JPH0647688U - 横型ベーンポンプ - Google Patents

横型ベーンポンプ

Info

Publication number
JPH0647688U
JPH0647688U JP5436693U JP5436693U JPH0647688U JP H0647688 U JPH0647688 U JP H0647688U JP 5436693 U JP5436693 U JP 5436693U JP 5436693 U JP5436693 U JP 5436693U JP H0647688 U JPH0647688 U JP H0647688U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rotor
casing
pump
rotary shaft
cover
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5436693U
Other languages
English (en)
Inventor
潤一 江口
Original Assignee
江口産業株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 江口産業株式会社 filed Critical 江口産業株式会社
Priority to JP5436693U priority Critical patent/JPH0647688U/ja
Publication of JPH0647688U publication Critical patent/JPH0647688U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Details And Applications Of Rotary Liquid Pumps (AREA)
  • Rotary Pumps (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 空気混在の粘性被送流体の移送に適し、定量
性に富み、被送流体の腐敗を防止可能とし、また装置の
小型化および簡略化を図ることのできる横型ベーンポン
プを提供する。 【構成】 被送流体の脈動防止のための第1同軸区域で
ある流路が形成され、ロータ2は本体3が中空の円筒状
体から成り、ポンプ内を真空引きする手段を設ける。ま
た回転軸21の一端部の外径を、この一端部に連なる他
端部寄りの部分の外径よりも小径にして、支持部51の
外径を前記一端部に対応して小さく形成し、かつ軸線方
向に回転軸21の他端側に長く形成して装置全体の小型
化を図る。さらにケーシング14とカバー9との対向面
を平坦にして装置の簡略化を図る。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
本考案は横型ベーンポンプの改良に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の横型ベーンポンプは、水平方向の軸心をもつ回転軸の一端に固定された ロータがケーシング内面に回転自在に配置され、該ロータには、軸心で直交する ベーン溝が設けられ、これら溝にそれぞれベーンがロータ半径方向に沿い摺動自 在に装着され、被送流体を圧送するよう構成されている。
【0003】 このようなベーンポンプを使用し、オカラその他粘性流体などを移送するにあ たって、これら被移送物には、多量の空気が混在する。そして、この空気の混入 状態によって被移送物の密度が変動し、したがって、空気混入量によって実質移 送量に変化を生じる。被移送物がたとえばソーセージの材料などのような練りも のである場合には、密度や固さに不均衡を来し、品質が不均一となるおそれがあ る。また、空気を含有することによってバクテリアが繁殖し易く、日もちが低下 するなどの問題もある。
【0004】 また従来においては、ロータが有する支持部に取付けられる回転軸の一端部の 外径は、この一端部に連なる他端部寄りの部分の外径よりも小径には形成されて おらず、前記支持部の外径は、前記一端部に対応して大きく形成されている。こ のため、これに付随する構成が大きくなり、装置全体の大型化につながってしま うという問題がある。
【0005】 さらに従来においては、ケーシングの開口端側の端面は、たとえば外周側が凸 状であり、かつ内周側が凹状というような段差構造になっており、この端面に対 向するカバーの一表面もこれに対応して嵌合するような段差形状に構成される。 このように複雑に構成されるので、加工が容易でなく、また掃除も容易でないと いう問題がある。
【0006】
【考案が解決しようとする課題】
したがって本考案は、空気混在の移送物でも容易に吸引して加圧移送すること ができ、バクテリアの繁殖を抑えるとともに、定量性を向上させることのできる 横型ベーンポンプを提供することを目的とする。
【0007】 また本考案の他の目的は、装置の小型化および簡略化を図ることのできる横型 ベーンポンプを提供する。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本考案は、ポンプ本体の一端開口面をカバーで密閉され、上向きの流体吸入口 と横向きの流体吐出口が形成されたケーシングの内部に、水平方向の軸心をもつ 片持ち回転軸の一端部に固定されたロータが回転自在に配設され、該ロータには 、軸心で直交するベーン溝にそれぞれベーンがロータ半径方向に摺動自在に装着 される横型ベーンポンプにおいて、 前記ケーシング内には、ロータの回転方向に従って流体吸入口を外れ流体吐出 口にかかる区間であって、ロータとケーシングとの間に同一断面積の流路となっ た第1同軸区域と、ロータ軸心をはさんで前記第1同軸区域の対称区間であって 、ロータとケーシングとが近接する第2同軸区域とが形成され、ケーシング内の 、カバー内側面および第2同軸区域に、真空引き手段の第1真空パイプおよび第 2真空パイプがそれぞれ開口されるとともにロータ本体が中空の短円筒状体から 成ることを特徴とする横型ベーンポンプである。
【0009】 また本考案は、ポンプ本体の一端開口面をカバーで密閉され、上向きの流体吸 入口と横向きの流体吐出口が形成されたケーシングの内部に、水平方向の軸心を もつ片持ち回転軸の一端部に固定されたロータが回転自在に配設され、該ロータ には、軸心で直交するベーン溝にそれぞれベーンがロータ半径方向に摺動自在に 装着される横型ベーンポンプにおいて、 前記ロータは、前記ベーン溝を有するロータ本体と、このロータ本体に同軸に かつ一体的に連なる支持部とを有し、 前記回転軸の一端部の外径はこの一端部に連なる他端部寄りの部分の外径より も小径であり、前記支持部は、その外径が前記一端部に対応して小さく形成され 、かつ軸線方向長さが回転軸の他端部側に長く延びて形成されることを特徴とす る横型ベーンポンプである。
【0010】 さらに本考案は、ポンプ本体の一端開口面をカバーで密閉され、上向きの流体 吸入口と横向きの流体吐出口が形成されたケーシングの内部に、水平方向の軸心 をもつ片持ち回転軸の一端部に固定されたロータが回転自在に配設され、該ロー タには、軸心で直交するベーン溝にそれぞれベーンがロータ半径方向に摺動自在 に装着される横型ベーンポンプにおいて、 前記ケーシングの開口端側の端面は、その軸線に垂直な一平面内に形成され、 この端面に対向する前記カバーの一表面は平坦状に形成されることを特徴とする 横型ベーンポンプである。
【0011】
【作用】
本考案に従えば、ポンプが始動され、ロータが回転すると、ベーンがベーン溝 内をロータ半径方向に摺動しながら流体吸入口から被送流体を吸入し、第1同軸 区域内の流路で被送流体に圧力を付与し、流体吐出口から送り出す。この作動に 際し、前記第1同軸区域内は同一断面積に設定されるため被送流体に脈動が発生 することがない。またポンプ始動にともないポンプ内は真空引きされるので、被 送流体中の空気は脱気され、被送流体の定量性が向上し、バクテリアの繁殖を阻 止し、腐敗防止にも役立つ。
【0012】 ロータが中空円筒状体から成ることによって、ポンプ内は空気の流通がよく、 空気たまりを生じるが、この空気たまりの空気は真空引きによって容易に排出さ れてポンプ内の真空度が高まり、作業性が一層向上する。
【0013】 また本考案に従えば、前記回転軸の一端部の外径を、この一端部に連なる他端 部寄りの部分の外径よりも小径にしたので、回転軸の一端部を支持する前記ロー タの支持部の外径を前記一端部に対応して小さく形成することができる。また前 記支持部の外径を小さくした分、支持部が軸支される接触面積が小さくなるので 、支持部を軸線方向に回転軸の他端側に長く形成し、前記接触面積が小さくなる のを防止する。支持部は装置内のあいている空間を利用して長く形成される。し たがって、支持部の外径を小さくしたことによって、それに付随する構成を小さ くでき、装置全体の小型化を図ることができる。
【0014】 さらに本考案に従えば、前記ケーシングの開口端側の端面は、その軸線に垂直 な一平面内に形成され、この端面に対向する前記カバーの一表面は平坦状に形成 される。ケーシングにカバーを取付けるにあたっては、ケーシングの端面にカバ ーの一表面が当接した状態で、たとえば複数のボルトなどによって固定される。 このように簡単な構成で形成されるので、加工代が安くなり、また掃除も容易に なる。
【0015】
【実施例】
図1は本考案の横型ベーンポンプの一実施例を示す断面図であり、図2は、図 1のカバーを除いた左側面図である。これら図1および図2に示すように、横型 ベーンポンプはロータ2を内蔵するポンプ本体1と、前記ロータ2に回転軸21 を経て回転を付与する駆動部20とを有する。
【0016】 ポンプ本体1は、上向きの流体吸入口12と横向きの流体吐出口13とをもつ ケーシング14が、ハウジング30を介してブラケット11に一体に組付けられ る。ケーシング14内には、水平方向の軸心をもつロータ2が、その1/4円周 角区域でケーシング14の内周面16に対して、流路17となる間隙を保って臨 設されている。この1/4円周角区域は、ロータ2の外周面8とケーシング14 の内周面16とが同心とされた第1同軸区域となっている。したがって、この第 1同軸区域、すなわちロータ2の回転方向Rに従って流体吸入口12を外れ流体 吐出口13にかかるまでの区間では、流路17は、全域にわたって同一断面積と される。
【0017】 ロータ2は、ケーシング14内に偏心して配設される中空で短円筒状のロータ 本体3と、該ロータ本体3の回転軸側へ同心にそれぞれ段差面を介し、縮径され て順に一体形成された短円筒状の受部4および軸取付部5から成る支持部51と を有する。前記ロータ本体3は、中空短円筒状であり、対向するガイド片6a, 6bから成る4つのベーン溝が設けられ、ロータ軸心を挟んで対称となる各ベー ン溝ごとにそれぞれベーン7a,7bが井桁状に組合わせて装着される。これら 両ベーン7a,7bは、ポリテトラフルオロエチレン(商品名テフロン)または ステンレス鋼から成り、ロータ半径方向に沿って互いに摺動可能とされるが、少 なくともその摺動方向端部はステンレス鋼の場合ステライト層で被覆される。前 記軸取付部5の回転軸側端部には、回転軸21と同心の軸取付穴22が設けられ 、該穴の内面には、前記回転軸21に沿うキー溝23が設けられる。また受部4 には、前記回転軸21と同心で、軸取付穴22に連通し、回転軸21が取付けら れる側とは反対側の表面、すなわち図1の左側の表面に臨んで開口する大径部を 有するロータ固定ボルト孔24が設けられる。
【0018】 ロータ2と回転軸21とは前記キー溝23にキー26を装着して回転止めされ るが、回転軸21の端面には、頭部にレンチ穴をもつロータ固定ボルト25が、 前記ロータ固定ボルト孔24を通して反回転軸側から挿入され、頭部を該ボルト 孔24の大径部に没入させて受部4を貫通して螺合されており、これによってロ ータ2が回転軸21から抜けないよう固着している。
【0019】 再びロータ2の外周において、ロータ2がケーシング14の内周面16に近接 して配設される前述の第1同軸区域を挟む両側の1/4円周角区域には、それぞ れ、前記流体吸入口12および流体吐出口13が開口される。そして残る1/4 円周角区域、すなわち前記第1同軸区域に対しロータ軸心をはさんで対称となる 区域であって、ロータ2の回転方向Rに沿って流体吐出口13を外れ、流体吸入 口12にかかるまでの区間は第2同軸区域とされる。この第2同軸区域では、ロ ータ2の外周面8とケーシング14の内周面16とが同軸で近接形成され、ロー タ2がケーシング14に摺動回転自在とされる。
【0020】 ポンプ本体1の一端側である平坦な端面50には、この端面50に周方向にわ たって密着する偏平なカバー9が装着され、複数のカバー取付ボルト10によっ て螺着固定されている。
【0021】 ケーシング14は、ハウジングボルト31を用いてハウジング30に組付け固 定され、ハウジング30はブラケット11に対してブラケットボルト32によっ て固定される。回転軸21はブラケット11に対し軸受33によって支承され、 ネックブッシュ34およびグランドパッキング35によってシールされる。また 、前記受部4および軸取付部5は、テフロンブッシュ29を介してハウジング3 0に支承される。回転軸21は、図示しないモータから減速機等を経て駆動され る。なお、図1における参照符36はパッキング押さえ、37は軸受けカバーで ある。
【0022】 前記支持部51およびそれに固着する回転軸21の構成について図3に基づい てさらに詳細に説明する。図3(1)に示すように、回転軸21の一端部21a の外径C1は、この一端部に連なる他端部寄りの部分21bの外径C2よりも小 径であり、前記支持部51の外径は前記一端部21aに対応して小さく形成され る。すなわち支持部51は、受部4および該受部4よりも小径の軸取付部5の2 段形状に構成することができる。支持部51の軸取付部5は、小径に形成された 分、軸線方向に回転軸他端側に長く形成される。
【0023】 これを図3(2)の従来のものと比較して説明すると、従来では、回転軸62 の一端部62aが小径に形成されておらず、支持部61が2段形状に構成されて いない。したがって図3(1)における軸取付部5の外径D1より、これに対応 する位置の支持部61の外径D2は大きく形成されており、かつ図3(1)にお ける軸取付部5の長さL1より、これに対応する位置の支持部61の長さL2は 短く形成される。このように本実施例は従来に比べて、支持部51の外径が小さ くなった分、長さを長くして支持部51をテフロンブッシュ29によって軸支す るための接触面積を従来のものと変わらなくし、がたつきや振動を防止している 。すなわち、本実施例を示す図3(1)において、接触面積をA1とすると、A 1=D1×π×L1になり、比較例を示す図3(2)において、接触面積をA2 とすると、A2=D2×π×L2になり、A1=A2になる。このようにして従 来における支持部61と、テフロンブッシュ63との接触面積を減少させずに支 持部51を小径にすることができる。また、支持部51が、従来に比べて長くな った分は装置内の余分な空間を利用して配置することができ、したがって支持部 51の外径が小径になった分、装置全体の小型化を図ることができる。なお、支 持部51において、受部4を軸取付部5のように小径にしないのは、ロータ本体 3を保持する強度を低下させないようにするためである。
【0024】 本考案によると、ポンプは図示外の真空ポンプに接続されて真空引きされる。 すなわち一端を真空ポンプに接続された第1真空パイプ38の他端がカバー9の 略中心部分を貫通してカバー内側に開口している。また、一端を真空ポンプに接 続された第2真空パイプ39の他端は、ケーシング14を貫通して前記ロータ2 がケーシング14に近接する第2同軸区域に開口している。
【0025】 以上のベーンポンプが始動され、ロータ2が回転すると、2枚のベーン7a, 7bは、それぞれのガイド片6a,6b内をロータ半径方向に摺動しながら、そ の両端面とケーシング14内でケーシング14の内周面16に接して回転し、流 路17内において被送流体に圧力を付与し、流体吐出口13を経て送り出す。こ の作動に際し、流体吸入口12を外れ流体吐出口13にかかるまでの第1同軸区 域では、流路17が同一断面積に形成されているので、被送流体に対し連続して 一定の圧縮力が作用し、被送流体が脈動したり、損傷を受けることがない。
【0026】 特に、本考案のベーンポンプによると、ベーンポンプの始動とともに真空ポン プも作動され、カバー9とロータ2との微少間隙およびロータ2とケーシング1 4とが近接して微少間隙となった第2同軸区域に対してそれぞれ第1真空パイプ 38および第2真空パイプ39が開口されて真空引きを行うので、ベーンポンプ 内の空気は排気され、被送流体は脱気される。この真空引きによって、空気混在 の被送流体であっても容易に移送でき、脱気によって被送流体のしまり状態が高 まり、定量性が向上する。また、ロータ2が中空の短円筒状体から成るので、ポ ンプ本体1内は空気の流通がよいことと相俟って、一層真空作用の向上が期待で き、移送効率も高まる。本考案のポンプにおいて、被送流体がたとえばハム、ソ ーセージなどの粘性食品原料である場合には、脱気されることによってバクテリ ア菌の繁殖を防ぐことができ、腐敗防止に役立つ。真空パイプ38,39は、ポ ンプ内の殆ど隙間のないカバー内側および第2同軸区域に開口されるので、これ ら真空パイプ38,39を経て粘性の被送流体が吸引されることはない。
【0027】 ケーシング14の端面50は平坦に構成され、かつこれに装着されるカバー9 は偏平に構成されるので、加工性がよい。また段差が少ないので、狭窄部が形成 されず、搬送されるべき移送物などが残着することがないので掃除が容易である 。
【0028】 図4は、本考案の他の実施例を示す縦断面図である。この実施例は図1に類似 しており、対応する部分には同一の参照符号を付す。注目すべきは、図1のネッ クブッシュ34に代えて新たにグランドパッキング35が設けられており、ハウ ジング30の支持部30aの内周面と回転軸21の外周面との間の水密性および 気密性が向上されている。
【0029】 また図5は、本考案の他の実施例のカバーを外した状態の左側面図である。こ の実施例は図2に類似しており、対応する部分には同一の参照符号を付す。注目 すべきは、ロータ本体73は図2に示されるガイド片6a,6bを有する構造に 代えて、半径の約1/2程度の厚みを有する略直円筒状に形成され、強度が向上 されている。
【0030】
【考案の効果】
以上のように本考案によれば、ベーンポンプは、流体吸入口を外れ流体吐出口 にかかるまでの第1同軸区域では、流路の断面積が同一とされ、ロータ軸心をは さんで第1同軸区域と対称をなす第2同軸区域および、カバーの内側面の、ロー タとケーシングとが近接する間隙に対して真空引き手段の真空パイプが開口され てポンプ本体内を真空引きしている。
【0031】 したがって本考案によると、ポンプ内にあって被送流体に含まれる空気が確実 に脱気される。このため、空気混在の被送流体でも容易に移送することができ、 被送流体の脱気を行うことによって該流体中におけるバクテリアの繁殖を防ぎ、 それが生ものである場合には長期にわたって腐敗が抑えられる。
【0032】 このように本考案によると、被送流体は脱気されて、脈動することなく移送さ れるので定量性に勝れる。さらに、以上の作用効果はロータが中空の短円筒状体 から成ることにより、一層向上される。
【0033】 また本考案によれば、支持部を小径にした分、長く形成し、支持部が軸支され る接触面積を従来と変わらないようにして、しっかり軸支されるようにして、ロ ータ本体のがたつきや振動を防止する。前記支持部は装置内の余分な空間を利用 して長く形成することができ、したがって支持部を小型にした分、それに伴って それを保持するケーシングなどを小型化することができ、装置全体の小型化を図 ることができる。
【0034】 さらに本考案によれば、ケーシングの開口端側の端面は、その軸線に垂直な一 平面内に形成され、この端面に対向する前記カバーの一表面は平坦状に形成され る。このように簡単な構成で形成されるので加工がし易くコストの低下を図るこ とができる。また構造が簡略化され段差が少なくなり、狭窄部が形成されないの で搬送されるべき移送物などが残着することがなく掃除が容易である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案の一実施例を示す縦断面図である。
【図2】カバーを外した状態の左側面図である。
【図3】支持部51およびそれに固着する回転軸21の
構成を従来と比較して説明するための簡略化して示す断
面図である。
【図4】本考案の他の実施例を示す縦断面図である。
【図5】本考案の他の実施例のカバーを外した状態の左
側面図である。
【符号の説明】
1 ポンプ本体 2 ロータ 3,73 ロータ本体 4 受部 5 軸取付部 6 ベーン溝 7 ベーン 9 カバー 12 流体吸入口 13 流体吐出口 14 ケーシング 17 流路 20 駆動部 21 回転軸 30 ハウジング 38 第1真空パイプ 39 第2真空パイプ 50 端面 51 支持部

Claims (3)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ポンプ本体の一端開口面をカバーで密閉
    され、上向きの流体吸入口と横向きの流体吐出口が形成
    されたケーシングの内部に、水平方向の軸心をもつ片持
    ち回転軸の一端部に固定されたロータが回転自在に配設
    され、該ロータには、軸心で直交するベーン溝にそれぞ
    れベーンがロータ半径方向に摺動自在に装着される横型
    ベーンポンプにおいて、 前記ケーシング内には、ロータの回転方向に従って流体
    吸入口を外れ流体吐出口にかかる区間であって、ロータ
    とケーシングとの間が同一断面積の流路となった第1同
    軸区域と、ロータ軸心をはさむ前記第1同軸区域の対称
    区間であって、ロータとケーシングとが近接する第2同
    軸区域とが形成され、ケーシング内の、カバー内側面お
    よび第2同軸区域に、真空引き手段の第1真空パイプお
    よび第2真空パイプがそれぞれ開口されるとともにロー
    タ本体が中空の短円筒状体から成ることを特徴とする横
    型ベーンポンプ。
  2. 【請求項2】 ポンプ本体の一端開口面をカバーで密閉
    され、上向きの流体吸入口と横向きの流体吐出口が形成
    されたケーシングの内部に、水平方向の軸心をもつ片持
    ち回転軸の一端部に固定されたロータが回転自在に配設
    され、該ロータには、軸心で直交するベーン溝にそれぞ
    れベーンがロータ半径方向に摺動自在に装着される横型
    ベーンポンプにおいて、 前記ロータは、前記ベーン溝を有するロータ本体と、こ
    のロータ本体に同軸にかつ一体的に連なる支持部とを有
    し、 前記回転軸の一端部の外径はこの一端部に連なる他端部
    寄りの部分の外径よりも小径であり、前記支持部は、そ
    の外径が前記一端部に対応して小さく形成され、かつ軸
    線方向長さが回転軸の他端部側に長く延びて形成される
    ことを特徴とする横型ベーンポンプ。
  3. 【請求項3】 ポンプ本体の一端開口面をカバーで密閉
    され、上向きの流体吸入口と横向きの流体吐出口が形成
    されたケーシングの内部に、水平方向の軸心をもつ片持
    ち回転軸の一端部に固定されたロータが回転自在に配設
    され、該ロータには、軸心で直交するベーン溝にそれぞ
    れベーンがロータ半径方向に摺動自在に装着される横型
    ベーンポンプにおいて、 前記ケーシングの開口端側の端面は、その軸線に垂直な
    一平面内に形成され、この端面に対向する前記カバーの
    一表面は平坦状に形成されることを特徴とする横型ベー
    ンポンプ。
JP5436693U 1992-10-08 1993-10-06 横型ベーンポンプ Pending JPH0647688U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5436693U JPH0647688U (ja) 1992-10-08 1993-10-06 横型ベーンポンプ

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7032092 1992-10-08
JP4-70320 1992-10-08
JP5436693U JPH0647688U (ja) 1992-10-08 1993-10-06 横型ベーンポンプ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0647688U true JPH0647688U (ja) 1994-06-28

Family

ID=26395124

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5436693U Pending JPH0647688U (ja) 1992-10-08 1993-10-06 横型ベーンポンプ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0647688U (ja)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0233351A (ja) * 1988-07-20 1990-02-02 Nissan Motor Co Ltd 流体噴射式織機の緯入れ制御方法
JPH0218684B2 (ja) * 1984-12-17 1990-04-26 Toyo Tire & Rubber Co
JPH02185684A (ja) * 1989-01-10 1990-07-20 Yamazaki Baking Co Ltd 真空引ポンプ

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0218684B2 (ja) * 1984-12-17 1990-04-26 Toyo Tire & Rubber Co
JPH0233351A (ja) * 1988-07-20 1990-02-02 Nissan Motor Co Ltd 流体噴射式織機の緯入れ制御方法
JPH02185684A (ja) * 1989-01-10 1990-07-20 Yamazaki Baking Co Ltd 真空引ポンプ

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6217390A (ja) 密封ロ−タリ−コンプレツサ−
US20080038138A1 (en) Rotary lobe pump
JP2004278375A (ja) 軸流ポンプ
JPH07506648A (ja) ガス摩擦真空ポンプ
US6499942B1 (en) Turbomolecular pump and vacuum apparatus
JPS63174802A (ja) 回転駆動装置
JP3000356B1 (ja) 真空ポンプ及び真空装置
US6280156B1 (en) Magnetically coupled rotary pump
TW393550B (en) Side-channel centrifugal pump
US4279571A (en) Pitot pump with fluid lubricated bearings
JPH0647688U (ja) 横型ベーンポンプ
TWI354734B (en) Vacuum pump
JPH0419393B2 (ja)
JP2502924Y2 (ja) 竪型ベ―ンポンプ
KR930016667A (ko) 유체회전장치
JP2619642B2 (ja) 偏心ねじポンプ
CN107869485A (zh) 泵***
US5372486A (en) Peristaltic pump
JP2000337289A (ja) ねじ溝式真空ポンプ、複合真空ポンプ、及び真空ポンプシステム
CN108397389A (zh) 一种真空泵及其多级真空泵
JP2630773B2 (ja) スクリュー遠心ポンプ
JP3814261B2 (ja) ベーンポンプ
JPH01167495A (ja) 真空ポンプ
JPH0634184U (ja) 横型ベーンポンプ
JPH0442548Y2 (ja)