JPH06301617A - 生産管理システム - Google Patents
生産管理システムInfo
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- JPH06301617A JPH06301617A JP10889193A JP10889193A JPH06301617A JP H06301617 A JPH06301617 A JP H06301617A JP 10889193 A JP10889193 A JP 10889193A JP 10889193 A JP10889193 A JP 10889193A JP H06301617 A JPH06301617 A JP H06301617A
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
-
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- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
Landscapes
- General Factory Administration (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Computer And Data Communications (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Abstract
(57)【要約】
［目的］ 複数の生産装置の機器を一括して管理するこ
とを目的とする。 ［構成］ 各クライオポンプ５５〜６２の制御器に設け
られた通信ポートにより複数のクライオポンプと保守管
理用コンピュータ７０が接続されて、複数のクライオポ
ンプの保守又は管理を一括して行うことができるネット
ワークを構成する。
とを目的とする。 ［構成］ 各クライオポンプ５５〜６２の制御器に設け
られた通信ポートにより複数のクライオポンプと保守管
理用コンピュータ７０が接続されて、複数のクライオポ
ンプの保守又は管理を一括して行うことができるネット
ワークを構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、特定領域内のネットワ
ークに接続される複数の装置を管理する生産管理システ
ムに関する。
ークに接続される複数の装置を管理する生産管理システ
ムに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、工場の生産ラインにおいては図３
に示されるように、生産装置３〜８の装置本体９〜１
４、例えば、生産装置としてのスパッタリング装置、Ｃ
ＶＤ装置又はエッチング装置等の本体は、図示されてい
ないが装置本体９〜１４内の制御器（コンピュータ）に
より工場内のＬＡＮ（FA Local Area Network ）２を介
して工場単位の中央ホストコンピュータ（FA HOST ）１
と接続されている。装置本体９〜１４内の制御器（コン
ピュータ）は生産装置３〜８の情報を集中させ、必要な
情報を中央ホストコンピュータ１へＬＡＮ２を介して送
るようにしている。中央ホストコンピュータ１は、各生
産装置３〜８から送られてくる情報を収集し、管理を行
っている。又、生産装置３〜８に所属している機器１５
〜２２としては、例えば、クライオポンプがあり、これ
は各生産装置３〜８に単数又は複数個設けられている。
に示されるように、生産装置３〜８の装置本体９〜１
４、例えば、生産装置としてのスパッタリング装置、Ｃ
ＶＤ装置又はエッチング装置等の本体は、図示されてい
ないが装置本体９〜１４内の制御器（コンピュータ）に
より工場内のＬＡＮ（FA Local Area Network ）２を介
して工場単位の中央ホストコンピュータ（FA HOST ）１
と接続されている。装置本体９〜１４内の制御器（コン
ピュータ）は生産装置３〜８の情報を集中させ、必要な
情報を中央ホストコンピュータ１へＬＡＮ２を介して送
るようにしている。中央ホストコンピュータ１は、各生
産装置３〜８から送られてくる情報を収集し、管理を行
っている。又、生産装置３〜８に所属している機器１５
〜２２としては、例えば、クライオポンプがあり、これ
は各生産装置３〜８に単数又は複数個設けられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】然るに、上述した工場
単位の中央ホストコンピュータでは、ＬＡＮで接続され
ている各生産装置３〜８が全体として統一性をもって動
作するような生産管理が中心となり、即ち、中央ホスト
コンピュータ１には各生産装置３〜８が連携して生産が
行えるようなプログラムが設定されており、このプログ
ラムに従って各装置間３〜８を相互に関連制御している
のみで、生産装置３〜８に所属している末端の個々の機
器１５〜２２まではその情報量が多大となるため運転状
態等の監視又は管理等を細かく行うことができない。従
って、末端の機器が、例えばクライオポンプの場合、個
々のクライオポンプの運転状態や使用条件を使用中又は
使用後に把握することは困難であるので一様に保守を行
うことは困難であった。
単位の中央ホストコンピュータでは、ＬＡＮで接続され
ている各生産装置３〜８が全体として統一性をもって動
作するような生産管理が中心となり、即ち、中央ホスト
コンピュータ１には各生産装置３〜８が連携して生産が
行えるようなプログラムが設定されており、このプログ
ラムに従って各装置間３〜８を相互に関連制御している
のみで、生産装置３〜８に所属している末端の個々の機
器１５〜２２まではその情報量が多大となるため運転状
態等の監視又は管理等を細かく行うことができない。従
って、末端の機器が、例えばクライオポンプの場合、個
々のクライオポンプの運転状態や使用条件を使用中又は
使用後に把握することは困難であるので一様に保守を行
うことは困難であった。
【０００４】本発明は上述の問題に鑑みてなされ、各生
産装置に所属する末端の機器を一括して細かく管理する
ことができる生産管理システムを提供することを目的と
する。
産装置に所属する末端の機器を一括して細かく管理する
ことができる生産管理システムを提供することを目的と
する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】以上の目的は、特定領域
内のネットワークに接続される複数の装置を管理する生
産管理システムにおいて、前記装置に各々所属する機器
の制御器に前記特定領域内のネットワークとは別の独立
したネットワークに接続するための通信用ポートを設
け、前記制御器では前記機器に関するデータの収集、統
計、処理及び保存の少なくとも１つを行い、該制御器か
ら前記独立したネットワークに接続される保守管理用コ
ンピュータに前記データに基づいて得られる各種の情報
を転送し、該保守管理用コンピュータでは転送された情
報の記録及び表示をすることにより前記機器の統括、監
視、管理及び保守のうち少なくとも１つを行うことを特
徴とする生産管理システムによって達成される。
内のネットワークに接続される複数の装置を管理する生
産管理システムにおいて、前記装置に各々所属する機器
の制御器に前記特定領域内のネットワークとは別の独立
したネットワークに接続するための通信用ポートを設
け、前記制御器では前記機器に関するデータの収集、統
計、処理及び保存の少なくとも１つを行い、該制御器か
ら前記独立したネットワークに接続される保守管理用コ
ンピュータに前記データに基づいて得られる各種の情報
を転送し、該保守管理用コンピュータでは転送された情
報の記録及び表示をすることにより前記機器の統括、監
視、管理及び保守のうち少なくとも１つを行うことを特
徴とする生産管理システムによって達成される。
【０００６】
【作用】保守管理用コンピュータは各装置に所属する各
機器の制御器に設けられた通信用ポートによりネットワ
ークで接続され、各機器ではデータの収集、統計、処理
及び保守の少なくとも１つが行われ、所定の形式にした
情報を保守管理用コンピュータへ転送する。保守管理用
コンピュータでは各機器から送られてくる情報の記録、
表示を行う。このようにして従来の特定領域内のネット
ワークには全く影響を与えることなく、又、各装置とそ
れに付属する機器との正常な連携運転を維持しながら、
機器の詳細な運転データなどを収集することができ効率
的な機器運用を行うことができる。
機器の制御器に設けられた通信用ポートによりネットワ
ークで接続され、各機器ではデータの収集、統計、処理
及び保守の少なくとも１つが行われ、所定の形式にした
情報を保守管理用コンピュータへ転送する。保守管理用
コンピュータでは各機器から送られてくる情報の記録、
表示を行う。このようにして従来の特定領域内のネット
ワークには全く影響を与えることなく、又、各装置とそ
れに付属する機器との正常な連携運転を維持しながら、
機器の詳細な運転データなどを収集することができ効率
的な機器運用を行うことができる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の実施例による生産管理システ
ムについて図を参照して説明する。
ムについて図を参照して説明する。
【０００８】本生産管理システムの全体は図１で示さ
れ、工場内では生産装置４３〜４８、測定装置６３又は
品管装置６４等が、図示されてはいないが装置本体内の
制御器によりＦＡ ＬＡＮ（FA Local Area Network ）
４２を介して、図には散在的にしか示されていないが中
央ホストコンピュータ（FA HOST ）４１に多数接続され
ている。又、多数の生産装置４３〜４８の装置本体４９
〜５４、例えば、スパッタリング装置、ＣＶＤ装置又は
エッチング装置等の本体（真空室、基板支持台、搬送ロ
ボット等から成る）には末端の機器として同種類である
クライオポンプ５５〜６２が付属しているが、各クライ
オポンプ５５〜６２間と、これらを統括するための保守
管理用コンピュータ７０を接続することにより新しいＬ
ＡＮ（Local Area Network）７１が構成される。
れ、工場内では生産装置４３〜４８、測定装置６３又は
品管装置６４等が、図示されてはいないが装置本体内の
制御器によりＦＡ ＬＡＮ（FA Local Area Network ）
４２を介して、図には散在的にしか示されていないが中
央ホストコンピュータ（FA HOST ）４１に多数接続され
ている。又、多数の生産装置４３〜４８の装置本体４９
〜５４、例えば、スパッタリング装置、ＣＶＤ装置又は
エッチング装置等の本体（真空室、基板支持台、搬送ロ
ボット等から成る）には末端の機器として同種類である
クライオポンプ５５〜６２が付属しているが、各クライ
オポンプ５５〜６２間と、これらを統括するための保守
管理用コンピュータ７０を接続することにより新しいＬ
ＡＮ（Local Area Network）７１が構成される。
【０００９】クライオポンプ５５〜６２は冷媒を用いて
動作する真空排気ポンプでそれぞれの生産装置４３〜４
８に所属している機器である。これらクライオポンプ５
５〜６２は同じであるので、以下、ひとつのクライオポ
ンプ５５について図２を参照して説明する。
動作する真空排気ポンプでそれぞれの生産装置４３〜４
８に所属している機器である。これらクライオポンプ５
５〜６２は同じであるので、以下、ひとつのクライオポ
ンプ５５について図２を参照して説明する。
【００１０】図２において、クライオポンプ５５はフラ
ンジ部８２ａを備えた筒形のポンプ容器８２を冷凍機８
３に取り付け、この冷凍機８３は第１段冷凍ステージ８
７と第２冷凍ステージ８８を、ポンプ容器８２の内部に
挿入させるように取り付けられる。又、これらはローラ
付き架台９３上に支持されており、クライオポンプ５５
は自由に移動させることができる。ポンプ容器８２内に
は、熱伝導により第１、第２冷凍ステージ８７、８８に
より冷却される冷却部が設けられ、この構造を簡単に説
明すると、ポンプ容器８２内に薄板状の第１段クライオ
パネル８４と第２段クライオパネル８５が配設されてい
る。外側の第１段クライオパネル８４は、カップ状に形
成され、第１段冷凍ステージ８７上に上向きに配設さ
れ、この上端部にバッフル８６が設けられている。第１
段クライオパネル８４の内方には、第２段クライオパネ
ル８５がカップ状に形成され、第２段冷凍ステージ８８
上に下向きに配設されている。又、第２段クライオパネ
ル８５の内方には、活性炭等の吸着剤８９が設けられて
いる。
ンジ部８２ａを備えた筒形のポンプ容器８２を冷凍機８
３に取り付け、この冷凍機８３は第１段冷凍ステージ８
７と第２冷凍ステージ８８を、ポンプ容器８２の内部に
挿入させるように取り付けられる。又、これらはローラ
付き架台９３上に支持されており、クライオポンプ５５
は自由に移動させることができる。ポンプ容器８２内に
は、熱伝導により第１、第２冷凍ステージ８７、８８に
より冷却される冷却部が設けられ、この構造を簡単に説
明すると、ポンプ容器８２内に薄板状の第１段クライオ
パネル８４と第２段クライオパネル８５が配設されてい
る。外側の第１段クライオパネル８４は、カップ状に形
成され、第１段冷凍ステージ８７上に上向きに配設さ
れ、この上端部にバッフル８６が設けられている。第１
段クライオパネル８４の内方には、第２段クライオパネ
ル８５がカップ状に形成され、第２段冷凍ステージ８８
上に下向きに配設されている。又、第２段クライオパネ
ル８５の内方には、活性炭等の吸着剤８９が設けられて
いる。
【００１１】又、ポンプ容器８２の下方には制御器９０
が取り付けられており、その外装には操作用のキー９１
が設けられ、又、運転状態等を確認することができる各
ＬＥＤ（Light Emitting Diode）９２を備えている。制
御器９０の内部にはクライオポンプ５５が付属する装置
本体４９に対する通信ポートとして並列入出力ポート
（ディジタル パラレルI/O ）又は直列入出力ポート
（シリアルI/O 、例えば、RS-232C ）を設けており、こ
れらのいずれか又はその両方を用いて装置本体４９の制
御器（コンピュータ）と情報の伝達を行い、この情報は
所属する生産装置４３内での監視、操作、連動に使用さ
れる。
が取り付けられており、その外装には操作用のキー９１
が設けられ、又、運転状態等を確認することができる各
ＬＥＤ（Light Emitting Diode）９２を備えている。制
御器９０の内部にはクライオポンプ５５が付属する装置
本体４９に対する通信ポートとして並列入出力ポート
（ディジタル パラレルI/O ）又は直列入出力ポート
（シリアルI/O 、例えば、RS-232C ）を設けており、こ
れらのいずれか又はその両方を用いて装置本体４９の制
御器（コンピュータ）と情報の伝達を行い、この情報は
所属する生産装置４３内での監視、操作、連動に使用さ
れる。
【００１２】更に、本実施例では制御器９０に上述した
２種類の通信ポートに加えて本発明に係る、工場内のネ
ットワークとは別のネットワークとして構成されている
ＬＡＮ（Local Area Network）７１に接続する通信ポー
トを新たに設け、デイジーチェイン（DAISY CHAIN ）方
式により直列入出力ポート（シリアルI/O 、例えば、RS
-485）で各クライオポンプ間を接続する。又、各クライ
オポンプ間と１台のコンピュータ、例えば、ラップトッ
プ型パソコンを保守管理用コンピュータ７０として接続
することにより、各クライオポンプの制御器９０で収集
した情報を統括して監視又は管理を行うようにしてお
り、クライオポンプ５５の制御器９０は装置本体４９側
の通信と平行して、新たに設けたネットワークでも独立
して通信を行うことができる。又、上述したように、制
御器９０ではデイジーチェイン方式を採用しており、制
御器９０内で発生する割り込み、例えば、装置本体側送
信割り込み或は受信割り込み、クライオポンプ接続側送
信割り込み或は受信割り込み等の割り込みに関して、そ
れらの優先順位に従って処理を行えるように構成されて
いるため、従来の通信ポート側で発生する割り込みを邪
魔することなく各クライオポンプ間の通信を行うことが
できる。又、この方式では、クライオポンプの制御器を
次々とつないでネットワークを作っていくので配線の量
を減らすことができ、かつコンピュータから特定の制御
器のみを選んで受信できる。尚、保守管理用コンピュー
タ７０は最大６４台のクライオポンプを接続可能としこ
れら６４台分の情報を５秒以内に収集することが可能で
ある。
２種類の通信ポートに加えて本発明に係る、工場内のネ
ットワークとは別のネットワークとして構成されている
ＬＡＮ（Local Area Network）７１に接続する通信ポー
トを新たに設け、デイジーチェイン（DAISY CHAIN ）方
式により直列入出力ポート（シリアルI/O 、例えば、RS
-485）で各クライオポンプ間を接続する。又、各クライ
オポンプ間と１台のコンピュータ、例えば、ラップトッ
プ型パソコンを保守管理用コンピュータ７０として接続
することにより、各クライオポンプの制御器９０で収集
した情報を統括して監視又は管理を行うようにしてお
り、クライオポンプ５５の制御器９０は装置本体４９側
の通信と平行して、新たに設けたネットワークでも独立
して通信を行うことができる。又、上述したように、制
御器９０ではデイジーチェイン方式を採用しており、制
御器９０内で発生する割り込み、例えば、装置本体側送
信割り込み或は受信割り込み、クライオポンプ接続側送
信割り込み或は受信割り込み等の割り込みに関して、そ
れらの優先順位に従って処理を行えるように構成されて
いるため、従来の通信ポート側で発生する割り込みを邪
魔することなく各クライオポンプ間の通信を行うことが
できる。又、この方式では、クライオポンプの制御器を
次々とつないでネットワークを作っていくので配線の量
を減らすことができ、かつコンピュータから特定の制御
器のみを選んで受信できる。尚、保守管理用コンピュー
タ７０は最大６４台のクライオポンプを接続可能としこ
れら６４台分の情報を５秒以内に収集することが可能で
ある。
【００１３】本実施例による生産管理システム及びこれ
に接続されるクライオポンプの構成について説明した
が、次にこのシステムの作用について説明する。
に接続されるクライオポンプの構成について説明した
が、次にこのシステムの作用について説明する。
【００１４】クライオポンプ５５の制御器９０は、図示
されていないが装置本体４９の制御器（コンピュータ）
との制御連携を保ちながら、クライオポンプ５５に関す
るデータの収集、処理、統計及び保存を行う。制御器９
０内ではこれらのデータを編集して、保守管理用コンピ
ュータ７０に対する所定の形式の情報を作成し転送す
る。保守管理用コンピュータ７０では各クライオポンプ
から収集された情報を編集し、作表等の処理を行って表
示や記録を行う。又、クライオポンプを個々に又は装置
別に情報を編集して表示を行うことができる。クライオ
ポンプの周辺に取り付けられる部品、例えばポンプ、冷
凍機又はコンプレッサー等に対しても個別の履歴管理が
可能である。
されていないが装置本体４９の制御器（コンピュータ）
との制御連携を保ちながら、クライオポンプ５５に関す
るデータの収集、処理、統計及び保存を行う。制御器９
０内ではこれらのデータを編集して、保守管理用コンピ
ュータ７０に対する所定の形式の情報を作成し転送す
る。保守管理用コンピュータ７０では各クライオポンプ
から収集された情報を編集し、作表等の処理を行って表
示や記録を行う。又、クライオポンプを個々に又は装置
別に情報を編集して表示を行うことができる。クライオ
ポンプの周辺に取り付けられる部品、例えばポンプ、冷
凍機又はコンプレッサー等に対しても個別の履歴管理が
可能である。
【００１５】次に、クライオポンプ５５の動作について
説明すると、吸着型真空ポンプの一種であるクライオポ
ンプ５５は図示されていない真空装置内を所定の圧力に
減圧（粗引き）させた後、クライオポンプ５５を起動さ
せると、ポンプ容器８２内の第１、第２段冷凍ステージ
８７、８８がそれぞれ所定の温度に冷却される。ポンプ
容器８２内に気体分子が流入すると凝縮温度の高いもの
はバッフル８６及び第１段クライオパネル８４で凝縮固
化され、これよりも凝縮温度が低いものは第２段クライ
オパネル８５で凝縮固化される。更に凝縮温度が低いも
のは吸着剤８９により吸着される。然るに、凝縮固化又
は吸着の量が増大すると排気速度が減少したり、到達圧
力が得られなくなるため、クライオポンプ５５の再生作
業を行う必要がある。再生作業の手順は、クライオポン
プ５５の運転を停止しポンプ容器８２内に加熱された窒
素ガスが導入される。ポンプ容器８２内は窒素ガスの導
入により昇温し、又、窒素ガスは第１、第２段クライオ
パネル８４、８５のパネル面を流通し、個々に凝縮固化
或は吸着剤８９に吸着された水などの気体は、窒素ガス
の熱量により、気化して窒素ガスと一緒になってポンプ
容器８２外へと排気される。このようにしてポンプ容器
８２内に窒素の導入、導出を繰り返すことにより、ポン
プ容器８２内の水分が減少して水分の除去が完了する。
以上の作業が終了した後は、ポンプ容器８２内を図示さ
れていない粗引き用ポンプで所定の圧力まで粗引きし、
粗引きが完了したらクライオポンプ５５を起動し、ポン
プ容器８２内を冷却する。冷却が完了すれば、クライオ
ポンプ５５は気体を排気できる状態となる。
説明すると、吸着型真空ポンプの一種であるクライオポ
ンプ５５は図示されていない真空装置内を所定の圧力に
減圧（粗引き）させた後、クライオポンプ５５を起動さ
せると、ポンプ容器８２内の第１、第２段冷凍ステージ
８７、８８がそれぞれ所定の温度に冷却される。ポンプ
容器８２内に気体分子が流入すると凝縮温度の高いもの
はバッフル８６及び第１段クライオパネル８４で凝縮固
化され、これよりも凝縮温度が低いものは第２段クライ
オパネル８５で凝縮固化される。更に凝縮温度が低いも
のは吸着剤８９により吸着される。然るに、凝縮固化又
は吸着の量が増大すると排気速度が減少したり、到達圧
力が得られなくなるため、クライオポンプ５５の再生作
業を行う必要がある。再生作業の手順は、クライオポン
プ５５の運転を停止しポンプ容器８２内に加熱された窒
素ガスが導入される。ポンプ容器８２内は窒素ガスの導
入により昇温し、又、窒素ガスは第１、第２段クライオ
パネル８４、８５のパネル面を流通し、個々に凝縮固化
或は吸着剤８９に吸着された水などの気体は、窒素ガス
の熱量により、気化して窒素ガスと一緒になってポンプ
容器８２外へと排気される。このようにしてポンプ容器
８２内に窒素の導入、導出を繰り返すことにより、ポン
プ容器８２内の水分が減少して水分の除去が完了する。
以上の作業が終了した後は、ポンプ容器８２内を図示さ
れていない粗引き用ポンプで所定の圧力まで粗引きし、
粗引きが完了したらクライオポンプ５５を起動し、ポン
プ容器８２内を冷却する。冷却が完了すれば、クライオ
ポンプ５５は気体を排気できる状態となる。
【００１６】以上、クライオポンプの動作について述べ
たが、次に、これと関連してデータの収集内容について
説明する。
たが、次に、これと関連してデータの収集内容について
説明する。
【００１７】クライオポンプは通常、上述したように工
程別にその動作を分割すると冷却工程、真空排気工程、
再生工程及び再生評価工程の４工程に分割され、クライ
オポンプ５５の制御器９０によりそれぞれ分割制御され
ているが、本実施例における生産管理システムでは真空
状態で排気、吸着されたガスの状況を分析するために、
上記４工程のうちの再生工程を新しく複数工程、即ち、
自然昇温工程、強制昇温工程、低温再生工程及び真空脱
ガス工程に分割し、各々固有のバルブの操作と測定記録
により、測定分析を行う。又、各工程では所要時間の測
定記録に加えて、温度、圧力測定記録及びデータの測定
記録を追加して行うようにした。
程別にその動作を分割すると冷却工程、真空排気工程、
再生工程及び再生評価工程の４工程に分割され、クライ
オポンプ５５の制御器９０によりそれぞれ分割制御され
ているが、本実施例における生産管理システムでは真空
状態で排気、吸着されたガスの状況を分析するために、
上記４工程のうちの再生工程を新しく複数工程、即ち、
自然昇温工程、強制昇温工程、低温再生工程及び真空脱
ガス工程に分割し、各々固有のバルブの操作と測定記録
により、測定分析を行う。又、各工程では所要時間の測
定記録に加えて、温度、圧力測定記録及びデータの測定
記録を追加して行うようにした。
【００１８】更に、真空工程ではクライオポンプの使用
状況を診断するために、ポンプの最低到達温度、１サイ
クル最低到達温度、超特定温度最大滞留時間など負荷と
ポンプの能力を比較判断するデータ収集を行っている。
即ち、ポンプの最低到達温度データを収集することによ
りポンプの性能の確認を行い、１サイクル最低到達温度
データを収集することによりガス負荷の状況判断を行
い、超特定温度最大滞留時間データを収集することによ
り重負荷の大きさを判断し、又は異常温度上昇を判断し
ているデータにより負荷やポンプ能力を診断することが
できる。
状況を診断するために、ポンプの最低到達温度、１サイ
クル最低到達温度、超特定温度最大滞留時間など負荷と
ポンプの能力を比較判断するデータ収集を行っている。
即ち、ポンプの最低到達温度データを収集することによ
りポンプの性能の確認を行い、１サイクル最低到達温度
データを収集することによりガス負荷の状況判断を行
い、超特定温度最大滞留時間データを収集することによ
り重負荷の大きさを判断し、又は異常温度上昇を判断し
ているデータにより負荷やポンプ能力を診断することが
できる。
【００１９】又、従来は再生工程、再生評価工程又は冷
却工程の所要時間又はその和を記録するのみであった
が、本実施例における生産管理システムではクライオポ
ンプ５５の制御器９０で、上述したように新しく分割さ
れた工程毎に、設定された方式で、データの時間変化や
所要時間を記録し、かつ統計データを修正し、所定の形
式に作成したものを保存する。又、保守管理コンピュー
タ７０は各クライオポンプより送られてきたこれら各工
程の情報の編集、表示並びに記録を行う。
却工程の所要時間又はその和を記録するのみであった
が、本実施例における生産管理システムではクライオポ
ンプ５５の制御器９０で、上述したように新しく分割さ
れた工程毎に、設定された方式で、データの時間変化や
所要時間を記録し、かつ統計データを修正し、所定の形
式に作成したものを保存する。又、保守管理コンピュー
タ７０は各クライオポンプより送られてきたこれら各工
程の情報の編集、表示並びに記録を行う。
【００２０】収集するデータの項目とその用途について
更に詳しく述べると、各工程の所要時間の記録データは
真空工程に達する時間の予測及び予約運転に使用され、
吸着水分量の予測（排気ガス量推定処理）データは０℃
脱出時間（再生時に０℃近傍に滞在する時間の長さで、
吸着したものに水分が多いと長くなる）の測定が使用さ
れる。残留水分の検出しその処理データにより粗引き中
の水分凝縮による温度低下を予測する。又、予め設定さ
れた方式について、冷却状態にあるクライオポンプを昇
温する場合、初期に大きな温度上昇がありその後緩やか
に温度上昇する時は、前半で温度主導型の測定を行い、
後半で時間主導型の測定を行ってデータ処理することで
データの標準化を行っている。又、データの氾濫を防ぐ
ためにクライオポンプ５５の制御器９０において重要な
データの統計処理を行っている。このように詳細にデー
タを収集し、処理を行うので個々のクライオポンプにつ
いてその状態を容易に把握することができ、適切な保守
を行うことができる。
更に詳しく述べると、各工程の所要時間の記録データは
真空工程に達する時間の予測及び予約運転に使用され、
吸着水分量の予測（排気ガス量推定処理）データは０℃
脱出時間（再生時に０℃近傍に滞在する時間の長さで、
吸着したものに水分が多いと長くなる）の測定が使用さ
れる。残留水分の検出しその処理データにより粗引き中
の水分凝縮による温度低下を予測する。又、予め設定さ
れた方式について、冷却状態にあるクライオポンプを昇
温する場合、初期に大きな温度上昇がありその後緩やか
に温度上昇する時は、前半で温度主導型の測定を行い、
後半で時間主導型の測定を行ってデータ処理することで
データの標準化を行っている。又、データの氾濫を防ぐ
ためにクライオポンプ５５の制御器９０において重要な
データの統計処理を行っている。このように詳細にデー
タを収集し、処理を行うので個々のクライオポンプにつ
いてその状態を容易に把握することができ、適切な保守
を行うことができる。
【００２１】又、再生機能として低温再生の選択が可能
で、これは、全ての吸着ガスを放出するのではなく、凝
縮温度が高い特定のガスの放出及び除去を行い再度起動
状態に戻すことのできる機能である。
で、これは、全ての吸着ガスを放出するのではなく、凝
縮温度が高い特定のガスの放出及び除去を行い再度起動
状態に戻すことのできる機能である。
【００２２】停電対策としては、冷凍機の停止に伴う温
度上昇と排気能力低下によりクライオポンプにとって致
命的な排気不能となる可能性があるため、速やかに適切
な処置が要求される。そこで、停電が発生した場合はそ
の時刻と回復時刻を記録した上で、真空度及び温度を自
動的に診断して適切な制御を速やかに行うようにしてい
る。
度上昇と排気能力低下によりクライオポンプにとって致
命的な排気不能となる可能性があるため、速やかに適切
な処置が要求される。そこで、停電が発生した場合はそ
の時刻と回復時刻を記録した上で、真空度及び温度を自
動的に診断して適切な制御を速やかに行うようにしてい
る。
【００２３】その他、異常を検出した場合、アラーム警
報を鳴らしこれに対する適切な処理を行う。又、特殊な
状況で作動する場合、例えば、インターロックした場
合、メッセージを出力する等の機能を備えている。又、
クライオポンプを構成する部品、例えば、ポンプ、冷凍
機及びコンプレッサーについても個別に履歴管理を行う
ことができる。
報を鳴らしこれに対する適切な処理を行う。又、特殊な
状況で作動する場合、例えば、インターロックした場
合、メッセージを出力する等の機能を備えている。又、
クライオポンプを構成する部品、例えば、ポンプ、冷凍
機及びコンプレッサーについても個別に履歴管理を行う
ことができる。
【００２４】以上述べたように、複数の装置に渡って存
在するクライオポンプをネットワークで結ぶことにより
個別又は装置別に詳細な管理することができ、多くのデ
ータを収集するだけでなくそれに対応した適切な処理を
行うことができる。
在するクライオポンプをネットワークで結ぶことにより
個別又は装置別に詳細な管理することができ、多くのデ
ータを収集するだけでなくそれに対応した適切な処理を
行うことができる。
【００２５】以上、本発明の実施例について説明した
が、勿論本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可
能である。
が、勿論本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可
能である。
【００２６】例えば、本実施例においては機器としてク
ライオポンプを用いたが、ロータリーポンプ又はトラッ
プであってもよい。要するに、保守管理用コンピュータ
と各クライオポンプとを接続することにより管理、又は
保守を行うが、機器としてはクライオポンプでなくても
よく同一形式の情報を出力できるものであれば何でもよ
い。又、保守管理用コンピュータに専用のソフトウェア
を持たせることにより他系統の機器、例えば、冷凍系の
機器についても同時に統括処理を行うことが可能であ
る。
ライオポンプを用いたが、ロータリーポンプ又はトラッ
プであってもよい。要するに、保守管理用コンピュータ
と各クライオポンプとを接続することにより管理、又は
保守を行うが、機器としてはクライオポンプでなくても
よく同一形式の情報を出力できるものであれば何でもよ
い。又、保守管理用コンピュータに専用のソフトウェア
を持たせることにより他系統の機器、例えば、冷凍系の
機器についても同時に統括処理を行うことが可能であ
る。
【００２７】又、クライオポンプの制御器にメンテナン
ス用のパソコンを接続したりプリンタ等を接続してもよ
い。尚、保守管理用コンピュータにおいても、ラップト
ップ型のパソコンとしたがコンピュータであればよく、
これにもプリンタ等を接続して一定時間おきに或は常
時、編集結果又はグラフ等を出力するようにしてもよ
い。或は、別のシステムや上位のコンピュータへ情報を
転送するように構成してもよい。
ス用のパソコンを接続したりプリンタ等を接続してもよ
い。尚、保守管理用コンピュータにおいても、ラップト
ップ型のパソコンとしたがコンピュータであればよく、
これにもプリンタ等を接続して一定時間おきに或は常
時、編集結果又はグラフ等を出力するようにしてもよ
い。或は、別のシステムや上位のコンピュータへ情報を
転送するように構成してもよい。
【００２８】更に、ネットワークにモデム等の遠隔地と
の通信機能を備えてもよい。この場合にも上述の実施例
と同様の機能で動作することが可能である。
の通信機能を備えてもよい。この場合にも上述の実施例
と同様の機能で動作することが可能である。
【００２９】
【発明の効果】本発明の生産管理システムによれば、保
守管理用コンピュータと各機器とを独立したネットワー
クで接続することにより、各機器の詳細な情報を得るこ
とができ、個々の機器に対してその診断や適切な処置を
行うことができる。又、運営計画に合わせて保守計画を
容易に立案することができる。
守管理用コンピュータと各機器とを独立したネットワー
クで接続することにより、各機器の詳細な情報を得るこ
とができ、個々の機器に対してその診断や適切な処置を
行うことができる。又、運営計画に合わせて保守計画を
容易に立案することができる。
【図１】本発明の生産管理システムのブロック構成図で
ある。
ある。
【図２】本発明の実施例による生産管理システムで接続
されたクライオポンプと保守管理用コンピュータの側面
図である。
されたクライオポンプと保守管理用コンピュータの側面
図である。
【図３】従来の生産管理システムのブロック構成図であ
る。
る。
５５ クライオポンプ ５６ クライオポンプ ５７ クライオポンプ ５８ クライオポンプ ５９ クライオポンプ ６０ クライオポンプ ６１ クライオポンプ ６２ クライオポンプ ７０ 保守管理用コンピュータ ７１ ＬＡＮ
Claims (3)
- 【請求項１】 特定領域内のネットワークに接続される
複数の装置を管理する生産管理システムにおいて、前記
装置に各々所属する機器の制御器に前記特定領域内のネ
ットワークとは別の独立したネットワークに接続するた
めの通信用ポートを設け、前記制御器では前記機器に関
するデータの収集、統計、処理及び保存の少なくとも１
つを行い、該制御器から前記独立したネットワークに接
続される保守管理用コンピュータに前記データに基づい
て得られる各種の情報を転送し、該保守管理用コンピュ
ータでは転送された情報の記録及び表示をすることによ
り前記機器の統括、監視、管理及び保守のうち少なくと
も１つを行うことを特徴とする生産管理システム。 - 【請求項２】 前記各々所属する機器の制御器間を接続
するためのネットワークは、デイジーチェイン接続であ
る請求項１に記載の生産管理システム。 - 【請求項３】 前記機器はクライオポンプである請求項
１に記載の生産管理システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10889193A JPH06301617A (ja) | 1993-04-12 | 1993-04-12 | 生産管理システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10889193A JPH06301617A (ja) | 1993-04-12 | 1993-04-12 | 生産管理システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06301617A true JPH06301617A (ja) | 1994-10-28 |
Family
ID=14496233
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10889193A Pending JPH06301617A (ja) | 1993-04-12 | 1993-04-12 | 生産管理システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06301617A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08221489A (ja) * | 1995-02-14 | 1996-08-30 | Toshiba Eng Co Ltd | 信頼性情報システム及び生産調整支援システム |
| US7854377B2 (en) | 2005-10-21 | 2010-12-21 | Omron Corporation | Data collection system |
| CN101963144A (zh) * | 2009-07-22 | 2011-02-02 | 住友重机械工业株式会社 | 低温泵及低温泵的监控方法 |
| US9068564B2 (en) | 2009-07-16 | 2015-06-30 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryopump and method of monitoring cryopump |
| KR20160125942A (ko) | 2014-02-27 | 2016-11-01 | 후지 덴키 가부시키가이샤 | 프로그래머블 컨트롤러 시스템, 그 컨트롤러 |
-
1993
- 1993-04-12 JP JP10889193A patent/JPH06301617A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08221489A (ja) * | 1995-02-14 | 1996-08-30 | Toshiba Eng Co Ltd | 信頼性情報システム及び生産調整支援システム |
| US7854377B2 (en) | 2005-10-21 | 2010-12-21 | Omron Corporation | Data collection system |
| US9068564B2 (en) | 2009-07-16 | 2015-06-30 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryopump and method of monitoring cryopump |
| CN101963144A (zh) * | 2009-07-22 | 2011-02-02 | 住友重机械工业株式会社 | 低温泵及低温泵的监控方法 |
| JP2011026985A (ja) * | 2009-07-22 | 2011-02-10 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプ、及びクライオポンプの監視方法 |
| KR101229973B1 (ko) * | 2009-07-22 | 2013-02-05 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 크라이오펌프 및 크라이오펌프의 감시 방법 |
| US10054114B2 (en) | 2009-07-22 | 2018-08-21 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryopump and method of monitoring cryopump |
| KR20160125942A (ko) | 2014-02-27 | 2016-11-01 | 후지 덴키 가부시키가이샤 | 프로그래머블 컨트롤러 시스템, 그 컨트롤러 |
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