JPH0648812U - 天井システム用フィルタユニット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本考案は、大型ユニットにおいてもフィルタ
の面風速分布の均一化を保てる天井システム用フィルタ
ユニットを提供することを目的とする。 【構成】 集塵フィルタ１と、集塵フィルタ１上に載置
されたチャンバ３と、チャンバ３内に内蔵された送風機
４と、集塵フィルタ１と送風機４との間に配置されたバ
ッフル板５と、バッフル板５の送風機４側の面に配設さ
れた吸音材９と、バッフル板５とチャンバ３の一内側面
およびその対向面との間隙にそれぞれ形成される通風帯
６、７とを備えた天井システム用フィルタユニットにお
いて、バッフル板５の略中央に開口部８を設けたことを
特徴とする天井システム用フィルタユニット。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、フィルタユニットに関し、更に詳細にはクリーンルームの天井に配 備される天井システム用フィルタユニットに関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来の天井システム用フィルタユニットとしては、例えば特開平４−１１００ ０８号公報に示されるように、集塵フィルタと、前記集塵フィルタ上に載置され たチャンバと、前記チャンバ内に内蔵された送風機と、前記集塵フィルタと前記 送風機との間に配置されたバッフル板と、前記バッフル板の前記送風機側の面に 配設された吸音材と、前記バッフル板と前記チャンバの一内側面およびその対向 面との間隙にそれぞれ形成される通風帯とを備えて気流分布の均一化と騒音低滅 を図るようにしたものが知られている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、システムの大型化にともなって、フィルタおよびフィルタを組 込んだ天井システム用フィルタユニットが大型化しているために、上記従来例の 構成ではフィルタの面風速分布が不均一となり層流化が行なえないという課題を 有していた。 そこで本考案は、大型化に対応してフィルタの面風速分布の均一化を保てる天 井システム用フィルタユニットを提供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

本考案の天井システム用フィルタユニットは、前記目的を達成するべく、集塵 フィルタと、前記集塵フィルタ上に載置されたチャンバと、前記チャンバ内に内 蔵された送風機と、前記集塵フィルタと前記送風機との間に配置されたバッフル 板と、前記バッフル板の前記送風機側の面に配設された吸音材と、前記バッフル 板と前記チャンバの一内側面およびその対向面との間隙にそれぞれ形成される通 風帯とを備えた天井システム用フィルタユニットにおいて、前記バッフル板の略 中央に開口部を設けたことを特徴とする。

【０００５】

【作用】

本考案によれば、空気が通風帯以外に開口部からもバッフル板と集塵フィルタ との間の空間に流れ込むため、バッフル板の通風帯側の風速が遅くなり、その結 果フィルタ面からの吹出風速の均一化が図れるとともに通風帯で生じていた風切 り音の現象が薄れて低騒音化が図れる。

【０００６】

【実施例】

以下、本考案の実施例による天井システム用フィルタユニットを図面に基づい て説明する。 図１は、クリーンルームの天井システムに用いられ、ローカルリターン方式の ものとして構成される天井システム用フィルタユニットの一実施例の垂直断面図 、図２は図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。

【０００７】 図において集塵フィルタ１はクリーンルームの天井に配置されるものであって 、この集塵フィルタ１上にはチャンバ３が気密に設置されている。 このチャンバ３内部の上面には、シロッコファンからなる送風機４が固定され ており、この送風機４は、チャンバ３の外部から吸い込んだ空気をチャンバ３内 に吐出する吐出口４ａを有している。この送風機４と集塵フィルタ１との間には 、バッフル板５がチャンバ３内を上部空間と下部空間に分割するように設置され ている。このバッフル板５は、上記送風機４の空気吐出方向である矢印Ａと直交 する方向においては、チャンバ３の内側面に当接され、送風機４の空気吐出方向 およびその逆方向においては、チャンバ３の内側面には当接されておらず、それ ぞれの内側面との間隙にのみ通風帯６、７が形成されている。またこのバッフル 板５の略中央には本考案の特徴とする開口部８が形成されている。 なお、バッフル板５の送風機４側の面およびチャンバ３の内周面には、吸音材 ９が配設されている。

【０００８】 図３は、クリーンルームの天井システムに用いられ、ローカルリターン方式の ものとして構成される天井システム用フィルタユニットの他実施例の垂直断面図 、図４は図３のＩＶ−ＩＶ線断面図である。 本実施例では、前記実施例のシロッコファンからなる送風機４に代え斜流ファ ンからなる送風機４を用いたもので、空気吐出方向が矢印Ｂに示されるように送 風機４の全周の斜め下方になるため、送風機４の取付位置とバッフル板５に設け る開口部８の開口率を前記実施例と変えてあるが、他の構成は前記実施例と同様 であるので、同一部材には同一符号を付してその説明は省略する。

【０００９】 次に上記のように構成された各フィルタユニットにおける空気の流れについて 説明する。送風機４によってチャンバ３外から吸い込んだ空気は、チャンバ３内 において矢印Ａ或いは矢印Ｂで示した方向に吐出される。このとき空気は、バッ フル板５より上方の送風機４側のチャンバ３内において乱流状態となるが内圧は 上昇する。従って空気は送風帯６、７および開口部８からバッフル板５と集塵フ ィルタ１との間の空間に流れ込み集塵フィルタ１上面全域に広がる。そしてこの 集塵フィルタ１の全域に広がった空気は、クリーンルームとの圧力差により集塵 フィルタ１内部を通りクリーンルームに導かれることになる。

【００１０】 前記各実施例においては、チャンバ３の巾Ｗを６１０ｍｍ、奥行Ｌを１４５０ ｍｍ、高さＨを３２５ｍｍとした場合、集塵フィルタ１上面とバッフル板５との 通風隙間は３０〜１００ｍｍ、通風帯６、７の隙間巾は２５〜７０ｍｍとするこ とが好ましい。

【００１１】 また開口部８の開口率（ｗ×ｌ×１００／Ｗ×Ｌ：ただしｗは開口部８の巾、 ｌは開口部８の奥行寸法とする。）は、送風機４にシロッコファンを用いた時は １〜５％、斜流ファンを用いた時は６〜１２％とすることが好ましい。

【００１２】 上記好ましい条件における各実施例の実験結果を以下に示す。 なお測定においては、集塵フィルタ１上面とバッフル板５との通風隙間を４０ ｍｍ、通風帯６、７の隙間巾を５０ｍｍとした。また、送風機４にシロッコファ ンを用いた時の開口部８の開口率を３％、斜流ファンを用いた時の開口部８の開 口率を７％とした。そして各々開口率０％、すなわち開口部８を設けない場合と 対比させて、フィルタ吹出風速と気流分布（標準偏差値）とフィルタ側騒音を測 定した。 なお、フィルタ吹出速度と気流分布は供試フィルタの下流側に風速分布測定用 ダクトを設け、フィルタ面より１００ｍｍの位置においてトランジスタ風速計を 用いて４０箇所測定した。また、フィルタ側騒音はフィルタ面より１０００ｍｍ の位置にマイクロホンを設置し、発生騒音を測定した。 上記の測定結果を表１に示す。

【００１３】

【表１】

【００１４】 また、上記各実施例および開口部を有しない各比較例におけるバッフル板の各 部位での風速値を図５〜図８に示す。 図５、図６は送風機としてシロッコファンを用いた場合で、図５が開口部を設 けないもの、図６が開口率を３％とした本実施例である。 図７、図８は送風機として斜流ファンを用いた場合で、図７が開口部を設けな いもの、図８が開口率を７％とした本実施例である。 なお、吸音材としてはグラスウール３２ｋｇ／ｍ³ のものを２５ｍｍの厚さで 用いた。また、送風機自体の騒音は、５０Ｈｚ運転時においてシロッコファンに あっては６３ｄＢ、斜流ファンにあっては６０〜６３ｄＢであった。

【００１５】 以上の結果から明らかなように、バッフル板に開口部がないものに比べて開口 部のある本実施例のものは風速分布の均一化が図れた。 また、バッフル板の各部位における風速からみて、バッフル板の通風帯側の低 速化がみられ、結果としてこれが風切り音を少なくして低騒音化につながってい る。 さらに斜流ファンはシロッコファンに比べて消費電力が小さいため省電力型で 採用されるが、シロッコファンより風速分布も悪く、低騒音化にも劣っていたが 、シロッコファン同等の性能を得られる上省電力化も図られ効果が特に大きいと いえる。

【００１６】

【考案の効果】

以上の説明から明らかなように、本考案の天井シテスム用フィルタユニットに よれば、大型ユニットにおいても集塵フィルタ面からの吹出風速の均一化が図れ るとともに、低騒音化が図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例による天井システム用フィル
タユニットの垂直断面図

【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線断面図

【図３】本考案の他実施例による天井システム用フィル
タユニットの垂直断面図

【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線断面図

【図５】シロッコファンを用い開口部のない場合の風速
説明図

【図６】シロッコファンを用い開口部を有する場合の風
速説明図

【図７】斜流ファンを用い開口部のない場合の風速説明
図

【図８】斜流ファンを用い開口部を有する場合の風速説
明図

【符号の説明】

１ 集塵フィルタ ３ チャンバ ４ 送風機 ５ バッフル板 ６ 通風帯 ７ 通風帯 ８ 開口部 ９ 吸音材

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 集塵フィルタと、前記集塵フィルタ上に
   載置されたチャンバと、前記チャンバ内に内蔵された送
   風機と、前記集塵フィルタと前記送風機との間に配置さ
   れたバッフル板と、前記バッフル板の前記送風機側の面
   に配設された吸音材と、前記バッフル板と前記チャンバ
   の一内側面およびその対向面との間隙にそれぞれ形成さ
   れる通風帯とを備えた天井システム用フィルタユニット
   において、前記バッフル板の略中央に開口部を設けたこ
   とを特徴とする天井システム用フィルタユニット。