JPH06347244A - 表面粗さ測定方法及び装置 - Google Patents
表面粗さ測定方法及び装置Info
- Publication number
- JPH06347244A JPH06347244A JP13844393A JP13844393A JPH06347244A JP H06347244 A JPH06347244 A JP H06347244A JP 13844393 A JP13844393 A JP 13844393A JP 13844393 A JP13844393 A JP 13844393A JP H06347244 A JPH06347244 A JP H06347244A
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- reflected
- diffraction image
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 時間差によるレーザ光の変動や加工面の変動
をなくし、さらにレーザ光の散乱状態の差をなくして測
定精度の向上を図る。 【構成】 光源52からのレーザ光54をハーフミラー
56を透過したレーザ光54Aとハーフミラー56で反
射したレーザ光54Bに分割して、レーザ光54Aとレ
ーザ光54Bを光路長が同一になるように設定した。レ
ーザ光54Aは加工面62Aで反射されて加工面測定用
のフーリエ変換レンズ58Aで集光され、加工面62A
の回析像を結像する。また、ハーフミラー56で反射さ
れたレーザ光54Bは参照面測定用のフーリエ変換レン
ズ58Bで集光して参照面の回析像を結像する。そし
て、参照面の回析像に基づいて加工面62Aの回析像を
補正して加工面62Aの表面粗さを測定する。このよう
に、加工面62Aと参照面を同時に測定することができ
るので時間差で生じるレーザ光54A、54Bの変動や
加工面62Aの変動をなくすことができ、さらにレーザ
光54A、54Bの散乱状態に差が生じないようにする
ことができる。
をなくし、さらにレーザ光の散乱状態の差をなくして測
定精度の向上を図る。 【構成】 光源52からのレーザ光54をハーフミラー
56を透過したレーザ光54Aとハーフミラー56で反
射したレーザ光54Bに分割して、レーザ光54Aとレ
ーザ光54Bを光路長が同一になるように設定した。レ
ーザ光54Aは加工面62Aで反射されて加工面測定用
のフーリエ変換レンズ58Aで集光され、加工面62A
の回析像を結像する。また、ハーフミラー56で反射さ
れたレーザ光54Bは参照面測定用のフーリエ変換レン
ズ58Bで集光して参照面の回析像を結像する。そし
て、参照面の回析像に基づいて加工面62Aの回析像を
補正して加工面62Aの表面粗さを測定する。このよう
に、加工面62Aと参照面を同時に測定することができ
るので時間差で生じるレーザ光54A、54Bの変動や
加工面62Aの変動をなくすことができ、さらにレーザ
光54A、54Bの散乱状態に差が生じないようにする
ことができる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は表面粗さ測定方法及び
装置に係り、特に加工面をレーザ光で照射して加工面で
反射されたレーザ光をフーリエ変換レンズで集光してフ
ラウンホーファ回析像を結像させて加工面の表面粗さを
測定する表面粗さ測定方法及び装置に関する。
装置に係り、特に加工面をレーザ光で照射して加工面で
反射されたレーザ光をフーリエ変換レンズで集光してフ
ラウンホーファ回析像を結像させて加工面の表面粗さを
測定する表面粗さ測定方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】磁気ディスク、シリコンウエハ等の超精
密加工面を非接触状態で高速測定する方法として、超精
密加工面から反射されたレーザ光をフラウンホーファ回
析して超精密加工面の振幅を測定する方法が知られてい
る。この方法は図2に示すように光源(例えばHe−N
eレーザ)12からレーザ光14を投光して、投光され
たレーザ光14をハーフミラー10を透過させて被測定
物20の加工面20Aまで導き、加工面20Aで反射さ
れたレーザ光14をハーフミラー10で全反射させる。
全反射されたレーザ光14はフーリエ変換レンズ16を
介してCCDカメラ18の結像面に導かれる。従って、
CCDカメラ18の結像面に加工面20Aのフラウンホ
ーファ回析像が結像され、結像されたフラウンホーファ
回析像はフレームメモリに記憶される。
密加工面を非接触状態で高速測定する方法として、超精
密加工面から反射されたレーザ光をフラウンホーファ回
析して超精密加工面の振幅を測定する方法が知られてい
る。この方法は図2に示すように光源(例えばHe−N
eレーザ)12からレーザ光14を投光して、投光され
たレーザ光14をハーフミラー10を透過させて被測定
物20の加工面20Aまで導き、加工面20Aで反射さ
れたレーザ光14をハーフミラー10で全反射させる。
全反射されたレーザ光14はフーリエ変換レンズ16を
介してCCDカメラ18の結像面に導かれる。従って、
CCDカメラ18の結像面に加工面20Aのフラウンホ
ーファ回析像が結像され、結像されたフラウンホーファ
回析像はフレームメモリに記憶される。
【0003】一方、レーザ光14がハーフミラー10を
透過する場合や加工面20Aで反射される場合に、ハー
フミラー10の透過率や加工面20Aの反射率等でレー
ザ光14は減衰する。従って、フレームメモリに記憶さ
れたフラウンホーファ回析像から被測定物20の加工面
20Aの粗さの振幅を測定するためには、レーザ光14
は減衰を補正する必要がある。そして、レーザ光14の
減衰を補正するために参照面が使用される。参照面を求
める場合、ハーフミラー10を90°反時計回り方向に
回動して参照面測定位置に位置決めする(図3参照)。
次に、光源12からレーザ光14を投光してハーフミラ
ー10で全反射させ、フーリエ変換レンズ16を介して
CCDカメラ18の結像面に結像させる。これにより、
参照面が測定され、この参照面でフラウンホーファ回析
像を補正して被測定物20の加工面20Aの粗さの振幅
を測定する。
透過する場合や加工面20Aで反射される場合に、ハー
フミラー10の透過率や加工面20Aの反射率等でレー
ザ光14は減衰する。従って、フレームメモリに記憶さ
れたフラウンホーファ回析像から被測定物20の加工面
20Aの粗さの振幅を測定するためには、レーザ光14
は減衰を補正する必要がある。そして、レーザ光14の
減衰を補正するために参照面が使用される。参照面を求
める場合、ハーフミラー10を90°反時計回り方向に
回動して参照面測定位置に位置決めする(図3参照)。
次に、光源12からレーザ光14を投光してハーフミラ
ー10で全反射させ、フーリエ変換レンズ16を介して
CCDカメラ18の結像面に結像させる。これにより、
参照面が測定され、この参照面でフラウンホーファ回析
像を補正して被測定物20の加工面20Aの粗さの振幅
を測定する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
測定方法ではハーフミラー90°回動させないと、加工
面の測定と参照面の測定を切り換えることができないの
で、加工面の測定時と参照面の測定時に時間差が生じ
る。そして、この時間差でレーザ光や加工面が変動する
場合がある。また、従来の測定方法ではレーザ光の光路
長が参照面測定時(L1 +L2 )と加工面測定時(L1
+L2 +L3 )とで異なるので、参照面の測定時と加工
面の測定時でレーザ光の散乱状態に差が生じる。このよ
うに、参照面と加工面の測定時にレーザ光や加工面が変
動し、さらにレーザ光の散乱状態に差があると、加工面
の粗さ振幅を測定する場合に測定誤差が生じて十分な測
定精度を得ることができないという問題がある。
測定方法ではハーフミラー90°回動させないと、加工
面の測定と参照面の測定を切り換えることができないの
で、加工面の測定時と参照面の測定時に時間差が生じ
る。そして、この時間差でレーザ光や加工面が変動する
場合がある。また、従来の測定方法ではレーザ光の光路
長が参照面測定時(L1 +L2 )と加工面測定時(L1
+L2 +L3 )とで異なるので、参照面の測定時と加工
面の測定時でレーザ光の散乱状態に差が生じる。このよ
うに、参照面と加工面の測定時にレーザ光や加工面が変
動し、さらにレーザ光の散乱状態に差があると、加工面
の粗さ振幅を測定する場合に測定誤差が生じて十分な測
定精度を得ることができないという問題がある。
【0005】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、加工面と参照面を同時に測定してレーザ光や加
工面の変動をなくし、さらに加工面と参照面の測定時の
レーザ光の光路長を同一に設定してレーザ光の散乱状態
に差が生じないようにして十分な測定精度を得ることが
できる表面粗さ測定方法及び装置を提供することを目的
とする。
もので、加工面と参照面を同時に測定してレーザ光や加
工面の変動をなくし、さらに加工面と参照面の測定時の
レーザ光の光路長を同一に設定してレーザ光の散乱状態
に差が生じないようにして十分な測定精度を得ることが
できる表面粗さ測定方法及び装置を提供することを目的
とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、光源から投光
された光で加工面を照射し、該加工面で反射された反射
光をフーリエ変換レンズで集光して前記加工面の回析像
を結像し、該結像された加工面の回析像を参照面で補正
して前記加工面の表面粗さを測定する表面粗さ測定方法
において、前記光源から投光された光をハーフミラーで
透過光及び反射光に分割し、前記分割された透過光の光
路長と反射光の光路長を同一に設定し、前記透過光で前
記加工面を照射して加工面の反射光を加工面測定用のフ
ーリエ変換レンズで集光して加工面の回析像を結像し、
前記ハーフミラーの反射光を参照面測定用のフーリエ変
換レンズで集光して前記参照面の回析像を前記加工面の
回析像と同時に結像し、前記参照面の回析像及び前記加
工面の回析像に基づいて前記加工面の表面粗さを測定す
ることを特徴とする表面粗さ測定方法、及びそれを実施
するための装置である。
された光で加工面を照射し、該加工面で反射された反射
光をフーリエ変換レンズで集光して前記加工面の回析像
を結像し、該結像された加工面の回析像を参照面で補正
して前記加工面の表面粗さを測定する表面粗さ測定方法
において、前記光源から投光された光をハーフミラーで
透過光及び反射光に分割し、前記分割された透過光の光
路長と反射光の光路長を同一に設定し、前記透過光で前
記加工面を照射して加工面の反射光を加工面測定用のフ
ーリエ変換レンズで集光して加工面の回析像を結像し、
前記ハーフミラーの反射光を参照面測定用のフーリエ変
換レンズで集光して前記参照面の回析像を前記加工面の
回析像と同時に結像し、前記参照面の回析像及び前記加
工面の回析像に基づいて前記加工面の表面粗さを測定す
ることを特徴とする表面粗さ測定方法、及びそれを実施
するための装置である。
【0007】
【作用】本発明によれば、光源から投光された光をハー
フミラーを透過する透過光とハーフミラーで反射された
反射光に分割して、透過光と反射光は光路長が同一にな
るように設定されている。ハーフミラーの透過光は加工
面で反射されて加工面測定用のフーリエ変換レンズで集
光され、加工面の回析像を結像する。また、ハーフミラ
ーで反射された反射光は参照面測定用のフーリエ変換レ
ンズで集光して参照面の回析像を結像する。そして、参
照面の回析像に基づいて加工面の回析像を補正して加工
面の表面粗さを測定する。
フミラーを透過する透過光とハーフミラーで反射された
反射光に分割して、透過光と反射光は光路長が同一にな
るように設定されている。ハーフミラーの透過光は加工
面で反射されて加工面測定用のフーリエ変換レンズで集
光され、加工面の回析像を結像する。また、ハーフミラ
ーで反射された反射光は参照面測定用のフーリエ変換レ
ンズで集光して参照面の回析像を結像する。そして、参
照面の回析像に基づいて加工面の回析像を補正して加工
面の表面粗さを測定する。
【0008】このように、加工面と参照面を同時に測定
することができるので時間差で生じるレーザ光の変動や
加工面の変動をなくことができ、さらにレーザ光の散乱
状態に差が生じないようにすることができる。
することができるので時間差で生じるレーザ光の変動や
加工面の変動をなくことができ、さらにレーザ光の散乱
状態に差が生じないようにすることができる。
【0009】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る表面粗さ
測定方法及び装置について詳説する。図1は本発明に係
る表面粗さ測定装置50の全体図である。表面粗さ測定
装置50はレーザ光源52を備えていて、レーザ光源5
2はHe−Ne等のレーザ光54を下方に投光する。レ
ーザ光源52の下方にはハーフミラー56が45°傾斜
した状態で配置されていて、ハーフミラー56のコーテ
ィング面56Aは下面側に形成されている。これによ
り、レーザ光源52から投光されたレーザ光54はハー
フミラー56を透過する加工面測定用のレーザ光54A
とハーフミラー56のコーティング面56Aで反射され
る参照面測定用のレーザ光54Bに分けられる。
測定方法及び装置について詳説する。図1は本発明に係
る表面粗さ測定装置50の全体図である。表面粗さ測定
装置50はレーザ光源52を備えていて、レーザ光源5
2はHe−Ne等のレーザ光54を下方に投光する。レ
ーザ光源52の下方にはハーフミラー56が45°傾斜
した状態で配置されていて、ハーフミラー56のコーテ
ィング面56Aは下面側に形成されている。これによ
り、レーザ光源52から投光されたレーザ光54はハー
フミラー56を透過する加工面測定用のレーザ光54A
とハーフミラー56のコーティング面56Aで反射され
る参照面測定用のレーザ光54Bに分けられる。
【0010】また、ハーフミラー56の右側には加工面
測定用のフーリエ変換レンズ58Aが配置されていて、
フーリエ変換レンズ58Aの後方には加工面測定用のC
CDカメラ60Aが配置されている。また、ハーフミラ
ー56の左側には参照面測定用のフーリエ変換レンズ5
8Bが配置されていて、フーリエ変換レンズ58Bの後
方には参照面測定用のCCDカメラ60Bが配置されて
いる。
測定用のフーリエ変換レンズ58Aが配置されていて、
フーリエ変換レンズ58Aの後方には加工面測定用のC
CDカメラ60Aが配置されている。また、ハーフミラ
ー56の左側には参照面測定用のフーリエ変換レンズ5
8Bが配置されていて、フーリエ変換レンズ58Bの後
方には参照面測定用のCCDカメラ60Bが配置されて
いる。
【0011】この場合、加工面測定用と参照面測定用の
フーリエ変換レンズ58A、58B及び加工面測定用と
参照面測定用のCCDカメラ60A、60Bは、加工面
測定用のレーザ光54A及び参照面測定用のレーザ光5
4Bの光路長が、それぞれL 2 +L3 になるように設定
されている。従って、加工面測定用のレーザ光54Aと
参照面測定用のレーザ光54Bの散乱状態に差が生じな
いようにすることができる。
フーリエ変換レンズ58A、58B及び加工面測定用と
参照面測定用のCCDカメラ60A、60Bは、加工面
測定用のレーザ光54A及び参照面測定用のレーザ光5
4Bの光路長が、それぞれL 2 +L3 になるように設定
されている。従って、加工面測定用のレーザ光54Aと
参照面測定用のレーザ光54Bの散乱状態に差が生じな
いようにすることができる。
【0012】そして、ハーフミラー56の下方に被測定
物62が配置されると、ハーフミラー56で分割された
加工面測定用のレーザ光54Aは被測定物62の加工面
62Aとハーフミラー56のコーティング面56Aで反
射される。コーティング面56Aで反射されたレーザ光
54Aはフーリエ変換レンズ58Aで集光されて、CC
Dカメラ60Aの結像面に加工面62Aのフラウンホー
ファ回析像を結像する。一方、ハーフミラー56で分割
された参照面測定用のレーザ光54Bはフーリエ変換レ
ンズ58Bで集光されてCCDカメラ60Bの結像面に
参照面のフラウンホーファ回析像を結像する。これによ
り、フレームメモリ64にはCCDカメラ60Aの結像
面に結像したフラウンホーファ回析像の光強度分布デー
タと、CCDカメラ60Bの結像面に結像したフラウン
ホーファ回析像の光強度分布データが同時に入力され
る。
物62が配置されると、ハーフミラー56で分割された
加工面測定用のレーザ光54Aは被測定物62の加工面
62Aとハーフミラー56のコーティング面56Aで反
射される。コーティング面56Aで反射されたレーザ光
54Aはフーリエ変換レンズ58Aで集光されて、CC
Dカメラ60Aの結像面に加工面62Aのフラウンホー
ファ回析像を結像する。一方、ハーフミラー56で分割
された参照面測定用のレーザ光54Bはフーリエ変換レ
ンズ58Bで集光されてCCDカメラ60Bの結像面に
参照面のフラウンホーファ回析像を結像する。これによ
り、フレームメモリ64にはCCDカメラ60Aの結像
面に結像したフラウンホーファ回析像の光強度分布デー
タと、CCDカメラ60Bの結像面に結像したフラウン
ホーファ回析像の光強度分布データが同時に入力され
る。
【0013】前記の如く構成された本発明に係る表面粗
さ測定装置の作用について説明する。先ず、レーザ光源
52からレーザ光54を下方に投光する。投光されたレ
ーザ光54はハーフミラー56で、ハーフミラー56を
透過する加工面測定用のレーザ光54Aとハーフミラー
56のコーティング面56Aで反射される参照面測定用
のレーザ光54Bに分けられる。分割された加工面測定
用のレーザ光54Aは被測定物62の加工面62Aで反
射して再度ハーフミラー56まで導かれてハーフミラー
56のコーティング面56Aで全反射される。
さ測定装置の作用について説明する。先ず、レーザ光源
52からレーザ光54を下方に投光する。投光されたレ
ーザ光54はハーフミラー56で、ハーフミラー56を
透過する加工面測定用のレーザ光54Aとハーフミラー
56のコーティング面56Aで反射される参照面測定用
のレーザ光54Bに分けられる。分割された加工面測定
用のレーザ光54Aは被測定物62の加工面62Aで反
射して再度ハーフミラー56まで導かれてハーフミラー
56のコーティング面56Aで全反射される。
【0014】コーティング面56Aで全反射されたレー
ザ光54Aはフーリエ変換レンズ58Aで集光されて、
CCDカメラ60Aの結像面に加工面62Aのフラウン
ホーファ回析像を結像する。CCDカメラ60Aの結像
面に結像した加工面62Aのフラウンホーファ回析像の
光強度分布は電気信号に変換され、変換された電気信号
はドライバ66Aで読み出されてフレームメモリ64に
加工面62Aのフラウンホーファ回析像の光強度分布デ
ータとして蓄えられる。
ザ光54Aはフーリエ変換レンズ58Aで集光されて、
CCDカメラ60Aの結像面に加工面62Aのフラウン
ホーファ回析像を結像する。CCDカメラ60Aの結像
面に結像した加工面62Aのフラウンホーファ回析像の
光強度分布は電気信号に変換され、変換された電気信号
はドライバ66Aで読み出されてフレームメモリ64に
加工面62Aのフラウンホーファ回析像の光強度分布デ
ータとして蓄えられる。
【0015】一方、ハーフミラー56で分割された参照
面測定用のレーザ光54Bはフーリエ変換レンズ58B
で集光されてCCDカメラ60Bの結像面に参照面のフ
ラウンホーファ回析像が結像する。CCDカメラ60B
の結像面に結像した参照面のフラウンホーファ回析像の
光強度分布は電気信号に変換され、変換された電気信号
はドライバ66Bで読み出されてフレームメモリ64に
参照面の光強度分布データとして蓄えられる。この場
合、フレームメモリ64には加工面61Aのフラウンホ
ーファ回析像の光強度分布データと、参照面の光強度分
布データが同時に入力される。従って、加工面の測定時
と参照面の測定時に時間差が生じないので、参照面と加
工面の測定時にレーザ光の変動や加工面の変動の影響を
受けない。さらに、加工面測定用のレーザ光54Aと参
照面測定用のレーザ光54Bの光路長は同一に設定され
ているので、レーザ光54Aとレーザ光54Bの散乱状
態に差が生じない。
面測定用のレーザ光54Bはフーリエ変換レンズ58B
で集光されてCCDカメラ60Bの結像面に参照面のフ
ラウンホーファ回析像が結像する。CCDカメラ60B
の結像面に結像した参照面のフラウンホーファ回析像の
光強度分布は電気信号に変換され、変換された電気信号
はドライバ66Bで読み出されてフレームメモリ64に
参照面の光強度分布データとして蓄えられる。この場
合、フレームメモリ64には加工面61Aのフラウンホ
ーファ回析像の光強度分布データと、参照面の光強度分
布データが同時に入力される。従って、加工面の測定時
と参照面の測定時に時間差が生じないので、参照面と加
工面の測定時にレーザ光の変動や加工面の変動の影響を
受けない。さらに、加工面測定用のレーザ光54Aと参
照面測定用のレーザ光54Bの光路長は同一に設定され
ているので、レーザ光54Aとレーザ光54Bの散乱状
態に差が生じない。
【0016】そして、フレームメモリ64に蓄えられた
加工面61Aのフラウンホーファ回析像の光強度分布デ
ータ、及び参照面の光強度分布データはCPU66に入
力される。CPU66はフラウンホーファ回析像の光強
度分布データと参照面の光強度分布データに基づいて、
ハーフミラー56の透過率や加工面62Aの反射率等に
よるレーザ光54の減衰を補正して補正された加工面6
2Aの粗さの振幅を算出する。この場合、加工面測定用
のレーザ光54Aと参照面測定用のレーザ光54Bと
は、ハーフミラー56のコーティング面56Aで1回ず
つ反射されるのでコーティング面56Aの粗さを差し引
くことができる。
加工面61Aのフラウンホーファ回析像の光強度分布デ
ータ、及び参照面の光強度分布データはCPU66に入
力される。CPU66はフラウンホーファ回析像の光強
度分布データと参照面の光強度分布データに基づいて、
ハーフミラー56の透過率や加工面62Aの反射率等に
よるレーザ光54の減衰を補正して補正された加工面6
2Aの粗さの振幅を算出する。この場合、加工面測定用
のレーザ光54Aと参照面測定用のレーザ光54Bと
は、ハーフミラー56のコーティング面56Aで1回ず
つ反射されるのでコーティング面56Aの粗さを差し引
くことができる。
【0017】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る表面粗
さ測定方法及び装置によれば、光源から投光された光を
ハーフミラーを透過する透過光とハーフミラーで反射さ
れた反射光に分割して、透過光と反射光を光路長が同一
になるように設定した。従って、加工面と参照面を同時
に測定することができるので時間差で生じるレーザ光の
変動や加工面の変動をなくことができ、さらにレーザ光
の散乱状態に差が生じないようにすることができる。こ
れにより、被測定物の加工面の表面粗さを測定する場合
に測定精度の向上を図ることができる。
さ測定方法及び装置によれば、光源から投光された光を
ハーフミラーを透過する透過光とハーフミラーで反射さ
れた反射光に分割して、透過光と反射光を光路長が同一
になるように設定した。従って、加工面と参照面を同時
に測定することができるので時間差で生じるレーザ光の
変動や加工面の変動をなくことができ、さらにレーザ光
の散乱状態に差が生じないようにすることができる。こ
れにより、被測定物の加工面の表面粗さを測定する場合
に測定精度の向上を図ることができる。
【図1】本発明に係る表面粗さ測定装置の全体図
【図2】従来の表面粗さ測定方法を説明する説明図
【図3】従来の表面粗さ測定方法を説明する説明図
50…表面粗さ測定装置 52…光源 54…レーザ光 54A…レーザ光(透過光) 54B…レーザ光(反射光) 56…ハーフミラー 58A、58B…フーリエ変換レンズ 60A、60B…CCDカメラ(撮像センサ) 66…CPU(演算部) 62A…加工面
Claims (2)
- 【請求項1】 光源から投光された光で加工面を照射
し、該加工面で反射された反射光をフーリエ変換レンズ
で集光して前記加工面の回析像を結像し、該結像された
加工面の回析像を参照面で補正して前記加工面の表面粗
さを測定する表面粗さ測定方法において、 前記光源から投光された光をハーフミラーで透過光及び
反射光に分割し、 前記分割された透過光の光路長と反射光の光路長を同一
に設定し、 前記透過光で前記加工面を照射して加工面の反射光を加
工面測定用のフーリエ変換レンズで集光して加工面の回
析像を結像し、 前記ハーフミラーの反射光を参照面測定用のフーリエ変
換レンズで集光して前記参照面の回析像を前記加工面の
回析像と同時に結像し、 前記参照面の回析像及び前記加工面の回析像に基づいて
前記加工面の表面粗さを測定することを特徴とする表面
粗さ測定方法。 - 【請求項2】 光源から投光された光で加工面を照射
し、該加工面で反射された反射光をフーリエ変換レンズ
で集光して前記加工面の回析像を結像し、該結像された
加工面の回析像を参照面で補正して前記加工面の表面粗
さを測定する表面粗さ測定装置において、 前記光源から投光された光を透過光及び反射光に分割す
るハーフミラーと、 前記透過光で前記加工面を照射して加工面の反射光を集
光して前記加工面の回析像を結像する加工面測定用のフ
ーリエ変換レンズと、 前記加工面の回析像を受光する加工面測定用の撮像セン
サと、 前記ハーフミラーの反射光を集光して前記参照面の回析
像を結像する参照面測定用のフーリエ変換レンズと、 前記参照面の回析像を受光する参照面測定用の撮像セン
サと、 前記参照面の回析像のデータ及び前記加工面の回析像の
データに基づいて前記加工面の表面粗さを求める演算部
と、 を備え、前記ハーフミラーで分割された透過光の光路長
と反射光の光路長が同一になるように前記加工面、加工
面測定用の撮像センサ及び前記参照面測定用の撮像セン
サを位置決めすることを特徴とする表面粗さ測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13844393A JP2946381B2 (ja) | 1993-06-10 | 1993-06-10 | 表面粗さ測定方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP13844393A JP2946381B2 (ja) | 1993-06-10 | 1993-06-10 | 表面粗さ測定方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH06347244A true JPH06347244A (ja) | 1994-12-20 |
JP2946381B2 JP2946381B2 (ja) | 1999-09-06 |
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Family Applications (1)
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JP13844393A Expired - Fee Related JP2946381B2 (ja) | 1993-06-10 | 1993-06-10 | 表面粗さ測定方法及び装置 |
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JP (1) | JP2946381B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012137484A (ja) * | 2010-12-09 | 2012-07-19 | Kyushu Institute Of Technology | 三次元表面の計測装置及び方法 |
-
1993
- 1993-06-10 JP JP13844393A patent/JP2946381B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2012137484A (ja) * | 2010-12-09 | 2012-07-19 | Kyushu Institute Of Technology | 三次元表面の計測装置及び方法 |
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Publication number | Publication date |
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JP2946381B2 (ja) | 1999-09-06 |
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