JPH0673165B2 - Method of manufacturing magnetic head - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明はビデオテープレコーダ等の高周波信号を記録再
生する磁気ヘッドに係り、特に高保持力記録媒体に対し
て好適な金属磁性膜を用いた磁気ヘッドの製造方法に関
する。Description: FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a magnetic head for recording and reproducing a high frequency signal such as a video tape recorder, and particularly to a magnetic head using a metal magnetic film suitable for a high coercive force recording medium. The present invention relates to a method of manufacturing a head.

〔発明の背景〕[Background of the Invention]

近年、ビデオテープレコーダの高密度記録化、高性能化
を達成するために、従来の酸化物テープに代わってメタ
ルテープが注目されている。このメタルテープは高保磁
力Hcを有しており、十分な記録を行うためには強い磁場
が必要となる。そこで磁気ヘッドは従来のフェライトヘ
ッドに代わりより強い磁場が発生できるように、高飽和
磁束密度Bsの高い金属磁性材を用いたものが必要であ
る。In recent years, in order to achieve high-density recording and high performance of video tape recorders, metal tapes have attracted attention in place of conventional oxide tapes. This metal tape has a high coercive force Hc, and a strong magnetic field is required for sufficient recording. Therefore, the magnetic head is required to use a metal magnetic material having a high saturation magnetic flux density Bs in order to generate a stronger magnetic field instead of the conventional ferrite head.

これら金属磁性材とてはパーマロイ合金（Fe−Ni合
金）、センダスト合金（Fe−Al−Si合金）または非晶質
合金等が知られており、それらの薄板または薄膜をコア
材としたヘッドが提案されている。（特開昭55−87320
号公報） 第１図はその磁気ヘッドの斜視図を示し、該ヘッドは磁
性薄板10を非磁性基板11,11′で接着剤等を用いて挾
み、これを２等分してギャップ突き合せ面をラップし、
コイル巻線用窓12を形成し、ギャップ突き合せ面13に所
定の非磁性膜を介して接合することによって得られる。
ヘッドのトラック幅は磁性薄板の厚さで規制される。こ
の構造の磁気ヘッドは精度よく薄板の厚さを制御するこ
とが難しく、またビデオ周波数帯域における渦電流損失
により薄板の実効透磁率が低下し、再生効率が悪くなる
問題がある。薄膜を用いた例としてはまた第１図の薄板
を非磁性基板11上にスパッタリング等で形成した金属磁
性膜に代えた構造の磁気ヘッドが提案されている。（特
開昭48−3609号公報）この構造の磁気ヘッドは金属磁性
膜を非磁性膜を介して多層化することにより渦電流損失
を防止できるとともに磁性膜の厚さでヘッドトラック幅
を規制するために比較的精度よいトラック幅制御ができ
る。しかしその反面ギャップ形成法に問題があり、ギャ
ップ長精度も悪く、またヘッドコア厚がヘッド全体で同
じであるために磁気回路の磁気効率が悪くリアギャップ
部の磁気コア部の突合せのズレが特性に大きく影響しさ
らに生産性が悪いという問題がある。また更に第２図，
第３図に示すようにコア部20を高透磁率フェライトで構
成し、ギャップ突き合せ面に金属磁性膜21を形成してな
るものが提案されている。（特開昭51−140708号公報）
この構造の磁気ヘッドはテープ摺動面にフェライトが出
ており耐摩耗性は優れている。しかしフェライトコア部
20,20′と金属磁性膜部21,21′との境界部22,22′が疑
似の作動ギャップとして作用し、記録再生特性を損なう
コンター効果が発生するという問題があり、特に第３図
に示すごとく作動ギャップ33と境界部が平行であるとそ
のコンター効果が著しい。Permalloy alloys (Fe-Ni alloys), sendust alloys (Fe-Al-Si alloys), amorphous alloys, etc. are known as these metal magnetic materials, and heads using these thin plates or thin films as core materials are known. Proposed. (JP-A-55-87320
FIG. 1 shows a perspective view of the magnetic head. The head is made by sandwiching a magnetic thin plate 10 with non-magnetic substrates 11 and 11 'by using an adhesive or the like, and dividing this into two halves for gap abutment. Wrap the face,
It is obtained by forming the coil winding window 12 and joining it to the gap abutting surface 13 via a predetermined non-magnetic film.
The track width of the head is regulated by the thickness of the magnetic thin plate. In the magnetic head having this structure, it is difficult to control the thickness of the thin plate with high accuracy, and there is a problem that the effective magnetic permeability of the thin plate is reduced due to the eddy current loss in the video frequency band and the reproduction efficiency is deteriorated. As an example using a thin film, a magnetic head having a structure in which the thin plate shown in FIG. 1 is replaced with a metal magnetic film formed on the non-magnetic substrate 11 by sputtering or the like is proposed. (Japanese Patent Laid-Open No. 48-3609) A magnetic head having this structure can prevent eddy current loss by forming a multi-layered metal magnetic film with a non-magnetic film interposed therebetween, and at the same time regulate the head track width by the thickness of the magnetic film. Therefore, the track width can be controlled relatively accurately. However, on the other hand, there is a problem with the gap formation method, the gap length accuracy is poor, and the magnetic efficiency of the magnetic circuit is poor because the head core thickness is the same throughout the entire head. There is a problem that the productivity is greatly affected and productivity is poor. Furthermore, FIG.
As shown in FIG. 3, it is proposed that the core portion 20 is made of high-permeability ferrite and the metal magnetic film 21 is formed on the gap abutting surface. (JP-A-51-140708)
The magnetic head of this structure has ferrite on the sliding surface of the tape and has excellent wear resistance. However, the ferrite core part
There is a problem that the boundary portions 22 and 22 'between the 20 and 20' and the metal magnetic film portions 21 and 21 'act as a pseudo operation gap, which causes a contour effect that impairs the recording and reproducing characteristics. As shown, the contour effect is remarkable when the working gap 33 and the boundary are parallel.

〔発明の目的〕[Object of the Invention]

本発明の目的は、上記従来技術の欠点を除き、記録再生
特性ならび耐摩耗性が優れ、量産性が良く特性ばらつき
の少い磁気ヘッドの製造方法を提供することにある。An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a magnetic head, which is excellent in recording / reproducing characteristics and abrasion resistance, has good mass productivity, and has a small variation in characteristics, excluding the above-mentioned drawbacks of the prior art.

〔発明の概要〕[Outline of Invention]

上記目的を達成するために本発明の磁気ヘッドの製造方
法は、高飽和磁束密度の金属磁性膜で磁気回路が構成さ
れ、テープ走行面における断面形状がＶ字状に突出して
いる突起部を有する２個の基板の該突起部の少くとも両
側面に金属磁性膜が被着され、該突起部先端の金属磁性
膜がトラック幅に対応する平坦部を有し、非磁性ギャッ
プ材を介して突き合せて作動ギャップを構成しており、
該平坦部の幅が少くともトラック幅を規制するフロント
ギャップ部よりもリアギャップ部が広くなった磁気ヘッ
ドの製造方法である。In order to achieve the above object, a method of manufacturing a magnetic head according to the present invention has a magnetic circuit composed of a metal magnetic film having a high saturation magnetic flux density, and has a protrusion having a V-shaped cross-sectional shape on the tape running surface. A metal magnetic film is deposited on at least both side surfaces of the protrusions of the two substrates, and the metal magnetic film at the tip of the protrusions has a flat portion corresponding to the track width and protrudes through a non-magnetic gap material. Together, it constitutes the working gap,
This is a method of manufacturing a magnetic head in which the rear gap portion is wider than the front gap portion that regulates the track width even if the width of the flat portion is at least.

この製造方法による磁気ヘッドにより構造により少くと
も作動ギャップと平行する疑似ギャップがなくコンター
効果の発生を無くすことができ、該基板をフェライトも
しくは同等の摩耗性を有する非磁性基板を用いることに
より耐摩耗性に優れ、また金属磁性膜を非磁性膜を介し
て多層化することにより渦電流損失を防止し高周波特性
の良好な磁気ヘッドが得られる。さらにギャップ突き合
せ面における金属磁性膜の平坦部の幅がフロントギャッ
プ部よりもリアギャップ部を広くしており、磁気効率を
良くすることができ優れた記録再生特性を得ることがで
き、さらに製造工程におけるリアギャップ部のトラック
ズレによる特性ばらつきを少くすることができる。Due to the structure of the magnetic head according to this manufacturing method, there is at least no pseudo-gap parallel to the working gap, and the occurrence of the contour effect can be eliminated. By using a ferrite or a non-magnetic substrate having the same wear resistance as the substrate, abrasion resistance The magnetic head is excellent in properties, and the magnetic head is excellent in high frequency characteristics by preventing the eddy current loss by forming the metal magnetic film in multiple layers via the non-magnetic film. Further, the width of the flat portion of the metal magnetic film on the gap abutting surface is wider in the rear gap portion than in the front gap portion, so that the magnetic efficiency can be improved and excellent recording / reproducing characteristics can be obtained. It is possible to reduce the characteristic variation due to the track shift of the rear gap portion in the process.

〔発明の実施例〕Example of Invention

以下、本発明の一実施例を第４図により説明する。第４
図は本発明の製造方法より得られた磁気ヘッドの斜視図
である。同図において30,30′はＶ字状の突起部を設け
たコアブロックであり、フェライトもしくは非磁性フェ
ライト、セラミック、ガラス等で構成されている。31,3
1′はヘッドコアを形成する金属磁性膜からなり、パー
マロイ合金、センダスト合金もしくは非晶質合金等の軟
磁性材をスパッタリング、真空蒸着等の方法で薄膜化し
たものを用いる。32,32′はコアブロックを接着するた
めの充填ガラスであり、金属磁性膜への影響を少くする
ために充填温度が低くできる低融点鉛系ガラスを用い
る。33はギャップ突き合せ部でトラック幅に対応する平
坦部を有するＶ字状の金属磁性膜が所要のギャップ長が
得られるように非磁性薄膜を挾んで突き合せ作動ギャッ
プを形成してする。An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. Fourth
The figure is a perspective view of a magnetic head obtained by the manufacturing method of the present invention. In the figure, reference numerals 30 and 30 'denote core blocks provided with V-shaped protrusions, which are made of ferrite or non-magnetic ferrite, ceramic, glass or the like. 31,3
1'is composed of a metal magnetic film forming a head core, and a soft magnetic material such as a permalloy alloy, a sendust alloy or an amorphous alloy is thinned by a method such as sputtering or vacuum deposition. Reference numerals 32 and 32 'are filler glasses for adhering the core blocks, and low-melting lead-based glasses capable of lowering the filler temperature are used in order to reduce the influence on the metal magnetic film. Reference numeral 33 denotes a gap abutting portion, in which a V-shaped metal magnetic film having a flat portion corresponding to the track width is sandwiched between nonmagnetic thin films to form a butting operation gap so that a required gap length can be obtained.

なお34は巻線用窓である。Reference numeral 34 is a winding window.

このような構造にすることによって、作動ギャップ面と
他端部に平行部を持たないため、アジマス損失によっ
て、疑似ギャップによるコンター効果の発生を抑えてい
る。With such a structure, since the operating gap surface and the other end portion do not have a parallel portion, the azimuth loss suppresses the occurrence of the contour effect due to the pseudo gap.

第５図は本発明の製造方法より得られたによる磁気ヘッ
ドのテープ走行面であるフロントギャップ部とそれに対
向しているリアギャップ部の外観を示したものである。
第５図の（ａ）に示すフロントギャップ部の金属磁性膜
の平坦部の幅T₁はヘッドトラック幅を規制している。第
５図の（ｂ）を示すリアギャップ部の平坦部のトラック
幅T₂は少くともT₁よりも広くなっており、これによりリ
アギャップ部の突き合せ面の面積を広くすることがで
き、リアギャップ部の磁気抵抗低減効果が得られ優れた
記録再生特性をもつ磁気ヘッドが得られる。またリアギ
ャップ部のトラック幅T₂をフロントギャップ部のT₁より
も十分に広くすることにより、ヘッド製造工程における
リアギャップ部のトラックズレによるヘッド特性への影
響を少くすることができ、特性ばらつきの少い磁気ヘッ
ドが得られる。FIG. 5 shows the appearance of the front gap portion which is the tape running surface of the magnetic head obtained by the manufacturing method of the present invention and the rear gap portion which faces the front gap portion.
The width T ₁ of the flat portion of the metal magnetic film in the front gap portion shown in FIG. 5 (a) regulates the head track width. The track width T ₂ of the flat portion of the rear gap portion shown in FIG. 5 (b) is at least wider than T ₁ , which makes it possible to increase the area of the abutting surface of the rear gap portion. A magnetic head having excellent recording / reproducing characteristics can be obtained because the magnetic resistance of the rear gap portion can be reduced. Also, by making the track width T ₂ of the rear gap part sufficiently wider than T _{1 of the} front gap part, it is possible to reduce the influence on the head characteristics due to the track deviation of the rear gap part in the head manufacturing process, and it is possible to reduce the characteristic variation. It is possible to obtain a magnetic head with a small number.

次に本発明の前記磁気ヘッドの製造方法を詳細に説明す
る。Next, a method of manufacturing the magnetic head of the present invention will be described in detail.

本発明の磁気ヘッドの製造方法の各工程の説明図を第６
図（イ）〜（ハ）に示す。FIG. 6 is an explanatory view of each step of the magnetic head manufacturing method of the invention
It is shown in FIGS.

第６図の（イ）はMn−Zn単結晶フェライト基板のギャッ
プ突き合せ面となる面に深さが100〜200μｍのＶ溝加工
を行う工程である。Ｖ溝40の角度は90度とした。またこ
の工程で該フェライト基板に巻線用の溝41の加工を行
う。溝の深さはＶ溝よりも深くする。FIG. 6A shows a step of forming a V-groove having a depth of 100 to 200 μm on the surface which becomes the gap abutting surface of the Mn-Zn single crystal ferrite substrate. The angle of the V groove 40 was 90 degrees. Further, in this step, the groove 41 for winding is processed on the ferrite substrate. The groove is deeper than the V groove.

第６図の（ロ）は前記（イ）でＶ溝加工を行ったギャッ
プ突き合せ面にスパッタリング法を用いて第１のたとえ
ばセンダスト合金膜42（Fe−Si−Al合金）を20μｍの厚
さ被着させる工程である。このときマスクを用いて少く
とも該センダスト合金膜を被着する範囲はヘッドのリア
ギャップ部となる部分のみとする。FIG. 6 (b) shows a first, for example, sendust alloy film 42 (Fe-Si-Al alloy) having a thickness of 20 .mu.m on the gap abutting surface, which has been V-grooved in (a) above, by using a sputtering method. This is the step of depositing. At this time, the area where the sendust alloy film is deposited using the mask is at least only the portion which becomes the rear gap portion of the head.

第６図の（ハ）において、該ギャップ突き合せ面の全面
に第６図の（イ）と同様の方法を用いて第２のセンダス
ト合金膜42′を20μｍの厚さ被着させる。第６図（ハ）
の（ａ）の（Ａ）はフロントギャップ部、（ハ）の
（ｂ）はリアギャップ部のセンダスト合金膜の被着状態
を示したものである。この第１ならびに第２のセンダス
ト合金膜の被着のときにスパッタリング法で形成したSi
O₂等の非磁性膜を10〜50nmの厚さ介して５μｍ×４層の
多層化を行なう。In FIG. 6C, a second sendust alloy film 42 'is deposited to a thickness of 20 .mu.m on the entire surface of the gap abutting surface by using the same method as in FIG. 6A. Figure 6 (C)
(A) of (a) shows the adhered state of the sendust alloy film in the front gap part, and (c) of (b) shows the adhered state of the sendust alloy film. Si formed by sputtering when depositing the first and second Sendust alloy films
A nonmagnetic film of O ₂ or the like is formed into a multilayer of 5 μm × 4 layers with a thickness of 10 to 50 nm.

第６図の（ニ）でセンダスト合金膜の上に少くとも残り
の溝が埋まる程度にたとえば軟化点が350℃のPbO−B₂O₃
系低融点ガラス43を550℃の温度を10分間保持し充填す
る。In (d) of FIG. 6, for example, PbO-B ₂ O ₃ having a softening point of 350 ° C. is filled to the extent that at least the remaining grooves are filled on the sendust alloy film.
The low melting point glass 43 is filled by holding the temperature of 550 ° C. for 10 minutes.

第６図の（ホ）においてギャップ突き合せ面上のガラス
43センダスト合金膜42,42′を機械研摩等により除去
し、ヘッドのフロントギャップ部となる部分のセンダス
ト合金膜42を所要のトラック幅T₁まで露出させる。また
この工程で巻線窓内のガラスを機械研削で除去する。Glass on the gap abutting surface in (e) of FIG.
43 The sendust alloy films 42, 42 'are removed by mechanical polishing or the like to expose the sendust alloy film 42 in the portion which will be the front gap portion of the head to the required track width T ₁ . Further, in this step, the glass in the winding window is removed by mechanical grinding.

次に第６図の（ホ）に一点鎖線Ａで示すように切断し１
対のブロック44,45を得る。Then, as shown by the alternate long and short dash line A in FIG.
Get a pair of blocks 44, 45.

第６図の（ヘ）で（ホ）で得られたコアブロック44,45
のギャップ突き合せ面にSiO₂,ガラス等の非磁性膜を所
要の厚さ（約0.25μｍ）にスパッタリング法により形成
し、該コアブロックの互いのフロント部トラックT₁およ
びリア部トラックT₂を合わせて突き合せ、加圧しながら
550℃に加熱し該低融点ガラスを溶融しボンディングブ
ロック46を得る。このボンディングブロックをトラック
部T₁を中心に一点鎖線ＢおよびＢ′で順次切断すること
によって第４図に示す磁気ヘッドを得る。アジマス角度
を設ける場合にはボンディングブロックを所要の角度傾
けて切断する。実施例に示した工程で得られたボンディ
ングブロックから数十個の磁気ヘッドを製造することが
でき、量産性にも優れたものである。Core blocks 44, 45 obtained in (e) in (f) of Fig. 6
A non-magnetic film such as SiO ₂ or glass is formed on the gap abutting surface of _{No. 1} by a sputtering method to have a required thickness (about 0.25 μm), and the front track T ₁ and the rear track T ₂ of the core block are mutually formed. Butt together and pressurize
The low melting point glass is melted by heating to 550 ° C. to obtain the bonding block 46. The magnetic head shown in FIG. 4 is obtained by sequentially cutting this bonding block along the dashed-dotted lines B and B ′ around the track portion T ₁ . When the azimuth angle is provided, the bonding block is tilted at a required angle and cut. It is possible to manufacture several tens of magnetic heads from the bonding blocks obtained in the steps shown in the examples, and the mass productivity is excellent.

本実施例では金属磁性膜としてセンダスト合金膜を用い
たが、Fe−Si合金、Fe−Ni合金（パーマロイ合金）なら
びCo−Nb−Zr系等各種組成の非晶質合金など高飽和磁束
密度、高透磁率で磁歪が０付近の軟磁性材であれば何で
もよい。また基板材としてMn−Zn単結晶フェライトを用
いたが、他にNi−Znフェライト等のフェライト磁性材で
もよく、さらに結晶化ガラス、Al₂O₃などのセラミック
等の非磁性基板を用いた場合にも本発明は有効である。
充填ガラスとしてはPbO−B₂O₃系ガラスを用いたが、他
にPbO−SiO₂系、PbO−P₂O₅系等の軟化点が600℃以下の
ガラスであればよい。In this embodiment, the sendust alloy film is used as the metal magnetic film, but Fe--Si alloy, Fe--Ni alloy (permalloy alloy) and Co--Nb--Zr amorphous alloys of various compositions such as high saturation magnetic flux density, Any soft magnetic material having a high magnetic permeability and a magnetostriction of about 0 may be used. Although Mn-Zn single crystal ferrite was used as the substrate material, other ferrite magnetic materials such as Ni-Zn ferrite may also be used, and non-magnetic substrates such as crystallized glass and ceramics such as Al ₂ O ₃ are used. Also, the present invention is effective.
As the filled glass using PbO-B ₂ O ₃ -based glass, other PbO-SiO ₂ system, the softening point of the PbO-P ₂ O ₅ system and the like may be a 600 ° C. or less of the glass.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

本発明の製造方法によれば、金属磁性膜が容易に多層化
できるため渦電流損失を防止し高周波特性に優れ、コン
ター効果がなく磁気効率がよく、優れた記録再生特性を
もつ量産性のよい磁気ヘッドを得ることができる。According to the manufacturing method of the present invention, since the metal magnetic film can be easily multilayered, eddy current loss is prevented, high frequency characteristics are excellent, there is no contour effect, magnetic efficiency is good, and excellent recording / reproducing characteristics are achieved with good mass productivity. A magnetic head can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第１図，第２図は従来の磁気ヘッドの斜視図、第３図は
第２図に示す従来磁気ヘッドのギャップ部正面図、第４
図は本発明による磁気ヘッドの斜視図、第５図は本発明
による磁気ヘッドのテープ摺動面ならびそれに対向する
面の正面図、第６図は本発明による磁気ヘッドの製造工
程図である。 30,30′……基板、31,31′……金属磁性膜、33……作動
ギャップ、34……コイル巻線用窓、32,32′……充填ガ
ラス、40……Ｖ字状溝、42……第１の金属磁性膜、42′
……第２の金属磁性膜、43……充填ガラス、44,45……
コアブロック。1 and 2 are perspective views of a conventional magnetic head, FIG. 3 is a front view of a gap portion of the conventional magnetic head shown in FIG. 2, and FIG.
FIG. 5 is a perspective view of a magnetic head according to the present invention, FIG. 5 is a front view of a tape sliding surface of the magnetic head according to the present invention and a surface facing the tape sliding surface, and FIG. 6 is a manufacturing process diagram of the magnetic head according to the present invention. 30,30 '... Substrate, 31,31' ... Metal magnetic film, 33 ... Working gap, 34 ... Coil winding window, 32,32 '... Filled glass, 40 ... V-shaped groove, 42 ... first metal magnetic film, 42 '
…… Second metal magnetic film, 43 …… Filled glass, 44,45 ……
Core block.

フロントページの続き (72)発明者 榑林 正明 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所家電研究所内 (72)発明者 後藤 典雄 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所家電研究所内 (72)発明者 柳原 仁 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所家電研究所内 (72)発明者 座間 秀夫 茨城県勝田市大字稲田1410番地 株式会社 日立製作所東海工場内 (56)参考文献 特開 昭61−133004（ＪＰ，Ａ)Front page continued (72) Masaaki Kurebayashi, Inventor Masaaki Kurebayashi, 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama, Kanagawa, Ltd., Home Appliances Research Laboratory, Hitachi, Ltd. (72) Inventor Norio Goto, 292, Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama, Kanagawa Home Appliances Research Laboratory (72) Inventor Hitoshi Yanagihara 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama, Kanagawa, Ltd.Hitachi, Ltd. Home Appliances Research Laboratory (72) Inventor Hideo Zama 1410 Inada, Katsuta-shi, Ibaraki Hitachi Tokai Plant (56) Reference JP-A-61-133004 (JP, A)

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】ｉ）基板のギャップ突き合せ側の面にコイ
ル巻線用の窓となる巻線溝を形成する工程、 ii）前記ギャップ突き合せ側の面に、前記巻線溝とほぼ
直交するように中央部に突起を挟持するように隣接し、
前記巻線溝より浅いＶ字状の２本の溝を１組とするＶ字
状溝を複数設ける工程、 iii）非磁性膜を介して多層化された第１の金属磁性膜
を、前記突き合せ面の作動ギャップ部となる範囲以外の
前記Ｖ字状溝上に、被着せしめる工程、 iv）非磁性膜を介して多層化された第２の金属磁性膜
を、前記ギャップ突き合せ面の作動ギャップ部を含む前
記Ｖ字状溝上に、被着せしめる工程、 ｖ）前記第１ならび第２の金属磁性膜が表面に被着させ
ている前記Ｖ字状溝に非磁性材を充填する工程、 vi）前記非磁性材ならび前記第1,第２の金属磁性膜の不
要部分を除去し、前記作動ギャップ部となる範囲の前記
第２の金属磁性膜に所定のトラック幅を有する平坦部を
露呈せしめ、一対の磁気ヘッドコアブロックとなるよう
に切断する工程、 vii）前記１対のコアブロックのギャップ突き合せ面側
の面に所要の厚さの非磁性層を形成する工程、 viii）前記１対のコアブロックのギャップ突き合せ面を
相対峙せしめ、互いに接合して一体化する工程、 ix）接合された前記ブロックを所定の位置にて切断し、
複数個の磁気ヘッドコアを得る工程を有することを特徴
とする磁気ヘッドの製造方法。1. A step of forming a winding groove to be a window for coil winding on a surface of the substrate facing the gap, and ii) a surface of the substrate facing the gap substantially orthogonal to the winding groove. Adjacent to sandwich the protrusion in the center,
Providing a plurality of V-shaped grooves, each of which is a set of two V-shaped grooves shallower than the winding groove, iii) the first metal magnetic film multilayered with a non-magnetic film, The step of depositing on the V-shaped groove other than the range to be the operation gap part of the mating surface, iv) the operation of the second metal magnetic film multilayered with a non-magnetic film on the gap abutting surface Depositing on the V-shaped groove including a gap portion, v) filling the V-shaped groove having the first and second metal magnetic films deposited on its surface with a non-magnetic material, vi) Unnecessary portions of the non-magnetic material and the first and second metal magnetic films are removed, and a flat portion having a predetermined track width is exposed on the second metal magnetic film in the range to be the operation gap portion. And step of cutting into a pair of magnetic head core blocks, vii) the pair of cores A step of forming a non-magnetic layer having a required thickness on the gap-butting surface side of the block, viii) a step of causing the gap-butting surfaces of the pair of core blocks to face each other, and joining and integrating them ix) cutting the joined block at a predetermined position,
A method of manufacturing a magnetic head, comprising the step of obtaining a plurality of magnetic head cores.