JPH0655025A - Filter attachment - Google Patents
Filter attachmentInfo
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- JPH0655025A JPH0655025A JP23282492A JP23282492A JPH0655025A JP H0655025 A JPH0655025 A JP H0655025A JP 23282492 A JP23282492 A JP 23282492A JP 23282492 A JP23282492 A JP 23282492A JP H0655025 A JPH0655025 A JP H0655025A
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- filter
- air
- absorbing material
- sound absorbing
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- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、高性能エアフィルター
で空気を濾過して清浄空気をクリーンルームに供給する
クリーンエアー装置の、騒音減衰と気流均一化のため、
高性能エアフィルターの上流側に高性能エアフィルター
に積層して用いるフィルターアタッチメントに関するも
のである。BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a clean air device for filtering air with a high-performance air filter and supplying clean air to a clean room, for noise attenuation and uniform air flow.
The present invention relates to a filter attachment used by being laminated on a high performance air filter on the upstream side of the high performance air filter.
【0002】[0002]
【従来の技術】全面層流式もしくは単一方向気流式のク
リーンルーム用クリーンエアー装置では、フィルター下
流側において約0.1乃至0.5m/sec 以上の均一な風
速で大風量の清浄空気を送るために大型の送風機を使用
するから、フィルターの上流側において送風機等が発生
する騒音が大きいという問題点がある。特に、近年は天
井部でフィルターが占有するスペースを小さくすると共
に軽量化により取付,交換等の作業を容易化することを
目的としてフィルターの薄型化が進んでいるが、フィル
ターの薄型化はフィルタの遮音効果を減少させ、クリー
ンルーム内で聴取される騒音のレベルを上昇させてしま
う。2. Description of the Related Art In a clean air device for a clean room of a laminar flow type or a unidirectional air flow type, a large amount of clean air is sent at a uniform wind speed of about 0.1 to 0.5 m / sec or more on the downstream side of the filter. Therefore, since a large blower is used, there is a problem that noise generated by the blower or the like is large on the upstream side of the filter. In particular, in recent years, filters have been thinned for the purpose of reducing the space occupied by the filters in the ceiling and facilitating work such as installation and replacement due to weight reduction. It reduces the sound insulation effect and raises the level of noise heard in a clean room.
【0003】また、上記方式のクリーンエアー装置で
は、天井面に敷設されたフィルターの上の空間に向けて
壁側から水平方向に圧送される空気の風速が大きいた
め、動圧の影響を受けてフィルター透過風量が不均一に
なり易く、そのため、フィルター下流側の風速にもむら
を生じ易い。透過風量を均一にするためフィルター上に
ダンパーを設置する方法は、フィルターの通気抵抗が大
きく且つ変わり易いクリーンエアー装置においては設
計、調節共に難しく、実際的ではない。Further, in the above-described clean air apparatus, since the wind velocity of the air horizontally pumped from the wall side toward the space above the filter laid on the ceiling surface is high, it is affected by dynamic pressure. The amount of air passing through the filter is likely to be non-uniform, so that the wind velocity on the downstream side of the filter is likely to be uneven. The method of installing a damper on the filter in order to make the amount of permeated air uniform is impractical because it is difficult to design and adjust in a clean air device in which the ventilation resistance of the filter is large and variable.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は上記の
点に鑑みて、クリーンルームにおける静粛性向上を可能
にすると共に、クリーンルームに吹きおろす清浄空気の
風速の均一化を可能にすることを目的とする。Therefore, in view of the above points, the present invention has an object to improve quietness in a clean room and to make uniform the wind speed of clean air blown into the clean room. To do.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明フィルターアタッ
チメントは、厚さ方向に通気性良好な厚板状もしくはマ
ット状の吸音材と該吸音材の上下に配置された通気抵抗
性網とを一体化した。The filter attachment of the present invention comprises a thick plate-like or mat-like sound absorbing material having good air permeability in the thickness direction and a ventilation resistant net disposed above and below the sound absorbing material. did.
【0006】[0006]
【作用】このフィルターアタッチメントは、クリーンエ
アー装置の高性能エアフィルター上に、該フィルターを
全体にわたって覆うように配置して使用する。This filter attachment is used by disposing it on a high performance air filter of a clean air device so as to cover the entire filter.
【0013】フィルターアタッチメントは、風速で移動
する恐れがなければフィルター上に単に載せるだけでも
よいが、簡単な手段により、フィルター上に固定もしく
は係止してもよい。The filter attachment may be simply mounted on the filter if there is no fear of moving at wind speed, but it may be fixed or locked on the filter by a simple means.
【0007】エアーフィルター上に配置されたこのフィ
ルターアタッチメントは、風速の大きい領域ほど通気抵
抗性網の通気抵抗が大きくなって風速を抑えるので、送
風機から送り込まれた空気の動圧がフィルター透過風量
に及ぼす影響を最小限度にし、クリーンルームに流化す
る清浄空気の風速を均一化する。また、吸音材層が送風
機の騒音を吸収し、騒音レベルを顕著に低下させる。This filter attachment arranged on the air filter suppresses the wind speed by increasing the ventilation resistance of the ventilation resistance net in a region where the wind speed is higher, so the dynamic pressure of the air sent from the blower becomes the filter permeation air volume. Minimize the effect on the air flow and uniformize the wind speed of the clean air flowing into the clean room. Further, the sound absorbing material layer absorbs the noise of the blower, and significantly reduces the noise level.
【0008】[0008]
【実施例】本発明の実施の一例を図面と共に説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An example of the embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
【0009】図1にフィルター1と組み合わせて示した
本発明のフィルターアタッチメント2は、フィルター1
を通過する空気流の上流側にフィルター1と積層した状
態に設ける。フィルターアタッチメント2は、フィルタ
ー1と同じ平面形状を有し且つ格子状に支持床3を有す
る枠4の中に合成繊維製の通気抵抗性の網5、厚板状も
しくはマット状の吸音材6、および網5と同じ網7を重
ねて収容し、枠4からでないようにそれらが固定用補助
枠8で固定したものである。吸音材6は、図1に示す例
は、ハニカム構造体であって、断面六角形の貫通孔9を
有し、該貫通孔9を通って空気がフィルター1方向に流
れるように配置されている。The filter attachment 2 of the present invention shown in combination with the filter 1 in FIG.
It is provided in a state of being laminated with the filter 1 on the upstream side of the air flow passing through. The filter attachment 2 has the same plane shape as that of the filter 1 and has a frame 4 having a support floor 3 in a lattice shape, and a ventilation-resistant net 5 made of synthetic fiber, a thick plate-shaped or mat-shaped sound absorbing material 6, Also, the same net 7 as the net 5 is housed in a stack, and they are fixed by a fixing auxiliary frame 8 so that they are not from the frame 4. The sound absorbing material 6 is a honeycomb structure in the example shown in FIG. 1, has a through hole 9 having a hexagonal cross section, and is arranged so that air flows through the through hole 9 toward the filter 1. .
【0010】厚板状吸音材の例としては、紙その他のシ
ート材料で作られたいわゆるハニカム構造の板があり、
貫通孔を厚さ方向に配置して用いる。ハニカム構造に
は、六角形、四角形、正弦波形など、様々な貫通孔形状
のものがあるが、いずれでもよい。この吸音材には大き
な機械的荷重がかかるわけではないので、ハニカム構造
程強固な構造体ではないハニカム構造類似の多孔構造の
板も使用可能である。An example of the thick plate sound absorbing material is a so-called honeycomb structure plate made of paper or other sheet material,
The through holes are arranged in the thickness direction and used. The honeycomb structure has various through-hole shapes such as a hexagonal shape, a square shape, and a sinusoidal shape, but any shape may be used. Since a large mechanical load is not applied to this sound absorbing material, it is also possible to use a plate having a porous structure similar to a honeycomb structure, which is not a structure as rigid as a honeycomb structure.
【0011】吸音材6の他の例として図3に示す如く、
直線状或いは曲線状に屈折した板状体を縦方向に垂直に
或いは傾斜して並列したもの、小孔をパンチングした板
を水平状態に多段に並列したものがある。As another example of the sound absorbing material 6, as shown in FIG.
There are a plate-like body that is bent in a straight line or a curved line and is arranged vertically or inclined in the vertical direction, and a plate in which small holes are punched is horizontally arranged in multiple stages.
【0012】マット状吸音材としては、ガラス繊維、ロ
ックウール、金属繊維、各種有機合成繊維などからなる
ものをいずれも使用することができる。As the matte sound absorbing material, any material made of glass fiber, rock wool, metal fiber, various organic synthetic fibers and the like can be used.
【0013】これらの吸音材6は、その素材や厚さによ
り、またハニカム構造の板においては貫通孔の形や断面
積により、マット状吸音材においては高密度等により、
吸音特性を異にする。即ち、吸音率の良い周波数が決っ
ている。よって、騒音源の騒音周波数を分析し、下げた
い周波数帯域に有効な吸音材6を選択することができれ
ば、騒音低減効果はさらに大きくなる。一方、クリーン
エアー装置が発生する騒音の周波数特性は装置によって
必ず異なるから、吸音材は使用する装置ごとに試験結果
に基づき最良の吸音効果を得られるものを選定すること
が望ましい。These sound-absorbing materials 6 depend on the material and thickness thereof, the shape and cross-sectional area of the through holes in the honeycomb structure plate, and the high density in the mat-like sound-absorbing material.
Different sound absorption characteristics. That is, the frequency with a good sound absorption rate is determined. Therefore, if the noise frequency of the noise source can be analyzed and the sound absorbing material 6 effective for the frequency band to be lowered can be selected, the noise reduction effect is further enhanced. On the other hand, since the frequency characteristics of the noise generated by the clean air device are always different depending on the device, it is desirable to select the sound absorbing material that can obtain the best sound absorbing effect based on the test results for each device used.
【0014】通気抵抗性の網5,7としては、金属細線
またはフィラメント状合成繊維からなる目の細かい網を
用いる。網目は、通常約50乃至100メッシュ程度の
ものが適当である。これより目の粗い網は、通気抵抗が
少なすぎ、後述する動圧緩和作用を期待できない。また
必要以上に目の細かい網は、圧力損失を大きくするだけ
なのでこれまた不適当である。上記編目は50乃至10
0メッシュのものを2枚使用し整流するときと、更に細
かい100乃至250メッシュを1枚のみ使用する2つ
のケースが考えられる。As the ventilation resistant nets 5 and 7, fine nets made of fine metal wires or filamentary synthetic fibers are used. Generally, a mesh having a mesh size of about 50 to 100 mesh is suitable. A mesh having a mesh smaller than this has too little ventilation resistance and cannot be expected to have a dynamic pressure relaxation effect described later. Further, a mesh with finer mesh than necessary is not suitable because it only increases the pressure loss. The stitches are 50 to 10
There are two cases in which two sheets of 0 mesh are used for rectification and two cases of finer 100 to 250 meshes are used.
【0015】通気抵抗性の網5,7と吸音材6とは若干
の間隙を置いて設けておく。こうすることにより網目を
通過した気流はハニカム構造の吸音材6に流入する前後
で更に整流効果が生ずることになる。The ventilation resistant nets 5 and 7 and the sound absorbing material 6 are provided with a slight gap. By doing so, the airflow that has passed through the mesh is further rectified before and after flowing into the sound absorbing material 6 having the honeycomb structure.
【0016】枠4には、四周の要所に板状の係止金具1
0が固定され、フィルター1にフィルターアタッチメン
ト2を載置したときフィルター1の外周に係止金具10
が嵌合し、両者を固定することが出来るようにしてい
る。The frame 4 has plate-like locking metal fittings 1 at four points around the frame.
0 is fixed, and when the filter attachment 2 is placed on the filter 1, the locking metal fitting 10 is attached to the outer periphery of the filter 1.
Are fitted so that both can be fixed.
【0017】このフィルターアタッチメント2は、図2
に示したように、通常のクリーンエアー装置11におけ
るフイルターユニット1の上に、すべてのフィルター1
を覆うように置いて使用する。このとき、個々のフィル
ターアタッチメント2をフィルター1の真上に置くと、
係止金具10がフィルター1の枠12に密着係合して図
1の状態になり、容易には位置ずれを起こさないように
なる。This filter attachment 2 is shown in FIG.
As shown in Fig. 1, all the filters 1 are placed on the filter unit 1 in the normal clean air device 11.
Use it by covering it. At this time, if each filter attachment 2 is placed right above the filter 1,
The locking metal fitting 10 is tightly engaged with the frame 12 of the filter 1 to be in the state shown in FIG. 1, so that the positional displacement is not easily caused.
【0018】上記装置において送風機13を作動させる
と、フィルター1の上部空間14に吹き込まれた空気
は、送風機13の吹き込み圧により、網7、吸音材6、
網5、フィルター1の順に通過して、作業空間15内に
流化する。When the blower 13 is operated in the above device, the air blown into the upper space 14 of the filter 1 is blown by the blower 13 so that the net 7, the sound absorbing material 6,
It passes through the mesh 5 and the filter 1 in this order and is fluidized in the working space 15.
【0019】そのとき、送風機13により図2上で右側
から左側に向けて吹き込まれた気流の一部は左側の壁1
6に衝突して乱気流を生じ、乱気流の一部は当然下向き
にも流れる。フィルターアタッチメント2が無い場合、
左側の壁16に近いフィルターほどこの下向き乱気流の
動圧の影響を強く受け、濾過風量が多くなるが、フィル
ターアタッチメント2を装着したこの装置の場合は、フ
ィルター1上に通気抵抗の大きい網5があるため、上記
動圧が直接フィルターに作用することはなくなり、濾過
風量はフィルターの位置とは関係なく一様になる。その
結果、作業空間15内には清浄空気が一様な風速の層流
状態で流下する。At that time, a part of the air flow blown from the right side to the left side in FIG.
6, the turbulence is generated and a part of the turbulence naturally flows downward. If there is no filter attachment 2,
A filter closer to the left wall 16 is more strongly affected by the dynamic pressure of the downward turbulence and the amount of filtered air increases, but in the case of this device equipped with the filter attachment 2, the mesh 5 having a large ventilation resistance is provided on the filter 1. Therefore, the dynamic pressure does not directly act on the filter, and the amount of filtered air becomes uniform regardless of the position of the filter. As a result, clean air flows in the working space 15 in a laminar flow state with a uniform wind speed.
【0020】また、吸音材6が送風機13の騒音を吸収
するので、フィルター1を経由する騒音が顕著に減少
し、作業空間15内の静粛性が向上する。Further, since the sound absorbing material 6 absorbs the noise of the blower 13, the noise passing through the filter 1 is significantly reduced, and the quietness in the working space 15 is improved.
【0021】[0021]
【発明の効果】上述のように、本発明フィルターアタッ
チメントは厚さ方向に通気性良好なハニカム構造体の吸
音材の上下に通気抵抗性網を一体に積層したため、クリ
ーンエアー装置における清浄空気流を均一化し、同時に
作業空間の静粛性を向上させることができる。As described above, according to the filter attachment of the present invention, since the ventilation resistant nets are integrally laminated above and below the sound absorbing material of the honeycomb structure having good air permeability in the thickness direction, the clean air flow in the clean air device is prevented. It is possible to make the work uniform and at the same time improve the quietness of the work space.
【図1】本発明フィルターアタッチメントをフィルター
と組み合わせた状態を示す縦断面図である。FIG. 1 is a vertical cross-sectional view showing a state in which a filter attachment of the present invention is combined with a filter.
【図2】本発明フィルターアタッチメントを垂直層流型
クリーンルームに実施した状態を示す概略正図である。FIG. 2 is a schematic front view showing a state in which the filter attachment of the present invention is applied to a vertical laminar flow type clean room.
【図3】フィルターアタッチメントの吸音材の他の実施
例を示すもので、Aは平面図、Bは縦断面図である。3A and 3B show another embodiment of the sound absorbing material of the filter attachment, where A is a plan view and B is a longitudinal sectional view.
1 フィルター 2 フィルターアタッチメント 4 枠 5,7 網 6 吸音材 9 吸音材貫通孔 1 Filter 2 Filter Attachment 4 Frame 5,7 Net 6 Sound Absorbing Material 9 Sound Absorbing Material Through Hole
Claims (1)
通気抵抗性網を一体に積層してなるフィルターアタッチ
メント。1. A filter attachment comprising a sound-absorbing material having good air permeability in the thickness direction, and air-permeable meshes which are integrally laminated above and below the sound-absorbing material.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23282492A JPH074495B2 (en) | 1992-08-07 | 1992-08-07 | Filter attachment |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23282492A JPH074495B2 (en) | 1992-08-07 | 1992-08-07 | Filter attachment |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0655025A true JPH0655025A (en) | 1994-03-01 |
JPH074495B2 JPH074495B2 (en) | 1995-01-25 |
Family
ID=16945359
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23282492A Expired - Lifetime JPH074495B2 (en) | 1992-08-07 | 1992-08-07 | Filter attachment |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH074495B2 (en) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003190238A (en) * | 2001-12-28 | 2003-07-08 | Kawaei Seisakusho:Kk | Air bag with muffler function |
US7017377B2 (en) | 2001-06-06 | 2006-03-28 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Washing machine with vector control for drive motor |
JP2007203252A (en) * | 2006-02-03 | 2007-08-16 | Nippon Muki Co Ltd | Filter for ventilation opening |
JP2008086873A (en) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Japan Servo Co Ltd | Fan filter unit |
KR102212450B1 (en) * | 2019-11-28 | 2021-02-08 | 한국철도기술연구원 | Simultaneous reduction device for noise and fine dust |
WO2021109100A1 (en) * | 2019-12-05 | 2021-06-10 | 张曼莉 | Enhanced uc double-layer air conditioning filter mesh which is warm in winter and cool in summer |
-
1992
- 1992-08-07 JP JP23282492A patent/JPH074495B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH074495B2 (en) | 1995-01-25 |
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