JP2590917Y2 - 天井システム用フィルタユニット - Google Patents
天井システム用フィルタユニットInfo
- Publication number
- JP2590917Y2 JP2590917Y2 JP1992091105U JP9110592U JP2590917Y2 JP 2590917 Y2 JP2590917 Y2 JP 2590917Y2 JP 1992091105 U JP1992091105 U JP 1992091105U JP 9110592 U JP9110592 U JP 9110592U JP 2590917 Y2 JP2590917 Y2 JP 2590917Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- baffle plate
- blower
- opening
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本考案は、フィルタユニットに関
し、更に詳細にはクリーンルームの天井に配備される天
井システム用フィルタユニットに関する。
し、更に詳細にはクリーンルームの天井に配備される天
井システム用フィルタユニットに関する。
【0002】
【従来の技術】従来の天井システム用フィルタユニット
としては、例えば特開平4−110008号公報に示さ
れるように、集塵フィルタと、前記集塵フィルタ上に載
置されたチャンバと、前記チャンバ内に内蔵された送風
機と、前記集塵フィルタと前記送風機との間に配置され
たバッフル板と、前記バッフル板の前記送風機側の面に
配設された吸音材と、前記バッフル板と前記チャンバの
一内側面およびその対向面との間隙にそれぞれ形成され
る通風帯とを備えて気流分布の均一化と騒音低滅を図る
ようにしたものが知られている。
としては、例えば特開平4−110008号公報に示さ
れるように、集塵フィルタと、前記集塵フィルタ上に載
置されたチャンバと、前記チャンバ内に内蔵された送風
機と、前記集塵フィルタと前記送風機との間に配置され
たバッフル板と、前記バッフル板の前記送風機側の面に
配設された吸音材と、前記バッフル板と前記チャンバの
一内側面およびその対向面との間隙にそれぞれ形成され
る通風帯とを備えて気流分布の均一化と騒音低滅を図る
ようにしたものが知られている。
【0003】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、システ
ムの大型化にともなって、フィルタおよびフィルタを組
込んだ天井システム用フィルタユニットが大型化してい
るために、上記従来例の構成ではフィルタの面風速分布
が不均一となり層流化が行なえないという課題を有して
いた。そこで本考案は、大型化に対応してフィルタの面
風速分布の均一化を保てる天井システム用フィルタユニ
ットを提供することを目的とする。
ムの大型化にともなって、フィルタおよびフィルタを組
込んだ天井システム用フィルタユニットが大型化してい
るために、上記従来例の構成ではフィルタの面風速分布
が不均一となり層流化が行なえないという課題を有して
いた。そこで本考案は、大型化に対応してフィルタの面
風速分布の均一化を保てる天井システム用フィルタユニ
ットを提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】本考案の天井システム用
フィルタユニットは、前記目的を達成するべく、集塵フ
ィルタと、前記集塵フィルタ上に載置されたチャンバ
と、前記チャンバ内に内蔵された送風機と、前記集塵フ
ィルタと前記送風機との間に配置されたバッフル板と、
前記バッフル板の前記送風機側の面に配設された吸音材
と、前記バッフル板と前記チャンバの一内側面およびそ
の対向面との間隙にそれぞれ形成される通風帯とを備え
た天井システム用フィルタユニットにおいて、前記バッ
フル板の略中央に開口部を設けたことを特徴とする。
フィルタユニットは、前記目的を達成するべく、集塵フ
ィルタと、前記集塵フィルタ上に載置されたチャンバ
と、前記チャンバ内に内蔵された送風機と、前記集塵フ
ィルタと前記送風機との間に配置されたバッフル板と、
前記バッフル板の前記送風機側の面に配設された吸音材
と、前記バッフル板と前記チャンバの一内側面およびそ
の対向面との間隙にそれぞれ形成される通風帯とを備え
た天井システム用フィルタユニットにおいて、前記バッ
フル板の略中央に開口部を設けたことを特徴とする。
【0005】
【作用】本考案によれば、空気が通風帯以外に開口部か
らもバッフル板と集塵フィルタとの間の空間に流れ込む
ため、バッフル板の通風帯側の風速が遅くなり、その結
果フィルタ面からの吹出風速の均一化が図れるとともに
通風帯で生じていた風切り音の現象が薄れて低騒音化が
図れる。
らもバッフル板と集塵フィルタとの間の空間に流れ込む
ため、バッフル板の通風帯側の風速が遅くなり、その結
果フィルタ面からの吹出風速の均一化が図れるとともに
通風帯で生じていた風切り音の現象が薄れて低騒音化が
図れる。
【0006】
【実施例】以下、本考案の実施例による天井システム用
フィルタユニットを図面に基づいて説明する。図1は、
クリーンルームの天井システムに用いられ、ローカルリ
ターン方式のものとして構成される天井システム用フィ
ルタユニットの一実施例の垂直断面図、図2は図1のI
I−II線断面図である。
フィルタユニットを図面に基づいて説明する。図1は、
クリーンルームの天井システムに用いられ、ローカルリ
ターン方式のものとして構成される天井システム用フィ
ルタユニットの一実施例の垂直断面図、図2は図1のI
I−II線断面図である。
【0007】図において集塵フィルタ1はクリーンルー
ムの天井に配置されるものであって、この集塵フィルタ
1上にはチャンバ3が気密に設置されている。このチャ
ンバ3内部の上面には、シロッコファンからなる送風機
4が固定されており、この送風機4は、チャンバ3の外
部から吸い込んだ空気をチャンバ3内に吐出する吐出口
4aを有している。この送風機4と集塵フィルタ1との
間には、バッフル板5がチャンバ3内を上部空間と下部
空間に分割するように設置されている。このバッフル板
5は、上記送風機4の空気吐出方向である矢印Aと直交
する方向においては、チャンバ3の内側面に当接され、
送風機4の空気吐出方向およびその逆方向においては、
チャンバ3の内側面には当接されておらず、それぞれの
内側面との間隙にのみ通風帯6、7が形成されている。
またこのバッフル板5の略中央には本考案の特徴とする
開口部8が形成されている。なお、バッフル板5の送風
機4側の面およびチャンバ3の内周面には、吸音材9が
配設されている。
ムの天井に配置されるものであって、この集塵フィルタ
1上にはチャンバ3が気密に設置されている。このチャ
ンバ3内部の上面には、シロッコファンからなる送風機
4が固定されており、この送風機4は、チャンバ3の外
部から吸い込んだ空気をチャンバ3内に吐出する吐出口
4aを有している。この送風機4と集塵フィルタ1との
間には、バッフル板5がチャンバ3内を上部空間と下部
空間に分割するように設置されている。このバッフル板
5は、上記送風機4の空気吐出方向である矢印Aと直交
する方向においては、チャンバ3の内側面に当接され、
送風機4の空気吐出方向およびその逆方向においては、
チャンバ3の内側面には当接されておらず、それぞれの
内側面との間隙にのみ通風帯6、7が形成されている。
またこのバッフル板5の略中央には本考案の特徴とする
開口部8が形成されている。なお、バッフル板5の送風
機4側の面およびチャンバ3の内周面には、吸音材9が
配設されている。
【0008】図3は、クリーンルームの天井システムに
用いられ、ローカルリターン方式のものとして構成され
る天井システム用フィルタユニットの他実施例の垂直断
面図、図4は図3のIV−IV線断面図である。本実施
例では、前記実施例のシロッコファンからなる送風機4
に代え斜流ファンからなる送風機4を用いたもので、空
気吐出方向が矢印Bに示されるように送風機4の全周の
斜め下方になるため、送風機4の取付位置とバッフル板
5に設ける開口部8の開口率を前記実施例と変えてある
が、他の構成は前記実施例と同様であるので、同一部材
には同一符号を付してその説明は省略する。
用いられ、ローカルリターン方式のものとして構成され
る天井システム用フィルタユニットの他実施例の垂直断
面図、図4は図3のIV−IV線断面図である。本実施
例では、前記実施例のシロッコファンからなる送風機4
に代え斜流ファンからなる送風機4を用いたもので、空
気吐出方向が矢印Bに示されるように送風機4の全周の
斜め下方になるため、送風機4の取付位置とバッフル板
5に設ける開口部8の開口率を前記実施例と変えてある
が、他の構成は前記実施例と同様であるので、同一部材
には同一符号を付してその説明は省略する。
【0009】次に上記のように構成された各フィルタユ
ニットにおける空気の流れについて説明する。送風機4
によってチャンバ3外から吸い込んだ空気は、チャンバ
3内において矢印A或いは矢印Bで示した方向に吐出さ
れる。このとき空気は、バッフル板5より上方の送風機
4側のチャンバ3内において乱流状態となるが内圧は上
昇する。従って空気は送風帯6、7および開口部8から
バッフル板5と集塵フィルタ1との間の空間に流れ込み
集塵フィルタ1上面全域に広がる。そしてこの集塵フィ
ルタ1の全域に広がった空気は、クリーンルームとの圧
力差により集塵フィルタ1内部を通りクリーンルームに
導かれることになる。
ニットにおける空気の流れについて説明する。送風機4
によってチャンバ3外から吸い込んだ空気は、チャンバ
3内において矢印A或いは矢印Bで示した方向に吐出さ
れる。このとき空気は、バッフル板5より上方の送風機
4側のチャンバ3内において乱流状態となるが内圧は上
昇する。従って空気は送風帯6、7および開口部8から
バッフル板5と集塵フィルタ1との間の空間に流れ込み
集塵フィルタ1上面全域に広がる。そしてこの集塵フィ
ルタ1の全域に広がった空気は、クリーンルームとの圧
力差により集塵フィルタ1内部を通りクリーンルームに
導かれることになる。
【0010】前記各実施例においては、チャンバ3の巾
Wを610mm、奥行Lを1450mm、高さHを32
5mmとした場合、集塵フィルタ1上面とバッフル板5
との通風隙間は30〜100mm、通風帯6、7の隙間
巾は25〜70mmとすることが好ましい。
Wを610mm、奥行Lを1450mm、高さHを32
5mmとした場合、集塵フィルタ1上面とバッフル板5
との通風隙間は30〜100mm、通風帯6、7の隙間
巾は25〜70mmとすることが好ましい。
【0011】また開口部8の開口率(w×l×100/
W×L:ただしwは開口部8の巾、lは開口部8の奥行
寸法とする。)は、送風機4にシロッコファンを用いた
時は1〜5%、斜流ファンを用いた時は6〜12%とす
ることが好ましい。
W×L:ただしwは開口部8の巾、lは開口部8の奥行
寸法とする。)は、送風機4にシロッコファンを用いた
時は1〜5%、斜流ファンを用いた時は6〜12%とす
ることが好ましい。
【0012】上記好ましい条件における各実施例の実験
結果を以下に示す。なお測定においては、集塵フィルタ
1上面とバッフル板5との通風隙間を40mm、通風帯
6、7の隙間巾を50mmとした。また、送風機4にシ
ロッコファンを用いた時の開口部8の開口率を3%、斜
流ファンを用いた時の開口部8の開口率を7%とした。
そして各々開口率0%、すなわち開口部8を設けない場
合と対比させて、フィルタ吹出風速と気流分布(標準偏
差値)とフィルタ側騒音を測定した。なお、フィルタ吹
出速度と気流分布は供試フィルタの下流側に風速分布測
定用ダクトを設け、フィルタ面より100mmの位置に
おいてトランジスタ風速計を用いて40箇所測定した。
また、フィルタ側騒音はフィルタ面より1000mmの
位置にマイクロホンを設置し、発生騒音を測定した。上
記の測定結果を表1に示す。
結果を以下に示す。なお測定においては、集塵フィルタ
1上面とバッフル板5との通風隙間を40mm、通風帯
6、7の隙間巾を50mmとした。また、送風機4にシ
ロッコファンを用いた時の開口部8の開口率を3%、斜
流ファンを用いた時の開口部8の開口率を7%とした。
そして各々開口率0%、すなわち開口部8を設けない場
合と対比させて、フィルタ吹出風速と気流分布(標準偏
差値)とフィルタ側騒音を測定した。なお、フィルタ吹
出速度と気流分布は供試フィルタの下流側に風速分布測
定用ダクトを設け、フィルタ面より100mmの位置に
おいてトランジスタ風速計を用いて40箇所測定した。
また、フィルタ側騒音はフィルタ面より1000mmの
位置にマイクロホンを設置し、発生騒音を測定した。上
記の測定結果を表1に示す。
【0013】
【表1】
【0014】また、上記各実施例および開口部を有しな
い各比較例におけるバッフル板の各部位での風速値を図
5〜図8に示す。図5、図6は送風機としてシロッコフ
ァンを用いた場合で、図5が開口部を設けないもの、図
6が開口率を3%とした本実施例である。図7、図8は
送風機として斜流ファンを用いた場合で、図7が開口部
を設けないもの、図8が開口率を7%とした本実施例で
ある。なお、吸音材としてはグラスウール32kg/m
3 のものを25mmの厚さで用いた。また、送風機自体
の騒音は、50Hz運転時においてシロッコファンにあ
っては63dB、斜流ファンにあっては60〜63dB
であった。
い各比較例におけるバッフル板の各部位での風速値を図
5〜図8に示す。図5、図6は送風機としてシロッコフ
ァンを用いた場合で、図5が開口部を設けないもの、図
6が開口率を3%とした本実施例である。図7、図8は
送風機として斜流ファンを用いた場合で、図7が開口部
を設けないもの、図8が開口率を7%とした本実施例で
ある。なお、吸音材としてはグラスウール32kg/m
3 のものを25mmの厚さで用いた。また、送風機自体
の騒音は、50Hz運転時においてシロッコファンにあ
っては63dB、斜流ファンにあっては60〜63dB
であった。
【0015】以上の結果から明らかなように、バッフル
板に開口部がないものに比べて開口部のある本実施例の
ものは風速分布の均一化が図れた。また、バッフル板の
各部位における風速からみて、バッフル板の通風帯側の
低速化がみられ、結果としてこれが風切り音を少なくし
て低騒音化につながっている。さらに斜流ファンはシロ
ッコファンに比べて消費電力が小さいため省電力型で採
用されるが、シロッコファンより風速分布も悪く、低騒
音化にも劣っていたが、シロッコファン同等の性能を得
られる上省電力化も図られ効果が特に大きいといえる。
板に開口部がないものに比べて開口部のある本実施例の
ものは風速分布の均一化が図れた。また、バッフル板の
各部位における風速からみて、バッフル板の通風帯側の
低速化がみられ、結果としてこれが風切り音を少なくし
て低騒音化につながっている。さらに斜流ファンはシロ
ッコファンに比べて消費電力が小さいため省電力型で採
用されるが、シロッコファンより風速分布も悪く、低騒
音化にも劣っていたが、シロッコファン同等の性能を得
られる上省電力化も図られ効果が特に大きいといえる。
【0016】
【考案の効果】以上の説明から明らかなように、本考案
の天井シテスム用フィルタユニットによれば、大型ユニ
ットにおいても集塵フィルタ面からの吹出風速の均一化
が図れるとともに、低騒音化が図れる。
の天井シテスム用フィルタユニットによれば、大型ユニ
ットにおいても集塵フィルタ面からの吹出風速の均一化
が図れるとともに、低騒音化が図れる。
【図1】本考案の一実施例による天井システム用フィル
タユニットの垂直断面図
タユニットの垂直断面図
【図2】図1のII−II線断面図
【図3】本考案の他実施例による天井システム用フィル
タユニットの垂直断面図
タユニットの垂直断面図
【図4】図3のIV−IV線断面図
【図5】シロッコファンを用い開口部のない場合の風速
説明図
説明図
【図6】シロッコファンを用い開口部を有する場合の風
速説明図
速説明図
【図7】斜流ファンを用い開口部のない場合の風速説明
図
図
【図8】斜流ファンを用い開口部を有する場合の風速説
明図
明図
1 集塵フィルタ 3 チャンバ 4 送風機 5 バッフル板 6 通風帯 7 通風帯 8 開口部 9 吸音材
Claims (1)
- 【請求項1】 集塵フィルタと、前記集塵フィルタ上に
載置されたチャンバと、前記チャンバ内に内蔵された送
風機と、前記集塵フィルタと前記送風機との間に配置さ
れたバッフル板と、前記バッフル板の前記送風機側の面
に配設された吸音材と、前記バッフル板と前記チャンバ
の一内側面およびその対向面との間隙にそれぞれ形成さ
れる通風帯とを備えた天井システム用フィルタユニット
において、前記バッフル板の略中央に開口部を設けたこ
とを特徴とする天井システム用フィルタユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1992091105U JP2590917Y2 (ja) | 1992-12-15 | 1992-12-15 | 天井システム用フィルタユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1992091105U JP2590917Y2 (ja) | 1992-12-15 | 1992-12-15 | 天井システム用フィルタユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0648812U JPH0648812U (ja) | 1994-07-05 |
JP2590917Y2 true JP2590917Y2 (ja) | 1999-02-24 |
Family
ID=14017251
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1992091105U Expired - Lifetime JP2590917Y2 (ja) | 1992-12-15 | 1992-12-15 | 天井システム用フィルタユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2590917Y2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003251126A (ja) * | 2002-02-27 | 2003-09-09 | Nippon Muki Co Ltd | ファン付フィルタユニット |
JP4609699B2 (ja) * | 2004-10-18 | 2011-01-12 | 清水建設株式会社 | 局所清浄化空調システム |
JP5343318B2 (ja) * | 2007-02-19 | 2013-11-13 | パナソニック株式会社 | 超薄型ファンフィルターユニット |
JP4473931B1 (ja) * | 2009-03-27 | 2010-06-02 | 近藤工業株式会社 | 解剖台におけるホルムアルデヒド拡散防止装置 |
-
1992
- 1992-12-15 JP JP1992091105U patent/JP2590917Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0648812U (ja) | 1994-07-05 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19981027 |
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