JPH0669324A

JPH0669324A - 薄膜部品の仮固定方法

Info

Publication number: JPH0669324A
Application number: JP24558492A
Authority: JP
Inventors: Yuichi Shimoda; 勇一下田; Naoki Takahashi; 直紀高橋
Original assignee: Hitachi Ltd; Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd; Hitachi High Tech Corp
Priority date: 1992-08-21
Filing date: 1992-08-21
Publication date: 1994-03-11

Abstract

(57)【要約】【目的】薄膜部品に対するホットメルト固定法におい
て、風圧による移動を防止してエアの噴き付けにより強
制冷却し、冷却時間を短縮できる仮固定方法を提供す
る。【構成】薄膜部品１を搬送するハンドリング機構５に
噴射ノズル62を設け、治具２に載置された薄膜部品１が
移動しない程度の弱い風圧でエアＡを噴き付けて、液状
のワックス３を冷却して半硬化状態とし、ついで、より
強い風圧でエアＡを噴き付け、半硬化状態のワックス３
を強制冷却して急速に完全硬化する。上記のエアＡの風
圧の強弱は、エア圧制御部64の制御によるか、または、
ハンドリング機構５の移動による噴射ノズル62の距離変
化により行う。【効果】ワックス３の冷却時間が大幅に短縮され、仮
固定が効率化されて薄膜部品１の量産化に寄与する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、治具などの表面に対
して薄膜部品をワックスにより仮固定する方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体などの薄膜部品の加工や検査にお
いては、これを治具に着脱容易に仮固定してなされる場
合がある。この場合の仮固定方法には、ワックスを使用
する、いわゆるホツトメルト法が好都合であるとして使
用されている。図４によりこれを説明する。図４(a) に
おいて、治具２の上側表面にはワックス３が塗布されて
いる。ワックス３は常温付近で完全に硬化し、加熱によ
り温度が上昇するに従って漸次に軟化して半硬化状態と
なり、さらに温度が上昇すると遂に液状となる。治具２
は加熱・冷却部４の加熱器41により加熱され、この熱が
伝達されてワックス３を液状とし、これに薄膜部品１が
載置される。加熱・冷却部４のポンプ43により配管42に
冷却水Ｗを通し、ワックス３を常温付近に冷却して完全
硬化させると、薄膜部品１は治具２に仮固定される。つ
いで、治具２は所定の位置に移動して薄膜部品１の加工
または検査がなされ、これが終了すると、治具２再加熱
してワックス３を液状とし、薄膜部品１が脱去される。
この場合、薄膜部品１の処理を効率化するために脱去専
用の加熱台（図示省略）を設け、これに治具２を載置し
て薄膜部品１を脱去する方法がとられている。以上のよ
うに温度によりワックス３が液状または硬化する性質を
利用する仮固定方法はホットメルト固定法とよばれてい
る。図４(b) は、配管42と冷却水Ｗの代わりに、ペルチ
ェ素子44を設け、これにＤＣ電流を通してワックス３を
冷却する場合を示す。なお、ペルチェ素子44は電流の方
向により発熱するので、これのみで冷却と加熱を行うこ
とができ、その場合は当然加熱器41は不要である。

【０００３】上記において、治具２に対する薄膜部品１
の搬送・載置を自動化するために、ロボットハンドリン
グ機構が使用されており、その一例を図５に示す。図５
において、ハンドリング機構５はハンドリングアーム51
の先端に、例えばエア吸着方式のチャック部52が設けら
れ、薄膜部品１はチャック部52にエア吸着され、アーム
51の操作により治具２の上部に搬送されて下降し、治具
２の表面に載置されて上記により仮固定される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記の冷却水Ｗによる
ワックス３の冷却方法においては、冷却または再加熱が
治具２を介してなされるためかなりの時間を要し、すな
わち温度に対する応答性が良好でない。また、この方法
では配管42の水漏れが発生し易いばかりでなく、冷却水
Ｗの温度上昇を防ぐために配管42などに放熱部が必要で
あるなどの欠点がある。また、上記のペルチェ素子44に
よる冷却方法においては、水漏れの恐れがなく、電流の
制御のみにより冷却または加熱が可能であるので機構が
簡易な利点があるが、温度に対する応答性が良好でない
ことは冷却水Ｗの場合と同様である。最近における薄膜
部品１の量産化に対応して、治具２に対する仮固定を迅
速、効率的に行うことが必要とされ、すくなくとも冷却
方式を改善することが要請されている。これに対して風
力によりワックス３を強制冷却する方法が有効と考えら
れるが、載置された時点の薄膜部品は、ワックス３が液
状のために風圧により移動するので、正しい位置に仮固
定することができない。そこで、風圧を適当に制御して
この移動を防止する対策が必要である。この発明は以上
に鑑みてなされたもので、風圧による移動を防止して強
制冷却し、冷却時間を短縮できる薄膜部品の仮固定方法
を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この発明は、上記の目的
を達成する薄膜部品の仮固定方法であって、薄膜部品を
搬送するハンドリング機構に噴射ノズルを設ける。噴射
ノズルにより、治具に載置された薄膜部品が移動しない
程度の弱い風圧でエアを噴き付けて、液状のワックスを
冷却して半硬化状態とし、ついで、より強い風圧でエア
を噴き付け、半硬化状態のワックスを強制冷却して急速
に完全硬化する。上記において、ハンドリング機構の移
動により、噴射ノズルを薄膜部品に対して接近した一定
の位置とし、エア圧制御部による噴射ノズルの噴射エア
圧の制御により、薄膜部品に対する上記の弱い風圧また
は強い風圧の噴き付けをそれぞれ行う。または、噴射ノ
ズルの噴射エア圧を一定とし、ハンドリング機構の移動
による噴射ノズルの距離制御により、薄膜部品に対する
上記の弱い風圧または強い風圧の噴き付けをそれぞれ行
う。

【０００６】

【作用】上記の仮固定方法においては、ハンドリング機
構に設けられた噴射ノズルより、まず弱い風圧のエアが
薄膜部品に噴き付けられて、液状のワックスの流動性に
かかわらず薄膜部品は移動せず、ワックスは自然冷却よ
り速く冷却して半硬化する。ついで、より強い風圧のエ
アが噴き付けられて、半硬化状態のワックスは強制冷却
されて急速に完全硬化し、薄膜部品は治具に仮固定され
る。上記における弱い風圧または強い風圧の制御は、ハ
ンドリング機構により噴射ノズルを薄膜部品に対して接
近した一定の位置とし、エア圧制御部により噴射ノズル
の噴射エア圧を制御してなされる。または、噴射ノズル
の噴射エア圧を一定とし、ハンドリング機構により噴射
ノズルの距離を制御してなされ、それぞれの噴き付けが
行われる。以上により、仮固定に要する時間は従来に比
較して著しく短縮される。

【０００７】

【実施例】図１はこの発明の一実施例を示し、図２は図
１に対する仮固定方法の手順の説明図、図３はこの発明
の仮固定方法と、自然冷却および従来の冷却方法におけ
るワックスの冷却曲線の比較説明図である。

【０００８】図１において、治具２には前記したワック
ス３が塗布されており、また治具２の下部には加熱器71
を内蔵した加熱部７が設けられる。これに対して、ハン
ドリング機構５は前記した図５と同様のものとし、これ
にエア噴射機構６を設ける。エア噴射機構６は、ハンド
リング機構５のチャック部52に対して、支持具61により
噴射ノズル62を取り付け、噴射ノズル62はパイプ63によ
りエア圧制御部64に接続される。ただし、図では噴射ノ
ズル62を１個としたが、薄膜部品１の大きさに対応して
必要な個数を配列する。なお、チャック部52はパイプ53
により吸気部54に接続されている。

【０００９】図２と図３により、治具２に対する薄膜部
品１の仮固定方法と、その時間短縮効果を説明する。図
２(a) において、加熱器71により治具２を介してワック
ス３を加熱して液状とする。チャック部52に薄膜部品１
を吸着し、アーム51の操作により薄膜部品１を搬送して
治具２の表面に載置する。ここで、アーム51を操作して
チャック部52を斜め上方の適当な位置に移動し、エア圧
制御部64の制御により、噴射ノズル62より一定の噴射圧
のエアＡを噴射して薄膜部品１に噴き付ける。この噴き
付け開始時点を図３のｔ₀ とする。この場合、噴射ノズ
ル62の位置はエアＡの風圧が弱くて薄膜部品１が移動し
ない距離間隔とする。弱い風圧のエアＡによりワックス
３は、図３の曲線Ｑ₀ で示す自然冷却、または曲線Ｑ₁
で示す従来の冷却水方式より速い速度の曲線Ｑ₂ に沿っ
て冷却し、時点ｔ₁ で半硬化する。半硬化により薄膜部
品１はより強い風圧でも移動しないので、アーム51の操
作により噴射ノズル62を(b) に示す位置に移動し、薄膜
部品１に対してより強い風圧のエアＡを噴き付けると、
曲線Ｑ₃ に沿ってワックス３は強制冷却され、時点ｔ₂
で完全硬化して薄膜部品１は治具２に仮固定される。こ
のあと、前記したように、治具２は所定の位置に移動し
て薄膜部品１に対する加工または検査がなされ、これが
終了すると脱去専用の加熱台により薄膜部品１は治具２
より脱去される。なお、治具２は複数個が用意されてお
り、この脱去作業中に他の薄膜部品の仮固定と加工また
は検査処理が平行して行われる。図３において、曲線Ｑ
₀,Ｑ₁ に対する完全硬化時点をｔ₄,ｔ₃ とすると、これ
に比べてこの発明の方法における完全硬化時点ｔ₂ は大
幅（実例では５分の１）に短縮されることが了解でき
る。以上は、噴射ノズル62の位置を変えてエアＡの風圧
を変化する方法であるが、噴射ノズル62を、図２(b) の
ように一定の位置に置き、エア圧制御部64により噴射エ
ア圧を制御して薄膜部品１に対する風圧を変化させる方
法でも、上記と同一の結果がえられることは明らかであ
る。

【００１０】

【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明による薄
膜部品の仮固定方法においては、ハンドリング機構に噴
射ノズルを設け、薄膜部品に対して、まず弱い風圧のエ
アを噴き付けて、液状のワックスの流動性による薄膜部
品の移動を回避し、ワックスを自然冷却、または従来の
冷却水の方式より速く冷却して半硬化し、ついで、より
強い風圧のエアを噴き付けて、ワックスを強制冷却して
急速に完全硬化し、薄膜部品を治具に仮固定するもの
で、風圧の強弱は、噴射ノズルを一定の位置とし、エア
圧制御部により噴射エア圧を制御するか、または、噴射
エア圧を一定とし、噴射ノズルの距離間隔を変化する方
法により行われ、いずれにしても仮固定に要する時間は
従来に比較して著しく短縮され、薄膜部品の量産化に寄
与するところには大きいものがある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例における構成図を示す。

【図２】図１に対する薄膜部品の仮固定方法の手順の
説明図である。

【図３】この発明の仮固定方法と、自然冷却および従
来の冷却方法によるワックスの冷却曲線の比較説明図で
ある。

【図４】ワックスによるホットメルト固定法の説明図
で、(a) は冷却水による方法、(b) はペルチェ素子によ
る方法を示す。

【図５】薄膜部品に対するハンドリング機構の構成図
である。

【符号の説明】

１…薄膜部品、２…治具、３…ワックス、４…加熱・冷
却部、41…加熱器、42…配管、43…ポンプ、44…ペルチ
ェ素子、５…ハンドリング機構、51…ハンドリングアー
ム、52…チャック部、53…パイプ、54…吸気部、６…エ
ア噴射機構、61…支持具、62…噴射ノズル、63…パイ
プ、64…エア圧制御部、７…加熱部、71…加熱器。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】治具などの表面に塗布されたワックスを
一定の温度に加熱して液状とし、ハンドリング機構によ
り搬送され、該表面に載置された薄膜部品に対して、該
ワックスを冷却・硬化して行う、前記治具などに対する
該薄膜部品の仮固定において、前記ハンドリング機構に
噴射ノズルを設け、該噴射ノズルにより前記治具に載置
された薄膜部品が移動しない程度の弱い風圧でエアを噴
き付けて、前記液状のワックスを冷却して半硬化状態と
し、ついで、より強い風圧でエアを噴き付け、該半硬化
状態のワックスを強制冷却して急速に完全硬化すること
を特徴とする、薄膜部品の仮固定方法。
【請求項２】前記ハンドリング機構の移動により、噴
射ノズルを薄膜部品に対して接近した一定の位置とし、
エア制御部による該噴射ノズルの噴射エア圧の制御によ
り、薄膜部品に対する前記弱い風圧または強い風圧の噴
き付けをそれぞれ行う、請求項１記載の薄膜部品の仮固
定方法。
【請求項３】前記噴射ノズルの噴射エア圧を一定と
し、前記ハンドリング機構の移動による噴射ノズルの距
離制御により、薄膜部品に対する前記弱い風圧または強
い風圧の噴き付けをそれぞれ行う、請求項１記載の薄膜
部品の仮固定方法。