JPH0629343A - ワイヤボンデイング装置 - Google Patents
ワイヤボンデイング装置Info
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- JPH0629343A JPH0629343A JP4206134A JP20613492A JPH0629343A JP H0629343 A JPH0629343 A JP H0629343A JP 4206134 A JP4206134 A JP 4206134A JP 20613492 A JP20613492 A JP 20613492A JP H0629343 A JPH0629343 A JP H0629343A
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- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01033—Arsenic [As]
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】アームホルダの駆動部の軽量化、ボンデイング
時の衝撃荷重の低減を図り、これによってボンダビリテ
ィの向上を図る。 【構成】一端にキャピラリ１を保持したボンデイングア
ーム２が取付けられたアームホルダ３とクランパ１０が
取付けられたクランパホルダ１１とをそれぞれ別個のク
ロススプリングピボットを構成する板ばね５、６及び１
２、１３で移動テーブル７に取付け、アームホルダ３及
びクランパホルダ１１をリニアカム２５のプロフイルに
追従するようにスプリング２６、２７で付勢し、アーム
ホルダ３にリニアモータ２０の一方側を取付け、移動テ
ーブル７にリニアモータ２０の他方側を取付けてなる。
時の衝撃荷重の低減を図り、これによってボンダビリテ
ィの向上を図る。 【構成】一端にキャピラリ１を保持したボンデイングア
ーム２が取付けられたアームホルダ３とクランパ１０が
取付けられたクランパホルダ１１とをそれぞれ別個のク
ロススプリングピボットを構成する板ばね５、６及び１
２、１３で移動テーブル７に取付け、アームホルダ３及
びクランパホルダ１１をリニアカム２５のプロフイルに
追従するようにスプリング２６、２７で付勢し、アーム
ホルダ３にリニアモータ２０の一方側を取付け、移動テ
ーブル７にリニアモータ２０の他方側を取付けてなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はワイヤボンデイング装置
に関する。
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のワイヤボンデイング装置は、例え
ば特開平１ー１７５２３９号公報に示すように、上下動
させられる上下動ブロックにクランパを保持したクラン
パホルダ及び該クランパホルダを開閉させるクランパソ
レノイドが固定され、また一端にキャピラリを保持した
ボンデイングアームが取付けられたアームホルダが上下
動ブロックに回動可能に、更にキャピラリにボンデイン
グ荷重を掛けるリニアモータの一方側が上下動ブロック
に、リニアモータの他方側がボンデイングアームにそれ
ぞれ固定されている。
ば特開平１ー１７５２３９号公報に示すように、上下動
させられる上下動ブロックにクランパを保持したクラン
パホルダ及び該クランパホルダを開閉させるクランパソ
レノイドが固定され、また一端にキャピラリを保持した
ボンデイングアームが取付けられたアームホルダが上下
動ブロックに回動可能に、更にキャピラリにボンデイン
グ荷重を掛けるリニアモータの一方側が上下動ブロック
に、リニアモータの他方側がボンデイングアームにそれ
ぞれ固定されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、アー
ムホルダを保持して上下動する上下動ブロック、即ちア
ームホルダの駆動部にクランパを有するクランパホル
ダ、クランパソレノイド、リニアモータが取付けられ、
アームホルダの駆動部の重量が大きいので、この駆動部
の回転モーメントが大きく、キャピラリがボンド点に接
地する際（ボンデイング時）の衝撃荷重が大きい。この
ボンデイング時の衝撃荷重により、第１ボンド点におい
ては圧着ボールの形状及び状態、第２ボンド点において
はワイヤの潰れ形状及び状態が安定しなく、ボンダビリ
ティが悪いという問題点があった。
ムホルダを保持して上下動する上下動ブロック、即ちア
ームホルダの駆動部にクランパを有するクランパホル
ダ、クランパソレノイド、リニアモータが取付けられ、
アームホルダの駆動部の重量が大きいので、この駆動部
の回転モーメントが大きく、キャピラリがボンド点に接
地する際（ボンデイング時）の衝撃荷重が大きい。この
ボンデイング時の衝撃荷重により、第１ボンド点におい
ては圧着ボールの形状及び状態、第２ボンド点において
はワイヤの潰れ形状及び状態が安定しなく、ボンダビリ
ティが悪いという問題点があった。
【０００４】本発明の目的は、アームホルダの駆動部の
軽量化、ボンデイング時の衝撃荷重の低減が図れ、これ
によってボンダビリティの向上が図れるワイヤボンデイ
ング装置を提供することにある。
軽量化、ボンデイング時の衝撃荷重の低減が図れ、これ
によってボンダビリティの向上が図れるワイヤボンデイ
ング装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の構成は、一端にキャピラリを保持したボンデ
イングアームが取付けられたアームホルダとクランパが
取付けられたクランパホルダとをそれぞれ別個のクロス
スプリングピボットで移動テーブルに取付け、前記アー
ムホルダ及び前記クランパホルダをカムのプロフイルに
追従するように付勢し、前記アームホルダにリニアモー
タの一方側を取付け、前記移動テーブルにリニアモータ
の他方側を取付けてなることを特徴とする。
の本発明の構成は、一端にキャピラリを保持したボンデ
イングアームが取付けられたアームホルダとクランパが
取付けられたクランパホルダとをそれぞれ別個のクロス
スプリングピボットで移動テーブルに取付け、前記アー
ムホルダ及び前記クランパホルダをカムのプロフイルに
追従するように付勢し、前記アームホルダにリニアモー
タの一方側を取付け、前記移動テーブルにリニアモータ
の他方側を取付けてなることを特徴とする。
【０００６】
【作用】キャピラリ及びクランパが上昇した状態よりカ
ムが回転すると、ボンデイングアームが取付けられたア
ームホルダ及びクランパが取付けられたクランパホルダ
はカムの下降プロフィルに従って回動し、キャピラリ及
びクランパは共に下降する。そして、キャピラリがボン
ド点に接地すると、アームホルダの回動は停止するが、
クランパホルダはカムの下降プロフィルに従って回動す
る。その後、リニアモータによりキャピラリにボンデイ
ング荷重を掛けてボンデイングする。ボンデイング後
は、カムは逆転し、カムの上昇プロフィルによりクラン
パは上昇するが、キャピラリはクランパより僅かに遅れ
てクランパと共に上昇する。
ムが回転すると、ボンデイングアームが取付けられたア
ームホルダ及びクランパが取付けられたクランパホルダ
はカムの下降プロフィルに従って回動し、キャピラリ及
びクランパは共に下降する。そして、キャピラリがボン
ド点に接地すると、アームホルダの回動は停止するが、
クランパホルダはカムの下降プロフィルに従って回動す
る。その後、リニアモータによりキャピラリにボンデイ
ング荷重を掛けてボンデイングする。ボンデイング後
は、カムは逆転し、カムの上昇プロフィルによりクラン
パは上昇するが、キャピラリはクランパより僅かに遅れ
てクランパと共に上昇する。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図３によ
り説明する。キャピラリ１を保持したボンデイングアー
ム２は、アームホルダ３に固定され、アームホルダ３
は、リフタアーム４に固定されている。リフタアーム４
には、垂直に配設された２個の板ばね５と、水平に配設
された２個の板ばね６との一端が固定され、前記板ばね
５、６の他端は移動テーブル７に固定され、板ばね５、
６はクロススプリングピボットを構成している。ここ
で、移動テーブル７は、ＸＹ方向に駆動されるＸＹテー
ブル又は該ＸＹテーブル上に固定されたボンデイングヘ
ッド等より成っている。
り説明する。キャピラリ１を保持したボンデイングアー
ム２は、アームホルダ３に固定され、アームホルダ３
は、リフタアーム４に固定されている。リフタアーム４
には、垂直に配設された２個の板ばね５と、水平に配設
された２個の板ばね６との一端が固定され、前記板ばね
５、６の他端は移動テーブル７に固定され、板ばね５、
６はクロススプリングピボットを構成している。ここ
で、移動テーブル７は、ＸＹ方向に駆動されるＸＹテー
ブル又は該ＸＹテーブル上に固定されたボンデイングヘ
ッド等より成っている。
【０００８】クランパ１０は、前記リフタアーム４を跨
ぐように配設されたクランパホルダ１１に固定されてい
る。クランパホルダ１１には、前記リフタアーム４の移
動テーブル７への取付けと同様に、垂直に配設された２
個の板ばね１２と、水平に配設された２個の板ばね１３
との一端が固定され、前記板ばね１２、１３の他端は移
動テーブル７に固定され、板ばね１２、１３はクロスス
プリングピボットを構成している。ここで、板ばね１
２、１３のクロススプリングピボットは、前記板ばね
５、６のクロススプリングピボットと同軸ＡーＡ上に配
置されている。またクランパホルダ１１の後端側には、
ローラ１４が回転自在に支承されている。またクランパ
ホルダ１１の後端の下面側には接点板１５が固定され、
この接点板１５に対応したリフタアーム４の部分にも接
点板１６が固定されている。
ぐように配設されたクランパホルダ１１に固定されてい
る。クランパホルダ１１には、前記リフタアーム４の移
動テーブル７への取付けと同様に、垂直に配設された２
個の板ばね１２と、水平に配設された２個の板ばね１３
との一端が固定され、前記板ばね１２、１３の他端は移
動テーブル７に固定され、板ばね１２、１３はクロスス
プリングピボットを構成している。ここで、板ばね１
２、１３のクロススプリングピボットは、前記板ばね
５、６のクロススプリングピボットと同軸ＡーＡ上に配
置されている。またクランパホルダ１１の後端側には、
ローラ１４が回転自在に支承されている。またクランパ
ホルダ１１の後端の下面側には接点板１５が固定され、
この接点板１５に対応したリフタアーム４の部分にも接
点板１６が固定されている。
【０００９】移動テーブル７には、リニアモータ２０の
マグネット２１が固定され、リニアモータ２０のコイル
２２はリフタアーム４に固定されている。移動テーブル
７に固定又は移動テーブル７と一体に形成されたボンデ
イングヘッド２３には、図示しないモータで駆動される
カム軸２４が回転自在に支承されており、カム軸２４に
は前記ローラ１４に対応した位置にリニアカム２５が固
定されている。そして、ローラ１４がリニアカム２５に
圧接するように、クランパホルダ１１はスプリング２６
で付勢されている。またリフタアーム４の接点板１６が
クランパホルダ１１の接点板１５に圧接するように、リ
フタアーム４はスプリング２７で付勢されている。な
お、ワイヤ３０は、図示しないスプールに巻回され、ガ
イド部材等を通ってクランパ１０のクランプ部よりキャ
ピラリ１に挿通されている。
マグネット２１が固定され、リニアモータ２０のコイル
２２はリフタアーム４に固定されている。移動テーブル
７に固定又は移動テーブル７と一体に形成されたボンデ
イングヘッド２３には、図示しないモータで駆動される
カム軸２４が回転自在に支承されており、カム軸２４に
は前記ローラ１４に対応した位置にリニアカム２５が固
定されている。そして、ローラ１４がリニアカム２５に
圧接するように、クランパホルダ１１はスプリング２６
で付勢されている。またリフタアーム４の接点板１６が
クランパホルダ１１の接点板１５に圧接するように、リ
フタアーム４はスプリング２７で付勢されている。な
お、ワイヤ３０は、図示しないスプールに巻回され、ガ
イド部材等を通ってクランパ１０のクランプ部よりキャ
ピラリ１に挿通されている。
【００１０】次に作動について説明する。リフタアーム
４は板ばね５、６で移動テーブル７にクロススプリング
ピボットされ、クランパホルダ１１は板ばね１２、１３
でクロススプリングピボットされているので、移動テー
ブル７が図示しない駆動手段でＸＹ方向に駆動される
と、キャピラリ１及びクランパ１０は移動テーブル７と
共にＸＹ方向に移動する。また図１（ａ）の状態では、
クランパホルダ１１はスプリング２６の付勢力でリニア
カム２５に圧接され、リフタアーム４の接点板１６はス
プリング２７の付勢力でクランパホルダ１１の接点板１
５に圧接されているので、リニアカム２５が時計方向に
回転すると、リニアカム２５の下降プロフィルによりク
ランパホルダ１１は板ばね１２、１３を支点として反時
計方向に回動し、クランパ１０は下降する。またクラン
パホルダ１１の回動に追従してリフタアーム４は板ばね
５、６を支点として回動し、キャピラリ１も下降する。
またリニアカム２５が逆転すると、リニアカム２５の上
昇プロフィルによってキャピラリ１及びクランパ１０は
上昇する。
４は板ばね５、６で移動テーブル７にクロススプリング
ピボットされ、クランパホルダ１１は板ばね１２、１３
でクロススプリングピボットされているので、移動テー
ブル７が図示しない駆動手段でＸＹ方向に駆動される
と、キャピラリ１及びクランパ１０は移動テーブル７と
共にＸＹ方向に移動する。また図１（ａ）の状態では、
クランパホルダ１１はスプリング２６の付勢力でリニア
カム２５に圧接され、リフタアーム４の接点板１６はス
プリング２７の付勢力でクランパホルダ１１の接点板１
５に圧接されているので、リニアカム２５が時計方向に
回転すると、リニアカム２５の下降プロフィルによりク
ランパホルダ１１は板ばね１２、１３を支点として反時
計方向に回動し、クランパ１０は下降する。またクラン
パホルダ１１の回動に追従してリフタアーム４は板ばね
５、６を支点として回動し、キャピラリ１も下降する。
またリニアカム２５が逆転すると、リニアカム２５の上
昇プロフィルによってキャピラリ１及びクランパ１０は
上昇する。
【００１１】そこで、ボンデイング動作は、次のように
して行なわれる。まず、クランパ１０が閉じてワイヤ３
０を保持した状態で、移動テーブル７が駆動されてキャ
ピラリ１が第１ボンド点の上方に位置する。そして、ワ
イヤ３０の先端に図示しない電気トーチによってボール
が形成され、その後クランパ１０は開となる。続いて図
１（ａ）の状態よりリニアカム２５が時計方向に回転
し、リニアカム２５の下降プロフィルによってキャピラ
リ１が下降し、ボールは試料３１の第１ボンド点に接地
する。リニアカム２５は回転を続けているので、ボール
が試料３１の第１ボンド点に接地した状態より、更にリ
ニアカム２５が回転しても、図１（ｂ）に示すようにキ
ャピラリ１、アームホルダ３、リフタアーム４は回動で
きないが、クランパホルダ１１はリニアカム２５の下降
プロフィルに従って回動してクランパ１０が下降するの
で、クランパホルダ１１の接点板１５とリフタアーム４
の接点板１６とは離れる。リフタアーム４が回転できな
くなったことを図示しない検出センサーで検出したボン
デイングレベル信号により、リニアモータ２０が始動
し、コイル２２がマグネット２１によって反発させられ
てリフタアーム４は押し上げられ、キャピラリ１はボー
ルを第１ボンド点に押し付け、ボールは第１ボンド点に
ボンデイングされる。即ち、リニアモータ２０に加えら
れる電流又は電圧によってキャピラリ１に加えられるボ
ンデイング荷重がコントロールされる。
して行なわれる。まず、クランパ１０が閉じてワイヤ３
０を保持した状態で、移動テーブル７が駆動されてキャ
ピラリ１が第１ボンド点の上方に位置する。そして、ワ
イヤ３０の先端に図示しない電気トーチによってボール
が形成され、その後クランパ１０は開となる。続いて図
１（ａ）の状態よりリニアカム２５が時計方向に回転
し、リニアカム２５の下降プロフィルによってキャピラ
リ１が下降し、ボールは試料３１の第１ボンド点に接地
する。リニアカム２５は回転を続けているので、ボール
が試料３１の第１ボンド点に接地した状態より、更にリ
ニアカム２５が回転しても、図１（ｂ）に示すようにキ
ャピラリ１、アームホルダ３、リフタアーム４は回動で
きないが、クランパホルダ１１はリニアカム２５の下降
プロフィルに従って回動してクランパ１０が下降するの
で、クランパホルダ１１の接点板１５とリフタアーム４
の接点板１６とは離れる。リフタアーム４が回転できな
くなったことを図示しない検出センサーで検出したボン
デイングレベル信号により、リニアモータ２０が始動
し、コイル２２がマグネット２１によって反発させられ
てリフタアーム４は押し上げられ、キャピラリ１はボー
ルを第１ボンド点に押し付け、ボールは第１ボンド点に
ボンデイングされる。即ち、リニアモータ２０に加えら
れる電流又は電圧によってキャピラリ１に加えられるボ
ンデイング荷重がコントロールされる。
【００１２】一定時間後にリニアモータ２０は停止し、
またリニアカム２５が逆転させられる。これにより、ロ
ーラ１４が下降させられるようにクランパホルダ１１は
時計方向に回動し、接点板１５が接点板１６に当接す
る。その後は、リニアカム２５の上昇プロフィルによっ
てクランパホルダ１１及びリフタアーム４は共に板ばね
５、６及び１２、１３を支点として時計方向に回動させ
られ、クランパ１０及びキャピラリ１は上昇する。この
場合のリニアカム２５の回転、即ちキャピラリ１の上昇
は、前記ボンデイングレベル信号を基準としてワイヤル
ープに必要な長さだけキャピラリ１よりワイヤ３０が繰
り出されるように駆動される。また移動テーブル７が駆
動されてキャピラリ１は第２ボンド点の上方に位置させ
られる。その後は前記第１ボンド点へのボンデイングと
同様の動作によって第２ボンド点にワイヤ３０がボンデ
イングされる。第２ボンド点へのボンデイング後、キャ
ピラリ１は一定量上昇させられ、またクランパ１０が閉
じ、キャピラリ１とクランパ１０の上昇によってワイヤ
３０は第２ボンド点の付け根より切断される。
またリニアカム２５が逆転させられる。これにより、ロ
ーラ１４が下降させられるようにクランパホルダ１１は
時計方向に回動し、接点板１５が接点板１６に当接す
る。その後は、リニアカム２５の上昇プロフィルによっ
てクランパホルダ１１及びリフタアーム４は共に板ばね
５、６及び１２、１３を支点として時計方向に回動させ
られ、クランパ１０及びキャピラリ１は上昇する。この
場合のリニアカム２５の回転、即ちキャピラリ１の上昇
は、前記ボンデイングレベル信号を基準としてワイヤル
ープに必要な長さだけキャピラリ１よりワイヤ３０が繰
り出されるように駆動される。また移動テーブル７が駆
動されてキャピラリ１は第２ボンド点の上方に位置させ
られる。その後は前記第１ボンド点へのボンデイングと
同様の動作によって第２ボンド点にワイヤ３０がボンデ
イングされる。第２ボンド点へのボンデイング後、キャ
ピラリ１は一定量上昇させられ、またクランパ１０が閉
じ、キャピラリ１とクランパ１０の上昇によってワイヤ
３０は第２ボンド点の付け根より切断される。
【００１３】なお、上記実施例は、リフタアーム４をア
ームホルダ３と別体で形成したが、両者は一体に形成し
てもよい。またリフタアーム４、即ちアームホルダ３は
クランパホルダ１１に追従して回動するように構成した
が、リニアカム２５の幅を広くし、リフタアーム４にロ
ーラを設け、このローラが直接リニアカム２５に当接す
るようにしてもよい。
ームホルダ３と別体で形成したが、両者は一体に形成し
てもよい。またリフタアーム４、即ちアームホルダ３は
クランパホルダ１１に追従して回動するように構成した
が、リニアカム２５の幅を広くし、リフタアーム４にロ
ーラを設け、このローラが直接リニアカム２５に当接す
るようにしてもよい。
【００１４】このように、ボンデイングアーム２が取付
けられたアームホルダ３とクランパ１０が取付けられた
クランパホルダ１１とをそれぞれ別個のクロススプリン
グピボットで移動テーブル７に取付け、アームホルダ３
及びクランパホルダ１１をリニアカム２５のプロフイル
に追従するように付勢し、アームホルダ３にリニアモー
タ２０の一方側を取付け、移動テーブル７にリニアモー
タ２０の他方側を取付けてなるので、アームホルダ３の
駆動部の小型軽量化が図れた。またアームホルダ３の駆
動部の小型軽量化により、ボンデイング時の衝撃荷重が
低減し、ボンデイングされたボール及びワイヤの形状及
び状態が安定し、ボンダビリティが向上した。またアー
ムホルダ３の駆動部の小型軽量化により、高速ボンデイ
ングが可能となった。
けられたアームホルダ３とクランパ１０が取付けられた
クランパホルダ１１とをそれぞれ別個のクロススプリン
グピボットで移動テーブル７に取付け、アームホルダ３
及びクランパホルダ１１をリニアカム２５のプロフイル
に追従するように付勢し、アームホルダ３にリニアモー
タ２０の一方側を取付け、移動テーブル７にリニアモー
タ２０の他方側を取付けてなるので、アームホルダ３の
駆動部の小型軽量化が図れた。またアームホルダ３の駆
動部の小型軽量化により、ボンデイング時の衝撃荷重が
低減し、ボンデイングされたボール及びワイヤの形状及
び状態が安定し、ボンダビリティが向上した。またアー
ムホルダ３の駆動部の小型軽量化により、高速ボンデイ
ングが可能となった。
【００１５】
【発明の効果】本発明によれば、一端にキャピラリを保
持したボンデイングアームが取付けられたアームホルダ
とクランパが取付けられたクランパホルダとをそれぞれ
別個のクロススプリングピボットで移動テーブルに取付
け、前記アームホルダ及び前記クランパホルダをカムの
プロフイルに追従するように付勢し、前記アームホルダ
にリニアモータの一方側を取付け、前記移動テーブルに
リニアモータの他方側を取付けてなるので、アームホル
ダの駆動部の軽量化、ボンデイング時の衝撃荷重の低減
が図れ、これによってボンダビリティが向上した。
持したボンデイングアームが取付けられたアームホルダ
とクランパが取付けられたクランパホルダとをそれぞれ
別個のクロススプリングピボットで移動テーブルに取付
け、前記アームホルダ及び前記クランパホルダをカムの
プロフイルに追従するように付勢し、前記アームホルダ
にリニアモータの一方側を取付け、前記移動テーブルに
リニアモータの他方側を取付けてなるので、アームホル
ダの駆動部の軽量化、ボンデイング時の衝撃荷重の低減
が図れ、これによってボンダビリティが向上した。
【図１】本発明に成るワイヤボンデイング装置の一実施
例を示し、（ａ）はキャピラリが上昇した状態図、
（ｂ）はキャピラリが接地した状態図である。
例を示し、（ａ）はキャピラリが上昇した状態図、
（ｂ）はキャピラリが接地した状態図である。
【図２】図１の正面図である。
【図３】クロススプリングピボット部分の説明斜視図で
ある。
ある。
１ キャピラリ ２ ボンデイングアーム ３ アームホルダ ４ リフタアーム ５、６ 板ばね ７ 移動テーブル １０ クランパ １１ クランパホルダ １２、１３ 板ばね ２０ リニアモータ ２５ リニアカム ２６、２７ スプリング
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 関場 隆 宮城県柴田郡村田町大字村田字西ケ丘１番 地の１ 株式会社富士通宮城エレクトロニ クス内 (72)発明者 高橋 馨 宮城県柴田郡村田町大字村田字西ケ丘１番 地の１ 株式会社富士通宮城エレクトロニ クス内 (72)発明者 工藤 治 宮城県柴田郡村田町大字村田字西ケ丘１番 地の１ 株式会社富士通宮城エレクトロニ クス内 (72)発明者 小林 賢司 宮城県柴田郡村田町大字村田字西ケ丘１番 地の１ 株式会社富士通宮城エレクトロニ クス内 (72)発明者 中村 修 東京都武蔵村山市伊奈平２丁目51番地の１ 株式会社新川内 (72)発明者 杉浦 一夫 東京都武蔵村山市伊奈平２丁目51番地の１ 株式会社新川内 (72)発明者 寺門 義光 東京都武蔵村山市伊奈平２丁目51番地の１ 株式会社新川内
Claims (1)
- 【請求項１】 一端にキャピラリを保持したボンデイン
グアームが取付けられたアームホルダとクランパが取付
けられたクランパホルダとをそれぞれ別個のクロススプ
リングピボットで移動テーブルに取付け、前記アームホ
ルダ及び前記クランパホルダをカムのプロフイルに追従
するように付勢し、前記アームホルダにリニアモータの
一方側を取付け、前記移動テーブルにリニアモータの他
方側を取付けてなることを特徴とするワイヤボンデイン
グ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4206134A JP2969411B2 (ja) | 1992-07-10 | 1992-07-10 | ワイヤボンデイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4206134A JP2969411B2 (ja) | 1992-07-10 | 1992-07-10 | ワイヤボンデイング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0629343A true JPH0629343A (ja) | 1994-02-04 |
| JP2969411B2 JP2969411B2 (ja) | 1999-11-02 |
Family
ID=16518348
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4206134A Expired - Fee Related JP2969411B2 (ja) | 1992-07-10 | 1992-07-10 | ワイヤボンデイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2969411B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6070778A (en) * | 1997-05-14 | 2000-06-06 | Kabushiki Kaisha Shinkawa | Wire bonding apparatus and control method thereof |
| US6119917A (en) * | 1997-04-02 | 2000-09-19 | Kabushiki Kaisha Shinkawa | Wire bonding apparatus and bonding load correction method for the same |
| KR100388958B1 (ko) * | 2000-12-15 | 2003-06-25 | 삼성테크윈 주식회사 | 와이어클램프의 피봇구조 |
| US6786392B2 (en) | 2001-11-27 | 2004-09-07 | Nec Electronics Corporation | Wire bonding device and wire bonding method |
| EP1094500A3 (en) * | 1999-10-22 | 2005-07-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Bonding apparatus and bonding method |
| US7370785B2 (en) | 2003-09-22 | 2008-05-13 | Kabushiki Kaisha Shinkawa | Wire bonding method and apparatus |
-
1992
- 1992-07-10 JP JP4206134A patent/JP2969411B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| US6786392B2 (en) | 2001-11-27 | 2004-09-07 | Nec Electronics Corporation | Wire bonding device and wire bonding method |
| US7370785B2 (en) | 2003-09-22 | 2008-05-13 | Kabushiki Kaisha Shinkawa | Wire bonding method and apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2969411B2 (ja) | 1999-11-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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