15d(浮上用ユニット18a〜18d)が形
成する四角形が、不平行四辺形であり、且つ向かい合う
二辺が搬送台車12の長手及び横中心線に関してそれぞ
れ対称になるように形成されている。すなわち、隣接す
る2個の浮上用磁石15a〜15dの中心を結ぶ線が搬
送台車12の移動方向A又は横方向の中心線に対し、平
行ではなく左右対称にある角度を有するように配置され
ている。また、浮上用磁石15a〜15dの幅はレール
11a、11bの幅よりも小さく、搬送台車12の移動
方向Aで見て前側にある2個の浮上用磁石15a、15
bの内端部はレール11a、11bの内端部に接し、後
側にある2個の浮上用磁石15c、15dの外端部はレ
ール11a、11bの外端部に接している。従って、こ
の配置によっても、搬送台車12のレール11a、11
bに対する自動調心作用を行うことができる。
【0024】図10は、搬送台車12に取り付けられた
制御装置20を示すブロック図である。この制御装置2
0は、天井10側に設けられた送信器30からの信号を
受信する受信器31と、この受信器31に接続された関
数発生器32と、この関数発生器32に接続された浮上
制御部33とにより構成され、この浮上制御部33には
ギャップセンサ16(16a〜16d)と浮上用磁石1
5(15a〜15d)が接続されている。
制御装置20を示すブロック図である。この制御装置2
0は、天井10側に設けられた送信器30からの信号を
受信する受信器31と、この受信器31に接続された関
数発生器32と、この関数発生器32に接続された浮上
制御部33とにより構成され、この浮上制御部33には
ギャップセンサ16(16a〜16d)と浮上用磁石1
5(15a〜15d)が接続されている。
【0025】ここで、各ギャップセンサ16a〜16d
はギャップ検出手段と継ぎ目検出手段の2つの機能を有
する。浮上制御部33は各ギャップセンサ16a〜16
dからの出力信号Xにより浮上出力量Uを浮上用磁石1
5a〜15dに出力する。この場合、出力信号Xは各ギ
ャップセンサ16a〜16d毎に4個ある。浮上制御部
33はまず信号XがX≧α(定数)かどうかを判定す
る。ここで、イエスの場合には継ぎ目検出手段がレール
11a、11bの継ぎ目Jを検出したと判断し、ノーの
場合には継ぎ目検出手段はレール11a、11bの継ぎ
目Jを検出していないと判断する。
はギャップ検出手段と継ぎ目検出手段の2つの機能を有
する。浮上制御部33は各ギャップセンサ16a〜16
dからの出力信号Xにより浮上出力量Uを浮上用磁石1
5a〜15dに出力する。この場合、出力信号Xは各ギ
ャップセンサ16a〜16d毎に4個ある。浮上制御部
33はまず信号XがX≧α(定数)かどうかを判定す
る。ここで、イエスの場合には継ぎ目検出手段がレール
11a、11bの継ぎ目Jを検出したと判断し、ノーの
場合には継ぎ目検出手段はレール11a、11bの継ぎ
目Jを検出していないと判断する。
【0026】信号XがX≧αではないと判断された場合
には、浮上制御部33は各ギャップセンサ16a〜16
dからの信号Xに応じてそれぞれの浮上用磁石15a〜
15dへ供給する電流を制御する。信号XがX≧αであ
ると判断された場合には、浮上制御部33はその継ぎ目
検出手段と関連するギャップ検出手段の出力を無効に
し、関連する浮上用磁石15a〜15dへの電流供給を
停止する。
には、浮上制御部33は各ギャップセンサ16a〜16
dからの信号Xに応じてそれぞれの浮上用磁石15a〜
15dへ供給する電流を制御する。信号XがX≧αであ
ると判断された場合には、浮上制御部33はその継ぎ目
検出手段と関連するギャップ検出手段の出力を無効に
し、関連する浮上用磁石15a〜15dへの電流供給を
停止する。
【0027】図11は、上記本実施例の磁気浮上式搬送
装置が交差するレール11a、11bと、レール11
c、11dで使用される例を示す図である。搬送台車1
2をレール11a、11bに沿って走行させる場合に
は、モータ17を駆動して4個のユニット18a〜18
d(4個の浮上用磁石15a〜15d)を磁束が移動方
向Pに対して垂直になるようにする。なお、図3及び図
4に示されるように、各ユニット18a〜18dにはス
トッパ18t、18uがあり、各ユニット18a〜18
dが時計回り、あるいは反波形回りに90度回転した位
置でこれを受けるようになっている。
装置が交差するレール11a、11bと、レール11
c、11dで使用される例を示す図である。搬送台車1
2をレール11a、11bに沿って走行させる場合に
は、モータ17を駆動して4個のユニット18a〜18
d(4個の浮上用磁石15a〜15d)を磁束が移動方
向Pに対して垂直になるようにする。なお、図3及び図
4に示されるように、各ユニット18a〜18dにはス
トッパ18t、18uがあり、各ユニット18a〜18
dが時計回り、あるいは反波形回りに90度回転した位
置でこれを受けるようになっている。
【0028】この状態が図11に示されている。次いで
浮上用磁石15a〜15dに電流を供給し、搬送台車1
2を11a、11bから浮上させる。それから、リニア
モータ50により搬送台車12を11a、11bに沿っ
て走行させる。このとき、図8の如く搬送台車12がレ
ール11の継ぎ目Jに差し掛かると、不平行四辺形上の
位置にある浮上用磁石のうちの先頭の浮上用磁石15a
が最初にレール11の継ぎ目Jを通過する。そこで、浮
上用磁石15aに属するギャップセンサ16aの継ぎ目
検出手段は継ぎ目Jを検出し、制御装置20の浮上制御
部33は即座にこの先頭の浮上用磁石15aに対する電
流供給を停止する。
浮上用磁石15a〜15dに電流を供給し、搬送台車1
2を11a、11bから浮上させる。それから、リニア
モータ50により搬送台車12を11a、11bに沿っ
て走行させる。このとき、図8の如く搬送台車12がレ
ール11の継ぎ目Jに差し掛かると、不平行四辺形上の
位置にある浮上用磁石のうちの先頭の浮上用磁石15a
が最初にレール11の継ぎ目Jを通過する。そこで、浮
上用磁石15aに属するギャップセンサ16aの継ぎ目
検出手段は継ぎ目Jを検出し、制御装置20の浮上制御
部33は即座にこの先頭の浮上用磁石15aに対する電
流供給を停止する。
【0029】先頭の浮上用磁石15aは、その電磁石1
4に電流が流れなくなりフリーの状態となる。この時他
の3個の浮上用磁石15b〜15dは関連するギャップ
センサ16b〜16dの出力に応じて所望のギャップを
保つように制御されている。従って搬送台車12は絶え
ず水平な状態を保って走行する。また、電池19の消費
電流は増加しない。
4に電流が流れなくなりフリーの状態となる。この時他
の3個の浮上用磁石15b〜15dは関連するギャップ
センサ16b〜16dの出力に応じて所望のギャップを
保つように制御されている。従って搬送台車12は絶え
ず水平な状態を保って走行する。また、電池19の消費
電流は増加しない。
【0030】そして、先頭の浮上用磁石15aは継ぎ目
Jを通過後にギャップセンサ16aは再びギャップGを
検知する様になり、その電磁石14の電流制御を開始す
る。次に2番目の浮上用磁石15bが継ぎ目Jを通過す
る様になったときにも、先頭の浮上用磁石15aと同様
な制御を行う。このように、浮上用磁石15a〜15d
を不平行四辺形上の位置に配置することにより、順次に
継ぎ目Jを通過することができる。
Jを通過後にギャップセンサ16aは再びギャップGを
検知する様になり、その電磁石14の電流制御を開始す
る。次に2番目の浮上用磁石15bが継ぎ目Jを通過す
る様になったときにも、先頭の浮上用磁石15aと同様
な制御を行う。このように、浮上用磁石15a〜15d
を不平行四辺形上の位置に配置することにより、順次に
継ぎ目Jを通過することができる。
【0031】また、図11に示すように、搬送台車12
がレール11a、11bから、レール11c、11dへ
乗り換えるときには、モータ17を駆動して磁束の向き
が移動方向と垂直になるように浮上用磁石15a〜15
dを90度回転させる。すると、搬送台車12の向きは
同じままで、浮上用磁石15a〜15dのみをレール1
1c、11dに適合させることができる。この場合、浮
上用磁石15a〜15dとレール11c、11dとの関
係は、上記した浮上用磁石15a〜15dとレール11
a、11bとの関係と同じようになり、自動調心作用を
行わせることができる。
がレール11a、11bから、レール11c、11dへ
乗り換えるときには、モータ17を駆動して磁束の向き
が移動方向と垂直になるように浮上用磁石15a〜15
dを90度回転させる。すると、搬送台車12の向きは
同じままで、浮上用磁石15a〜15dのみをレール1
1c、11dに適合させることができる。この場合、浮
上用磁石15a〜15dとレール11c、11dとの関
係は、上記した浮上用磁石15a〜15dとレール11
a、11bとの関係と同じようになり、自動調心作用を
行わせることができる。
【0032】図11から図22は本発明の第2実施例を
示す図である。図12及び図13の磁気浮上搬送装置
は、前実施例のものと同様に、2本のレール11a、1
1bと、レール11a、11bに沿って走行する搬送台
車12、リニアモータの一次巻線50及び二次導体51
と、4個の浮上用磁石15a〜15dとからなる。4個
の浮上用磁石15a〜15dは四角形をなすように搬送
台車12に取り付けられる。各浮上用磁石15a〜15
dは上記したのと同様に中央の永久磁石13と、その両
側に配置された電磁石14とからなる。また、搬送台車
12には、浮上用磁石15a〜15dの電磁石14を励
磁するための電池19及び制御装置が搭載され、さらに
ウエハのカセット21aを支持することができる支持部
22が設けられている。
示す図である。図12及び図13の磁気浮上搬送装置
は、前実施例のものと同様に、2本のレール11a、1
1bと、レール11a、11bに沿って走行する搬送台
車12、リニアモータの一次巻線50及び二次導体51
と、4個の浮上用磁石15a〜15dとからなる。4個
の浮上用磁石15a〜15dは四角形をなすように搬送
台車12に取り付けられる。各浮上用磁石15a〜15
dは上記したのと同様に中央の永久磁石13と、その両
側に配置された電磁石14とからなる。また、搬送台車
12には、浮上用磁石15a〜15dの電磁石14を励
磁するための電池19及び制御装置が搭載され、さらに
ウエハのカセット21aを支持することができる支持部
22が設けられている。
【0033】ギャップセンサ16a〜16dが各浮上用
磁石15a〜15dと関連して設けられ、さらに、ギャ
ップセンサ16a〜16dとは別の継ぎ目センサ56a
〜55dが各浮上用磁石15a〜15dと関連して設け
られる。ギャップセンサ16a〜16dは上記したもの
と同様のものである。継ぎ目センサ56a〜55dは図
13に示されるようにギャップセンサ16a〜16dよ
りも長いものであり、例えば図14に示されるように、
複数の光ファイバからなる発光部アレイ56pと複数の
光ファイバからなる受光部アレイ56qとを組み合わせ
たものである。発光部アレイ56p及び受光部アレイ5
6qはそれぞれ発光器及び受光器(図示せず)に接続さ
れる。従って、発光器から発した光をレール11a、1
1bで反射させ、反射光を受光器で検出ことによりレー
ル11a、11bの継ぎ目Jを検出するものである。
磁石15a〜15dと関連して設けられ、さらに、ギャ
ップセンサ16a〜16dとは別の継ぎ目センサ56a
〜55dが各浮上用磁石15a〜15dと関連して設け
られる。ギャップセンサ16a〜16dは上記したもの
と同様のものである。継ぎ目センサ56a〜55dは図
13に示されるようにギャップセンサ16a〜16dよ
りも長いものであり、例えば図14に示されるように、
複数の光ファイバからなる発光部アレイ56pと複数の
光ファイバからなる受光部アレイ56qとを組み合わせ
たものである。発光部アレイ56p及び受光部アレイ5
6qはそれぞれ発光器及び受光器(図示せず)に接続さ
れる。従って、発光器から発した光をレール11a、1
1bで反射させ、反射光を受光器で検出ことによりレー
ル11a、11bの継ぎ目Jを検出するものである。
【0034】この実施例では、図13に示されるよう
に、4個の浮上用磁石15a〜15dは矩形を形成し、
その向かい合う二辺(図13ではレール11a、11b
と一致する)が搬送台車12の長手及び横中心線にそれ
ぞれ平行になるように形成されている。そして、搬送台
車12の長手中心線はレール11a、11bと平行であ
り、4個の浮上用磁石15a〜15dが形成する四角形
のうちの向かい合う第1及び第2の辺は該長手中心線の
両側にあり、該第1の辺(図13ではレール11aと一
致する)の上にある2組の該ギャップセンサ16a、1
6b及び継ぎ目センサ56a、56bは関連する浮上用
磁石15a、15bよりも移動方向Pで見て前方にあ
る。また、第2の辺(図13では11bと一致する)の
上にある2組のギャップセンサ16c、16d及び継ぎ
目センサ56c、56dは関連する浮上用磁石15c、
15dよりも移動方向Pでで見て後方にある。
に、4個の浮上用磁石15a〜15dは矩形を形成し、
その向かい合う二辺(図13ではレール11a、11b
と一致する)が搬送台車12の長手及び横中心線にそれ
ぞれ平行になるように形成されている。そして、搬送台
車12の長手中心線はレール11a、11bと平行であ
り、4個の浮上用磁石15a〜15dが形成する四角形
のうちの向かい合う第1及び第2の辺は該長手中心線の
両側にあり、該第1の辺(図13ではレール11aと一
致する)の上にある2組の該ギャップセンサ16a、1
6b及び継ぎ目センサ56a、56bは関連する浮上用
磁石15a、15bよりも移動方向Pで見て前方にあ
る。また、第2の辺(図13では11bと一致する)の
上にある2組のギャップセンサ16c、16d及び継ぎ
目センサ56c、56dは関連する浮上用磁石15c、
15dよりも移動方向Pでで見て後方にある。
【0035】さらに、各ギャップセンサ16a〜16d
及び各継ぎ目センサ56a〜55dは、搬送台車12の
横中心線に平行な線上にある。そして、各継ぎ目センサ
56a〜56dは搬送台車12の長手中心線の方向に各
ギャップセンサ16a〜16dよりも長く、そして、各
ギャップセンサ16a〜16dは各継ぎ目センサ56a
〜56dのほぼ中心の位置に配置される。
及び各継ぎ目センサ56a〜55dは、搬送台車12の
横中心線に平行な線上にある。そして、各継ぎ目センサ
56a〜56dは搬送台車12の長手中心線の方向に各
ギャップセンサ16a〜16dよりも長く、そして、各
ギャップセンサ16a〜16dは各継ぎ目センサ56a
〜56dのほぼ中心の位置に配置される。
【0036】本発明においては、搬送台車12が十分な
剛性をもっていれば4個のギャップセンサ16a〜16
dは一平面上にある。これを利用して、4個のギャップ
センサ16a〜16dを三次元の位置(X,Y,Z)で
あらわし、3個の既知のギャップGの値から、残りの1
個の未知のギャップGの値を求めることができる。実施
例においては、4個のギャップセンサ16a〜16dに
ついてそのような計算を行い、その後でさらに補正を行
うことにより各浮上用磁石15a〜15dの正確なギャ
ップを求めている。
剛性をもっていれば4個のギャップセンサ16a〜16
dは一平面上にある。これを利用して、4個のギャップ
センサ16a〜16dを三次元の位置(X,Y,Z)で
あらわし、3個の既知のギャップGの値から、残りの1
個の未知のギャップGの値を求めることができる。実施
例においては、4個のギャップセンサ16a〜16dに
ついてそのような計算を行い、その後でさらに補正を行
うことにより各浮上用磁石15a〜15dの正確なギャ
ップを求めている。
【0037】平面の式は、P1 X+P2 Y+P3 Z=P
4 で一般的に示される。ここで、X軸は搬送台車12の
長手中心軸線方向とし、Y軸は搬送台車12の横中心軸
線方向とし、4個の浮上用磁石15a〜15dの中心を
X、Y軸の原点とする。Z軸はレール11a、11bと
垂直方向とし、レール11a、11bの下面をZ軸の原
点とする。この計算の手順は図22を参照して後で説明
する。
4 で一般的に示される。ここで、X軸は搬送台車12の
長手中心軸線方向とし、Y軸は搬送台車12の横中心軸
線方向とし、4個の浮上用磁石15a〜15dの中心を
X、Y軸の原点とする。Z軸はレール11a、11bと
垂直方向とし、レール11a、11bの下面をZ軸の原
点とする。この計算の手順は図22を参照して後で説明
する。
【0038】図15から図17は、4組の浮上用磁石1
5a〜15d、ギャップセンサ16a〜16d、及び継
ぎ目センサ56a〜55dのジオメトリを示す図であ
る。Aは長手方向の2つの浮上用磁石15a、15d
(又は15b、15c)間の距離、Bは各浮上用磁石1
5a〜15dと各ギャップセンサ16a〜16dとの間
の距離、Cは横方向の2つの浮上用磁石15a、15b
(又は15c、15d)間の距離である。
5a〜15d、ギャップセンサ16a〜16d、及び継
ぎ目センサ56a〜55dのジオメトリを示す図であ
る。Aは長手方向の2つの浮上用磁石15a、15d
(又は15b、15c)間の距離、Bは各浮上用磁石1
5a〜15dと各ギャップセンサ16a〜16dとの間
の距離、Cは横方向の2つの浮上用磁石15a、15b
(又は15c、15d)間の距離である。
【0039】La 〜Ld は各浮上用磁石15a〜15d
とレール11a、11bとの間の距離(ギャップ)、l
a 〜ld は各ギャップセンサ16a〜16dとレール1
1a、11bとの間の距離(ギャップ)である。搬送台
車12はレール11a、11bに対して傾くことがあ
り、角度φをなす。
とレール11a、11bとの間の距離(ギャップ)、l
a 〜ld は各ギャップセンサ16a〜16dとレール1
1a、11bとの間の距離(ギャップ)である。搬送台
車12はレール11a、11bに対して傾くことがあ
り、角度φをなす。
【0040】図16及び図17から、三角関係により、 La =la −B(la −lb )/A Lb =lb −B(la −la )/A Lc =lc −B(lc −ld )/A Ld =ld −B(lc −ld )/A が成立する。すなわち、ギャップセンサ16a〜16d
が浮上用磁石15a〜15dとはずれた位置にあって
も、上記式から浮上用磁石15a〜15dの位置を正確
に求めることができる。
が浮上用磁石15a〜15dとはずれた位置にあって
も、上記式から浮上用磁石15a〜15dの位置を正確
に求めることができる。
【0041】図20は制御装置20の一部を示し、図2
1は制御装置の残りの部分を示す図である。図20は各
ギャップセンサ16a〜16dの出力la 〜ld 、及び
各継ぎ目センサ56a〜56dの出力H、Lが制御装置
20に入力されたところを示す図である。各ギャップセ
ンサ16a〜16dの出力la 〜ld はギャップGに比
例するアナログ量である。
1は制御装置の残りの部分を示す図である。図20は各
ギャップセンサ16a〜16dの出力la 〜ld 、及び
各継ぎ目センサ56a〜56dの出力H、Lが制御装置
20に入力されたところを示す図である。各ギャップセ
ンサ16a〜16dの出力la 〜ld はギャップGに比
例するアナログ量である。
【0042】図18は継ぎ目センサ56aの出力の一例
を示している。継ぎ目センサ56aの出力は通常はロー
(L)である。図18の時点MとNの間で継ぎ目センサ
56aの出力はハイ(H)になる。図18の時点Mは、
図19の(A)に示されるように継ぎ目センサ56aの
先端がレール11a、11bの継ぎ目Jを通ったときで
あり、図18の時点Nは図19の(B)に示されるよう
に継ぎ目センサ56aの後端がレール11a、11bの
継ぎ目Jを通ったときである。その他の継ぎ目センサ5
6b〜56dについても同様である。
を示している。継ぎ目センサ56aの出力は通常はロー
(L)である。図18の時点MとNの間で継ぎ目センサ
56aの出力はハイ(H)になる。図18の時点Mは、
図19の(A)に示されるように継ぎ目センサ56aの
先端がレール11a、11bの継ぎ目Jを通ったときで
あり、図18の時点Nは図19の(B)に示されるよう
に継ぎ目センサ56aの後端がレール11a、11bの
継ぎ目Jを通ったときである。その他の継ぎ目センサ5
6b〜56dについても同様である。
【0043】図20は、継ぎ目センサ56aの出力はハ
イ(H)になった場合を示しており、残りの継ぎ目セン
サ56b〜56dの出力はロー(L)である。その他の
継ぎ目センサ56b〜56dの出力がハイ(H)になっ
た場合にも同様である。1つの継ぎ目センサ56aの出
力がハイ(H)になると、制御装置20は、その継ぎ目
センサ56aと関連するギャップセンサ16aの出力l
a を無効にし、残ったギャップセンサ16b〜16dの
出力lb 〜ld のみをさらに次のステップに進める。
イ(H)になった場合を示しており、残りの継ぎ目セン
サ56b〜56dの出力はロー(L)である。その他の
継ぎ目センサ56b〜56dの出力がハイ(H)になっ
た場合にも同様である。1つの継ぎ目センサ56aの出
力がハイ(H)になると、制御装置20は、その継ぎ目
センサ56aと関連するギャップセンサ16aの出力l
a を無効にし、残ったギャップセンサ16b〜16dの
出力lb 〜ld のみをさらに次のステップに進める。
【0044】図21においては、制御装置20は、A/
Dコンバータ20a、CPU20b、D/Aコンバータ
20c、及びドライバ20dを含む。図20の制御装置
の部分の出力lb 〜ld は、A/Dコンバータ20aに
入力され、A/Dコンバータ20aはそのデジタル値を
CPU20bに出力し、CPU20bは入力値lb 〜l
d に応じて浮上用磁石15b〜15dへの電流供給値U
b 〜Ud を計算するとともに、3つの入力値lb 〜ld
から継ぎ目Jを通っているギャップセンサ16aのギャ
ップを推定し、該浮上用磁石15aへの供給電流Ua を
提供する。ドライバ20dは計算された電流供給値Ua
〜Ud を浮上用磁石15a〜15dへ供給する。
Dコンバータ20a、CPU20b、D/Aコンバータ
20c、及びドライバ20dを含む。図20の制御装置
の部分の出力lb 〜ld は、A/Dコンバータ20aに
入力され、A/Dコンバータ20aはそのデジタル値を
CPU20bに出力し、CPU20bは入力値lb 〜l
d に応じて浮上用磁石15b〜15dへの電流供給値U
b 〜Ud を計算するとともに、3つの入力値lb 〜ld
から継ぎ目Jを通っているギャップセンサ16aのギャ
ップを推定し、該浮上用磁石15aへの供給電流Ua を
提供する。ドライバ20dは計算された電流供給値Ua
〜Ud を浮上用磁石15a〜15dへ供給する。
【0045】図22はCPU20bで実施する制御のフ
ローチャートを示す図である。CPU20bは、ステッ
プ60において、ギャップセンサ16a〜16dの出力
la〜ld を取り込む。ステップ61において、4個の
入力la 〜ld があるかどうかを判定する。ステップ6
1でイエスであれば、どの継ぎ目センサ56a〜56d
も継ぎ目Jを検出していないと判断してステップ65へ
進む。ステップ61でノーであれば、いずれかの継ぎ目
センサ56a〜56dが継ぎ目Jを検出していると判断
してステップ62へ進む。図20及び図21はこの場合
を示している。
ローチャートを示す図である。CPU20bは、ステッ
プ60において、ギャップセンサ16a〜16dの出力
la〜ld を取り込む。ステップ61において、4個の
入力la 〜ld があるかどうかを判定する。ステップ6
1でイエスであれば、どの継ぎ目センサ56a〜56d
も継ぎ目Jを検出していないと判断してステップ65へ
進む。ステップ61でノーであれば、いずれかの継ぎ目
センサ56a〜56dが継ぎ目Jを検出していると判断
してステップ62へ進む。図20及び図21はこの場合
を示している。
【0046】ステップ62では、平面の式P1 X+P2
Y+P3 Z=P4 に3入力値を代入する。なお、ここで
は、3個のギャップセンサ16a〜16dについて、X
座標、及びY座標は図15の関係から既知であり、Z座
標は検出値lb 〜ld である。従って、3個のギャップ
センサ16a〜16dについて3つの式ができる。この
場合、P1 、P2 、P3 、P4 が未知数であり、3つの
式から4つの未知数を求める場合、ステップ63に示さ
れるように、P1 、P2 、P3 、P4 の1つを基準とし
た関数関係(比例関係)、P2 =f1 (P1 )、P3 =
f2 (P1 )、P4 =f3 (P1 )が成立する。
Y+P3 Z=P4 に3入力値を代入する。なお、ここで
は、3個のギャップセンサ16a〜16dについて、X
座標、及びY座標は図15の関係から既知であり、Z座
標は検出値lb 〜ld である。従って、3個のギャップ
センサ16a〜16dについて3つの式ができる。この
場合、P1 、P2 、P3 、P4 が未知数であり、3つの
式から4つの未知数を求める場合、ステップ63に示さ
れるように、P1 、P2 、P3 、P4 の1つを基準とし
た関数関係(比例関係)、P2 =f1 (P1 )、P3 =
f2 (P1 )、P4 =f3 (P1 )が成立する。
【0047】従って、平面の式P1 X+P2 Y+P3 Z
=P4 に、P1 、P2 、P3 、P4、及びギャップセン
サ16aのX座標及びY座標の値を代入すると、ギャッ
プセンサ16aのZ座標、すなわちギャップセンサ16
aのギャョプGが推定でき、これをla とする。
=P4 に、P1 、P2 、P3 、P4、及びギャップセン
サ16aのX座標及びY座標の値を代入すると、ギャッ
プセンサ16aのZ座標、すなわちギャップセンサ16
aのギャョプGが推定でき、これをla とする。
【0048】それからステップ65に進み、またステッ
プ61から直接にステップ65に進んだ場合にも、la
〜ld から上記した関係によりLa 〜Ld を計算する。
La〜Ld は各浮上用磁石15a〜15dの補正された
ギャップである。それからステップ66に進み、La 〜
Ld から各浮上用磁石15a〜15dに供給すべき電流
Ua 〜Ud を計算する。
プ61から直接にステップ65に進んだ場合にも、la
〜ld から上記した関係によりLa 〜Ld を計算する。
La〜Ld は各浮上用磁石15a〜15dの補正された
ギャップである。それからステップ66に進み、La 〜
Ld から各浮上用磁石15a〜15dに供給すべき電流
Ua 〜Ud を計算する。
【0049】
【発明の効果】本発明に依れば、ギャップ検出手段の出
力に応じて浮上用磁石へ供給する電流を制御するととも
に、継ぎ目検出手段によりレールの継ぎ目が検出された
ときにギャップ検出手段の出力を無効にし且つ継ぎ目検
出手段によりレールの継ぎ目が検出されたときにギャッ
プ検出手段の出力を有効にするようにしたので、レール
の継ぎ目においては、ギャップ検出手段の不安定な出力
のままに浮上用磁石へ供給する電流を増大することがな
くなり、搬送台車の姿勢を安定的に保持し、電池の寿命
を長くすることができる。
力に応じて浮上用磁石へ供給する電流を制御するととも
に、継ぎ目検出手段によりレールの継ぎ目が検出された
ときにギャップ検出手段の出力を無効にし且つ継ぎ目検
出手段によりレールの継ぎ目が検出されたときにギャッ
プ検出手段の出力を有効にするようにしたので、レール
の継ぎ目においては、ギャップ検出手段の不安定な出力
のままに浮上用磁石へ供給する電流を増大することがな
くなり、搬送台車の姿勢を安定的に保持し、電池の寿命
を長くすることができる。
【図1】本発明の第1実施例を示す平面図である。
【図2】図1の線II─IIに沿った断面図である。
【図3】図1及び図2の浮上用磁石及びギャップセンサ
のユニットの詳細図である。
のユニットの詳細図である。
【図4】図3の矢印IVから見た側面図である。
【図5】図3のギャップセンサを通る断面図である。
【図6】光学式ギャップセンサの例を示す図である。
【図7】磁気式ギャップセンサの例を示す図である。
【図8】図2の線VIII─VIIIに沿った断面図である。
【図9】レールの継ぎ目を示す図である。
【図10】図1の磁気浮上搬送装置の制御装置を示す図
である。
である。
【図11】図1の磁気浮上搬送装置を交差するレールで
使用する例を示す図である。
使用する例を示す図である。
【図12】本発明の第2実施例を示す側面図である。
【図13】図12の平面図である。
【図14】図12の継ぎ目センサの斜視図である。
【図15】図12及び図13の各部材のジオメトリを示
す図である。
す図である。
【図16】図13の線XVI ─XVI に沿った断面図であ
る。
る。
【図17】図13の線XVII─XVIIに沿った断面図であ
る。
る。
【図18】図12の継ぎ目センサの出力を示す図であ
る。
る。
【図19】図12の継ぎ目センサがレールの継ぎ目を通
過するところを示す図であり、(A)は継ぎ目センサの
先端がレールの継ぎ目を通過するところを示す図、
(B)は継ぎ目センサの後端がレールの継ぎ目を通過す
るところを示す図である。
過するところを示す図であり、(A)は継ぎ目センサの
先端がレールの継ぎ目を通過するところを示す図、
(B)は継ぎ目センサの後端がレールの継ぎ目を通過す
るところを示す図である。
【図20】図12の磁気浮上搬送装置の制御装置の一部
を示す図である。
を示す図である。
【図21】図12の磁気浮上搬送装置の制御装置の残り
の部分を示す図である。
の部分を示す図である。
【図22】図12の磁気浮上搬送装置の制御のフローチ
ャートを示す図である。
ャートを示す図である。
11a、11b…レール 12…搬送台車 15a〜15d…浮上用磁石 16a〜16d…ギャップセンサ 17…モータ 18…浮上用ユニット 19…電池 20…制御装置 21…支持部
Claims (18)
- 【請求項1】 複数個のレールエレメントを順次に接続
してなる固定のレール(11a、11b)と、該レール
に沿って走行可能な搬送台車(12)と、該搬送台車を
該レールに対して磁気的に浮上させて支持するために該
搬送台車に設けられた少なくとも1つの浮上用磁石(1
5a〜15d)と、該搬送台車と該レールとの間のギャ
ップを検出するギャップ検出手段(16a〜16d)
と、該レールの隣接するレールエレメント間の継ぎ目を
検出する継ぎ目検出手段(16a〜16d、56a〜5
6d)と、該ギャップ検出手段の出力に応じて該浮上用
磁石へ供給する電流を制御するとともに、該継ぎ目検出
手段によりレールの継ぎ目が検出されたときに該ギャッ
プ検出手段の出力を無効にし且つ該継ぎ目検出手段によ
りレールの継ぎ目が検出されないときに該ギャップ検出
手段の出力を有効にする制御手段(20)とを備えたこ
とを特徴とする磁気浮上搬送装置。 - 【請求項2】 該浮上用磁石(15a〜15d)が永久
磁石(13)と電磁石(14)との組み合わせからな
り、該電磁石を駆動する電池(19)が該搬送台車に設
けられることを特徴とする請求項1に記載の磁気浮上搬
送装置。 - 【請求項3】 該永久磁石(13)及び電磁石(14)
が、該永久磁石が中央にあって2個の該電磁石が該永久
磁石の両側に立ったU字形に配置されることを特徴とす
る請求項2に記載の磁気浮上搬送装置。 - 【請求項4】 4個の浮上用磁石(15a〜15d)が
四角形を形成するように該搬送台車(12)に配置さ
れ、ギャップ検出手段(16a〜16d)がそれぞれ該
浮上用磁石の上又はその近傍に配置されることを特徴と
する請求項1に記載の磁気浮上搬送装置。 - 【請求項5】 該ギャップ検出手段及び該継ぎ目検出手
段が単一のギャップセンサ(16a〜16d)からな
り、該継ぎ目検出手段は該ギャップセンサで検出したギ
ャップが所定値以上のときにレールの継ぎ目があると検
出することを特徴とする請求項4に記載の磁気浮上搬送
装置。 - 【請求項6】 該ギャップセンサ(16a〜16d)が
各浮上用磁石(15a〜15d)の中心に配置され、該
浮上用磁石はその中心のまわりで回転可能に構成され、
該搬送台車が同じ向きのままで該浮上用磁石を回転させ
ることにより交差するレールに沿って走行可能にしたこ
とを特徴とする請求項5に記載の磁気浮上搬送装置。 - 【請求項7】 該浮上用磁石(15a〜15d)は所定
の向きの磁束を発生し、該磁束の向きが該搬送台車(1
2)の進行方向に対して垂直となるように該浮上用磁石
の角度位置を制御する駆動手段(17)を有することを
特徴とする請求項6に記載の磁気浮上搬送装置。 - 【請求項8】 該4個の浮上用磁石(15a〜15d)
が形成する四角形が、不平行四辺形であり、且つ向かい
合う二辺が該搬送台車(12)の長手及び横中心線に関
してそれぞれ対称になるように形成されていることを特
徴とする請求項7に記載の磁気浮上搬送装置。 - 【請求項9】 該4個の継ぎ目検出手段(16a〜16
d)の内の1つがレールの継ぎ目(J)を検知している
間は、該制御手段(20)は、該レールの継ぎ目を検出
している継ぎ目検出手段と関連するギャップ検出手段の
出力を無効にするとともに、浮上用磁石への電流供給を
停止するようにしたことを特徴とする請求項5に記載の
磁気浮上搬送装置。 - 【請求項10】 該4個の浮上用磁石(15a〜15
d)の形成する四角形の向かい合う二辺が該搬送台車
(12)の長手及び横中心線にそれぞれ平行になるよう
に形成されていることを特徴とする請求項4に記載の磁
気浮上搬送装置。 - 【請求項11】 該搬送台車の長手中心線は該レールと
平行であり、該4個の浮上用磁石(15a〜15d)が
形成する四角形のうちの向かい合う第1及び第2の辺は
該長手中心線の両側にあり、該第1の辺の上にある2組
の該ギャップ検出手段(16a〜16b)及び該継ぎ目
検出手段(56a〜56b)は関連する浮上用磁石(1
5a〜15b)よりも一定の進行方向で見て前方にあ
り、該第2の辺の上にある2組の該ギャップ検出手段
(16c〜16d)及び該継ぎ目検出手段(56c〜5
6d)は関連する浮上用磁石(15c〜15d)よりも
該一定の進行方向で見て後方にあることを特徴とする請
求項10に記載の磁気浮上搬送装置。 - 【請求項12】 該ギャップ検出手段はギャップセンサ
(16a〜16d)からなり、該継ぎ目検出手段は該ギ
ャップセンサとは別の継ぎ目センサ(56a〜56d)
からなることを特徴とする請求項11に記載の磁気浮上
搬送装置。 - 【請求項13】 該ギャップセンサ(16a〜16d)
及び該継ぎ目センサ(56a〜56d)は、該搬送台車
(12)の横中心線に平行な線上にあることを特徴とす
る請求項12に記載の磁気浮上搬送装置。 - 【請求項14】 該継ぎ目センサ(56a〜56d)は
該搬送台車(12)の長手中心線の方向に該ギャップセ
ンサ(16a〜16d)よりも長いことを特徴とする請
求項13に記載の磁気浮上搬送装置。 - 【請求項15】 該ギャップセンサ(16a〜16d)
は該継ぎ目センサ(56a〜56d)のほぼ中心の位置
に配置されることを特徴とする請求項14に記載の磁気
浮上搬送装置。 - 【請求項16】 該4個の継ぎ目検出手段(56a〜5
6d)の内の一つがレール(11a、11b)の継ぎ目
(J)を検知している間は、該レールの継ぎ目を検出し
ている継ぎ目検出手段(56a)と関連するギャップ検
出手段(16a)の出力が無効にされるとともに、該レ
ールの継ぎ目を検出している継ぎ目検出手段(56a)
と関連するギャップ検出手段(16a)とは別の3個の
ギャップ検出手段(16b〜16d)からの出力により
該浮上用磁石への供給電流を補正するようにしたことを
特徴とする請求項15に記載の磁気浮上搬送装置。 - 【請求項17】 該4個のギャップ検出手段が一平面上
にあり、該4個のギャップ検出手段の三次元の位置
(X,Y,Z)と、平面の式P1 X+P2 Y+P 3 Z=
P4 とから、該レールの継ぎ目を検出している継ぎ目検
出手段(16)と関連する該ギャップ検出手段のギャッ
プを推定することを特徴とする請求項16に記載の磁気
浮上搬送装置。 - 【請求項18】 複数個のレールエレメントを順次に接
続してなる固定のレール(11a、11b)と、該レー
ルに沿って走行可能な搬送台車(12)と、該搬送台車
を該レールに対して磁気的に浮上させて支持するために
該搬送台車に設けられた少なくとも1つの浮上用磁石
(15a〜15d)と、該浮上用磁石に電流を供給する
ための電池(19)と、該搬送台車と該レールとの間の
ギャップを検出するギャップ検出手段(16a〜16
d)と、該ギャップ検出手段の出力に応じて該浮上用磁
石へ供給する電流を制御する制御手段(20)とからな
り、該浮上用磁石(15a〜15d)は4個あって、該
4個の浮上用磁石が四角形を形成するように該搬送台車
に配置され、該4個の浮上用磁石が形成する四角形が、
不平行四辺形であり、且つ向かい合う二辺が該搬送台車
の長手及び横中心線に関してそれぞれ対称になるように
形成され、該ギャップ検出手段がそれぞれ該浮上用磁石
の上又はその近傍に配置されることを特徴とする磁気浮
上搬送装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5143660A JPH0678413A (ja) | 1992-07-06 | 1993-06-15 | 磁気浮上搬送装置 |
US08/086,033 US5377596A (en) | 1992-07-06 | 1993-07-06 | Magnetic levitating transportation apparatus with rail gap sensor and non-parallel magnet unit arrangement |
US08/183,316 US5360470A (en) | 1992-07-06 | 1994-01-19 | Magnetic levitating transporting apparatus with a movable magnetic unit |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17863692 | 1992-07-06 | ||
JP4-178636 | 1992-07-06 | ||
JP5143660A JPH0678413A (ja) | 1992-07-06 | 1993-06-15 | 磁気浮上搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0678413A true JPH0678413A (ja) | 1994-03-18 |
Family
ID=26475334
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5143660A Withdrawn JPH0678413A (ja) | 1992-07-06 | 1993-06-15 | 磁気浮上搬送装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5377596A (ja) |
JP (1) | JPH0678413A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100848055B1 (ko) * | 2007-03-28 | 2008-07-23 | 현대로템 주식회사 | 자기부상열차의 궤도 이음매에서의 공극 유지 방법 |
KR101031853B1 (ko) * | 2008-11-14 | 2011-05-02 | 한국전기연구원 | 다양한 자세 제어가 가능한 자기부상 이송시스템 |
KR101031852B1 (ko) * | 2008-11-14 | 2011-05-02 | 한국전기연구원 | 오버 행잉 타입의 자기부상 이송시스템 |
KR101031851B1 (ko) * | 2008-11-14 | 2011-05-02 | 한국전기연구원 | 선형유도전동기의 수직력 제어 방법 |
KR20190047658A (ko) * | 2017-10-27 | 2019-05-08 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 캐리어의 비접촉식 이송을 위한 시스템, 및 증착 시스템에서의 캐리어의 비접촉식 이송을 위한 방법 |
JP2019532486A (ja) * | 2017-08-24 | 2019-11-07 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 真空処理システムにおけるデバイスの非接触搬送用の装置及び方法 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08222619A (ja) * | 1995-02-14 | 1996-08-30 | Toshiba Corp | 半導体製造装置 |
JP2008546965A (ja) * | 2005-08-23 | 2008-12-25 | コリア インスティチュート オブ マシナリー アンド マテリアルズ | 磁気予圧及び運動誤差補正機能を有する定圧ベアリング移送装置 |
US8696815B2 (en) | 2009-09-01 | 2014-04-15 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
CN102303543B (zh) * | 2011-05-27 | 2013-03-06 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 具有自适应能力的磁浮列车过轨道台阶的控制方法 |
KR20130004830A (ko) | 2011-07-04 | 2013-01-14 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 |
KR102081284B1 (ko) * | 2013-04-18 | 2020-02-26 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착장치, 이를 이용한 유기발광 디스플레이 장치 제조 방법 및 유기발광 디스플레이 장치 |
CN114600228A (zh) * | 2019-11-27 | 2022-06-07 | 应用材料公司 | 磁悬浮***、处理***和运输载体的方法 |
JP7519923B2 (ja) * | 2021-01-12 | 2024-07-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置、基板搬送方法、および基板処理システム |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5318115A (en) * | 1976-08-04 | 1978-02-20 | Mitsubishi Electric Corp | Magnetic floating device |
JPS605722B2 (ja) * | 1977-06-24 | 1985-02-13 | 株式会社東芝 | 常電導磁気浮上車用軌道装置 |
DE3578860D1 (de) * | 1984-10-23 | 1990-08-30 | Toshiba Kawasaki Kk | Transportsystem vom typ mit schwebendem traeger. |
JPS61116908A (ja) * | 1984-11-09 | 1986-06-04 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 磁気浮上走行体の制御装置 |
JPS61142905A (ja) * | 1984-12-12 | 1986-06-30 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 磁気吸引浮上車の浮上制御装置 |
JPS6231304A (ja) * | 1985-07-27 | 1987-02-10 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 磁気浮上走行装置 |
JPH0687603B2 (ja) * | 1986-03-27 | 1994-11-02 | 株式会社東芝 | 浮上式搬送装置 |
JPH0327704A (ja) * | 1989-06-23 | 1991-02-06 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 磁気浮上搬送車 |
-
1993
- 1993-06-15 JP JP5143660A patent/JPH0678413A/ja not_active Withdrawn
- 1993-07-06 US US08/086,033 patent/US5377596A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100848055B1 (ko) * | 2007-03-28 | 2008-07-23 | 현대로템 주식회사 | 자기부상열차의 궤도 이음매에서의 공극 유지 방법 |
KR101031853B1 (ko) * | 2008-11-14 | 2011-05-02 | 한국전기연구원 | 다양한 자세 제어가 가능한 자기부상 이송시스템 |
KR101031852B1 (ko) * | 2008-11-14 | 2011-05-02 | 한국전기연구원 | 오버 행잉 타입의 자기부상 이송시스템 |
KR101031851B1 (ko) * | 2008-11-14 | 2011-05-02 | 한국전기연구원 | 선형유도전동기의 수직력 제어 방법 |
JP2019532486A (ja) * | 2017-08-24 | 2019-11-07 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 真空処理システムにおけるデバイスの非接触搬送用の装置及び方法 |
KR20190047658A (ko) * | 2017-10-27 | 2019-05-08 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 캐리어의 비접촉식 이송을 위한 시스템, 및 증착 시스템에서의 캐리어의 비접촉식 이송을 위한 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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US5377596A (en) | 1995-01-03 |
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