JPH0639988A - Manufacture of metal mask for screen printing - Google Patents
Manufacture of metal mask for screen printingInfo
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- JPH0639988A JPH0639988A JP19856092A JP19856092A JPH0639988A JP H0639988 A JPH0639988 A JP H0639988A JP 19856092 A JP19856092 A JP 19856092A JP 19856092 A JP19856092 A JP 19856092A JP H0639988 A JPH0639988 A JP H0639988A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、スキージの滑りを防止
して、細孔からのインキの出を均一に円滑にして、均一
で正確なパターン画像の印刷を行なうことができるスク
リーン印刷用メタルマスクの製造方法に関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a metal for screen printing capable of preventing slippage of a squeegee and uniformly and smoothly ejecting ink from pores to print a uniform and accurate pattern image. The present invention relates to a mask manufacturing method.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、スクリーン印刷用のスクリーンに
は、天然繊維や合成繊維を用いた布製の紗５、或いは、
ステンレス紗を用いたメタルスクリーンやステンレス板
を用いたメタルマスク１が知られている。前者の布製ス
クリーン紗５の場合には、看板、ポスター、標識、化粧
品容器、Ｔシャツ、陶磁器等の印刷に用いられている
が、後者のメタルスクリーンやメタルマスク１の場合に
は、プリント回路、厚膜ＩＣ等のように精密さが要求さ
れる印刷等において用いられている。2. Description of the Related Art Conventionally, for screen printing screens, cloth 5 made of natural fibers or synthetic fibers, or
A metal screen using a stainless gauze and a metal mask 1 using a stainless steel plate are known. The former cloth screen gauze 5 is used for printing signs, posters, signs, cosmetic containers, T-shirts, ceramics, etc., whereas the latter metal screen and metal mask 1 are printed circuits, It is used in printing and the like that require precision such as thick film ICs.
【０００３】このようなスクリーン印刷用のメタルマス
ク１を製造するには、一般に、ステンレス等の金属板の
両面にエッチングフォトレジスト１５を塗布・乾燥した
後、その上にポジフィルムを両面の位置合わせを行なっ
た状態で貼着し、焼き付けた後に現像して、エッチング
すべき部分の前記エッチングフォトレジスト１５を洗い
流す。次いで、これをエッチング液に浸漬してエッチン
グを行なうことによって細孔３を穿設する。そして、こ
のエッチングされて細孔３が穿設されたステンレス等の
金属板を、前記エッチング液より取り出し、付着するエ
ッチング液を水で洗い流した後に、前記エッチングフォ
トレジスト１５を剥離して、エッチングにより穿設され
た細孔３によるパターン画像が形成されたスクリーン印
刷用メタルマスク１が得られる。In order to manufacture such a metal mask 1 for screen printing, generally, an etching photoresist 15 is applied and dried on both surfaces of a metal plate such as stainless steel, and then a positive film is aligned on both surfaces. Is adhered in the state of performing the above-mentioned step, is baked, and is then developed to wash away the etching photoresist 15 in the portion to be etched. Then, this is immersed in an etching solution to carry out etching to form the pores 3. Then, the metal plate made of stainless steel or the like having the pores 3 formed by the etching is taken out from the etching solution, and the adhering etching solution is washed away with water, and then the etching photoresist 15 is peeled off and the etching is performed by etching. The screen printing metal mask 1 on which a pattern image is formed by the perforated pores 3 is obtained.
【０００４】この様にして得られたスクリーン印刷用メ
タルマスク１は、直接スクリーン型枠４に貼着される
か、或いは、紗張りしたスクリーン紗５上に接着剤など
により貼着して使用される。このようなスクリーン印刷
用のメタルマスク１に用いられるステンレス等の金属板
は、エッチングレジスト１５との密着性などから表面が
平滑な金属光沢を持った板が使用される。従って、該ス
クリーン印刷用のメタルマスク１より表面光沢を無くす
ためには、上記パターン画像が形成された直後に、再度
金属板をエッチング液に浸漬して、金属板の表面を部分
的に浸蝕させて梨地模様２を形成させなければならなか
った。The metal mask 1 for screen printing thus obtained is used by directly adhering it to the screen form 4 or by adhering it to the screen gauze 5 which is stretched with an adhesive or the like. It As a metal plate such as stainless steel used for such a metal mask 1 for screen printing, a plate having a smooth surface and a metallic luster is used because of its adhesion to the etching resist 15. Therefore, in order to eliminate the surface gloss from the metal mask 1 for screen printing, immediately after the pattern image is formed, the metal plate is again immersed in the etching solution to partially erode the surface of the metal plate. Had to form a satin pattern 2.
【０００５】一方、近年、ＣＡＤ，ＣＡＭの普及とレー
ザー装置機能の向上により、金型製造や精密部品の加工
にＣＡＤよるレーザー加工が急増している。従って、こ
のレーザー加工を利用したスクリーン印刷用のメタルマ
スク１の製造も、ＣＡＤによる精密パターンの設計を行
なって、オンライン又はテープにより精度の高いメタル
マスクを直ぐに製造することができたり、サイドエッチ
ングによるパターンの誤差（エッチングファクター）Ｌ
やショルダーの問題や、両面エッチングのパターンのず
れ等のおそれが解消し、優れたメタルマスクの製造が可
能であること等の利点があることから、レーザー加工に
よるスクリーン印刷用のメタルマスク１の製造が望まれ
ていた。On the other hand, in recent years, due to the widespread use of CAD and CAM and the improvement of functions of laser devices, laser machining by CAD is rapidly increasing in mold manufacturing and machining of precision parts. Therefore, also in the production of the metal mask 1 for screen printing using this laser processing, it is possible to design a precision pattern by CAD and immediately produce a highly accurate metal mask online or by tape, or by side etching. Pattern error (etching factor) L
Manufacturing of the metal mask 1 for screen printing by laser processing has advantages such as eliminating the problem of shoulders and shoulders, eliminating the possibility of misalignment of double-sided etching patterns, and enabling the production of excellent metal masks. Was desired.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記エッチン
グにより開けられた金属板の細孔３は、エッチングフォ
トレジストに被覆されていない金属板１の露出されてい
る部分が時間の経過と共に均一に浸蝕されるので、最終
的に得られる細孔３の断面は、図５の(1) に示すよう
に、細孔３中の中間部３ａが突出して、特別に狭くなっ
ている、不均一な径の大きさとなっていることから、ス
クリーン印刷の際には、図５の(2) に示すように、スク
リーン印刷用インキ６が細孔３を通過するのを阻害し
て、印刷用インキ６の出を悪くさせて、精密な印刷を行
ない難くさせている。However, in the pores 3 of the metal plate opened by the etching, the exposed portion of the metal plate 1 not covered with the etching photoresist is uniformly eroded with the passage of time. Therefore, as shown in (1) of FIG. 5, the cross section of the finally obtained pores 3 has a non-uniform diameter with a special narrowness due to the protrusion of the intermediate portion 3a in the pores 3. Therefore, as shown in (2) of FIG. 5, the screen printing ink 6 is prevented from passing through the pores 3 during the screen printing, and the size of the printing ink 6 is reduced. It makes it difficult to perform precise printing.
【０００７】更に、前記レーザー光線９により金属板を
加工する場合には、レーザー光線９の熱によって金属を
溶解させて切断を行なったり、細孔３を穿設させている
ために、その切断面や細孔３を穿設した部分には、図２
の(1) に示すように、該レーザー光線９照射側の反対の
裏面側１ｂのレーザー光線９が照射されていない部分に
「ドロス」１４と称する金属溶融物が溶着していて、金
属板の裏面側（プリント面側）１ｂに突起（バリ）とし
て突き出している。従って、このようなドロス１４の溶
着している金属板１のままでは、スクリーン印刷の際
に、このドロス１４が邪魔をして金属板１の裏面１ｂ側
を被印刷体８のプリント面８ａに接触させることができ
ないので、前記スクリーン印刷用のメタルマスク１とし
て用いることはできない。それ故、このドロス１４を切
削や欠き落としを行なって、ドロス１４を除去してから
でないと、スクリーン印刷用のメタルマスク１として使
用することはできなかった。Further, when the metal plate is processed by the laser beam 9, the metal is melted by the heat of the laser beam 9 for cutting, or the pores 3 are formed, so that the cut surface or the fine surface is cut. The portion where the hole 3 is formed is shown in FIG.
As shown in (1) of the above, a metal melt called "dross" 14 is welded to a portion of the back surface 1b opposite to the laser beam 9 irradiation side, which is not irradiated with the laser beam 9, and (Print surface side) 1b is projected as a protrusion (burr). Therefore, with such a metal plate 1 having the dross 14 welded thereto, the dross 14 interferes with the back surface 1b side of the metal plate 1 on the print surface 8a of the printing medium 8 during screen printing. Since they cannot be brought into contact with each other, they cannot be used as the metal mask 1 for the screen printing. Therefore, the dross 14 cannot be used as the metal mask 1 for screen printing unless the dross 14 is removed by cutting or chipping.
【０００８】しかし、前記レーザー光線９を照射して金
属板１に細孔３を穿設する際に生じた、このようなドロ
ス１４を上記切削により細孔３部分より除去すること
は、該細孔３が極めて微細な孔部であることから、実際
上困難なことである。また、このドロス１４を硬い素材
によって強い力で無理に欠き落として除去しようとして
も、該ドロス１４が微細に開けられた細孔３の端部に強
固に溶着していることから、無理やり欠き落とした時に
は、細孔３の縁の部分の金属まで欠いてしまって、この
ような細孔３の径の変更によるパターン画像の変更が電
気回路等では極めて重大な結果として現れてしまうこと
から、精密な印刷を行なうメタルスクリーンにおいては
不可能なことであった。従って、このようなレーザー光
線９を照射して、裏面１ｂ側が平滑な金属板とする精密
なスクリーン印刷用メタルマスク１を得ることは実際上
困難なことであった。However, it is necessary to remove the dross 14 generated from the laser beam 9 when the fine holes 3 are formed in the metal plate 1 from the fine hole 3 portion by the above cutting. Since 3 is an extremely fine hole, it is practically difficult. Even if the dross 14 is forcibly cut off by a strong force with a hard material to remove it, the dross 14 is firmly welded to the end portions of the finely opened pores 3, and therefore the dross 14 is forcibly removed. In this case, even if the metal at the edge of the pore 3 is cut off, such a change in the pattern image due to the change in the diameter of the pore 3 appears as an extremely serious result in an electric circuit or the like. This was not possible with a metal screen that prints well. Therefore, it was practically difficult to irradiate such a laser beam 9 to obtain a precise metal mask 1 for screen printing in which the back surface 1b side is a smooth metal plate.
【０００９】[0009]
［発明の概要］本発明者らは、上記問題点に鑑みて鋭意
研究を重ねた結果、金属板にレーザー光線を照射して金
属を溶解させて細孔を穿設した後、サンドブラストを行
なうことにより、該金属板に細孔を穿設する際に生じた
「ドロス」を研削して除去すると共に、該金属板の表面
に梨地模様を形成させることによって、スキージの滑り
を防止し、細孔からの印刷インキの出を均一に円滑にさ
せて、均一で正確なスクリーン印刷を行なうことができ
る、との知見に基づき本発明を完成するに至ったもので
ある。すなわち、本発明のスクリーン印刷用メタルマス
クの製造方法は、金属板にレーザー光線を照射すること
によって金属板の一部を溶融・穿孔して、該金属板に細
孔によるパターン画像を形成させた後、該金属板の表面
をサンドブラストにより研削することを特徴とするもの
である。[Summary of the Invention] The inventors of the present invention have conducted intensive studies in view of the above problems, and as a result, irradiate a metal plate with a laser beam to dissolve the metal to form pores, and then perform sandblasting. The squeegee is prevented from sliding by grinding and removing the "dross" generated when the fine holes are formed in the metal plate and forming a satin pattern on the surface of the metal plate. The present invention has been completed based on the finding that the printing ink can be uniformly and smoothly ejected to perform uniform and accurate screen printing. That is, the method for producing a metal mask for screen printing of the present invention comprises irradiating a metal plate with a laser beam to melt and perforate a part of the metal plate, and after forming a pattern image of pores in the metal plate. The surface of the metal plate is ground by sandblasting.
【００１０】［発明の具体的説明］ [I] スクリーン印刷用メタルマスクの製造 (1) 原材料 (a) 金属板 本発明のスクリーン印刷用メタルマスク１を製造するた
めの素材として用いられる金属板としては、ステンレス
鋼３０４，３１６、ニッケル、真鍮、燐青銅、銅、アル
ミニウム等を挙げることができる。これらの中でもステ
ンレス鋼３０４，３１６、ニッケルを使用することが好
ましい。該金属板の形状は、スクリーン型枠４に張るこ
とができる程度の大きさで、通常は縦１５〜９０ｃｍ×
横１０〜７０ｃｍ程度の大きさである。また、該金属板
の肉厚は通常３０〜５００μｍ、好ましくは５０〜３０
０μｍ、特に好ましくは８０〜２００μｍの箔状又は板
状のものが用いられる。[Detailed Description of the Invention] [I] Manufacture of metal mask for screen printing (1) Raw material (a) Metal plate As a metal plate used as a material for manufacturing the metal mask 1 for screen printing of the present invention Can include stainless steel 304, 316, nickel, brass, phosphor bronze, copper, aluminum and the like. Among these, it is preferable to use stainless steel 304, 316 and nickel. The shape of the metal plate is such that it can be stretched on the screen form 4, and is usually 15 to 90 cm in length.
The width is about 10 to 70 cm. The thickness of the metal plate is usually 30 to 500 μm, preferably 50 to 30 μm.
A foil or plate having a thickness of 0 μm, particularly preferably 80 to 200 μm is used.
【００１１】(2) レーザー光線の照射（パターン画像
形成装置） (a) レーザー光線 上記金属板に細孔３を穿設してパターン画像を形成する
ために照射されるレーザー光線９としては、金属板の金
属を溶融させることができるものであれば種々のレーザ
ー光線を使用することができるが、好ましくは、ＹＡＧ
レーザー照射装置、炭酸ガスレーザー照射装置、エキシ
マレーザー照射装置を挙げることができる、これらレー
ザー照射装置の中でも特にＹＡＧレーザー照射装置を用
いることが好ましい。このようなＹＡＧレーザー照射装
置の具体例として市販されているものとしては、日立建
機製ＹＡＧレーザー照射装置「ＬＵ−３００」を挙げる
ことができる。(2) Irradiation of Laser Beam (Pattern Image Forming Apparatus) (a) Laser Beam As the laser beam 9 which is irradiated to form the pattern image by forming the pores 3 in the metal plate, the metal of the metal plate is used. Various laser beams can be used as long as they are capable of melting YAG, but YAG is preferable.
A laser irradiation device, a carbon dioxide laser irradiation device, and an excimer laser irradiation device can be mentioned. Among these laser irradiation devices, it is particularly preferable to use the YAG laser irradiation device. As a specific example of such a YAG laser irradiation device commercially available, there is a YAG laser irradiation device “LU-300” manufactured by Hitachi Construction Machinery.
【００１２】(b) 照射 上記レーザー照射装置１０より発せられたレーザー光線
９を、図２の(1) に示すように、金属板の一方の面の側
から照射して、該レーザー光線９が有しているエネルギ
ーによって、金属板表面１ａの金属を溶融させて飛び散
らせ、所定の時間照射することにより金属板の裏側１ｂ
にまで達するまでの細孔３を穿設させることができる。金属板の固定 該レーザー光線９を金属板に照射する際には、該金属板
が治具などにより固定されていなければならない。具体
的には、先ず、図１の(1) 及び(2) に示すように、スク
リーン型枠４に張られたスクリーン紗５の上面に金属板
を載置し、両者を接着剤により固着させた後、金属板に
接着したスクリーン紗５の該金属板と積層される部分が
１．５ｃｍ程度の幅にて切り取り、該金属板をスクリー
ン型枠４に張られたスクリーン紗５により張った状態に
保持して、このスクリーン型枠４をレーザー照射装置１
０内に設置された治具１１によって水平に設置して固定
させる。このような金属板を固定するための治具１１
は、図３に示すように、自動ＸＹテーブル移動装置１２
などのテーブル１３に固定されていて、それにより自動
的にテーブル１３を移動することにより、自動的に金属
板に穿孔することができる。(B) Irradiation As shown in (1) of FIG. 2, the laser beam 9 emitted from the laser irradiation device 10 is irradiated from one surface side of the metal plate so that the laser beam 9 has The metal on the surface 1a of the metal plate is melted and scattered by the applied energy, and the back side 1b of the metal plate is irradiated by irradiation for a predetermined time.
It is possible to form the pores 3 up to the point. Fixation of Metal Plate When the metal plate is irradiated with the laser beam 9, the metal plate must be fixed by a jig or the like. Specifically, first, as shown in (1) and (2) of FIG. 1, a metal plate is placed on the upper surface of the screen mesh 5 stretched on the screen form 4, and both are fixed by an adhesive. After that, the portion of the screen gauze 5 adhered to the metal plate that is to be laminated with the metal plate is cut out with a width of about 1.5 cm, and the metal plate is stretched with the screen gauze 5 stretched on the screen form 4. And hold this screen form 4 on the laser irradiation device 1
It is horizontally installed and fixed by the jig 11 installed in 0. A jig 11 for fixing such a metal plate
Is an automatic XY table moving device 12 as shown in FIG.
It is fixed to the table 13 such as, and the metal plate can be automatically perforated by automatically moving the table 13 accordingly.
【００１３】レーザー照射装置 そして、金属板に前記ＹＡＧレーザー照射装置（発振形
式：パルス励起 Ｎｄ：ＹＡＧ）１０によって発せられ
たレーザー光線９が照射される。該ＹＡＧレーザー照射
装置１０の処理条件としては、出力：通常１０〜３０ワ
ット、好ましくは１２〜１６ワット、スポット径：通常
５０〜１２０μｍ、好ましくは４０〜７０μｍ、アシス
トガス：酸素又は空気（通常２〜１５ｋｇ／ｃｍ2 、好
ましくは４〜８ｋｇ／ｃｍ2 ）の条件下で照射される。
上記条件により図３に示すようにレーザー光線９を照射
することにより、金属板の表面の金属は蒸発して飛び散
ることにより細孔３が穿設される。そして、更にこの金
属板を固定した治具１１を自動ＸＹテーブル移動装置１
２などにより自動的に移動させることにより正確な位置
決めされた部分の細孔３を多数個穿設してパターン画像
を形成することができる。その時の自動ＸＹテーブル１
３の送り速度は一般に１０〜１，０００ｍｍ／分、好ま
しくは８０〜７００ｍｍ／分の条件下で移動させる。 Laser Irradiation Device Then, the metal plate is irradiated with a laser beam 9 emitted by the YAG laser irradiation device (oscillation type: pulse excitation Nd: YAG) 10. The processing conditions of the YAG laser irradiation device 10 are: output: usually 10 to 30 watts, preferably 12 to 16 watts, spot diameter: usually 50 to 120 μm, preferably 40 to 70 μm, assist gas: oxygen or air (usually 2 Irradiation is performed under the conditions of -15 kg / cm 2 , preferably 4-8 kg / cm 2 .
By irradiating the laser beam 9 as shown in FIG. 3 under the above conditions, the metal on the surface of the metal plate evaporates and scatters to form the pores 3. Then, the jig 11 to which the metal plate is further fixed is attached to the automatic XY table moving device 1
It is possible to form a pattern image by forming a large number of pores 3 in an accurately positioned portion by automatically moving the pores 2 or the like. Automatic XY table 1 at that time
The feed rate of 3 is generally 10 to 1,000 mm / min, preferably 80 to 700 mm / min.
【００１４】ドロスの生成 前記レーザー光線９により金属板を加工する場合、レー
ザー光線９の熱によって金属を溶解させて切断を行なっ
たり、細孔３を穿設させているために、その切断面や細
孔３を穿設した部分には、図２の(1) に示すように、該
レーザー光線９照射側と反対の裏面側１ｂのレーザー光
線９が照射されていない部分に「ドロス」１４と称する
金属溶融物が溶着して、金属板の裏面側（プリント面
側）１ｂに突起（バリ）として突き出している。従っ
て、このようなドロス１４の溶着している金属板のまま
では、スクリーン印刷の際に、このドロス１４が邪魔を
して金属板の裏面側１ｂを被印刷体８のプリント面８ａ
に接触させることができないので、前記スクリーン印刷
用のメタルマスク１として用いることはできない。従っ
て、本発明においては、このようなドロス１４の溶着し
た金属板の表面を後記サンドブラストにより研削して図
２の(2) 及び(3) に示すようにプリント面側或いは両面
に梨地模様２を形成するものである。このようにして得
られた細孔３は製版しようとする画像によっても異なる
が、通常は６０μｍφ以上の孔、好ましくは１００μｍ
φ以上の孔の大きさのものである。 Generation of Dross When a metal plate is processed by the laser beam 9, the metal is melted by the heat of the laser beam 9 for cutting, or the pores 3 are formed, so that the cut surface or the pores are formed. As shown in (1) of FIG. 2, a portion of the backside 1b opposite to the side where the laser beam 9 is irradiated is not irradiated with the laser beam 9, and a metal melt referred to as a "dross" 14 is formed in the part where the hole 3 is formed. Is welded and protrudes as a protrusion (burr) on the back surface side (print surface side) 1b of the metal plate. Therefore, if such a metal plate on which the dross 14 is welded is left, the dross 14 interferes with the back surface side 1b of the metal plate during the screen printing, and the printed surface 8a of the printing medium 8 is printed.
It cannot be used as the metal mask 1 for the screen printing because it cannot be brought into contact with. Therefore, in the present invention, the surface of the metal plate on which the dross 14 has been welded is ground by sandblasting described later to form a satin pattern 2 on the print surface side or both surfaces as shown in (2) and (3) of FIG. To form. The pores 3 thus obtained differ depending on the image to be plate-made, but are usually 60 μm φ or more, preferably 100 μm.
It has a hole size of φ or more.
【００１５】(3) サンドブラストによる研削 (a) 研磨材 サンドブラストに用いられる研磨材としては、プラスチ
ック、ガラス、アルミナ、カーボン、シリカ等を挙げる
ことができるが、これら研磨材の中でもアルミナを用い
ることが好ましい。該研磨材の粒径としては、一般に
１，０００〜１００メッシュ、好ましくは６００〜１２
０メッシュのものである。(3) Grinding by sandblasting (a) Abrasive material The abrasive material used for sandblasting may be plastic, glass, alumina, carbon, silica, etc. Among these abrasive materials, alumina is preferably used. preferable. The particle size of the abrasive is generally 1,000-100 mesh, preferably 600-12.
It is of 0 mesh.
【００１６】(b) 研 削処理条件 上記研磨材は空気又は水を媒体として、好ましくは空気
を媒体として、金属表面に衝突させられる。該研磨材の
衝突速度としては、空気圧力で０．５〜７ｋｇ／ｃ
ｍ2 、好ましくは１〜５ｋｇ／ｃｍ2 にて行なわれる。
該処理は通常常温にて行なわれるが、加熱下に行なうこ
ともできる。該サンドブラスト処理の時間としては、通
常５〜３００秒程度、好ましくは２０〜１５０秒程度行
なわれる。該処理は図２の(2) に示すようにドロス１４
の溶着している金属板の裏面１ｂ側の片面のみを行なう
こともできるが、図２の(3)に示すように金属板の表面
１ａ側であるスキージ摺動面１ａ側にも行なうことが好
ましい。この金属板の表面１ａ側であるスキージ摺動面
１ａ側に行なうことにより、スクリーン印刷用メタルマ
スクのスキージ摺動面１ａ側の表面１ａ上に形成された
梨地模様２は、図４に示すように、スクリーン印刷の際
にスキージ摺動面１ａ側に載置された印刷インキ６が、
スキージ７の摺動に伴って、スクリーン印刷用メタルマ
スク１の表面上の梨地模様２によって滑らずに回転し
て、印刷インキ６は常に攪拌されながら移動するので、
スクリーン印刷用メタルマスク１に穿設された細孔３に
十分に印刷インキ６が充填されて、適正なインキ６の量
でプリントすることができるので、正確な印刷を行なう
ことができる。従って、片面のみ、或いは、両面一緒
に、或いは、片面づつにて処理を行なうこともできる。(B) Grinding condition The above-mentioned abrasive is made to collide with the metal surface by using air or water as a medium, preferably air as a medium. The collision speed of the abrasive is 0.5 to 7 kg / c at air pressure.
It is carried out at m 2 , preferably 1 to 5 kg / cm 2 .
The treatment is usually carried out at room temperature, but it may be carried out under heating. The sandblasting time is usually about 5 to 300 seconds, preferably about 20 to 150 seconds. The processing is performed by the dross 14 as shown in (2) of FIG.
Although it is possible to perform only one surface on the back surface 1b side of the welded metal plate of FIG. 2, it can also be performed on the squeegee sliding surface 1a side which is the front surface 1a side of the metal plate as shown in FIG. preferable. By performing the squeegee sliding surface 1a side which is the surface 1a side of this metal plate, the satin pattern 2 formed on the surface 1a on the squeegee sliding surface 1a side of the metal mask for screen printing is as shown in FIG. The printing ink 6 placed on the squeegee sliding surface 1a side at the time of screen printing,
As the squeegee 7 slides, the satin pattern 2 on the surface of the screen printing metal mask 1 rotates without slipping, and the printing ink 6 always moves while being stirred.
Since the printing ink 6 is sufficiently filled in the pores 3 formed in the metal mask 1 for screen printing and printing can be performed with an appropriate amount of ink 6, accurate printing can be performed. Therefore, the processing can be performed on one side only, on both sides together, or on each side.
【００１７】(c) 処理装置 該サンドブラスト処理は、通常のサンドブラスト装置を
使用することができる。具体的には、不二製作所製サン
ドブラスト装置「ニューマ・ブラスター」ＳＧＦ型を挙
げることができる。(C) Processing device For the sandblasting process, an ordinary sandblasting device can be used. Specific examples include a sand blasting apparatus “Pneumatic Blaster” SGF type manufactured by Fuji Manufacturing Co., Ltd.
【００１８】(d) 梨地模様 金属板面に形成された梨地模様２は、表面粗さ計で測定
した平均粗さ（高さ）が一般に２〜１５μｍ、好ましく
は５〜１２μｍの凹凸状のものである。上記平均表面粗
さが５μｍ未満のものでは、ドロスが除去され難いので
好ましくない。また、上記平均表面粗さが１５μｍを超
えるものでは、メタルスクリーンに残留応力が溜まり過
ぎて反りが大きくなり、実用性に欠けるものとなり易い
ので好ましくない。(D) Pear-skin pattern The pear-skin pattern 2 formed on the surface of the metal plate has irregularities having an average roughness (height) measured by a surface roughness meter of generally 2 to 15 μm, preferably 5 to 12 μm. Is. If the average surface roughness is less than 5 μm, it is difficult to remove dross, which is not preferable. Further, if the average surface roughness exceeds 15 μm, residual stress is excessively accumulated on the metal screen and warpage becomes large, which is not practically preferable, which is not preferable.
【００１９】[0019]
実施例１スクリーン印刷用メタルマスクの製造 スクリーン枠に紗張りされたスクリーン紗上に、縦２４
ｃｍ×横２４ｃｍの大きさと厚み２００μｍを持ったス
テンレス板を、エポキシ系接着剤を用いて接着させた。
そして、これを約１０時間程放置した後、該貼着したス
テンレス板の大きさよりも１．５ｃｍ内側のスクリーン
紗の一部分を切り取り、該ステンレス板に十分な張力を
与えた後、このスクリーン枠に張ったステンレス板を日
立建機製ＹＡＧレーザー照射装置「ＬＵ−３００」内
に、治具により水平に設置して、固定させた。そして、
このＹＡＧレーザー照射装置（発振形式：パルス励起
Ｎｄ：ＹＡＧ）により、出力：１４Ｗ、スポット径：６
０μｍ、アシストガス：酸素（５ｋｇ／ｃｍ2 ）、テー
ブル送り速度：５００ｍｍ／分の条件下で照射すること
により自動的にパターン画像を形成させた。形成するパ
ターン画像の細孔部の投光して形成した貫通部分に隣接
する陰影部に溶融した金属よりなるドロスが付着してい
るので、このドロス除去のためにサンドブラスト処理を
行なった。該サンドブラスト処理は不二製作所製サンド
ブラスト装置「ニューマ・ブラスター」ＳＧＦ型を用い
て、２２０メッシュの大きさのアルミナ粒子を空気圧力
４ｋｇ／ｃｍ2 、ノズル・金属板距離１００ｍｍ、室
温、６０秒間／片面づつ、両面に行なって、（株）東京
精密製表面粗さ計「サーコム ５５Ａ」によって測定し
た平均表面粗さ（高さ）が９．８μｍの梨地模様を形成
させた。Example 1 Production of a metal mask for screen printing A screen gauze stretched on a screen frame has a length of 24 mm.
A stainless plate having a size of cm × width 24 cm and a thickness of 200 μm was adhered using an epoxy adhesive.
Then, after leaving this for about 10 hours, a part of the screen gauze inside 1.5 cm of the size of the adhered stainless steel plate is cut off, and a sufficient tension is applied to the stainless steel plate. The stretched stainless steel plate was horizontally installed by a jig and fixed in a YAG laser irradiation device “LU-300” manufactured by Hitachi Construction Machinery. And
This YAG laser irradiation device (oscillation type: pulse excitation
Nd: YAG), output: 14W, spot diameter: 6
A pattern image was automatically formed by irradiation under the conditions of 0 μm, assist gas: oxygen (5 kg / cm 2 ) and table feed rate: 500 mm / min. Since the dross made of molten metal adheres to the shaded portion adjacent to the penetrating portion formed by projecting the fine pores of the pattern image to be formed, sandblasting treatment was performed to remove this dross. The sand blasting process was performed by using a sand blasting apparatus "Pneumatic Blaster" SGF type manufactured by Fuji Manufacturing Co., and alumina particles of 220 mesh size were air pressure 4 kg / cm 2 , nozzle / metal plate distance 100 mm, room temperature, 60 seconds / one side. The matte pattern having an average surface roughness (height) measured by a surface roughness meter “Curcom 55A” manufactured by Tokyo Seimitsu Co., Ltd. of 9.8 μm was formed on both surfaces.
【００２０】評 価 上記のようにして製造したスクリーン印刷用メタルマス
クを用いて、プリント配線板上に半田ペーストの印刷を
行なった。その結果、上記スクリーン印刷用メタルマス
クは、裏面側にドロスが無く、被印刷体のプリント面に
接触可能で、被印刷体との離れ性が大であった。また、
スキージの滑りを防止して、細孔からのインキの出を均
一に円滑にすることができたので、均一で正確なパター
ン画像の印刷を行なうことができた。 Evaluation Solder paste was printed on the printed wiring board using the screen printing metal mask manufactured as described above. As a result, the screen printing metal mask had no dross on the back surface side, was capable of contacting the printed surface of the material to be printed, and had great releasability from the material to be printed. Also,
Since the squeegee could be prevented from slipping and the ink could be uniformly and smoothly discharged from the pores, a uniform and accurate pattern image could be printed.
【００２１】実施例２ 実施例１と同様にして細孔を穿設しパターン画像を形成
した後、ドロスの除去を行なうために下記の表１に示す
条件下でサンドブラストを行なって表面平均粗さ１．５
〜１１．１の梨地模様を形成させてスクリーン印刷用メ
タルマスクを得た。このスクリーン印刷用メタルマスク
を用いて実施例１と同様に印刷を行なって、その評価を
行なった。その結果を表１に示す。Example 2 In the same manner as in Example 1, after forming pores to form a pattern image, sandblasting was performed under the conditions shown in Table 1 below to remove dross, and surface average roughness was then obtained. 1.5
A satin pattern of -11.1 was formed to obtain a metal mask for screen printing. Printing was performed in the same manner as in Example 1 using this screen printing metal mask, and the evaluation was performed. The results are shown in Table 1.
【００２２】 表 １ 研磨材 空気圧力 ノズル 加 工 ドロス 梨 地 印刷性 ・金属 時 間 除去 平均粗さ 板距離 （高さ） 精密印刷（メッシュ） (kg/cm2 ) （mm） （秒） （μｍ） ８２０ ４ １００ ３０ × １．５ 不可 ６００ ３ １００ ４０ △ １．８ やや不可 ６００ ２ １００ ４０ △ １．７ やや不可 ６００ ３ １５０ ４０ △ ２．６ やや不可 ３２０ １．５ １００ ３０ △ ２．５ やや不可 ３２０ ２ １００ ３０ △ ２．７ やや不可 ３２０ ３ １００ ３０ △ ２．８ やや不可 ２２０ ３ １５０ ４０ ○ ７．０ 可 ２２０ ４ １５０ ６０ ◎ １０．２ 可 １５０ ２．５ １５０ １００ ◎ １０．８ 可 １５０ ３ １５０ ６０ ◎ １１．１ 可 Table 1 Abrasive material Air pressure Nozzle processing Dross Satin printability / metal time removal Average roughness Plate distance (height) Precision printing (mesh) (kg / cm 2 ) (mm) (sec) (μm) 820 4 100 30 × 1.5 Not possible 600 3 100 40 △ 1.8 Not possible 600 2 100 40 △ 1.7 Not possible 600 3 150 40 △ 2.6 Not possible 320 1.5 100 30 △ 2.5 Not possible 320 2 100 30 △ 2.7 Somewhat unsuitable 320 3 100 30 Some 2.8 Somewhat unsuitable 220 3 150 40 ○ 7.0 Yes 220 220 150 150 ◎ 10.2 Yes 150 2.5 150 150 100 ◎ 10.8 Yes 150 3 150 60 ◎ 11.1 OK
【００２３】×：ドロスは殆ど除去できなかった。 △：指触によりドロスの存在を確認することができた。 ○：指触によりドロスの存在を僅かに確認することがで
きた。 ◎：顕微鏡によりドロスの除去を確認することができ
た。X: Dross could hardly be removed. Δ: Presence of dross could be confirmed by touching with fingers. ◯: Presence of dross could be slightly confirmed by touching with fingers. A: Removal of dross could be confirmed by a microscope.
【００２４】[0024]
【発明の効果】このようにして得られた本発明のスクリ
ーン印刷用メタルマスクは、レーザーにより穿孔された
際に生じたドロスが、研削されて裏面側を被印刷体のプ
リント面に接触させることができるので、スクリーン印
刷用メタルマスクとして使用することができる。また、
裏面側のプリント面側に梨地模様が形成されているの
で、被印刷体との離れ性を大きくすることができる。更
に、スクリーン印刷用メタルマスクは、表面に梨地模様
が形成されているので、スキージの滑りを防止して、細
孔からのインキの出を均一に円滑にして、均一で正確な
パターン画像の印刷を行なうことができる。ＣＡＤによ
る精密パターンの設計を行なって、オンライン又はテー
プにより精度の高いメタルマスクを直ぐに製造すること
ができたり、サイドエッチングによるパターンの誤差
（エッチングファクター）やショルダーの問題や、両面
エッチングのパターンのずれ等のおそれが解消し、優れ
たメタルマスクの製造が可能である。In the metal mask for screen printing of the present invention thus obtained, the dross generated when perforated by the laser is ground and the back side is brought into contact with the print surface of the printing medium. Therefore, it can be used as a metal mask for screen printing. Also,
Since the matte pattern is formed on the printing surface side on the back surface side, the separation property from the printing medium can be increased. In addition, the metal mask for screen printing has a satin pattern on the surface, so it prevents the squeegee from slipping and makes the ink out of the pores even and smooth, thus printing a uniform and accurate pattern image. Can be done. By designing a precision pattern by CAD, a highly accurate metal mask can be immediately manufactured online or by tape, a pattern error (etching factor) due to side etching, a shoulder problem, or a pattern shift between double-sided etching. It is possible to manufacture an excellent metal mask by eliminating the possibility of such problems.
【図１】図１の(1) は、スクリーン枠に張られたスクリ
ーン紗に接着剤により固着された状態の本発明実施例に
より製造されたスクリーン印刷用メタルマスクの平面図
を表わし、図１の(2) はそのＡ−Ａ断面図である。FIG. 1 (1) is a plan view of a screen printing metal mask manufactured according to an embodiment of the present invention in a state of being fixed to a screen gauze stretched on a screen frame with an adhesive. (2) is a sectional view taken along line AA.
【図２】図２の(1) は、レーザー光線を照射してパター
ン孔を穿設した、ドロスの溶着している金属板の断面図
を表わし、図２の(2) は、その金属板の裏面側をサンド
ブラスト処理して溶着していたドロスを研削すると共に
梨地模様を形成した、片面梨地模様のスクリーン印刷用
メタルマスクの断面図を表わし、図２の(3) は、表面に
梨地模様を形成した両面梨地模様のスクリーン印刷用メ
タルマスクの断面図を表わす。FIG. 2 (1) is a cross-sectional view of a metal plate on which a dross is welded, in which a pattern hole is formed by irradiating a laser beam, and FIG. 2 (2) shows the metal plate. The back side is sandblasted and the dross that has been welded is ground and a satin pattern is formed. A cross-sectional view of a single-sided satin pattern screen printing metal mask is shown in Fig. 2 (3). The cross section of the formed double-sided satin pattern screen-printing metal mask is shown.
【図３】図３は、レーザー照射装置及び金属板固定治具
を備えた自動ＸＹテーブル移動装置よりなるパターン画
像形成装置の斜視図を表わす。FIG. 3 is a perspective view of a pattern image forming apparatus including an automatic XY table moving device equipped with a laser irradiation device and a metal plate fixing jig.
【図４】図４は、スクリーン印刷時におけるスキージの
摺動に伴う印刷インキの移動流れの断面を表わす説明図
である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing a cross section of a moving flow of printing ink accompanying sliding of a squeegee during screen printing.
【図５】図５の(1) は、細孔中の中間部が突出して狭く
なっているエッチングにより開けられた金属板の細孔の
断面図を表わし、図５の(2) はその細孔に印刷用インキ
が通過する状態を表わす説明図である。5 (1) is a cross-sectional view of the pores of a metal plate opened by etching in which the middle portion of the pores is projected and narrowed, and FIG. 5 (2) is a cross-sectional view thereof. It is an explanatory view showing a state where printing ink passes through a hole.
１ スクリーン印刷用メタルマスク １ａ スキージ摺動面側の表面 １ｂ プリント面側の裏面 ２ 梨地模様 ３ 細孔 ３ａ 中間 ３ｎ プリント面側の内径 ３ｍ スキージ摺動面側の内径 ４ スクリーン型枠 ５ スクリーン紗 ６ 印刷インキ ７ スキージ ８ 被印刷体 ８ａ プリント面 ９ レーザー光線 １０ レーザー照射装置 １１ 治具 １２ 自動ＸＹテーブル移動装置 １３ テーブル １４ ドロス １５ エッチングフォトレジスト Ｌ エッチングファクター 1 Screen Printing Metal Mask 1a Squeegee Sliding Surface Side 1b Printing Surface Side Back Surface 2 Satin Texture 3 Pore 3a Intermediate 3n Printing Surface Side Inner Diameter 3m Inner Diameter of Squeegee Sliding Surface 4 Screen Formwork 5 Screen Mesh 6 Printing ink 7 Squeegee 8 Printed object 8a Print surface 9 Laser beam 10 Laser irradiation device 11 Jig 12 Automatic XY table moving device 13 Table 14 Dross 15 Etching photoresist L Etching factor
Claims (2)
って金属板の一部を溶融・穿孔して、該金属板に細孔に
よるパターン画像を形成させた後、該金属板の表面をサ
ンドブラストにより研削することを特徴とするスクリー
ン印刷用メタルマスクの製造方法。1. A part of a metal plate is melted and perforated by irradiating the metal plate with a laser beam to form a pattern image of pores in the metal plate, and then the surface of the metal plate is ground by sandblasting. A method for manufacturing a metal mask for screen printing, comprising:
０メッシュのアルミナを用いて行なう請求項４に記載の
スクリーン印刷用メタルマスクの製造方法。2. Sandblast having a particle size of 1,000 to 10
The method for producing a metal mask for screen printing according to claim 4, which is performed using 0 mesh alumina.
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