JPH0669928U - レーザビームオッシレータ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 溶接対象物の間のギャップの左右で均等な加
熱を行うことができるレーザビームオッシレータ装置を
提供する。 【構成】 凹面鏡１２と集光位置Ｐとの間に、ＺｎＳｅ
からなる第１平面透光板１及び第２平面透光板２を光軸
Ｘに対して傾斜角度αを以て設ける。第１平面透光板１
を支持する第１回転支持体３に取着した第１傘歯車５
と、第２平面透光板２を支持する第２回転支持体４に取
着した第２傘歯車６とを駆動傘歯車８によって回転させ
ることにより、第１傘歯車５及び第２傘歯車６は互いに
逆向きに回転し、その回転周期は同じとなる。即ち、第
１平面透光板１と第２平面透光板２とは同じ傾斜角度α
を維持しながら互いに逆向きに同じ周期で回転する。こ
れにより、レーザビームＢのスポットはジグザグ状に振
動し、溶接対象物の間のギャップの左右で均等な加熱を
行うことができる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、レーザ溶接用の加工ノズル等から出射するレーザビームの集光位置 を振動させるためのレーザビームオッシレータ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来より、レーザ加工の分野では、エネルギー密度を高めるために加工対象物 の表面にレーザビームを集光させる技術が重要である。しかしながら、レーザ溶 接の分野では、一定距離のギャップを隔てて対向する２つの加工対象物のそれぞ れの溶接面に同時にレーザビームを照射しなければならないため、集光したレー ザビームを用いることができない。なぜなら、集光したレーザビームを用いると 、集光位置が僅かに変動しても２つの溶接面に均等にレーザビームを照射するこ とができなくなり、ギャップの左右で溶接面の溶融の程度が異なってしまうから である。そのため、強固な溶接を行うことができない。

【０００３】 そこで、多少の集光位置の変動が生じても溶接を行うことができるように、レ ーザビームの溶接対象物の上面に於けるレーザビームスポットを大きくすること が行われている。しかしながら、このようにレーザビームスポットを大きくする と、レーザビームスポットのエネルギー密度が低下するため、ギャップの深い部 分に位置する溶接面下部を溶融させるためにレーザビームスポットの移動速度を 低下させざるを得なくなり、生産性が低下してしまう。

【０００４】 そこで、図７に示すようなレーザビームスピニング装置が従来より使用されて いる（溶接学会，溶接法研究委員会第１３２回資料Ｎｏ．３−４−９１，レーザ ビームウィーバの基礎検討，新明和工業株式会社）。この装置では、入射したレ ーザビームＢは反射鏡７１によって反射され、更に凹面鏡７２で反射される。凹 面鏡７２からの反射レーザビームＢは、平面透過板７３を透過して集光位置Ｐに 集光する。平面透過板７３は光軸Ｘに対して所定の傾斜角度を成すように回転支 持体７４によって支持されている。また、回転支持体７４の下部は筒体７５に接 続されており、筒体７５は上下に配されたベアリング７６，７６を介してノズル 基体８０に回転可能に支持されている。また、筒体７５の下端部にはプーリ７９ が取り付けられており、筒体７５はこのプーリ７９及びベルト７７を介してモー タ７８によって回転駆動される。

【０００５】 このレーザビームスピニング装置では、モータ７８によって回転駆動される平 面透過板７３の回転に伴ってレーザビームＢの集光位置Ｐが光軸Ｘの回りに回転 する。即ち、図８（ａ）及び（ｂ）に示すように、所定の厚さの平面透過板７３ は光軸Ｘに対して直角ではなく所定の傾斜角度αを以て配されているので、この 平面透過板７３にレーザビームＢが入射すると、屈折作用によって光軸Ｘから外 れることになる。そして、平面透過板７３が回転すると、それに伴ってレーザー ビームＢが光軸Ｘの回りに回転する。図８（ｃ）は光軸Ｘの回りに回転するレー ザービームＢの集光位置Ｐの軌跡を表している。このようにレーザビームＢの集 光位置Ｐを回転させることにより、エネルギー密度を低下させることなく、ギャ ップの両側に位置する２つの溶接面にほぼ均等にレーザビームを照射することが できる。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、溶接用加工ノズルを一定方向に移動させながらレーザービームＢの 集光位置Ｐを回転させると、図８（ｃ）に示すように、その軌跡は中心線Ｃに関 して非対称となる。即ち、平面透過板７３が一回転することにより、集光位置Ｐ が中心線Ｃの右側で描く弧の中心線Ｃ方向の移動距離Ｒが、中心線Ｃの左側で描 く弧の中心線Ｃ方向の移動距離Ｌに比較して短くなる。従って、溶接すべき面の 右側ではレーザビームスポットの移動速度が遅いため、ギャップの深い位置まで 溶接対象物が溶融される。これに対して、溶接すべき面の左側ではレーザビーム スポットの移動速度が早いため、ギャップの深い位置まで溶接対象物が溶融され ない。そのため、レーザビームスポットの移動速度を溶接すべき面の左側に合わ せて設定しなければならず、溶接速度がこれによって制限されてしまう。

【０００７】 本考案はこのような従来の問題点を解決するために為されたものであり、本考 案の目的は、ギャップの左右で均等な溶融を行うことができるレーザビームオッ シレータ装置を提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するため、本考案は以下の解決手段を講じたものである。即ち 、第１の考案に係るレーザビームオッシレータ装置は、ノズル先端部に集光する レーザビームの集光位置を振動させるレーザビームオッシレータ装置であって、 前記レーザビームの光路上に配され該レーザビームの光軸に対し所定の傾斜角度 を維持しながら前記光軸を中心として回転する第１平面透光板と、前記光軸に対 し前記第１平面透光板と同じ傾斜角度を維持しながら前記第１平面透光板とは逆 方向に回転する第２平面透光板と、これらの平面透光板を同周期で回転させる回 転駆動手段とを備えたことを特徴とする。

【０００９】 第２の考案に係るレーザビームオッシレータ装置は、ノズル先端部に集光する レーザビームの集光位置を振動させるレーザビームオッシレータ装置であって、 略平行なレーザビームの光軸に対し所定の傾斜角度を維持しながら前記光軸を中 心として回転する第１集光レンズと、前記光軸に対し前記第１集光レンズと同じ 傾斜角度を維持しながら前記第１集光レンズとは逆方向に回転する第２集光レン ズとこれらの集光レンズを同周期で回転させる回転駆動手段とを備えたことを特 徴とする。

【００１０】 第３の考案に係るレーザビームオッシレータ装置は、ノズル先端部に集光する レーザビームの集光位置を振動させるレーザビームオッシレータ装置であって、 前記レーザビームの光路上に於いて該レーザビームの光軸に対して所定の傾斜角 度を以て配された平面反射鏡と、所定の点を支点として前記平面反射鏡の前記傾 斜角度を所定の範囲内で周期的に変化させる振動手段とを備えたことを特徴とす る。

【００１１】 第４の考案に係るレーザビームオッシレータ装置は、ノズル先端部に集光する レーザビームの集光位置を振動させるレーザビームオッシレータ装置であって、 略平行なレーザビームを前記集光位置に集光させる凹面鏡と、所定の点を支点と して前記凹面鏡を所定の角度の範囲内で周期的に変化させる振動手段とを備えた ことを特徴とする。

【００１２】 第５の考案に係るレーザビームオッシレータ装置は、ノズル先端部に集光する レーザビームの集光位置を振動させるレーザビームオッシレータ装置であって、 略平行なレーザビームの光軸上に直角に配された集光レンズと、該集光レンズを 前記光軸に対し直角方向に所定の振幅を以て振動させる振動手段とを備えたこと を特徴とする。

【００１３】

【作用】

上記第１〜第５の考案に係るレーザビームオッシレータ装置は、溶接等に用い られるレーザ加工用のノズル先端部に集光するレーザビームの集光位置を振動さ せるものである。上記第１の考案の作用について図２を参照しながら説明する。

【００１４】 図２（ａ）に示すように、第１の考案ではレーザ光を透過させるＺｎＳｅ、Ｇａ Ａｓ等からなる第１平面透光板１及び第２平面透光板２がレーザビームの光路上 に配され、これらの平面透光板は、レーザビームの光軸Ｘに対して所定の傾斜角 度α（レーザビームの光軸と平面透光板の垂線との成す角度）を以て配されてい る。そして、第１平面透光板１及び第２平面透光板２は互いに逆方向に且つ同じ 周期で光軸Ｘを中心として回転している。なお、本考案のレーザビームオッシレ ータ装置は、集光位置Ｐにレーザビームを集光させるための集光光学系を通過す る前及び通過した後の何れの位置にも設置し得るものである。

【００１５】 図２（ａ）に示すように、レーザビームＢが互いに平行な第１平面透光板１及 び第２平面透光板２に入射すると、第１平面透光板１の屈折作用により、レーザ ビームＢは光軸Ｘから所定の距離ｅだけ偏心する。次いで第２平面透光板２の屈 折作用により、レーザビームＢは更に光軸Ｘから距離ｅだけ偏心する。従って、 ２枚の平面透光板１，２を透過することにより、レーザビームＢは光軸Ｘから距 離２ｅだけ偏心することになる。

【００１６】 次に、図２（ｂ）に示すように、互いに２αの角度を成している第１平面透光 板１及び第２平面透光板２にレーザビームＢが入射すると、上述の場合と同様に 、第１平面透光板１の屈折作用によって距離ｅだけ偏心する。距離ｅだけ偏心し たレーザビームＢは、次に第２平面透光板２の屈折作用により、第１平面透光板 １の場合とは逆方向に距離ｅだけ偏心する。従って、２枚の平面透光板２を透過 することにより、レーザビームＢは光軸Ｘ上に戻されることになる。

【００１７】 更に、図２（ｃ）に示すように、図２（ａ）の場合とは逆向きに第１平面透光 板１及び第２平面透光板２が平行となると、レーザビームＢは図２（ａ）の場合 とは逆方向に、即ち距離−２ｅだけ偏心する。

【００１８】 第１平面透光板１及び第２平面透光板２が互いに平行な状態と互いに２αの角 度を成している状態の間の中間の状態では、レーザビームＢの集光位置Ｐは上記 の距離±２ｅの位置を結ぶ直線上に位置する。従って、第１平面透光板１及び第 ２平面透光板２が互いに逆方向に回転しながら溶接面に沿って移動することによ り、図２（ｄ）に示すように振幅４ｅのジグザグの軌跡を描いて振動する。

【００１９】 このように本考案では、レーザビームＢの集光位置Ｐが左右に同じ形状の軌跡 を描いて移動するので、一定距離のギャップを隔てて対向する溶接面を均等に加 熱することができる。

【００２０】 なお、レーザビームＢの光軸Ｘからの偏心距離ｅは、平面透光板の屈折率、平 面透光板の厚さ及び平面透光板の傾斜角度αを変えることにより変化させること ができる。

【００２１】 上記第２の考案は、上記第１の考案に於ける第１平面透光板及び第２平面透光 板に代えて、それぞれ第１集光レンズ及び第２集光レンズを用いたものであり、 これらのレンズによってレーザビームを集光位置に集光させるものである。これ らの集光レンズも、レーザビームの光軸Ｘに対して所定の傾斜角度α（レーザビ ームの光軸と集光レンズの光軸との成す角度）を以て配され、互いに逆方向に且 つ同じ周期で光軸を中心として回転している。本考案のレーザビームオッシレー タ装置に於いても、前述の図２の説明と同様に、レーザビームは図２（ｄ）に示 すようにジグザグの軌跡を描いて振動する。従って、ギャップの両側の溶接面を 均等に加熱することができる。

【００２２】 上記第３の考案は、レーザビームの光軸に対して所定の傾斜角度を以て平面反 射鏡を設け、この平面反射鏡を所定の点で支持し、この点を支点としてこの平面 反射鏡の傾斜角度を所定の範囲内で周期的に変化させるものである。この構成に より、レーザビームの集光位置はジグザグの軌跡を描いて振動する。従って、ギ ャップの両側の溶接面を均等に加熱することができる。

【００２３】 上記第４の考案は、レーザビームを集光位置に集光させる凹面鏡を設け、この 凹面鏡を所定の点で支持し、この点を支点としてこの凹面鏡を所定の角度の範囲 内で周期的に振動させるものである。この構成により、レーザビームの集光位置 はジグザグの軌跡を描いて振動する。従って、ギャップの両側の溶接面を均等に 加熱することができる。

【００２４】 上記第５の考案は、レーザビームを集光位置に集光させる集光レンズをレーザ ビームの光軸上に直角に配し、この集光レンズを光軸に直角な方向に所定の振幅 を以て振動させるものである。この構成により、レーザビームの集光位置はジグ ザグの軌跡を描いて振動する。従って、ギャップを隔てて対向する２つの溶接面 を均等に加熱することができる。

【００２５】

【実施例】

以下、本考案の実施例を図面に基づいてより詳細に説明する。

【００２６】 本考案の第１の実施例に係るレーザビームオッシレータ装置を備えたレーザ溶 接用ノズルの断面構成を図１に示す。このレーザ溶接用ノズルでは、同図に示す ように、入射するレーザビームＢはノズル基体２０内の平面鏡１１によって反射 され、凹面鏡１２に入射する。凹面鏡１２はこの入射レーザビームＢを反射させ て集光位置Ｐに集光させる。

【００２７】 本実施例では、ノズル基体２０内の凹面鏡１２から集光位置Ｐに至る光路上に 、ＺｎＳｅからなる第１平面透光板１と第２平面透光板２とが設けられている。

【００２８】 第１平面透光板１はレーザビームＢの光軸Ｘに対して傾斜角度αを成すように設 けられ、第１平面透光板１の周辺部は第１回転支持体３によって支持されている 。第１回転支持体３はベアリング１６によってノズル基体２０に回転可能に支持 され、第１回転支持体３の下方には第１傘歯車５が取り付けられている。第１傘 歯車５の中央部にはレーザビームＢが通過し得るように穴が設けられている。第 １回転支持体３の回転により、第１平面透光板１は光軸Ｘに対して一定の傾斜角 度αを維持しながら回転することができる。

【００２９】 同様に、第２平面透光板２もレーザビームＢの光軸Ｘに対して傾斜角度αを成 すように設けられ、第２平面透光板２の周辺部は第２回転支持体４によって支持 されている。第２回転支持体４の先端には溶接ノズル１５が取り付けられている 。また、第２回転支持体４はベアリング１６によってノズル基体２０に回転可能 に支持され、第２回転支持体４の上方には第２傘歯車６が取り付けられている。

【００３０】 第１傘歯車５の歯数と第２傘歯車６の歯数とは同じである。第２傘歯車６の中央 部には、前述の第１傘歯車５の場合と同様に、レーザビームＢが通過し得るよう に穴が設けられている。第２回転支持体４の回転により、第２平面透光板２は光 軸Ｘに対して一定の傾斜角度αを維持しながら回転することができる。

【００３１】 第１傘歯車５及び第２傘歯車６は共に駆動傘歯車８に噛合しており、駆動傘歯 車８は駆動モータ９によって駆動される。従って、駆動モータ９による駆動傘歯 車８の回転駆動により、第１傘歯車５及び第２傘歯車６は互いに逆向きに回転し 、その回転周期は同じとなる。これにより、第１平面透光板１と第２平面透光板 ２とは同じ傾斜角度αを維持しながら、互いに逆向きに同じ周期で回転すること ができる。

【００３２】 本実施例のレーザビームオッシレータ装置は以下のように機能する。即ち、凹 面鏡１２で反射されて集光位置Ｐに向かうレーザビームＢは、第１平面透光板１ に入射し、次いで第２平面透光板２に入射する。第１平面透光板１及び第２平面 透光板２は光軸Ｘに対し傾斜角度αを以て設けられているので、第１平面透光板 １と第２平面透光板２とが平行となった場合には、前述の図２（ａ）及び（ｃ） に示すように、入射したレーザビームＢは第１平面透光板１及び第２平面透光板 ２の屈折作用により、光軸Ｘから距離±２ｅだけ偏心する。また、図２（ｂ）に 示すように、第１平面透光板１及び第２平面透光板２が互いに２αの角度を成し ている場合には、第１平面透光板１の屈折作用によって距離ｅだけ偏心したレー ザビームＢは、第２平面透光板２の屈折作用により光軸Ｘ上に戻されることにな る。従って、偏心距離は０となる。第１平面透光板１及び第２平面透光板２が互 いに平行な状態と互いに２αの角度を成している状態の中間の状態では、レーザ ビームは上記の距離±２ｅの位置とを結ぶ直線上に位置することになる。従って 、第１平面透光板１及び第２平面透光板２が互いに逆方向に回転しながら溶接面 に沿って移動すると、レーザビームＢの集光位置Ｐは、図２（ｄ）に示すように 振幅４ｅのジグザグの軌跡を描いて振動する。なお、本実施例に於ける溶接の進 行方向は、図２（ａ）〜（ｃ）の紙面の裏面側から表面側に向かう方向、又はそ の逆の方向である。紙面の左右の方向に集光位置Ｐを移動させる場合には、溶接 の進行方向と集光位置Ｐの振動方向とが一致してしまうため、第１平面透光板１ に対する第２平面透光板２の回転周期の位相を９０゜早めるか又は遅らせる必要 がある。

【００３３】 本実施例では、図２（ｄ）に示すように、レーザビームＢの集光位置Ｐが左右 に同じ形状の軌跡を描いて移動するので、一定距離のギャップを隔てて対向する ２つの溶接面を均等に加熱することができる。従って、前述の従来例のようにギ ャップの左右の面のうちの溶融速度の遅い方の面に合わせて溶接速度を設定する 必要はなくなり、溶接速度を向上させることが可能となる。

【００３４】 なお、本実施例では１つの駆動傘歯車８、１つの駆動モータ９を用いて第１平 面透光板１及び第２平面透光板２を回転させたが、第１平面透光板１及び第２平 面透光板２にそれぞれ独立に駆動装置を設けてもよい。その場合には、第１平面 透光板１及び第２平面透光板２の回転数が等しくなるように同期させる必要があ る。

【００３５】 本考案の第２の実施例に係るレーザビームオッシレータ装置を備えたレーザ溶 接用ノズルの断面構成を図３に示す。本実施例のレーザビームオッシレータ装置 は、前述の第１の実施例（図１）に於ける凹面鏡１２に代えて平面鏡３２を用い 、第１平面透光板１及び第２平面透光板２に代えて、それぞれ第１集光レンズ２ １及び第２集光レンズ２２を用いたものである。これらの点を除けば本実施例の 構成は前述の第１の実施例と同様であり、対応する部分には同じ符号を付してあ る。

【００３６】 本実施例に於いては、第１集光レンズ２１及び第２集光レンズ２２は、第１の 実施例に於ける凹面鏡１２の機能を果たすと共に、第１平面透光板１及び第２平 面透光板２の機能をも果たしている。従って、本実施例に於いてもレーザビーム の集光位置Ｐは図２（ｄ）に示すようにジグザグの軌跡を描いて振動する。

【００３７】 本実施例の第３の実施例に係るレーザビームオッシレータ装置を備えたレーザ 溶接用ノズルの断面構成を図４に示す。本実施例のレーザビームオッシレータ装 置は、前述の第２の実施例に於ける第１集光レンズ２１及び第２集光レンズ２２ に代えて、固定部材４９によって固定された単一の固定集光レンズ４０を有し、 固定された平面鏡３２に代えて振動平面鏡４２を有している。振動平面鏡４２は バネ４５及び取付板４８を介してノズル基体２０に取り付けられると共に、振動 平面鏡４２の一端は支点４３によって支持され、他端には永久磁石４４が取り付 けられている。また、取付板４８には電磁石４６が取り付けられており、その一 方の磁極４７が永久磁石４４に対向している。以上の点を除けば本実施例は前述 の第２の実施例と同様であり、対応する部分には同じ符号を付してある。

【００３８】 本実施例では電磁石４６の磁極４７の極性が周期的に変化することにより、磁 極４７と永久磁石４４との間の距離が支点４３を支点として変化し、振動平面鏡 ４２が所定の振幅で振動する。これにより、レーザビームＢの集光位置Ｐが図２ （ｄ）に示すようにジグザグの軌跡を描いて振動することになる。

【００３９】 本実施例の第４の実施例に係るレーザビームオッシレータ装置を備えたレーザ 溶接用ノズルの断面構成を図５に示す。本実施例のレーザビームオッシレータ装 置は、前述の第３の実施例に於ける振動平面鏡４２に代えて振動凹面鏡５２を用 い、固定集光レンズ４０を用いていない。これらの点を除けば、前述の第３の実 施例と同様であり、対応する部分には同じ符号を付してある。

【００４０】 本実施例に於いても磁極４７の極性の周期的な変化により、振動凹面鏡５２が 所定の振幅で振動する。これにより、レーザビームＢの集光位置Ｐが図２（ｄ） に示すようにジグザグの軌跡を描いて振動する。

【００４１】 本実施例の第５の実施例に係るレーザビームオッシレータ装置を備えたレーザ 溶接用ノズルの断面構成を図６に示す。本実施例のレーザビームオッシレータ装 置は、前述の第２の実施例（図３）に於ける第１集光レンズ２１及び第２集光レ ンズ２２に代えて振動集光レンズ６１を用いたものである。振動集光レンズ６１ の一端には固定部材６２が固定され、固定部材６２はバネ６５及び取付板６８を 介してノズル基体２０に振動可能に取り付けられている。また、振動集光レンズ ６１の他端には永久磁石６４が取り付けられており、永久磁石６４には電磁石６ ６の磁極６７が対向している。

【００４２】 本実施例では、電磁石６６の磁極６７の極性が周期的に変化することにより、 磁極６７と永久磁石６４との間の距離が変化し、振動集光レンズ６１が所定の振 幅で光軸Ｘに直角の方向に振動する。これにより、レーザビームＢの集光位置Ｐ が図２（ｄ）に示すようにジグザグの軌跡を描いて振動することになる。

【００４３】 なお、上記第３〜第５の実施例では、振動手段として永久磁石及び電磁石を用 いたが、本考案はこれに限定されるものではなく、他の周知の手段を用いること も可能であることは言うまでもない。

【００４４】

【考案の効果】

本考案に係るレーザビームオッシレータ装置を用いれば、ノズル先端部に集光 するレーザビームの集光位置の軌跡をジグザグ状とすることができ、溶接すべき 対称物のギャップの左右の溶接面を均等に溶融させることが可能となる。従って 、従来のようにギャップの左右の溶接面のうちの溶融速度が遅い方の面に合わせ て溶接速度を設定する必要はなくなり、溶接速度を図ることが可能となる。従っ て、本考案のレーザビームオッシレータ装置を用いることにより、溶接の作業効 率を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の第１の実施例に係るレーザビームオッ
シレータ装置を備えたレーザ溶接用ノズルの断面図であ
る。

【図２】（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は本考案のレーザビ
ームオッシレータ装置に於けるレーザビームを偏心させ
る原理の説明図、（ｄ）はレーザビームの集光位置の軌
跡を示す図である。

【図３】本考案の第２の実施例に係るレーザビームオッ
シレータ装置を備えたレーザ溶接用ノズルの断面図であ
る。

【図４】本考案の第３の実施例に係るレーザビームオッ
シレータ装置を備えたレーザ溶接用ノズルの断面図であ
る。

【図５】本考案の第４の実施例に係るレーザビームオッ
シレータ装置を備えたレーザ溶接用ノズルの断面図であ
る。

【図６】本考案の第５の実施例に係るレーザビームオッ
シレータ装置を備えたレーザ溶接用ノズルの断面図であ
る。

【図７】従来のレーザビームスピニング装置を備えたレ
ーザ溶接用ノズルの断面図である。

【図８】（ａ）及び（ｂ）は図７のレーザビームスピニ
ング装置に於けるレーザビームを偏心させる原理の説明
図、（ｃ）はレーザビームの集光位置の軌跡を示す図で
ある。

【符号の説明】

１…第１平面透光板 ２…第２平面透光板 ３…第１回転支持体 ４…第２回転支持体 ５…第１傘歯車 ６…第２傘歯車 ８…駆動傘歯車 ９…駆動モータ １１…平面鏡 １２…凹面鏡 １６…ベアリング ２０…ノズル基体 ２１…第１集光レンズ ２２…第２集光レンズ ３２…平面鏡 ４０…固定集光レンズ ４２…振動平面鏡 ４５，６５…バネ ４３，６３…支点 ４４，６４…永久磁石 ４６，６６…電磁石 ４７，６７…磁極 ５２…振動凹面鏡 ６１…振動集光レンズ Ｐ…集光位置 Ｘ…光軸 Ｂ…レーザビーム α…傾斜角度

Claims (5)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ノズル先端部に集光するレーザビームの
   集光位置を振動させるレーザビームオッシレータ装置で
   あって、 前記レーザビームの光路上に配され該レーザビームの光
   軸に対し所定の傾斜角度を維持しながら前記光軸を中心
   として回転する第１平面透光板と、 前記光軸に対し前記第１平面透光板と同じ傾斜角度を維
   持しながら前記第１平面透光板とは逆方向に回転する第
   ２平面透光板と、 これらの平面透光板を同周期で回転させる回転駆動手段
   とを備えたことを特徴とするレーザビームオッシレータ
   装置。
2. 【請求項２】 ノズル先端部に集光するレーザビームの
   集光位置を振動させるレーザビームオッシレータ装置で
   あって、 略平行なレーザビームの光軸に対し所定の傾斜角度を維
   持しながら前記光軸を中心として回転する第１集光レン
   ズと、 前記光軸に対し前記第１集光レンズと同じ傾斜角度を維
   持しながら前記第１集光レンズとは逆方向に回転する第
   ２集光レンズとこれらの集光レンズを同周期で回転させ
   る回転駆動手段とを備えたことを特徴とするレーザビー
   ムオッシレータ装置。
3. 【請求項３】 ノズル先端部に集光するレーザビームの
   集光位置を振動させるレーザビームオッシレータ装置で
   あって、 前記レーザビームの光路上に於いて該レーザビームの光
   軸に対して所定の傾斜角度を以て配された平面反射鏡
   と、 所定の点を支点として前記平面反射鏡の前記傾斜角度を
   所定の範囲内で周期的に変化させる振動手段とを備えた
   ことを特徴とするレーザビームオッシレータ装置。
4. 【請求項４】 ノズル先端部に集光するレーザビームの
   集光位置を振動させるレーザビームオッシレータ装置で
   あって、 略平行なレーザビームを前記集光位置に集光させる凹面
   鏡と、 所定の点を支点として前記凹面鏡を所定の角度の範囲内
   で周期的に変化させる振動手段とを備えたことを特徴と
   するレーザビームオッシレータ装置。
5. 【請求項５】 ノズル先端部に集光するレーザビームの
   集光位置を振動させるレーザビームオッシレータ装置で
   あって、 略平行なレーザビームの光軸上に直角に配された集光レ
   ンズと、 該集光レンズを前記光軸に対し直角方向に所定の振幅を
   以て振動させる振動手段とを備えたことを特徴とするレ
   ーザビームオッシレータ装置。