JPH0655025A - フィルターアタッチメント - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 クリーンルームにおける静粛性向上を可能に
すると共に、クリーンルームに吹きおろす清浄空気の風
速の均一化を得る。 【構成】 厚さ方向に通気性良好な吸音材の上下に通気
抵抗性網を一体に積層した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、高性能エアフィルター
で空気を濾過して清浄空気をクリーンルームに供給する
クリーンエアー装置の、騒音減衰と気流均一化のため、
高性能エアフィルターの上流側に高性能エアフィルター
に積層して用いるフィルターアタッチメントに関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】全面層流式もしくは単一方向気流式のク
リーンルーム用クリーンエアー装置では、フィルター下
流側において約０．１乃至０．５m/sec 以上の均一な風
速で大風量の清浄空気を送るために大型の送風機を使用
するから、フィルターの上流側において送風機等が発生
する騒音が大きいという問題点がある。特に、近年は天
井部でフィルターが占有するスペースを小さくすると共
に軽量化により取付，交換等の作業を容易化することを
目的としてフィルターの薄型化が進んでいるが、フィル
ターの薄型化はフィルタの遮音効果を減少させ、クリー
ンルーム内で聴取される騒音のレベルを上昇させてしま
う。

【０００３】また、上記方式のクリーンエアー装置で
は、天井面に敷設されたフィルターの上の空間に向けて
壁側から水平方向に圧送される空気の風速が大きいた
め、動圧の影響を受けてフィルター透過風量が不均一に
なり易く、そのため、フィルター下流側の風速にもむら
を生じ易い。透過風量を均一にするためフィルター上に
ダンパーを設置する方法は、フィルターの通気抵抗が大
きく且つ変わり易いクリーンエアー装置においては設
計、調節共に難しく、実際的ではない。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は上記の
点に鑑みて、クリーンルームにおける静粛性向上を可能
にすると共に、クリーンルームに吹きおろす清浄空気の
風速の均一化を可能にすることを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明フィルターアタッ
チメントは、厚さ方向に通気性良好な厚板状もしくはマ
ット状の吸音材と該吸音材の上下に配置された通気抵抗
性網とを一体化した。

【０００６】

【作用】このフィルターアタッチメントは、クリーンエ
アー装置の高性能エアフィルター上に、該フィルターを
全体にわたって覆うように配置して使用する。

【００１３】フィルターアタッチメントは、風速で移動
する恐れがなければフィルター上に単に載せるだけでも
よいが、簡単な手段により、フィルター上に固定もしく
は係止してもよい。

【０００７】エアーフィルター上に配置されたこのフィ
ルターアタッチメントは、風速の大きい領域ほど通気抵
抗性網の通気抵抗が大きくなって風速を抑えるので、送
風機から送り込まれた空気の動圧がフィルター透過風量
に及ぼす影響を最小限度にし、クリーンルームに流化す
る清浄空気の風速を均一化する。また、吸音材層が送風
機の騒音を吸収し、騒音レベルを顕著に低下させる。

【０００８】

【実施例】本発明の実施の一例を図面と共に説明する。

【０００９】図１にフィルター１と組み合わせて示した
本発明のフィルターアタッチメント２は、フィルター１
を通過する空気流の上流側にフィルター１と積層した状
態に設ける。フィルターアタッチメント２は、フィルタ
ー１と同じ平面形状を有し且つ格子状に支持床３を有す
る枠４の中に合成繊維製の通気抵抗性の網５、厚板状も
しくはマット状の吸音材６、および網５と同じ網７を重
ねて収容し、枠４からでないようにそれらが固定用補助
枠８で固定したものである。吸音材６は、図１に示す例
は、ハニカム構造体であって、断面六角形の貫通孔９を
有し、該貫通孔９を通って空気がフィルター１方向に流
れるように配置されている。

【００１０】厚板状吸音材の例としては、紙その他のシ
ート材料で作られたいわゆるハニカム構造の板があり、
貫通孔を厚さ方向に配置して用いる。ハニカム構造に
は、六角形、四角形、正弦波形など、様々な貫通孔形状
のものがあるが、いずれでもよい。この吸音材には大き
な機械的荷重がかかるわけではないので、ハニカム構造
程強固な構造体ではないハニカム構造類似の多孔構造の
板も使用可能である。

【００１１】吸音材６の他の例として図３に示す如く、
直線状或いは曲線状に屈折した板状体を縦方向に垂直に
或いは傾斜して並列したもの、小孔をパンチングした板
を水平状態に多段に並列したものがある。

【００１２】マット状吸音材としては、ガラス繊維、ロ
ックウール、金属繊維、各種有機合成繊維などからなる
ものをいずれも使用することができる。

【００１３】これらの吸音材６は、その素材や厚さによ
り、またハニカム構造の板においては貫通孔の形や断面
積により、マット状吸音材においては高密度等により、
吸音特性を異にする。即ち、吸音率の良い周波数が決っ
ている。よって、騒音源の騒音周波数を分析し、下げた
い周波数帯域に有効な吸音材６を選択することができれ
ば、騒音低減効果はさらに大きくなる。一方、クリーン
エアー装置が発生する騒音の周波数特性は装置によって
必ず異なるから、吸音材は使用する装置ごとに試験結果
に基づき最良の吸音効果を得られるものを選定すること
が望ましい。

【００１４】通気抵抗性の網５，７としては、金属細線
またはフィラメント状合成繊維からなる目の細かい網を
用いる。網目は、通常約５０乃至１００メッシュ程度の
ものが適当である。これより目の粗い網は、通気抵抗が
少なすぎ、後述する動圧緩和作用を期待できない。また
必要以上に目の細かい網は、圧力損失を大きくするだけ
なのでこれまた不適当である。上記編目は５０乃至１０
０メッシュのものを２枚使用し整流するときと、更に細
かい１００乃至２５０メッシュを１枚のみ使用する２つ
のケースが考えられる。

【００１５】通気抵抗性の網５，７と吸音材６とは若干
の間隙を置いて設けておく。こうすることにより網目を
通過した気流はハニカム構造の吸音材６に流入する前後
で更に整流効果が生ずることになる。

【００１６】枠４には、四周の要所に板状の係止金具１
０が固定され、フィルター１にフィルターアタッチメン
ト２を載置したときフィルター１の外周に係止金具１０
が嵌合し、両者を固定することが出来るようにしてい
る。

【００１７】このフィルターアタッチメント２は、図２
に示したように、通常のクリーンエアー装置１１におけ
るフイルターユニット１の上に、すべてのフィルター１
を覆うように置いて使用する。このとき、個々のフィル
ターアタッチメント２をフィルター１の真上に置くと、
係止金具１０がフィルター１の枠１２に密着係合して図
１の状態になり、容易には位置ずれを起こさないように
なる。

【００１８】上記装置において送風機１３を作動させる
と、フィルター１の上部空間１４に吹き込まれた空気
は、送風機１３の吹き込み圧により、網７、吸音材６、
網５、フィルター１の順に通過して、作業空間１５内に
流化する。

【００１９】そのとき、送風機１３により図２上で右側
から左側に向けて吹き込まれた気流の一部は左側の壁１
６に衝突して乱気流を生じ、乱気流の一部は当然下向き
にも流れる。フィルターアタッチメント２が無い場合、
左側の壁１６に近いフィルターほどこの下向き乱気流の
動圧の影響を強く受け、濾過風量が多くなるが、フィル
ターアタッチメント２を装着したこの装置の場合は、フ
ィルター１上に通気抵抗の大きい網５があるため、上記
動圧が直接フィルターに作用することはなくなり、濾過
風量はフィルターの位置とは関係なく一様になる。その
結果、作業空間１５内には清浄空気が一様な風速の層流
状態で流下する。

【００２０】また、吸音材６が送風機１３の騒音を吸収
するので、フィルター１を経由する騒音が顕著に減少
し、作業空間１５内の静粛性が向上する。

【００２１】

【発明の効果】上述のように、本発明フィルターアタッ
チメントは厚さ方向に通気性良好なハニカム構造体の吸
音材の上下に通気抵抗性網を一体に積層したため、クリ
ーンエアー装置における清浄空気流を均一化し、同時に
作業空間の静粛性を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明フィルターアタッチメントをフィルター
と組み合わせた状態を示す縦断面図である。

【図２】本発明フィルターアタッチメントを垂直層流型
クリーンルームに実施した状態を示す概略正図である。

【図３】フィルターアタッチメントの吸音材の他の実施
例を示すもので、Ａは平面図、Ｂは縦断面図である。

【符号の説明】

１ フィルター ２ フィルターアタッチメント ４ 枠 ５，７ 網 ６ 吸音材 ９ 吸音材貫通孔

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 厚さ方向に通気性良好な吸音材の上下に
   通気抵抗性網を一体に積層してなるフィルターアタッチ
   メント。