JPH06307839A - 光触針利用による表面測定方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】光触針装置を利用して被測定試料の測定対象表
面の被測定点における垂直方向の表面粗さ情報のみなら
ず各種の光学的特性をも同時に或いは個別に測定可能な
光触針利用による表面測定方法および装置を提供する。 【構成】被測定試料４の測定対象表面４ａの被測定点４
ｂに照射光Ｌｉを照射し、当該被測定点４ｂからの反射
光Ｌｒを、当該被測定試料４の測定対象表面４ａから焦
点距離Ｄだけ離れた位置に配置した対物凸レンズ３で集
光して所定の角度に配設された三角プリズム５に入射さ
せ、当該三角プリズム５からの出射光を出射面５ｂに対
面した複数の光センサ６ａ，６ｂにより被測定点４ｂ毎
にそれぞれ独立並行して検出した後、当該複数の光セン
サ６ａ，６ｂにて検出されたそれぞれの光強度の和を、
前記被測定点４ｂの反射率として検出したことを特徴と
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、測定試料の測定対象表
面の被測定点における垂直方向の凹凸の変位量や表面粗
さ等の測定に供される光触針利用による表面測定方法お
よびその実施に直接使用する装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より存在する光触針装置は、被測定
試料の測定対象表面の任意の被測定点における、僅かな
垂直方向の凹凸の変位量のみを検出する装置であった。

【０００３】そこで、当該光触針装置を使用して測定対
象表面の複数被測定点につき凹凸の変位量を測定した上
で、被測定試料の測定対象表面の一定範囲に亙る表面粗
さに関する種々のパラメータ、例として中心線平均粗
さ、最大高さ、山数、その他表面粗さに関する種々の統
計量を算出していた。

【０００４】従来の光触針装置につき図面を用いて説明
する。図２は従来例の光触針装置の構成概念図、図３は
対物凸レンズと被測定試料の測定対象表面との距離が、
対物凸レンズの焦点距離に等しい場合における臨界角法
の原理図、図４は対物凸レンズと被測定試料の測定対象
表面との距離が、対物凸レンズの焦点距離より小さい場
合における臨界角法の原理図、図５は対物凸レンズと被
測定試料の測定対象表面との距離が、対物凸レンズの焦
点距離より大きい場合における臨界角法の原理図であ
る。

【０００５】図中、αは光触針装置、Ｌｉは照射レーザ
光、Ｌｒは反射レーザ光、１はレーザ光源、２はハーフ
ミラー、３は対物凸レンズ、４は被測定試料、４ａは測
定対象表面、４ｂは被測定点、５は三角プリズム、５ａ
は入射面、５ｂは出射面、５ｃは臨界角面、６ａ，６ｂ
はそれぞれ第１，第２の光センサである。

【０００６】図２に示す従来例の光触針装置αにおい
て、レーザ光源１から放射された照射レーザ光Ｌｉはハ
ーフミラー２により鉛直方向下向きに光軸Ｌｏを直角に
曲げられ、対物凸レンズ３を通過して当該対物凸レンズ
３の焦点距離Ｄに予め配置された被測定試料４測定対象
表面４ａの被測定点４ｂに極微のスポットで焦点を結
ぶ。

【０００７】当該被測定点４ｂにて反射された反射レー
ザ光Ｌｒは、再び対物凸レンズ３に入射し、前記照射レ
ーザ光Ｌｉと同光軸Ｌｏ上を直進し、前記ハーフミラー
２を直進して三角プリズム５の入射面５ａより入射して
臨界角面５ｃに到達する。ここでは測定原理として臨界
角法を用いた場合につき以下説明する。

【０００８】臨界角法の原理は、絶対屈折率ｎ１の媒質
中の光が、絶対屈折率ｎ２（ｎ１＞ｎ２）の媒質との境
界面に入射する際、双方の媒質の種類により決定される
一定の臨界角より入射角が大きい場合に光が境界面で全
反射、則ち反射率＝１となることを利用している。準備
段階として、予め三角プリズム５は入射する反射レーザ
光Ｌｒ軸方向と三角プリズム５臨界角面５ｃ垂直方向と
のなす角が、臨界角と一致するように調節しておく。

【０００９】図３に示すように、対物凸レンズ３と被測
定試料４の測定対象表面４ａとの距離Ｄ１が、当該対物
凸レンズ３の焦点距離Ｄに等しい場合（Ｄ１＝Ｄ）に
は、反射レーザ光Ｌｒの三角プリズム５への入射角が臨
界角と等しくなり、三角プリズム５内の図中ａ１点に入
射した反射レーザ光Ｌｒは全反射されて第１の光センサ
６ａに全て入射する。同様にプリズム５内の図中ｂ１点
に入射した反射レーザ光Ｌｒも全反射されて第２の光セ
ンサ６ｂに全て入射する。

【００１０】よって、第１の光センサ６ａ及び第２の光
センサ６ｂに入射する光量は等しくなり、第１の光セン
サ６ａより出力される検出信号Ｓ１と第２の光センサよ
り出力される検出信号Ｓ２のレベルは等しくなる。

【００１１】これに対して図４に示すように、対物凸レ
ンズ３と被測定試料４の測定対象表面４ａとの距離Ｄ２
が、当該対物凸レンズ３の焦点距離Ｄより小さい場合
（Ｄ２〈Ｄ）には、対物凸レンズ３を通過した反射レー
ザ光Ｌｒは発散して三角プリズム５の入射面５ａに入射
する。

【００１２】三角プリズム５中の図中ａ２点に入射した
反射レーザ光Ｌｒの入射角は臨界角より小さいので、入
射光は全反射されることなく一部が臨界角面５ｃより出
射し、第１の光センサ６ａに入射する光量は減少して検
出信号Ｓ１のレベルは相対的に低下する。三角プリズム
５内の図中ｂ２点に入射した反射レーザ光Ｌｒの入射角
は臨界角より大きいので、入射光は全反射されて第２の
光センサ６ｂに全て入射し、検出信号Ｓ２のレベルは変
化しない。

【００１３】逆に図５に示すように、対物凸レンズ３と
被測定試料４の測定対象表面４ａとの距離Ｄ３が、当該
対物凸レンズ３の焦点距離Ｄより大きい場合（Ｄ３〉
Ｄ）には、対物凸レンズ３を通過した反射レーザ光Ｌｒ
は集束して三角プリズム５の入射面５ａに入射する。

【００１４】三角プリズム５中の図中ａ３点に入射した
反射レーザ光Ｌｒの入射角は臨界角より大きいので、入
射光は全反射されて第１の光センサ６ａに入射し、検出
信号Ｓ１のレベルは変化しない。三角プリズム５中の図
中ｂ３点に入射した反射レーザ光Ｌｒの入射角は臨界角
より小さいので、入射光は全反射されることなく一部が
臨界角面５ｃより出射し、第２の光センサ６ｂに入射す
る光量は減少して検出信号Ｓ２のレベルは相対的に低下
する。

【００１５】ここで検出信号Ｓ１及び検出信号Ｓ２を、
図示しない差動増幅器の非反転入力及び反転入力にそれ
ぞれ同時並行入力して差分増幅を行い、被測定試料４測
定対象表面４ａの被測定点４ｂの反射光軸Ｌｏ方向の凹
凸の変位量に比例した正負の電圧信号として出力するこ
とにより、凹凸の変位量の高感度な検出を行っていた。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の光触針装置αは、被測定試料４の測定対象表面４ａ
の光学的な測定を、凹凸の変位量の測定と同時に行うこ
とができなかった。このため、光学的測定を行う際に
は、一旦当該光触針装置αから被測定試料４ａを取り除
き、光学顕微鏡等の専用の光学測定装置に移し替えて行
う必要があり、煩わしいものであった。

【００１７】さらに、被測定試料４の測定対象表面４ａ
における凹凸の変位量以外の測定要素、例えば偏光情報
等を測定することが不可能であった。ここにおいて本発
明は、光触針装置を利用して被測定試料の測定対象表面
における垂直方向の表面粗さ情報のみならず各種の光学
的特性をも同時に或いは個別に測定可能な光触針利用に
よる表面測定方法を提供せんとするものである。

【００１８】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、本発明は次に列挙する新規な特徴的構成手法および
手段を採用する。すなわち、本発明方法の第１の特徴
は、被測定試料の測定対象表面の被測定点に照射光を照
射し、当該被測定点からの反射光を、当該被測定試料の
測定対象表面から焦点距離だけ離れた位置に配置した対
物レンズを通して所定の角度に配設されたプリズムに入
射させ、当該プリズムからの出射光を出射面に対面した
複数の光強度検出手段により前記被測定点毎にそれぞれ
独立並行して検出した後、当該複数の光強度検出手段に
て検出されたそれぞれの光強度の和を、前記被測定試料
の測定対象表面の反射率として検出してなる光触針利用
による表面測定方法である。

【００１９】本発明方法の第２の特徴は、被測定試料の
測定対象表面の被測定点に照射光を照射し、当該被測定
点からの反射光を、当該被測定試料の測定対象表面から
焦点距離だけ離れた位置に配置した対物レンズを通して
所定の角度に配設されたプリズムに入射させ、当該プリ
ズムからの出射光を出射面に対面した複数の光強度検出
手段により前記被測定点毎にそれぞれ独立並行して検出
した後、当該複数の光強度検出手段にて検出されたそれ
ぞれの光強度の和を、前記被測定点の反射率として検出
すると共に、当該複数の光強度検出手段にて検出された
それぞれの光強度の差を、前記被測定試料の測定対象表
面の反射光軸方向の凹凸の変位量として検出してなる光
触針利用による表面測定方法である。

【００２０】本発明方法の第３の特徴は、前記方法の第
１，第２の特徴における光強度の和が、対応する等高
線、明度、色彩等の画像情報としてグラフィック表示さ
れてなる光触針利用による表面測定方法である。

【００２１】本発明方法の第４の特徴は、前記方法の第
２の特徴に置ける光強度の差が、対応する等高線、明
度、色彩等の画像情報としてグラフィック表示されてな
る光触針利用による表面測定方法である。

【００２２】本発明方法の第５の特徴は、前記方法の第
１，第２，第３又は第４の特徴における光源が、波長の
異なる複数の光源である光触針利用による表面測定方法
である。

【００２３】本発明方法の第６の特徴は、前記方法の第
１，第２，第３，第４又は第５の特徴における対向する
対物レンズと被測定試料が、相対的に間歇スポットを走
査移動してなる光触針利用による表面測定方法である。

【００２４】本発明方法の第７の特徴は、前記方法の第
１，第２，第３，第４，第５又は第６の特徴における反
射光が、当該反射光軸上任意の位置で強制偏光してなる
光触針利用による表面測定方法である。

【００２５】本発明装置の第１の特徴は、前後左右微動
機構を有する試料台と、当該試料台上に載定した被測定
試料の測定対象表面の被測定点に照射光を投照する光源
と，当該被測定試料の測定対象表面から焦点距離だけ離
れた位置に配置した対物レンズと，前記被測定点からの
反射光を当該対物レンズを通して入射自在な所定角度に
配置したプリズムと，当該プリズムからの出射光を前記
被測定点毎にそれぞれ独立並行して検出自在に出射面に
対面した複数の光センサとを含む光触針装置と、当該光
センサからの検出信号を同時並行入力する加算回路と減
算回路と，当該加算回路と減算回路からの和信号および
差信号を画像情報信号に変換処理した後、当該画像情報
信号と前記前後左右微動機構にスポット走査微動指令信
号をそれぞれ出力する制御処理回路とを含む演算処理装
置と、当該画像情報信号を入力表示する画像表示装置と
を備えてなる光触針利用による表面測定装置である。

【００２６】本発明装置の第２の特徴は、前記装置の第
１の特徴における光触針装置が、対物レンズとプリズム
間の反射光軸上に偏光板を挿入してなる光触針利用によ
る表面測定装置である。

【００２７】

【作用】本発明では前記のような手法を採用したので、
被測定試料の測定対象表面の特定波長の照射光の反射率
を、反射光軸方向の凹凸の変位量と同時に測定すること
が可能となる。

【００２８】

【実施例】

（装置例）本発明の装置例につき図面を用いて詳説す
る。図１は本装置例を示す光触針利用による表面測定装
置の構成概念図である。図中、βは光触針利用による表
面測定装置、７は演算処理装置、８は表示装置、９は試
料台、１０は減算回路、１１は加算回路、１２は制御処
理回路である。尚、従来例と同一部品には同一記号を付
した。

【００２９】図１に示す本実施例の光触針利用による表
面測定装置βにおいて、レーザ光源１から放射された照
射レーザ光Ｌｉはハーフミラー２により鉛直方向下向き
に光軸Ｌｏを曲げられ、対物凸レンズ３を通過して当該
対物凸レンズ３の焦点距離Ｄに予め配置された被測定試
料４測定対象表面４ａの被測定点４ｂに極微のスポット
で焦点を結ぶ。

【００３０】当該被測定点４ｂにて反射された反射レー
ザ光Ｌｒは、再び対物凸レンズ３に入射し、前記照射レ
ーザ光Ｌｉと同光軸Ｌｏ上を直進し、再び前記ハーフミ
ラー２を通過して三角プリズム５に入射し臨界角面５ｃ
に到達する。予め三角プリズム５は、入射する反射レー
ザ光Ｌｒ軸方向と臨界角面５ｃ垂直方向とが、臨界角と
一致するように調節しておく。

【００３１】（方法例）当該本装置例に適用した本方法
例につき図面を用いて詳説する。本方法例は、従来例と
同様に測定原理として臨界角法を用いた場合につき説明
する。対物凸レンズ３と被測定試料４の測定対象表面４
ａとの距離Ｄ１が、当該対物凸レンズ３の焦点距離Ｄに
等しい場合（Ｄ１＝Ｄ）には、従来例と同様に第１の光
センサ６ａ及び第２の光センサ６ｂに入射する光量は等
しくなり、検出信号Ｓ１と検出信号Ｓ２のレベルは等し
くなる。

【００３２】これに対して対物凸レンズ３と被測定試料
４の測定対象表面４ａとの距離Ｄ２が、当該対物凸レン
ズ３の焦点距離Ｄより小さい場合（Ｄ２〈Ｄ）には、従
来例と同様に検出信号Ｓ１のレベルは低下し、検出信号
Ｓ２のレベルは変化しない。

【００３３】逆に対物凸レンズ３と被測定試料４の測定
対象表面４ａとの距離Ｄ３が、当該対物凸レンズ３の焦
点距離Ｄより大きい場合（Ｄ３〉Ｄ）には、従来例と同
様に検出信号Ｓ１のレベルは変化せず、検出信号Ｓ２の
レベルは低下する。

【００３４】ここで従来例と同様に検出信号Ｓ１及び検
出信号Ｓ２を、演算処理装置７内部の減算回路１１とし
ての差動増幅器の非反転入力及び反転入力にそれぞれ同
時並行入力して差分増幅を行い、被測定試料４測定対象
表面４ａの被測定点４ｂの反射レーザ光Ｌｒ軸方向の凹
凸の変位量に比例した正負の電圧信号として検出し差信
号Ｓ５を出力する。

【００３５】本方法例ではこれに加えて検出信号Ｓ１及
び検出信号Ｓ２の和が、反射レーザ光Ｌｒの強度に比例
することに着目し、検出信号Ｓ１及び検出信号Ｓ２を、
演算処理装置７内部の加算回路１１としての加算増幅器
の２入力にそれぞれ同時並行入力して加算増幅を行い、
被測定試料４測定対象表面４ａの被測定点４ｂの反射率
に比例した電圧信号として検出し和信号Ｓ６を出力す
る。差信号Ｓ５および和信号Ｓ６を制御処理装置１２に
入力して画像情報信号Ｓ４に変換処理しこの画像情報信
号Ｓ４とスポット走査微動指令信号Ｓ３の出力タイミン
グを制御する。

【００３６】次いで演算処理装置７からのスポット走査
微動指令信号Ｓ３によって動作する微動機構等を備えた
試料台９により被測定試料４を光触針装置αに対し相対
的にＸＹ平面上を移動させることにより測定範囲の間歇
的スポット走査を行う。

【００３７】走査を行うことによって、光触針装置αか
らの検出信号Ｓ１と検出信号Ｓ２につき、凹凸の変位量
たる差信号Ｓ５及び反射率たる和信号Ｓ６を演算処理装
置７で順次演算処理すると共に蓄積し、最終的にそれぞ
れの信号Ｓ５，Ｓ６の振幅に応じた等高線や色調あるい
は明度の階調等を有する画像情報信号Ｓ４として画像表
示装置８に同時あるいは個別に表示される。このような
画像の表示は、従来公知の画像表示装置を用いることに
より可能である。

【００３８】本実施例はこのような手法を採用するの
で、被測定試料４の測定対象表面４ａの表面粗さ情報を
高い測定精度で検出し得ると同時に、光学的画像情報信
号Ｓ４を同時に検出及び表示することが出来る。

【００３９】本実施例では光源として単波長のレーザ光
源１を単独で使用した場合につき説明したが、光源とし
て異なった波長のレーザ光源１を複数使用する、例えば
光触針装置αの光源としてそれぞれ光の３原色を発生す
る３波長のレーザ光源１を使用することにより、各波長
のレーザ光を時分割に照射或いはカラーフィルタを用い
て合成処理することにより、被測定試料４の測定対象表
面４ａのフルカラーの光学的画像情報信号Ｓ４を画像表
示装置８に表示することができる。

【００４０】また、反射レーザ光Ｌｒの光軸Ｌｏ上に図
示しない偏光板を配置し、前記光触針装置αで得られた
反射レーザ光Ｌｒの内一定方向への偏光を抽出し、三角
プリズム５を通し偏光情報として表示することも可能で
ある。これによって被測定試料４の測定対象表面４ａの
光学的偏光特性を表面粗さ信号と同時に測定することが
出来、例えば光磁気記録媒体のビット情報をカー効果を
利用して当該偏光測定によって検出することができる。

【００４１】本実施例で用いる光源としては、スペクト
ル幅が狭くコヒーレントかつ高出力な光であるレーザ光
源を用いることが、測定精度及び感度を高める上で望ま
しいが、測定が可能である限り一般光を用いても良い。

【００４２】なお光触針装置αの詳細な光学系の構成
や、光センサの配設位置や、光触針装置αに複数波長の
レーザ光源を組み込みレーザ光をミラーを用いて適宜切
り替え測定する手法や反射レーザ光Ｌｒから偏光素子を
用いて偏光信号を抽出する手法については従来の光学デ
ィスク再生装置や光磁気ディスク再生装置に用いられて
いるレーザピックアップにて既に実用化されている公知
技術なのでここでは説明を省略する。

【００４３】本実施例では光触針装置αを固定し被測定
試料４を走査させたが、逆に被測定試料４を固定し光触
針装置αに微動機構等を取り付けて走査させても良い。
さらに本実施例では測定原理として臨界角法を用いて説
明したが、臨界角法以外の他の公知方法、例えば四分割
法等の他の測定原理を用いても一向に差し支えない。

【００４４】

【発明の効果】かくして、本発明によれば被測定試料の
表面粗さ及び被測定試料の測定対象表面の表面反射率や
偏光状態等の各種光学特性を、個別に或いは同時に測定
可能であり、優れた至便性、測定の容易性等各種の利点
を有する。

【００４５】また、表示装置を具備したことにより、被
測定試料の測定対象表面の光学的情報をグラフィック表
示するので、観測者の視覚に直接的に訴えつつ光学的な
観測を行い、さらに被測定試料の測定対象表面における
表面粗さと各種の光学的特性を同時かつ同一箇所におい
て測定可能とし、複合材料や傾斜機能材料では表面粗さ
測定と同時に異種材質相互間の分散状態等に関する光学
的情報を得たり、集積回路等ではその表面配線パターン
を確認すると同時に配線材と基板等との光学的な差異を
用いて材質の識別を可能とする等、従来の光触針装置の
有する高精度な表面粗さ測定機能に加えて光学顕微鏡と
同様な光学的観測を行うことができる。

【００４６】従来の光触針装置に容易に付加可能であ
り、かつ影響を何等与えないため、従来の光触針装置を
そのまま利用することができる。波長の異なる複数の光
源を使用することにより、被測定試料の測定対象表面の
光学的画像情報をフルカラーで表示したり、任意の波長
に対する吸収率の測定等の各種光学的測定を行うことが
できる。その上、偏光板を光学系に挿入することによ
り、偏光状態に限らず光磁気ディスクに記録された情報
をも読みとることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の装置例を示す光触針利用による表面測
定装置の構成概念図である。

【図２】従来の光触針装置の構成概念図である。

【図３】対物凸レンズと被測定試料の測定対象表面との
距離が、対物凸レンズの焦点距離に等しい場合における
臨界角法の原理図である。

【図４】対物凸レンズと被測定試料の測定対象表面との
距離が、対物凸レンズの焦点距離より小さい場合におけ
る臨界角法の原理図である。

【図５】対物凸レンズと被測定試料の測定対象表面との
距離が、対物凸レンズの焦点距離より大きい場合におけ
る臨界角法の原理図である。

【符号の説明】

α…光触針装置 β…光触針利用による表面測定装置 Ｄ…焦点距離 Ｄ１〜Ｄ３…距離 Ｌｏ…光軸 Ｌｉ…照射レーザ光 Ｌｒ…反射レーザ光 Ｓ１，Ｓ２…検出信号 Ｓ３…スポット走査微動指令信号 Ｓ４…画像情報信号 Ｓ５…差信号 Ｓ６…和信号 １…レーザ光源 ２…ハーフミラー ３…対物凸レンズ ４…被測定試料 ４ａ…測定対象表面 ４ｂ…被測定点 ５…三角プリズム ５ａ…入射面 ５ｂ…出射面 ５ｃ…臨界角面 ６ａ…第１の光センサ ６ｂ…第２の光センサ ７…演算処理装置 ８…画像表示装置 ９…試料台

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被測定試料の測定対象表面の被測定点に照
   射光を照射し、当該被測定点からの反射光を、当該被測
   定試料の測定対象表面から焦点距離だけ離れた位置に配
   置した対物レンズを通して所定の角度に配設されたプリ
   ズムに入射させ、当該プリズムからの出射光を出射面に
   対面した複数の光強度検出手段により前記被測定点毎に
   それぞれ独立並行して検出した後、 当該複数の光強度検出手段にて検出されたそれぞれの光
   強度の和を、前記被測定点の反射率として検出したこと
   を特徴とする光触針利用による表面測定方法。
2. 【請求項２】被測定試料の測定対象表面の被測定点に照
   射光を照射し、当該被測定点からの反射光を、当該被測
   定試料の測定対象表面から焦点距離だけ離れた位置に配
   置した対物レンズを通して所定の角度に配設されたプリ
   ズムに入射させ、当該プリズムからの出射光を出射面に
   対面した複数の光強度検出手段により前記被測定点毎に
   それぞれ独立並行して検出した後、 当該複数の光強度検出手段にて検出されたそれぞれの光
   強度の和を、前記被測定点の反射率として検出すると共
   に、当該複数の光強度検出手段にて検出されたそれぞれ
   の光強度の差を、前記被測定点の反射光軸方向の凹凸の
   変位量として検出したことを特徴とする光触針利用によ
   る表面測定方法。
3. 【請求項３】光強度の和は、対応する等高線、明度、色
   彩等の画像情報としてグラフィック表示されたことを特
   徴とする請求項１又は２記載の光触針利用による表面測
   定方法。
4. 【請求項４】光強度の差は、対応する等高線、明度、色
   彩等の画像情報としてグラフィック表示されたことを特
   徴とする請求項２記載の光触針利用による表面測定方
   法。
5. 【請求項５】光源は、波長の異なる複数の光源であるこ
   とを特徴とする請求項１，２，３又は４記載の光触針利
   用による表面測定方法。
6. 【請求項６】対向する対物レンズと被測定試料は、相対
   的に間歇スポット走査移動することを特徴とする請求項
   １，２，３，４又は５記載の光触針利用による表面測定
   方法。
7. 【請求項７】反射光は、当該反射光軸上任意の位置で強
   制偏光することを特徴とする請求項１，２，３，４，５
   又は６記載の光触針利用による表面測定方法。
8. 【請求項８】前後左右微動機構を有する試料台と，当該
   試料台上に載定した被測定試料の測定対象表面の被測定
   点に照射光を投照する光源と，当該被測定試料の測定対
   象表面から焦点距離だけ離れた位置に配置した対物レン
   ズと，前記被測定点からの反射光を当該対物レンズを通
   して入射自在な所定角度に配置したプリズムと，当該プ
   リズムからの出射光を前記被測定点毎にそれぞれ独立並
   行して検出自在に出射面に対面した複数の光センサとを
   含む光触針装置と、当該光センサからの検出信号を同時
   並行入力する加算回路と減算回路と，当該加算回路と減
   算回路からの和信号および差信号を画像情報信号に変換
   処理した後、当該画像情報信号と前記前後左右微動機構
   にスポット走査微動指令信号をそれぞれ出力する制御処
   理回路とを含む演算処理装置と、当該画像情報信号を入
   力表示する画像表示装置とを備える光触針利用による表
   面測定装置。
9. 【請求項９】光触針装置は、対物レンズとプリズム間の
   反射光軸上に偏光板を挿入することを特徴とする請求項
   ８記載の光触針利用による表面測定装置。