JPH06286878A - 基板供給装置 - Google Patents
基板供給装置Info
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- JPH06286878A JPH06286878A JP5075487A JP7548793A JPH06286878A JP H06286878 A JPH06286878 A JP H06286878A JP 5075487 A JP5075487 A JP 5075487A JP 7548793 A JP7548793 A JP 7548793A JP H06286878 A JPH06286878 A JP H06286878A
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- arm
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 真空パッドの昇降駆動だけで、基板搬送レー
ルの開閉動作を兼用し、また、自動で基板補給できる真
空吸着式基板供給装置を提供する。 【構成】 アーム昇降駆動モータ２６により、アーム２
４と、真空パッド付ロッド２２が下降する。次に、真空
パッド付ロッド２２が基板３３を吸着し、アーム２４が
上昇し基板搬送レール１９ａ，１９ｂで基板３３を通過
させるためにアーム２４に取り付けたローラ３５ａ，３
５ｂが、端面カム３４ａ，３４ｂに沿って移動し、基板
搬送レール１９ａ，１９ｂが外側に移動する。次に、ロ
ーラ３５ａ，３５ｂが端面カム３４ａ，３４ｂを越える
と板ばね３７の復原力により基板搬送レール１９ａ，１
９ｂが元の位置に戻る。次に、基板吸着を解除し基板３
３をレール１９ａ，１９ｂ上に落下する。次に、基板搬
送駆動モータにより、基板搬送ベルト２０ａ，２０ｂを
回転させ基板３３が搬送され供給される。
ルの開閉動作を兼用し、また、自動で基板補給できる真
空吸着式基板供給装置を提供する。 【構成】 アーム昇降駆動モータ２６により、アーム２
４と、真空パッド付ロッド２２が下降する。次に、真空
パッド付ロッド２２が基板３３を吸着し、アーム２４が
上昇し基板搬送レール１９ａ，１９ｂで基板３３を通過
させるためにアーム２４に取り付けたローラ３５ａ，３
５ｂが、端面カム３４ａ，３４ｂに沿って移動し、基板
搬送レール１９ａ，１９ｂが外側に移動する。次に、ロ
ーラ３５ａ，３５ｂが端面カム３４ａ，３４ｂを越える
と板ばね３７の復原力により基板搬送レール１９ａ，１
９ｂが元の位置に戻る。次に、基板吸着を解除し基板３
３をレール１９ａ，１９ｂ上に落下する。次に、基板搬
送駆動モータにより、基板搬送ベルト２０ａ，２０ｂを
回転させ基板３３が搬送され供給される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、自動電子部品実装ライ
ンで基板を真空吸着し供給する真空吸着式基板供給装置
に関するものである。
ンで基板を真空吸着し供給する真空吸着式基板供給装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、真空吸着式基板供給装置は、コス
トダウンと基板供給装置への基板補給作業の自動化が要
求されている。
トダウンと基板供給装置への基板補給作業の自動化が要
求されている。
【０００３】従来の技術としては、レールの開閉と吸着
パッドの昇降が別駆動であり、また基板の補給は手作業
のものが一般的であった。
パッドの昇降が別駆動であり、また基板の補給は手作業
のものが一般的であった。
【０００４】以下図面を参照にしながら、上述した従来
の真空吸着式基板供給装置の一例について説明する。図
５は、従来の真空吸着式供給装置の全体図を示すもので
ある。図５において、１ａ，１ｂは開閉レールである。
２ａ，２ｂは基板搬送ベルトである。３ａ，３ｂは基板
搬送駆動モータである。４ａ，４ｂは板ばねである。５
ａ，５ｂはカムで、レール１ａ，１ｂを開閉する。６
ａ，６ｂはレール開閉駆動モータである。７は真空パッ
ド付ロッドである。８はバネで、基板に当たるときの緩
衝の働きをする。９はアームで、真空パッド付ロッド７
を支持する。１０はシャフトで、アーム９の昇降に使用
する。１１はアーム昇降駆動モータである。１２はタイ
ミングベルトで、アーム昇降駆動モータ１２の駆動力を
アーム昇降駆動に伝達する。１３ａ，１３ｂは昇降駆動
用プーリである。１４はスライドベアリングである。１
５は固定側基板ガイド板である。１６は可動側ガイド板
である。１７は架台である。１８は基板である。
の真空吸着式基板供給装置の一例について説明する。図
５は、従来の真空吸着式供給装置の全体図を示すもので
ある。図５において、１ａ，１ｂは開閉レールである。
２ａ，２ｂは基板搬送ベルトである。３ａ，３ｂは基板
搬送駆動モータである。４ａ，４ｂは板ばねである。５
ａ，５ｂはカムで、レール１ａ，１ｂを開閉する。６
ａ，６ｂはレール開閉駆動モータである。７は真空パッ
ド付ロッドである。８はバネで、基板に当たるときの緩
衝の働きをする。９はアームで、真空パッド付ロッド７
を支持する。１０はシャフトで、アーム９の昇降に使用
する。１１はアーム昇降駆動モータである。１２はタイ
ミングベルトで、アーム昇降駆動モータ１２の駆動力を
アーム昇降駆動に伝達する。１３ａ，１３ｂは昇降駆動
用プーリである。１４はスライドベアリングである。１
５は固定側基板ガイド板である。１６は可動側ガイド板
である。１７は架台である。１８は基板である。
【０００５】以上のように構成された従来の真空吸着式
基板供給装置について、以下その動作について説明す
る。
基板供給装置について、以下その動作について説明す
る。
【０００６】まず、複数の基板１８が架台１７上に積載
されており、レール開閉駆動モータ６ａ，６ｂが駆動
し、カム５ａ，５ｂを回転させて、レール１ａ，１ｂが
外側に動く。次に、アーム昇降駆動モータ１２により、
昇降駆動用プーリ１３ａが回転し、タイミングベルト１
２で昇降駆動用プーリ１３ｂに駆動を伝達する。そし
て、スライドベアリング１４がシャフト１０に沿って移
動し、スライドベアリング１４に結合されているアーム
９が下降するとともに、真空パッド付ロッド７も下降す
る。次に、真空パッド付ロッド７が基板１８に到達する
と、基板１８を吸着し、基板１８とともにアーム９が上
昇する。アーム９が上限に達すると、基板搬送駆動モー
タ３ａ，３ｂが駆動し、カム５ａ，５ｂを回転させて、
板ばね８の復原力によりレール１ａ，１ｂが内側に動
き、レール１ａ，１ｂは元の位置に戻る。次に、基板吸
着を解除し基板１８をレール１ａ，１ｂ上に落下する。
次に、搬送され、ストッパー８に当たり停止する。次
に、レール回転駆動装置３ａ，３ｂにより基板搬送ベル
ト２ａ，２ｂを回転させ基板１８が搬送され供給され
る。
されており、レール開閉駆動モータ６ａ，６ｂが駆動
し、カム５ａ，５ｂを回転させて、レール１ａ，１ｂが
外側に動く。次に、アーム昇降駆動モータ１２により、
昇降駆動用プーリ１３ａが回転し、タイミングベルト１
２で昇降駆動用プーリ１３ｂに駆動を伝達する。そし
て、スライドベアリング１４がシャフト１０に沿って移
動し、スライドベアリング１４に結合されているアーム
９が下降するとともに、真空パッド付ロッド７も下降す
る。次に、真空パッド付ロッド７が基板１８に到達する
と、基板１８を吸着し、基板１８とともにアーム９が上
昇する。アーム９が上限に達すると、基板搬送駆動モー
タ３ａ，３ｂが駆動し、カム５ａ，５ｂを回転させて、
板ばね８の復原力によりレール１ａ，１ｂが内側に動
き、レール１ａ，１ｂは元の位置に戻る。次に、基板吸
着を解除し基板１８をレール１ａ，１ｂ上に落下する。
次に、搬送され、ストッパー８に当たり停止する。次
に、レール回転駆動装置３ａ，３ｂにより基板搬送ベル
ト２ａ，２ｂを回転させ基板１８が搬送され供給され
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな構成では、レールを回転するために２つのレールに
レール開閉用の駆動モータが必要であり、コストがかか
るという問題点を有していた。また、従来の真空吸着式
基板供給装置本体が基板の補給を手作業で行うものとし
た構造になっているため基板を自動で補給できないとい
う問題点を有していた。
うな構成では、レールを回転するために２つのレールに
レール開閉用の駆動モータが必要であり、コストがかか
るという問題点を有していた。また、従来の真空吸着式
基板供給装置本体が基板の補給を手作業で行うものとし
た構造になっているため基板を自動で補給できないとい
う問題点を有していた。
【０００８】この発明は上記のような課題を解消するた
めになされたもので、真空パッドの昇降駆動だけで、基
板搬送レールの開閉動作を兼用し、また、自動で基板補
給できる真空吸着式基板供給装置を得ることを目的とす
る。
めになされたもので、真空パッドの昇降駆動だけで、基
板搬送レールの開閉動作を兼用し、また、自動で基板補
給できる真空吸着式基板供給装置を得ることを目的とす
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに本発明の基板供給装置は、基板を吸着するパッド
と、前記パッドを支持するアームと、基板の両端を規正
するプレートと、基板を搬送するレールと、前記アーム
を昇降させる手段と、アームを昇降させる手段に面し前
記レールに取り付けられた端面カムと、アームがレール
付近で前記端面カムに接触するように取り付けられたロ
ーラと、前記ローラを支持しアームに取り付けられたシ
ャフトと、基板を積載する部分を自動で脱着する手段と
を設けるものである。
めに本発明の基板供給装置は、基板を吸着するパッド
と、前記パッドを支持するアームと、基板の両端を規正
するプレートと、基板を搬送するレールと、前記アーム
を昇降させる手段と、アームを昇降させる手段に面し前
記レールに取り付けられた端面カムと、アームがレール
付近で前記端面カムに接触するように取り付けられたロ
ーラと、前記ローラを支持しアームに取り付けられたシ
ャフトと、基板を積載する部分を自動で脱着する手段と
を設けるものである。
【００１０】
【作用】本発明は上記構成によって、架台上に積載され
ている基板を吸着し、上昇させて上限で基板を基板搬送
レール上に落下させるときにアーム昇降駆動の途中で、
レールの受けの位置で基板を通過させるために基板搬送
レールを外側に開く動作を、アームに取り付けたローラ
と端面カムの接触によるレール開閉手段で行う。また、
基板積載部に車を設け基板搬送レールと基板吸着昇降部
を切り離し自動運転ワゴンとして、基板の補給を行う。
ている基板を吸着し、上昇させて上限で基板を基板搬送
レール上に落下させるときにアーム昇降駆動の途中で、
レールの受けの位置で基板を通過させるために基板搬送
レールを外側に開く動作を、アームに取り付けたローラ
と端面カムの接触によるレール開閉手段で行う。また、
基板積載部に車を設け基板搬送レールと基板吸着昇降部
を切り離し自動運転ワゴンとして、基板の補給を行う。
【００１１】
【実施例】以下本発明の一実施例の基板供給装置につい
て、図面を参照しながら説明する。
て、図面を参照しながら説明する。
【００１２】図１は、本発明の実施例における真空吸着
式基板供給装置の全体図を示すものである。図１におい
て、１９ａ，１９ｂは基板搬送レールである。２０ａ，
２０ｂは基板搬送ベルトである。２１ａ，２１ｂは基板
搬送駆動モータである。２２は真空パッド付ロッドであ
る。２３はバネで、基板に当たるときの緩衝の働きをす
る。２４はアームで、真空パッド付ロッド２２を支持す
る。２５はシャフトで、アーム２４の昇降に使用する。
２６はアーム昇降駆動モータである。２７は固定側基板
ガイド板である。２８は可動側ガイド板である。２９は
自動運転ワゴンである。
式基板供給装置の全体図を示すものである。図１におい
て、１９ａ，１９ｂは基板搬送レールである。２０ａ，
２０ｂは基板搬送ベルトである。２１ａ，２１ｂは基板
搬送駆動モータである。２２は真空パッド付ロッドであ
る。２３はバネで、基板に当たるときの緩衝の働きをす
る。２４はアームで、真空パッド付ロッド２２を支持す
る。２５はシャフトで、アーム２４の昇降に使用する。
２６はアーム昇降駆動モータである。２７は固定側基板
ガイド板である。２８は可動側ガイド板である。２９は
自動運転ワゴンである。
【００１３】図２は、本発明の実施例における真空吸着
式基板供給装置の基板搬送レール開閉部詳細図、図３は
同供給装置の動作を示す説明図である。図２において、
３０はタイミングベルトで、アーム昇降駆動モータ２６
の駆動力をアーム昇降駆動に伝達する。３１は昇降駆動
用プーリである。３２はスライドベアリングである。３
３は基板である。３４ａ，３４ｂは端面カムである。３
５ａ，３５ｂはローラである。３６はローラ取り付けシ
ャフトである。３７ａ，３７ｂは板ばねである。
式基板供給装置の基板搬送レール開閉部詳細図、図３は
同供給装置の動作を示す説明図である。図２において、
３０はタイミングベルトで、アーム昇降駆動モータ２６
の駆動力をアーム昇降駆動に伝達する。３１は昇降駆動
用プーリである。３２はスライドベアリングである。３
３は基板である。３４ａ，３４ｂは端面カムである。３
５ａ，３５ｂはローラである。３６はローラ取り付けシ
ャフトである。３７ａ，３７ｂは板ばねである。
【００１４】図４は、本発明の実施例における真空吸着
式基板供給装置の基板補給自動運転ワゴンを示すもので
ある。図４において、３８ａ，３８ｂはワゴンセンサで
ある。３９ａ，３９ｂは反射板である。４０ａ，４０ｂ
は連結レバーである。
式基板供給装置の基板補給自動運転ワゴンを示すもので
ある。図４において、３８ａ，３８ｂはワゴンセンサで
ある。３９ａ，３９ｂは反射板である。４０ａ，４０ｂ
は連結レバーである。
【００１５】以上のように構成された真空吸着式基板供
給装置について以下図１〜図４を用いてその動作を説明
する。
給装置について以下図１〜図４を用いてその動作を説明
する。
【００１６】図１〜図３において、まず、複数の基板３
３が自動運転ワゴン２９上に積載されており、アーム昇
降駆動モータ２６により、タイミングベルト３０で昇降
駆動用プーリ３１に駆動を伝達する（図３（ａ））。そ
して、スライドベアリング３２がシャフト２５に沿って
移動し、スライドベアリング３２に結合されているアー
ム２４が下降するとともに、真空パッド付ロッド２２も
下降する（図３（ｂ））。次に、真空パッド付ロッド２
２が基板３３に到達すると、基板３３を吸着し、基板３
３とともにアーム２４が上昇する（図３（ｃ））。そし
て、アーム上昇駆動の途中で、基板搬送レール１９ａ，
１９ｂの受けの位置で基板３３を通過させるためにアー
ム２４に取り付けたローラ３５ａ，３５ｂとローラ取り
付けシャフト３６により、ローラ３５ａ，３５ｂが端面
カム３４ａ，３４ｂに沿って移動する。そして、端面カ
ムの凸部に前記ローラが達すると、端面カム３４ａ，３
４ｂを取り付けた基板搬送レールである１９ａ，１９ｂ
が外側に移動する（図３（ｄ））。次に、ローラ３５
ａ，３５ｂが端面カム３４ａ，３４ｂを越えると板ばね
３７の復原力により基板搬送レール１９ａ，１９ｂが内
側に動き、レール１９ａ，１９ｂは元の位置に戻る。
（図３（ｅ））。次に、基板吸着を解除し基板３３をレ
ール１９ａ，１９ｂ上に落下する。（図３（ｆ））。次
に、基板搬送駆動モータにより、基板搬送ベルト２０
ａ，２０ｂを回転させ基板３３が搬送され供給される。
次に基板積載部を着脱可能な構成として、自動運転ワゴ
ンとする場合の動作について図を用いて説明する。
３が自動運転ワゴン２９上に積載されており、アーム昇
降駆動モータ２６により、タイミングベルト３０で昇降
駆動用プーリ３１に駆動を伝達する（図３（ａ））。そ
して、スライドベアリング３２がシャフト２５に沿って
移動し、スライドベアリング３２に結合されているアー
ム２４が下降するとともに、真空パッド付ロッド２２も
下降する（図３（ｂ））。次に、真空パッド付ロッド２
２が基板３３に到達すると、基板３３を吸着し、基板３
３とともにアーム２４が上昇する（図３（ｃ））。そし
て、アーム上昇駆動の途中で、基板搬送レール１９ａ，
１９ｂの受けの位置で基板３３を通過させるためにアー
ム２４に取り付けたローラ３５ａ，３５ｂとローラ取り
付けシャフト３６により、ローラ３５ａ，３５ｂが端面
カム３４ａ，３４ｂに沿って移動する。そして、端面カ
ムの凸部に前記ローラが達すると、端面カム３４ａ，３
４ｂを取り付けた基板搬送レールである１９ａ，１９ｂ
が外側に移動する（図３（ｄ））。次に、ローラ３５
ａ，３５ｂが端面カム３４ａ，３４ｂを越えると板ばね
３７の復原力により基板搬送レール１９ａ，１９ｂが内
側に動き、レール１９ａ，１９ｂは元の位置に戻る。
（図３（ｅ））。次に、基板吸着を解除し基板３３をレ
ール１９ａ，１９ｂ上に落下する。（図３（ｆ））。次
に、基板搬送駆動モータにより、基板搬送ベルト２０
ａ，２０ｂを回転させ基板３３が搬送され供給される。
次に基板積載部を着脱可能な構成として、自動運転ワゴ
ンとする場合の動作について図を用いて説明する。
【００１７】図４において、基板積載部をアーム昇降手
段やレール等からなる基板吸着昇降部と切り離し自動運
転ワゴン２９にして、ワゴンセンサ３８ａ，３８ｂと反
射板３９ａ，３９ｂにより位置を合わせる。同時に連結
レバー４０ａ，４０ｂで基板の自動運転ワゴンと基板吸
着昇降部を連結する。
段やレール等からなる基板吸着昇降部と切り離し自動運
転ワゴン２９にして、ワゴンセンサ３８ａ，３８ｂと反
射板３９ａ，３９ｂにより位置を合わせる。同時に連結
レバー４０ａ，４０ｂで基板の自動運転ワゴンと基板吸
着昇降部を連結する。
【００１８】以上のように本実施例によれば、基板を吸
着するパッドと、前記パッドを支持するアームと、基板
の両端を規正するプレートと、基板を搬送するレール
と、前記アームを昇降させ、前記レールを開閉すること
を兼ねた機構と、基板を積載する部分を自動で脱着する
手段とを設けることにより、アームの昇降で基板搬送レ
ールの開閉を兼用し、また、自動で基板補給する真空吸
着式基板供給装置を得るものである。
着するパッドと、前記パッドを支持するアームと、基板
の両端を規正するプレートと、基板を搬送するレール
と、前記アームを昇降させ、前記レールを開閉すること
を兼ねた機構と、基板を積載する部分を自動で脱着する
手段とを設けることにより、アームの昇降で基板搬送レ
ールの開閉を兼用し、また、自動で基板補給する真空吸
着式基板供給装置を得るものである。
【００１９】
【発明の効果】以上のように本発明は、基板を吸着する
パッドと、前記パッドを支持するアームと、基板の両端
を規正するプレートと、基板を搬送するレールと、前記
アームを昇降させ、前記レールを開閉することを兼ねた
機構と、基板を積載する部分を自動で脱着する手段を設
けることにより、アームの昇降で基板搬送レールの開閉
を兼用し低コストで、また、自動で基板補給し自動無人
化に対応する真空吸着式基板供給装置を得るものであ
る。
パッドと、前記パッドを支持するアームと、基板の両端
を規正するプレートと、基板を搬送するレールと、前記
アームを昇降させ、前記レールを開閉することを兼ねた
機構と、基板を積載する部分を自動で脱着する手段を設
けることにより、アームの昇降で基板搬送レールの開閉
を兼用し低コストで、また、自動で基板補給し自動無人
化に対応する真空吸着式基板供給装置を得るものであ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例における基板供給装置の斜
視図
視図
【図２】同基板供給装置の要部斜視図
【図３】（ａ）同基板供給装置の基板吸着開始状態を示
す説明図 （ｂ）同基板供給装置の基板吸着動作を示す説明図 （ｃ）同基板供給装置のアーム上昇動作を示す説明図 （ｄ）同基板供給装置のレール巾が開いた状態を示す説
明図 （ｅ）同基板供給装置のレール巾が復帰した状態を示す
説明図 （ｆ）同基板供給装置の基板吸着解除状態を示す説明図
す説明図 （ｂ）同基板供給装置の基板吸着動作を示す説明図 （ｃ）同基板供給装置のアーム上昇動作を示す説明図 （ｄ）同基板供給装置のレール巾が開いた状態を示す説
明図 （ｅ）同基板供給装置のレール巾が復帰した状態を示す
説明図 （ｆ）同基板供給装置の基板吸着解除状態を示す説明図
【図４】（ａ）同基板供給装置の基板積載部分離状態を
示す斜視図 （ｂ）同基板供給装置の基板積載部の連結動作説明図 （ｃ）同基板供給装置の基板積載部の連結動作説明図
示す斜視図 （ｂ）同基板供給装置の基板積載部の連結動作説明図 （ｃ）同基板供給装置の基板積載部の連結動作説明図
【図５】（ａ）従来の基板供給装置の斜視図 （ｂ）同基板供給装置におけるレール開閉動作説明図
１ａ，１ｂ レール ２ａ，２ｂ，２０ａ，２０ｂ 基板搬送ベルト ３ａ，３ｂ，２１ａ，２１ｂ 基板搬送駆動モーータ ４ａ，４ｂ，３７ａ，３７ｂ 板ばね ５ａ，５ｂ カム ６ａ，６ｂ レール開閉駆動モータ ７，２２ 真空パッド付ロッド ８，２３ ばね ９，２４ アーム １０，２５ シャフト １１，２６ アーム昇降駆動モータ １２，３０ タイミングベルト １３ａ，１３ｂ，３１ 昇降駆動用プーリ １４，３２ スライドベアリング １５，２７ 固定側基板ガイド板 １６，２８ 可動側ガイド板 １７ 架台 １８，３３ 基板 １９ａ，１９ｂ 基板搬送レール ２９ 自動運転ワゴン ３４ａ，３４ｂ 端面カム ３５ａ，３５ｂ ローラ ３６ ローラ取り付けシャフト ３８ａ，３８ｂ ワゴンセンサ ３９ａ，３９ｂ 反射板 ４０ａ，４０ｂ 連結レバー
Claims (2)
- 【請求項１】 供給対象基板を収納する基板積載部と、
前記基板積載部の基板を吸着するバッドと、前記パッド
を所定位置に支持するアームと、前記アームを昇降させ
るアーム昇降手段と、基板を搬送するための一対のレー
ルと、前記レールを支持し、前記レール間の位置関係を
保つようにばねによって常時付勢され、かつ所定の部分
を支点として前記付制力に抗して傾斜動作可能に構成さ
れた一対のプレートと、相対向して前記プレートの表面
に取り付けられた一対の端面カムと、前記端面カムの凹
凸面に沿って回転可能に設けられたローラと、前記ロー
ラをその相対位置を一定に保つよう支持し、前記アーム
の昇降動作に連動して昇降動作するよう前記アームに取
り付けられたローラ取り付けシャフトとを有し、前記ア
ームの昇降動作に伴う前記ローラと前記端面カム凹凸面
との接触により前記プレートに支持されたレール間の距
離を可変するよう構成された基板供給装置。 - 【請求項２】 供給対象基板を収納する基板積載部と、
前記基板積載部の基板を吸着するパッドと、前記パッド
を所定位置に支持するアームと、前記アームを昇降させ
るアーム昇降手段と、基板を搬送するための一対のレー
ルと、前記レールを支持し、前記レール間の位置関係を
保つようにばねによって常時付勢され、かつ所定の部分
を支点として前記付制力に抗して傾斜動作可能に構成さ
れた一対のプレートと、相対向して前記プレートの表面
に取り付けられた一対の端面カムと、前記アームの昇降
時に前記端面カムの凹凸面に沿って回転可能に設けられ
たローラと、前記ローラをその相対位置を一定に保つよ
う支持し、前記アームの昇降動作に連動して昇降動作す
るよう前記アームに取り付けられたローラ取り付けシャ
フトとを有し、基板積載部が前記アーム昇降手段及び前
記レールと着脱可能に構成された基板供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5075487A JPH06286878A (ja) | 1993-04-01 | 1993-04-01 | 基板供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5075487A JPH06286878A (ja) | 1993-04-01 | 1993-04-01 | 基板供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06286878A true JPH06286878A (ja) | 1994-10-11 |
Family
ID=13577702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5075487A Pending JPH06286878A (ja) | 1993-04-01 | 1993-04-01 | 基板供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06286878A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6631557B2 (en) * | 2000-01-31 | 2003-10-14 | Shibaura Mechatronics Corporation | Method and apparatus for mounting electronic device |
| CN106395378A (zh) * | 2016-11-28 | 2017-02-15 | 安徽省阜阳市庆霖木业有限责任公司 | 一种用于胶合板的自动送板机 |
| CN109484689A (zh) * | 2018-09-08 | 2019-03-19 | 广东隆兴包装实业有限公司 | 杯碗盖取卸堆叠传送机械手及堆叠传送装箱机组 |
-
1993
- 1993-04-01 JP JP5075487A patent/JPH06286878A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6631557B2 (en) * | 2000-01-31 | 2003-10-14 | Shibaura Mechatronics Corporation | Method and apparatus for mounting electronic device |
| CN106395378A (zh) * | 2016-11-28 | 2017-02-15 | 安徽省阜阳市庆霖木业有限责任公司 | 一种用于胶合板的自动送板机 |
| CN109484689A (zh) * | 2018-09-08 | 2019-03-19 | 广东隆兴包装实业有限公司 | 杯碗盖取卸堆叠传送机械手及堆叠传送装箱机组 |
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