JPH0653909U - Coordinate measuring machine - Google Patents
Coordinate measuring machineInfo
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- JPH0653909U JPH0653909U JP8844392U JP8844392U JPH0653909U JP H0653909 U JPH0653909 U JP H0653909U JP 8844392 U JP8844392 U JP 8844392U JP 8844392 U JP8844392 U JP 8844392U JP H0653909 U JPH0653909 U JP H0653909U
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- roller portion
- wire
- diameter roller
- roller
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 座標測定機のコンパクト化を図ることを目的
とする。
【構成】 駆動ローラ１２を同軸上に設けられた大径ロ
ーラ部１２Ａ及び小径ローラ部１２Ｂで構成し、大径ロ
ーラ部１２Ａにワイヤ１８Ａ、１８Ｂを巻き付けると共
にワイヤ１８Ａ、１８Ｂの端部を大径ローラ部１２Ａに
連結する。また、小径ローラ部１２Ｂにワイヤ２０を巻
き付けると共にワイヤ２０の端部を小径ローラ部１２Ｂ
に連結する。そして、垂直方向に移動自在に設けられた
Ｚキャリッジ５８をワイヤ１８Ａ、１８Ｂに懸架し、垂
直方向に移動自在に設けられたバランスウエイト５６を
ワイヤ２０に懸架してＺキャリッジ５６の自重を相殺す
る。このように、大径ローラ部１２Ａと小径ローラ部１
２Ｂを備えてＺキャリッジ５８の移動量と比較してバラ
ンスウエイト５６の移動量を減少させたので、座標測定
機の測定テーブルに沿って移動するＹキャリッジ３２の
高さよりＺキャリッジ５８の移動量を大きく設定して
も、バランスウエイト５６をＹキャリッジ３２内に収納
することができる。
(57) [Summary] [Purpose] The purpose is to make the coordinate measuring machine compact. [Structure] The drive roller 12 is composed of a large-diameter roller portion 12A and a small-diameter roller portion 12B that are coaxially provided. The wires 18A and 18B are wound around the large-diameter roller portion 12A and the ends of the wires 18A and 18B are made large diameter. It is connected to the roller portion 12A. Further, the wire 20 is wound around the small-diameter roller portion 12B, and the end portion of the wire 20 is attached to the small-diameter roller portion 12B.
Connect to. Then, the Z carriage 58 movably provided in the vertical direction is suspended on the wires 18A and 18B, and the balance weight 56 movably provided in the vertical direction is suspended on the wire 20 to cancel the own weight of the Z carriage 56. . Thus, the large diameter roller portion 12A and the small diameter roller portion 1
2B is provided so that the movement amount of the balance weight 56 is reduced as compared with the movement amount of the Z carriage 58. Therefore, the movement amount of the Z carriage 58 is determined from the height of the Y carriage 32 that moves along the measurement table of the coordinate measuring machine. Even if the weight is set large, the balance weight 56 can be housed in the Y carriage 32.
Description
【０００１】[0001]
この考案は座標測定機に係り、特にＸ、Ｙ、Ｚ軸の３軸方向等にプローブを移 動して被測定物の形状を測定する座標測定機のＺキャリッジに使用される座標測 定機に関する。 The present invention relates to a coordinate measuring machine, and more particularly to a coordinate measuring machine used for a Z carriage of a coordinate measuring machine for measuring the shape of an object to be measured by moving a probe in three directions such as X, Y and Z axes. Regarding
【０００２】[0002]
図５に示すように座標測定機３０は門型に連結された一対のＹキャリッジ３２ と梁部材３４を備えている。梁部材３４にはＸキャリッジ３６がＸ−Ｘ方向に移 動可能に支持されている。Ｘキャリッジ３６の上面には一対の駆動ローラ３８Ａ 、３８Ｂが回動自在に設けられていて、一対の駆動ローラ３８Ａ、３８ＢはＤＣ サーボモータ（図示せず。）で駆動される。また、Ｘキャリッジ３６の後部傾斜 面には一対の振分けローラ４０Ａ、４０Ｂが回動自在に設けられている。 As shown in FIG. 5, the coordinate measuring machine 30 includes a pair of Y-carriage 32 and a beam member 34 connected in a gate shape. An X carriage 36 is supported on the beam member 34 so as to be movable in the XX direction. A pair of drive rollers 38A and 38B are rotatably provided on the upper surface of the X carriage 36, and the pair of drive rollers 38A and 38B are driven by a DC servo motor (not shown). A pair of sorting rollers 40A and 40B are rotatably provided on the rear inclined surface of the X carriage 36.
【０００３】 図４上で梁部材３４の右端部には第１の固定ローラ４４及び第３の固定ローラ ４６が回動自在に支持されていて、第３の固定ローラ４６は第１の固定ローラ４ ４の下側に近接して設けられている。梁部材３４の左端部には第２の固定ローラ ４８が回動自在に支持されている。また、一対の駆動ローラ３８Ａ、３８Ｂの下 方にはＺキャリッジ５８が配置されていて、Ｚキャリッジ５８の下端部にはワイ ヤ５０の両端部が取り付けられている。In FIG. 4, a first fixed roller 44 and a third fixed roller 46 are rotatably supported at the right end portion of the beam member 34. The third fixed roller 46 is the first fixed roller. It is provided close to the lower side of 44. A second fixed roller 48 is rotatably supported at the left end of the beam member 34. A Z carriage 58 is arranged below the pair of drive rollers 38A and 38B, and both ends of a wire 50 are attached to the lower end of the Z carriage 58.
【０００４】 また、図５上でＺキャリッジ５８の右側に一端部が連結されたワイヤ５０は駆 動ローラ３８Ａ、振分けローラ４０Ａ、第１の固定ローラ４４に掛けられる。そ して、第１の固定ローラ４４に掛けられて下方に延長されたワイヤ５０には吊下 げローラ５２が掛けられる。吊下げローラ５２にはバランスウエイト５６が懸垂 される。吊下げローラ５２が掛けられているワイヤ５０は、第３、第２の固定ロ ーラ４６、４８、振分けローラ４０Ｂ及び駆動ローラ３８Ｂを介してＺキャリッ ジ５８まで到達し、ワイヤ５０の他端部はＺキャリッジ５８に連結される。尚、 Ｚキャリッジ５８にはプローブ６０が設けられている。Further, in FIG. 5, the wire 50 whose one end is connected to the right side of the Z carriage 58 is hung on the drive roller 38 A, the distribution roller 40 A, and the first fixed roller 44. Then, a hanging roller 52 is hooked on the wire 50 extended downward by being hooked on the first fixed roller 44. A balance weight 56 is suspended from the suspension roller 52. The wire 50 on which the hanging roller 52 is hung reaches the Z carriage 58 via the third and second fixed rollers 46 and 48, the sorting roller 40B and the drive roller 38B, and the other end of the wire 50 is reached. The part is connected to the Z carriage 58. A probe 60 is provided on the Z carriage 58.
【０００５】 そして、Ｚキャリッジ５８の質量とバランスウエイト５６の質量が同一に設定 されているので、Ｚキャリッジ５８とバランスウエイト５６とが互いに釣り合う 。この場合、Ｚキャリッジ５８の移動量とバランスウエイト５６の移動量が同一 になる。従って、バランスウエイト５６をＹキャリッジ３２内に収納する場合、 Ｚキャリッジ５８の移動量はバランスウエイト５６の移動量と同様にＹキャリッ ジ３２の高さで制限される。Since the mass of the Z carriage 58 and the mass of the balance weight 56 are set to be the same, the Z carriage 58 and the balance weight 56 are balanced with each other. In this case, the movement amount of the Z carriage 58 and the movement amount of the balance weight 56 are the same. Therefore, when the balance weight 56 is housed in the Y carriage 32, the movement amount of the Z carriage 58 is limited by the height of the Y carriage 32, similarly to the movement amount of the balance weight 56.
【０００６】[0006]
従って、Ｚキャリッジ５８の移動量をＹキャリッジ３２の高さ寸法より大きく 設定する場合には、バランスウエイト５６をＹキャリッジ３２内に収納すること ができないので、座標測定機が大型化するという問題がある。 本考案はこのような事情に鑑みてなされたもので、Ｚキャリッジ５８の移動量 をＹキャリッジ３２の高さ寸法より大きく設定する場合にも、バランスウエイト ５６をＹキャリッジ３２内に収納して座標測定機のコンパクト化を図ることがで きる座標測定機を提供することを目的とする。 Therefore, when the movement amount of the Z carriage 58 is set to be larger than the height dimension of the Y carriage 32, the balance weight 56 cannot be stored in the Y carriage 32, which causes a problem that the coordinate measuring machine becomes large. is there. The present invention has been made in view of such a situation. Even when the movement amount of the Z carriage 58 is set to be larger than the height dimension of the Y carriage 32, the balance weight 56 is housed in the Y carriage 32 and coordinated. It is an object of the present invention to provide a coordinate measuring machine capable of making the measuring machine compact.
【０００７】[0007]
本考案は、前記目的を達成する為に、同軸上に設けられた大径ローラ部及び小 径ローラ部を有するローラと、端部がローラに連結されると共に大径ローラ部に 巻付き可能な第１ワイヤと、端部がローラに連結されると共に小径ローラ部に巻 付き可能な第２ワイヤと、第１ワイヤに懸垂され、垂直方向に移動自在に設けら れたキャリッジと、第２ワイヤに懸垂されてキャリッジの自重を相殺すると共に 、垂直方向に移動自在に設けられたバランスウエイトと、を備え、キャリッジを 任意の位置に移動してキャリッジに設けられたプローブで被測定物の形状を測定 することを特徴とする。 In order to achieve the above object, the present invention has a roller having a large-diameter roller portion and a small-diameter roller portion which are coaxially provided, and an end portion of which is connected to the roller and can be wound around the large-diameter roller portion. A first wire, a second wire whose end is connected to a roller and can be wound around a small-diameter roller portion, a carriage suspended from the first wire and vertically movable, and a second wire. The balance weight, which is suspended in the vertical direction to offset the weight of the carriage and is vertically movable, is used to move the carriage to an arbitrary position to check the shape of the DUT with the probe provided on the carriage. It is characterized by measuring.
【０００８】[0008]
【作用】 本考案によれば、ローラを同軸上に設けられた大径ローラ部及び小径ローラ部 で構成し、大径ローラ部に第１ワイヤを巻き付けると共に第１ワイヤの端部を大 径ローラ部に連結する。また、小径ローラ部に第２ワイヤを巻き付けると共に第 ２ワイヤの端部を小径ローラ部に連結する。そして、垂直方向に移動自在に設け られたキャリッジを第１ワイヤに懸垂し、垂直方向に移動自在に設けられたバラ ンスウエイトを第２ワイヤに懸垂してキャリッジの自重を相殺する。このように 、大径ローラ部と小径ローラ部を備えることにより、キャリッジの移動量と比較 してバランスウエイトの移動量を減少させることができる。According to the present invention, the roller is composed of a large-diameter roller portion and a small-diameter roller portion which are coaxially provided, and the first wire is wound around the large-diameter roller portion and the end portion of the first wire is attached to the large-diameter roller portion. Connect to the department. Further, the second wire is wound around the small diameter roller portion and the end portion of the second wire is connected to the small diameter roller portion. The vertically movable carriage is suspended from the first wire, and the vertically movable balance weight is suspended from the second wire to cancel the weight of the carriage. As described above, by providing the large diameter roller portion and the small diameter roller portion, the movement amount of the balance weight can be reduced as compared with the movement amount of the carriage.
【０００９】[0009]
以下添付図面に従って本考案に係る座標測定機について詳説する。図１は本考 案に係る座標測定機の正面図、図２は図１のＡ−Ａ断面図である。図１及び図２ において図５に示す従来の座標測定機３０と同一類似部材については同一符号を 付して説明を省略する。Ｘキャリッジ３６には駆動ローラ１２が回動自在に支持 されている。駆動ローラ１２は大径ローラ部１２Ａ及び一対の小径ローラ部１２ Ｂを有していて、一対の小径ローラ部１２Ｂは大径ローラ部１２Ａの両端部に同 軸上に設けられている。駆動ローラ１２には減速機１４を介してモータ１６が回 転力を伝達可能に連結されている。大径ローラ部１２Ａにはワイヤ１８Ａ、１８ Ｂの上端部が連結されると共に大径ローラ部１２Ａに並列に複数回巻き付けられ ている。そして、ワイヤ１８Ａ、１８Ｂの下端部はＺキャリッジ５８の下端部に 連結されている。 Hereinafter, a coordinate measuring machine according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a front view of a coordinate measuring machine according to the present invention, and FIG. 2 is a sectional view taken along the line AA of FIG. 1 and 2, the same members as those of the conventional coordinate measuring machine 30 shown in FIG. 5 are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted. The drive roller 12 is rotatably supported on the X carriage 36. The drive roller 12 has a large-diameter roller portion 12A and a pair of small-diameter roller portions 12B, and the pair of small-diameter roller portions 12B are coaxially provided at both ends of the large-diameter roller portion 12A. A motor 16 is connected to the drive roller 12 via a reduction gear 14 so as to be able to transmit a rotating force. The upper ends of the wires 18A and 18B are connected to the large-diameter roller portion 12A, and the wires 18A and 18B are wound around the large-diameter roller portion 12A in parallel a plurality of times. The lower ends of the wires 18A and 18B are connected to the lower end of the Z carriage 58.
【００１０】 また、図１上で駆動ローラ１２の左側の小径ローラ部１２Ｂにはワイヤ２０の 一端部が連結されると共に複数回巻き付けられている。そして、ワイヤ２０は振 分けローラ４０Ａを介してそれぞれ左の方向に振分けられる。左側に振分けられ たワイヤ２０は第１の固定ローラ４４を介して下方向に延長されて、延長された ワイヤ２０には吊下げローラ５２が掛けられる。吊下げローラ５２にはバランス ウエイト５６が懸垂される。吊下げローラ５２が掛けられたワイヤ５０は、第３ 、第２の固定ローラ４６、４８、振分けローラ４０Ｂを介して駆動ローラ１２の 右側の小径ローラ部１２Ｂに複数回巻き付けられ、他端部が小径ローラ部１２Ｂ に連結される。Further, one end of the wire 20 is connected to the small-diameter roller portion 12B on the left side of the drive roller 12 in FIG. 1 and is wound a plurality of times. Then, the wire 20 is distributed in the leftward direction through the distribution roller 40A. The wire 20 distributed to the left side is extended downward through the first fixing roller 44, and the hanging roller 52 is hung on the extended wire 20. A balance weight 56 is suspended from the suspension roller 52. The wire 50 on which the hanging roller 52 is hung is wound a plurality of times around the small-diameter roller portion 12B on the right side of the drive roller 12 through the third and second fixed rollers 46 and 48 and the distribution roller 40B, and the other end is It is connected to the small diameter roller portion 12B.
【００１１】 尚、図１上で６０は測定テーブル、６２はエアベアリングであるＱ 前記の如く構成された座標測定機の作用について説明する。駆動ローラ１２の 大径ローラ部１２Ａの半径をＲ1 、小径ローラ部１２Ｂの半径をＲ2 、Ｚキャリ ッジ５８の質量をＭ1 と設定すると、バランスウエイト５６の質量Ｍ2 は次式(1 ) で現される。In FIG. 1, 60 is a measuring table, and 62 is an air bearing. Q The operation of the coordinate measuring machine configured as described above will be described. If the radius of the large-diameter roller portion 12A of the drive roller 12 is R 1 , the radius of the small-diameter roller portion 12B is R 2 , and the mass of the Z carriage 58 is M 1 , the mass M 2 of the balance weight 56 is 1).
【００１２】 Ｍ2 ＝（Ｒ1 ／Ｒ2 ）×Ｍ1 …(1) 但し、Ｒ1 ＞Ｒ2 すなわち、バランスウエイト５６の質量Ｍ2 はＺキャリッジ５８の質量Ｍ1 に対 して（Ｒ1 ／Ｒ2 ）倍大きくなる。 一方、バランスウエイト５６の移動量Ｌ2 は次式(2) で現される。[0012] M 2 = (R 1 / R 2) × M 1 ... (1) where, R 1> R 2 Namely, the mass M 2 of the balance weight 56 is against the mass M 1 of the Z carriage 58 (R 1 / R 2 ) times larger. On the other hand, the moving amount L 2 of the balance weight 56 is expressed by the following equation (2).
【００１３】 Ｌ2 ＝（Ｒ2 ／Ｒ1 ）×Ｌ1 …(2) 但し、Ｌ1 ：Ｚキャリッジ５８の移動量 すなわち、バランスウエイト５６の移動量Ｌ2 はＺキャリッジ５８の移動量Ｌ1 に対して（Ｒ2 ／Ｒ1 ）倍小さくなる。 このように、大径ローラ部１２Ａにワイヤ１８Ａ、１８Ｂを介してＺキャリッ ジ５８を連結すると共に、小径ローラ部１２Ｂにワイヤ２０を介してバランスウ エイト５６を連結すると、バランスウエイト５６の質量Ｍ2 は増加するが、その 移動量Ｌ2 は減少する。そして、バランスウエイト５６は中実材で形成されてい るので、バランスウエイト５６の質量Ｍ2 が増加しても、比較的形状の大型化を 抑制することができる。これに対して、バランスウエイト５６の移動量Ｌ2 は比 較的減少が大きいので、バランスウエイト５６が必要とするスペースを減少させ ることができる。従って、Ｚキャリッジ５８の移動量Ｌ1 をＹキャリッジ３２の 高さ寸法より大きく設定する場合にも、バランスウエイト５６をＹキャリッジ３ ２内に収納することができる。[0013] L 2 = (R 2 / R 1) × L 1 ... (2) where, L 1: the amount of movement of Z carriage 58 that is, the movement amount L 2 of the balance weight 56 is moved amount L 1 of Z carriage 58 (R 2 / R 1 ) times smaller than Thus, when the Z carriage 58 is connected to the large diameter roller portion 12A via the wires 18A and 18B and the balance weight 56 is connected to the small diameter roller portion 12B via the wire 20, the mass M of the balance weight 56 is 2 increases, but the amount of movement L 2 decreases. Further, since the balance weight 56 is formed of a solid material, even if the mass M 2 of the balance weight 56 is increased, it is possible to suppress the enlargement of the shape relatively. On the other hand, since the movement amount L 2 of the balance weight 56 has a relatively large decrease, the space required by the balance weight 56 can be reduced. Therefore, even when the movement amount L 1 of the Z carriage 58 is set larger than the height dimension of the Y carriage 32, the balance weight 56 can be housed in the Y carriage 32.
【００１４】 前記実施例においては、駆動ローラ１２に大径ローラ部１２Ａと小径ローラ部 １２Ｂを設けたが、これに限らず、図３に示すように振分けローラ４０Ａ、４０ Ｂに半径Ｒ1 の大径ローラ部と半径Ｒ2 の小径ローラ部を設けても同様の効果を 得ることができる。また、図４に示すように第１、第３の固定ローラ４４、４６ に半径Ｒ1 の大径ローラ部と半径Ｒ2 の小径ローラ部を設けても同様の効果を得 ることができる。尚、図３及び図４上において、図５の従来の座標測定機と同一 類似部材については同一符号を付して説明を省略する。[0014] In the embodiment, although the driving roller 12 provided with a large-diameter roller portion 12A and the small-diameter roller portion 12B, not limited to this, the radius R 1 to the distributing roller 40A, 40 B as shown in FIG. 3 The same effect can be obtained by providing a large-diameter roller portion and a small-diameter roller portion having a radius R 2 . In addition, it is Rukoto obtain the first, third similar effect can be provided a small-diameter roller portion of the fixed roller 44, 46 and the large-diameter roller portion of the radius R 1 radius R 2 as shown in FIG. It should be noted that, in FIGS. 3 and 4, the same members as those of the conventional coordinate measuring machine of FIG.
【００１５】 但し、前記実施例のように駆動ローラ１２に大径ローラ部１２Ａと小径ローラ 部１２Ｂを設けて、大径ローラ部１２Ａと小径ローラ部１２Ｂにワイヤを巻き付 けた場合には、モータ１６の駆動時にローラ部とワイヤとのスリップを防止する ことができるので、高加速駆動、高減速駆動に対応することができる。また、一 般に座標測定機は、図１上で右側のＹキャリッジ３２を駆動するが、駆動ローラ １２を駆動する場合駆動モータ１６が右側のＹキャリッジ３２近傍に配置される ので、Ｙキャリッジ３２の加速時や減速時のモーメントが減少する。従って、動 的精度の向上を図ることができる。However, when the drive roller 12 is provided with the large-diameter roller portion 12A and the small-diameter roller portion 12B and the wire is wound around the large-diameter roller portion 12A and the small-diameter roller portion 12B as in the above embodiment, the motor is Since it is possible to prevent slipping between the roller portion and the wire when driving 16, it is possible to cope with high acceleration drive and high deceleration drive. Further, generally, the coordinate measuring machine drives the Y carriage 32 on the right side in FIG. 1, but when the drive roller 12 is driven, the drive motor 16 is arranged in the vicinity of the Y carriage 32 on the right side. The moment when accelerating or decelerating is reduced. Therefore, the dynamic accuracy can be improved.
【００１６】 また、前記実施例では本願考案を３次元座標測定機に使用した場合について説 明したが、これに限らず、２次元座標測定機等のその他の座標測定機に使用する ことも可能である。Further, in the above embodiment, the case where the present invention is used for the three-dimensional coordinate measuring machine has been described, but the present invention is not limited to this, and can be used for other coordinate measuring machines such as a two-dimensional coordinate measuring machine. Is.
【００１７】[0017]
以上説明したように本考案に係る座標測定機によれば、ローラを同軸上に設け られた大径ローラ部及び小径ローラ部で構成し、大径ローラ部に第１ワイヤを巻 き付けると共に第１ワイヤの端部を大径ローラ部に連結する。また、小径ローラ 部に第２ワイヤを巻き付けると共に第２ワイヤの端部を小径ローラ部に連結する 。そして、垂直方向に移動自在に設けられたキャリッジを第１ワイヤに懸垂し、 垂直方向に移動自在に設けられたバランスウエイトを第２ワイヤに懸垂してキャ リッジの自重を相殺する。 As described above, according to the coordinate measuring machine of the present invention, the roller is composed of the large-diameter roller portion and the small-diameter roller portion which are coaxially provided, and the first wire is wound around the large-diameter roller portion. The end of one wire is connected to the large diameter roller portion. Further, the second wire is wound around the small diameter roller portion and the end portion of the second wire is connected to the small diameter roller portion. Then, the vertically movable carriage is suspended on the first wire, and the vertically movable balance weight is suspended on the second wire to cancel the weight of the carriage.
【００１８】 このように、大径ローラ部と小径ローラ部を備えることにより、キャリッジの 移動量と比較してバランスウエイトの移動量を減少させることができる。従って 、座標測定機の測定テーブルに沿って移動可能な支柱の高さ寸法よりキャリッジ の移動量を大きく設定した場合にも、バランスウエイトを支柱内に収納すること ができる。これにより、座標測定機のコンパクト化を図ることができる。As described above, by providing the large-diameter roller portion and the small-diameter roller portion, the movement amount of the balance weight can be reduced as compared with the movement amount of the carriage. Therefore, even when the carriage movement amount is set to be larger than the height of the column that can move along the measurement table of the coordinate measuring machine, the balance weight can be stored in the column. As a result, the coordinate measuring machine can be made compact.
【提出日】平成５年５月２８日[Submission date] May 28, 1993
【手続補正１】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】０００１[Correction target item name] 0001
【補正方法】変更[Correction method] Change
【０００１】[0001]
この考案は座標測定機に係り、特にＸ、Ｙ、Ｚ軸の３軸方向等にプローブを移 動して被測定物の形状を測定する座標測定機に関する。 The present invention relates to a coordinate measuring machine, and more particularly to a coordinate measuring machine for measuring a shape of an object to be measured by moving a probe in three directions such as X, Y and Z axes.
【手続補正２】[Procedure Amendment 2]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００１５[Name of item to be corrected] 0015
【補正方法】変更[Correction method] Change
【００１５】 また、前記実施例のように駆動ローラ１２に大径ローラ部１２Ａと小径ローラ 部１２Ｂを設けて、大径ローラ部１２Ａと小径ローラ部１２Ｂにワイヤを巻き付 けた場合には、モータ１６の駆動時にローラ部とワイヤとのスリップを防止する ことができるので、高加速駆動、高減速駆動に対応することができる。但し、一 般に座標測定機は、図１上で左側のＹキャリッジ３２を駆動するが、駆動ローラ １２を駆動する場合駆動モータ１６が左側のＹキャリッジ３２近傍に配置される ので、Ｙキャリッジ３２の加速時や減速時のモーメントが減少する。従って、動 的精度の向上を図ることができる。When the drive roller 12 is provided with the large-diameter roller portion 12A and the small-diameter roller portion 12B and the wire is wound around the large-diameter roller portion 12A and the small-diameter roller portion 12B as in the above-described embodiment, the motor is Since it is possible to prevent slipping between the roller portion and the wire when driving 16, it is possible to cope with high acceleration drive and high deceleration drive. However, in general, the coordinate measuring machine drives the Y carriage 32 on the left side in FIG. 1, but when the drive roller 12 is driven, the drive motor 16 is arranged in the vicinity of the Y carriage 32 on the left side. The moment when accelerating or decelerating is reduced. Therefore, the dynamic accuracy can be improved.
【図１】本考案に係る座標測定機の正面図FIG. 1 is a front view of a coordinate measuring machine according to the present invention.
【図２】図１のＡ−Ａ断面図FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG.
【図３】本考案に係る座標測定機の他の実施例を示す要
部拡大図FIG. 3 is an enlarged view of a main part showing another embodiment of the coordinate measuring machine according to the present invention.
【図４】本考案に係る座標測定機のもう一つの他の実施
例を示す要部拡大図FIG. 4 is an enlarged view of a main part showing another embodiment of the coordinate measuring machine according to the present invention.
【図５】従来の座標測定機の斜視図FIG. 5 is a perspective view of a conventional coordinate measuring machine.
１０…座標測定機 １２…駆動ローラ １２Ａ…大径ローラ部 １２Ｂ…小径ローラ部 １６…駆動モータ １８Ａ、１８Ｂ…ワイヤ（第１ワイヤ） ２０…ワイヤ（第２ワイヤ） ４０Ａ、４０Ｂ…振分けローラ ４４、４６…固定ローラ ５６…バランスウエイト ５８…Ｚキャリッジ（キャリッジ） ６０…プローブ 10 ... Coordinate measuring machine 12 ... Driving roller 12A ... Large diameter roller portion 12B ... Small diameter roller portion 16 ... Drive motor 18A, 18B ... Wire (first wire) 20 ... Wire (second wire) 40A, 40B ... Sorting roller 44, 46 ... Fixed roller 56 ... Balance weight 58 ... Z carriage (carriage) 60 ... Probe
Claims (2)
径ローラ部を有するローラと、 端部がローラに連結されると共に大径ローラ部に巻付き
可能な第１ワイヤと、 端部がローラに連結されると共に小径ローラ部に巻付き
可能な第２ワイヤと、 第１ワイヤに懸垂され、垂直方向に移動自在に設けられ
たキャリッジと、 第２ワイヤに懸垂されてキャリッジの自重を相殺すると
共に、垂直方向に移動自在に設けられたバランスウエイ
トと、 を備え、キャリッジを任意の位置に移動してキャリッジ
に設けられたプローブで被測定物の形状を測定すること
を特徴とする座標測定機。1. A roller having a large-diameter roller portion and a small-diameter roller portion coaxially provided, a first wire having an end portion connected to the roller and wound around the large-diameter roller portion, and an end portion A second wire that is connected to the roller and can be wound around a small-diameter roller portion, a carriage that is suspended by the first wire and is movable in the vertical direction, and a carriage that is suspended by the second wire to offset the weight of the carriage. In addition, the balance weight is provided so as to be movable in the vertical direction. The coordinate measurement is characterized by moving the carriage to an arbitrary position and measuring the shape of the DUT with the probe provided on the carriage. Machine.
達可能に連結されていることを特徴とする請求項１記載
の座標測定機。2. The coordinate measuring machine according to claim 1, wherein a drive motor is connected to the roller so as to transmit a rotational force.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8844392U JPH0653909U (en) | 1992-12-24 | 1992-12-24 | Coordinate measuring machine |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8844392U JPH0653909U (en) | 1992-12-24 | 1992-12-24 | Coordinate measuring machine |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0653909U true JPH0653909U (en) | 1994-07-22 |
Family
ID=13942952
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8844392U Pending JPH0653909U (en) | 1992-12-24 | 1992-12-24 | Coordinate measuring machine |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0653909U (en) |
-
1992
- 1992-12-24 JP JP8844392U patent/JPH0653909U/en active Pending
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