JPH06282339A - 基板バイアス発生回路 - Google Patents

基板バイアス発生回路

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JPH06282339A
JPH06282339A JP6024954A JP2495494A JPH06282339A JP H06282339 A JPH06282339 A JP H06282339A JP 6024954 A JP6024954 A JP 6024954A JP 2495494 A JP2495494 A JP 2495494A JP H06282339 A JPH06282339 A JP H06282339A
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JP
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terminal
voltage
current
coupled
substrate bias
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JP6024954A
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English (en)
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Ruey J Yu
リュエイ・ジェイ・ユー
Mark D Bader
マーク・ダグラス・ベイダー
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Motorola Solutions Inc
Original Assignee
Motorola Inc
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    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05FSYSTEMS FOR REGULATING ELECTRIC OR MAGNETIC VARIABLES
    • G05F3/00Non-retroactive systems for regulating electric variables by using an uncontrolled element, or an uncontrolled combination of elements, such element or such combination having self-regulating properties
    • G05F3/02Regulating voltage or current
    • G05F3/08Regulating voltage or current wherein the variable is dc
    • G05F3/10Regulating voltage or current wherein the variable is dc using uncontrolled devices with non-linear characteristics
    • G05F3/16Regulating voltage or current wherein the variable is dc using uncontrolled devices with non-linear characteristics being semiconductor devices
    • G05F3/20Regulating voltage or current wherein the variable is dc using uncontrolled devices with non-linear characteristics being semiconductor devices using diode- transistor combinations
    • G05F3/205Substrate bias-voltage generators

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Abstract

(57)【要約】 【目的】 集積回路の基板50に基板バイアス電圧を与
える基板バイアス発生回路20を提供する。 【構成】 電圧/電流変換回路22は、バンドギャップ
発生基準電圧に比例する一定な電流を与える。Pチャン
ネル・トランジスタ34,35は、バンドギャップ発生
基準電圧に基づいて電圧レベル検出回路36の定電流源
となる。電圧レベル検出回路36は基板バイアス電圧の
レベルを監視して、基板バイアス電圧が所定の電圧レベ
ルに達すると、発振器47をアクティブにする第1制御
信号を与える。発振器をより確実に制御するため第1制
御信号を増幅またはレベル変換するレベル変換器43が
設けられる。基板バイアス発生回路20は、プロセス変
化,温度変化および電源変化から独立している、正確に
制御された基板バイアス電圧を基板50に与える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、一般に、集積回路に関
し、さらに詳しくは、集積回路の基板バイアス電圧を発
生する回路に関する。
【0002】
【従来の技術】MOS(metal-oxide semiconductor) ト
ランジスタを有する集積回路の設計では、集積回路の基
板に安定したバイアス電圧を与えることが重要な場合が
ある。バイアス電圧を与える一つの理由は、集積回路上
のPN接合を不用意に順方向バイアスする局所結合(loc
al coupling)を防止することである。集積回路の基板に
バイアス電圧を与える別の理由は、MOSトランジスタ
の閾値電圧(VT )を制御することである。MOSトラ
ンジスタのVT は、ソース領域とドレイン領域との間に
導電チャンネルを形成するために必要な最小ゲート電圧
である。MOSトランジスタのVT は、集積回路の性能
を改善するために変えることができる。MOSトランジ
スタを有する集積回路は、低い電源電圧で動作しなけれ
ばならないので、VT を正確に制御することがさらに重
要になっている。また、高集積化を図るためにMOSト
ランジスタの寸法を(約0.5ミクロン以下に)小さく
すると、VT は基板バイアス電圧の変化に極めて敏感に
なる。
【0003】一般的な基板バイアス回路は、レベル検出
回路,発振器およびチャージ・ポンプを含む。レベル検
出回路は基板バイアス電圧のレベルを監視して、発振器
をアクティブまたは非アクティブにする制御信号を与え
る。アクティブになると、発振器はチャージ・ポンプの
出力を制御するタイミング信号を与える。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、MOSトラン
ジスタを小さくすると、一般的なレベル検出回路は、V
T を正確に制御しかつ安定化するために必要な精度を与
えない。温度変化やプロセス変化によって集積回路の動
作特性が変化し、またMOSトランジスタ性能に大きな
変化をもたらすことがある。さらに、電源電圧の変化も
基板バイアス回路の出力に影響を与えることがあり、安
定した基板バイアス電圧を提供することを困難にしてい
る。
【0005】
【課題を解決するための手段】従って、一例において、
基板バイアス電圧を与える基板バイアス発生回路が提供
される。この基板バイアス発生回路は、第1電流源,電
圧レベル検出回路,発振器およびチャージ・ポンプを含
む。第1電流源は、第1電源電圧端子に結合された第1
端子と、第2端子とを有する。この第2端子は、基準電
圧に比例する第1の実質的に一定な電流を与える。電圧
レベル検出回路は第1抵抗を有し、基板バイアス電圧の
大きさがこの第1抵抗両端の所定の電圧降下よりも低く
なるときを検出する。これに応答して、電圧レベル検出
回路は第1制御信号を与える。発振器は電圧レベル検出
回路に結合され、第1制御信号に応答して、所定の周波
数で一連のパルスを生成する。チャージ・ポンプは、発
振器に結合されて一連のパルスを受け取る第1入力ノー
ドと、この一連のパルスに応答して基板バイアス電圧を
与える出力ノードとを有する。これらおよび他の特徴お
よび利点については、添付の図面と共に以下の詳細な説
明から理解を深めることができよう。
【0006】
【実施例】図1は、本発明による基板バイアス発生回路
のブロック図を示す。基板バイアス発生回路20は、電
圧/電流変換回路22、Pチャンネル・トランジスタ3
4,35,電圧レベル検出回路36,Nチャンネル・ト
ランジスタ42,レベル変換回路43,発振器47およ
びチャージ・ポンプ49を含む。
【0007】電圧/電流変換回路22は、差動増幅器2
3,Pチャンネル・トランジスタ31および抵抗32を
含む。差動増幅器23は、電流ミラー24,バイポーラ
NPNトランジスタ27,28および抵抗29を含む。
電流ミラー24は、Pチャンネル・トランジスタ25,
26を含む。Pチャンネル・トランジスタ25は、「V
DD」と記された第1電源電圧端子に接続されたソース
と、ゲートと、ノード101に接続されたドレインとを
有する。Pチャンネル・トランジスタ26は、VDDに接
続されたソースと、ゲートと、Pチャンネル・トランジ
スタ25のゲートに接続されたドレインとを有する。バ
イポーラ・トランジスタ27は、ノード101において
Pチャンネル・トランジスタ25のドレインに接続され
たコレクタと、バンドギャップ電圧発生回路21の出力
端子に接続されて、「VBG」と記されるバンドギャップ
発生基準電圧を受け取るベースと、エミッタとを有す
る。バイポーラNPNトランジスタ28は、Pチャンネ
ル・トランジスタ26のドレインに接続されたコレクタ
と、ノード102に接続されたベースと、NPNトラン
ジスタ27のエミッタに接続されたエミッタとを有す
る。抵抗29は、NPNトランジスタ27,28のエミ
ッタに接続された第1端子と、「VSS」と記される第2
電源電圧端子に接続された第2端子とを有する。Pチャ
ンネル・トランジスタ31は、VDDに接続されたソース
と、ノード101においてPチャンネル・トランジスタ
25のドレインに接続されたゲートと、ノード102に
おいてNPNトランジスタ28のベースに接続されたド
レインとを有する。抵抗32は、ノード102において
Pチャンネル・トランジスタ31のドレインに接続され
た第1端子と、VSSに接続された第2端子とを有する。
【0008】Pチャンネル・トランジスタ34は、VDD
に接続されたソースと、Pチャンネル・トランジスタ3
1のゲートに接続されたゲートと、ドレインとを有す
る。Pチャンネル・トランジスタ35は、VDDに接続さ
れたソースと、Pチャンネル・トランジスタ31のゲー
トに接続されたゲートと、ノード104に接続されたド
レインとを有する。Pチャンネル・トランジスタ34,
35は、電圧レベル検出回路36に比較的一定した電流
を与える定電流源である。
【0009】電圧レベル検出回路36は、抵抗38,3
9およびNチャンネル・トランジスタ41を含む。抵抗
38は,Pチャンネル・トランジスタ34のドレインに
接続された第1端子と、ノード103に接続された第2
端子とを有する。抵抗39は、ノード103において抵
抗38の第2端子に接続された第1端子と、第2端子と
を有する。Nチャンネル・トランジスタ41は、ノード
104においてPチャンネル・トランジスタ35のドレ
インに接続されたドレインと、ノード103において抵
抗38の第2端子に接続されたゲートと、VSSに接続さ
れたソースとを有する。ノード104は、第1制御信号
を与える電圧レベル検出回路36の出力ノードである。
ダイオード接続Nチャンネル・トランジスタ42は、抵
抗39の第2端子に接続されたゲートおよびドレイン
と、「VBB」と記された基板バイアス電圧を受け取るソ
ースおよび基板端子とを有する。
【0010】レベル変換回路43は、Pチャンネル・ト
ランジスタ44およびNチャンネル・トランジスタ45
を含む。Pチャンネル・トランジスタ44は、VDDに接
続されたソースと、Pチャンネル・トランジスタ31の
ゲートに接続されたゲートと、ノード105に接続され
たドレインとを有する。Nチャンネル・トランジスタ4
5は、ノード105においてPチャンネル・トランジス
タ44のドレインに接続されたドレインと、ノード10
4においてNチャンネル・トランジスタ41のドレイン
に接続されたゲートと、VSSに接続されたソースとを有
する。ノード105は、第2制御信号を与えるレベル変
換器43の出力ノードである。すべてのNチャンネル・
トランジスタおよびPチャンネル・トランジスタはMO
Sトランジスタであり、基板端子が VSSに接続されい
るが、ただしNチャンネル・トランジスタ42は例外
で、その基板端子は基板バイアス電圧 VBBを受け取る
ため自己のソースに結合されていることに留意された
い。
【0011】発振器47は、ノード105においてPチ
ャンネル・トランジスタ44のドレインに接続された入
力端子と、出力端子とを有する。チャージ・ポンプ49
は、発振器47の出力端子に接続された入力端子と、半
導体基板50に基板バイアス電圧 VBBを与える出力端
子とを有する。
【0012】好適な実施例では、基板バイアス発生回路
20は、3重ウェル構造を有するSRAM(図示せず)
における分離されたP型ウェルに、正確に制御された基
板バイアス電圧を与える。3重ウェル構造では、メモリ
・セル・アレイはP型ウェル内にある。他のウェル内の
収容される周辺回路の動作に対する影響を避けるため、
セル・アレイを収容するP型基板ウェルのみがバイアス
される。3重ウェル構造はアルファ粒子放出(alpha par
ticle emissions)によって生じるソフトエラーの影響を
受けにくいため、3重ウェル構造が用いられる。
【0013】動作時に、基板バイアス電圧 VBBはチャ
ージ・ポンプ49の出力端子において与えられる。電圧
レベル検出回路36は基板バイアス電圧 VBBの電圧レ
ベルを監視して、発振器47をアクティブまたは非アク
ティブにする第1制御信号をノード104で与える。ノ
ード103における電圧がNチャンネル・トランジスタ
41の閾値電圧よりも高くなり、基板バイアス電圧 V
BBが所定の電圧レベルよりも高くなったことを示すと、
Nチャンネル・トランジスタ41は導通状態となり、そ
れにより発振器47はアクティブになる。ノード103
における電圧がVT 以下になり、基板バイアス電圧 V
BBが所定の電圧レベル以下であることを示すと、Nチャ
ンネル・トランジスタ41は実質的に非導通状態とな
り、そのため発振器47は非アクティブになる。発振器
47は、所定の周波数でクロック信号をチャージ・ポン
プ49に与える従来のリング発振器である。チャージ・
ポンプ49は、P型基板ウェル50の電圧レベルを「ポ
ンプダウン(pump down) 」する従来のチャージ・ポンプ
である。P型基板ウェル50は、低電源電圧(一般に負
電圧)以下の所定の電圧レベルまでポンプダウンされ
る。P型基板ウェルがポンプダウンされる量は、特定の
用途に応じて変えることができる。
【0014】基板バイアス電圧 VBB が所定の電圧レベ
ル以上に増加したことを電圧レベル検出回路36が検出
すると、ノード103における電圧は十分高くなり、N
チャンネル・トランジスタ41を導通状態にする。ノー
ド104における第1制御信号は低電圧となり、Nチャ
ンネル・トランジスタ45を実質的に非導通状態にす
る。従って、ノード105における第2制御信号は高論
理になり、そのため発振器47をアクティブにする。レ
ベル変換器43は第1制御信号のアナログ電圧レベル
を、発振器47を確実にアクティブおよび非アクティブ
にする十分な電圧振幅を有する電圧レベルに変換または
増幅する。アクティブになると、発振器47はチャージ
・ポンプ49をアクティブにするクロック信号を与え
る。チャージ・ポンプ49は、P型基板50に基板バイ
アス電圧 VBBを与える。基板バイアス電圧 VBBが所定
の電圧レベルまで低減されると、電圧レベル検出回路3
6はノード104において高電圧として第1制御信号を
与え、これはNチャンネル・トランジスタ45のゲート
に与えられる。Nチャンネル・トランジスタ45は導通
状態となり、ノード105における第2制御信号を低論
理にし、発振器47を非アクティブにして、そのためチ
ャージ・ポンプ49は非アクティブになる。
【0015】VBG発生器21は、従来のバンドギャップ
電圧発生回路である。従来のバンドギャップ電圧発生器
は、シリコンのバンドギャップ電圧を用いて安定した基
準電圧を与える。この用途では、バンドギャップ電圧は
約1.26ボルトに等しく、電源電圧から独立してい
る。
【0016】電圧/電流変換回路22は、バンドギャッ
プ発生基準電圧 VBG比例する出力電流を与える。バン
ドギャップ発生基準電圧 VBGは、電圧/電流変換回路
22のNPNトランジスタ27のベースに与えられ、そ
れによりI27と記されるコレクタ電流はNPNトランジ
スタ27に流れる。この電流は電流ミラー24によって
「鏡映」され、それによりI28と記されるコレクタ電流
はNPNトランジスタ28に流れる。Pチャンネル・ト
ランジスタ31は、ノード101においてトランジスタ
27のコレクタからゲート電圧を受け取る。ノード10
1は、差動増幅器23の出力ノードである。Pチャンネ
ル・トランジスタ31および抵抗32は、ノード101
におけるNPNトランジスタ27のコレクタから、NP
Nトランジスタ28のベースまで、帰還路を形成し、そ
のためノード102はNPNトランジスタ27のベース
における電圧変化に追従する。従って、ノード102に
おける電圧はバンドギャップ基準電圧 VBGにほぼ等し
い。NPNトランジスタ27,28の寸法が同じであ
り、かつ電流ミラー24が対称的であるならば、電流I
27は電流I28に等しい。NPNトランジスタ28がわず
かなベース電流を有していると仮定すると、I31と記さ
れるPチャンネル・トランジスタ31に流れるドレイン
電流は VBGをR32で除した値にほぼ等しくなり、ただ
しR32は抵抗32の抵抗値である。バンドギャップ発生
基準電圧 VBGは一定なので、R32が一定であると仮定
すると、電流I31は比較的一定である。従って、Pチャ
ンネル・トランジスタ31は、バンドギャップ発生基準
電圧 VBGに基づいて比較的一定の電流源となる。
【0017】Pチャンネル・トランジスタ34に流れる
34と記される第1電流は、電流I31を鏡映する。ま
た、Pチャンネル・トランジスタ35に流れるI35と記
される第2電流は、電流I31を鏡映する。Pチャンネル
・トランジスタ34,35によって鏡映される電流の比
率は、Pチャンネル・トランジスタ31に対するPチャ
ンネル・トランジスタ34,35の相対的な寸法および
大きさに依存する。従って、I34=ηI31であり、ただ
しηは鏡映される電流の比率である。前述のようにI31
=VBG/R32ならば、I34=ηVBG/R32である。従っ
て、Pチャンネル・トランジスタ34,35も、バンド
ギャップ発生基準回路VBGに基づいて比較的一定な電流
源となり、そのためVDDから独立する。また、Nチャン
ネル・トランジスタ44は、レベル変換器43に対して
実質的に一定な電流源となる。
【0018】V103 と記されるノード103における電
圧(Nチャンネル・トランジスタ41のゲート・ソース
間電圧)は、I3439+VDS42−|VBB|にほぼ等し
く、ここでR39は抵抗39の抵抗値であり、VDS42はN
チャンネル・トランジスタ42のドレイン・ソース間電
圧であり、|VBB|は基板バイアス電圧の絶対値または
大きさである。V103 の上式から、数1が成り立つこと
が明らかである。
【0019】
【数1】|VBB|=I3439+VDS42−V103 Nチャンネル・トランジスタ42はダイオード接続さ
れ、Nチャンネル・トランジスタ41の温度変化および
プロセス変化を補償する。Nチャンネル・トランジスタ
42がNチャンネル・トランジスタ41と同じ大きさで
あり、かつこれらのトランジスタが集積回路上でほぼ同
じ位置および方向で配置されている場合には、VDS42
103 にほぼ等しい。その場合、VDS42≒V103 であ
り、数2が成り立つ。
【0020】
【数2】|VBB|≒I3439 前述のように、電流I34はバンドギャップ発生基準電圧
BGに基づいており、抵抗39は抵抗32の温度変化お
よびプロセス変化を補償するので、基板バイアス電圧V
BBはバンドギャップ発生基準電圧VBGとほぼ同じ精度お
よび安定性を有し、そのため電源電圧から独立してい
る。
【0021】基板バイアス電圧VBBの電圧レベルは、R
39の値を変えることによって容易に調整できる。しか
し、基板バイアス電圧VBBの特定の電圧レベルも、チャ
ージ・ポンプ49で用いられる特定のチャージ・ポンプ
回路の制限に依存する。
【0022】好適な実施例では、VDDは接地電位であ
り、VSSは約−5.0ボルトに等しい電源電圧で供給さ
れる。しかし、他の実施例では、VDDは正の電源電圧で
供給され、VSSは接地電位でもよい。
【0023】従って、基板バイアス発生回路20は、バ
ンドギャップ発生基準電圧VBGに基づき、かつプロセス
変化,温度変化および電源電圧の変化から独立する基板
バイアス電圧VBBを正確に制御するという利点を有す
る。
【0024】好適な実施例を参照して本発明について説
明してきたが、本発明は多くの点で修正でき、以上具体
的に説明してきたもの以外の多くの実施例が可能である
ことは当業者に明らかである。例えば、好適な実施例で
はP型基板ウェルをポンプダウンする基板バイアス発生
回路20について説明したが、正確に制御される負電圧
を必要とするいかなる場合にも利用できる。従って、発
明の真の精神および範囲内のすべての修正は特許請求の
範囲に含まれるものとする。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による基板バイアス発生回路のブロック
図を示す。
【符号の説明】
20 基板バイアス発生回路 21 バンドギャップ電圧発生回路 22 電圧/電流変換回路 23 差動増幅器 24 電流ミラー 25,26 Pチャンネル・トランジスタ 27,28 バイポーラNPNトランジスタ 29 抵抗 31 Pチャンネル・トランジスタ 32 抵抗 34,35 Pチャンネル・トランジスタ 36 電圧レベル検出回路 38,39 抵抗 41 Nチャンネル・トランジスタ 42 Nチャンネル・トランジスタ 43 レベル変換回路 44 Pチャンネル・トランジスタ 45 Nチャンネル・トランジスタ 47 発振器 49 チャージ・ポンプ 50 半導体基板 101,102,103,104,105 ノード

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板バイアス電圧を与える基板バイアス
    発生回路(20)であって:第1電源電圧端子に結合さ
    れた第1端子と、基準電圧に比例する第1の実質的に一
    定な電流を与える第2端子とを有する第1電流源(3
    4);第1および第2端子を有する第1抵抗(39)を
    備える電源レベル検出回路(36)であって、前記基板
    バイアス電圧の大きさが前記第1抵抗(39)両端の所
    定の電圧降下以下に低下するときを検出し、それに応答
    して第1制御信号を与える電圧レベル検出回路(3
    6);前記電圧レベル検出回路(36)に結合され、前
    記第1制御信号に応答して、所定の周波数で一連のパル
    スを生成する発振器(47);および前記発振器(4
    7)に結合されて前記一連のパルスを受け取る第1ノー
    ドと、前記一連のパルスに応答して前記基板バイアス電
    圧を与える出力ノードとを有するチャージ・ポンプ(4
    9);によって構成されることを特徴とする基板バイア
    ス発生回路(20)。
  2. 【請求項2】 基板バイアス電圧を与える基板バイアス
    発生回路(20)であって:バンドギャップ発生基準電
    圧を受け取り、それに応答して、前記バンドギャップ発
    生基準電圧に比例する基準電流を発生する電圧/電流変
    換回路(22);第1電源電圧端子に結合された第1端
    子と、第2端子とを有する第1電流源(34)であっ
    て、前記基準電流に比例する第1電流を与える第1電流
    源(34);前記第1電源電圧端子に結合された第1端
    子と、第2端子とを有する第2電流源(35)であっ
    て、前記基準電流に比例する第2電流を与える第2電流
    源(35);電圧レベル検出回路(36)であって:前
    記第1電流源(34)の前記第2端子に結合された第1
    端子と、第2端子とを有する第1抵抗(38);前記第
    1抵抗(38)の前記第2端子に結合された第1端子
    と、第2端子とを有する第2抵抗(39);前記第2電
    流源(35)の前記第2端子に結合された第1電流電極
    と、前記第1抵抗(38)の前記第2端子に結合された
    制御電極と、第2電源電圧端子に結合された第2電流電
    極とを有する第1Nチャンネル・トランジスタ(4
    1);および前記第2抵抗(39)の前記第2端子に結
    合された第1電流電極と、前記第2抵抗(39)の前記
    第2端子に結合された制御電極と、前記基板バイアス電
    圧を受け取る第2電流電極とを有する第2Nチャンネル
    ・トランジスタ(42);によって構成される電圧レベ
    ル検出回路(36);前記電圧レベル検出回路(36)
    に結合され、所定の周波数で一連のパルスを生成する発
    振器(47);および前記発振器(47)に結合され、
    前記一連のパルスを受け取り、かつ前記基板バイアス電
    圧を与えるチャージ・ポンプ(49);によって構成さ
    れることを特徴とする基板バイアス発生回路(20)。
  3. 【請求項3】 基板バイアス発生回路(20)であっ
    て:電圧/電流変換器(22)であって:第1および第
    2バイポーラ・トランジスタ(27,28)と、電流ミ
    ラー(24)とを有する差動増幅器(23)であって、
    前記第1バイポーラ・トランジスタ(27)のベースは
    バンドギャップ発生基準電圧を受け取る、差動増幅器
    (23);電源電圧端子に結合された第1電流電極と、
    前記第1バイポーラ・トランジスタ(27)のコレクタ
    に結合された制御電極と、第2電流電極とを有する第1
    Pチャンネル・トランジスタ(31);および前記第1
    Pチャンネル・トランジスタ(31)の前記第2電流電
    極に結合された第1端子と、第2電源電圧端子に結合さ
    れた第2端子とを有する第1抵抗(32);によって構
    成される電圧/電流変換器(22);前記第1電源電圧
    端子に結合された第1電流電極と、前記第1Pチャンネ
    ル・トランジスタ(31)の前記制御電極に結合された
    制御電極と、第2電流電極とを有する第2Pチャンネル
    ・トランジスタ(34);前記第1電源電圧端子に結合
    された第1電流電極と、前記第1Pチャンネル・トラン
    ジスタ(31)の前記制御電極に結合された制御電極
    と、第2電流電極とを有する第3Pチャンネル・トラン
    ジスタ(35);電圧レベル検出回路(36)であっ
    て:前記第2Pチャンネル・トランジスタ(34)の前
    記第2電流電極に結合された第1端子と、第2端子とを
    有する第2抵抗(38);前記第1抵抗(38)の前記
    第2端子に結合された第1端子と、第2端子とを有する
    第3抵抗(39);および前記第3Pチャンネル・トラ
    ンジスタ(35)の前記第2電流電極に結合された第1
    電流電極と、前記第2抵抗(38)の前記第2端子に結
    合された制御電極と、第2電源電圧端子に結合された第
    2電流電極とを有する第1Nチャンネル・トランジスタ
    (41);によって構成される電圧レベル検出回路(3
    6);前記第3抵抗(39)の前記第2端子に結合され
    た第1電流電極と、前記第3抵抗(39)の前記第2端
    子に結合された制御電極と、前記基板バイアス電圧を受
    け取る第2電流電極とを有する第2Nチャンネル・トラ
    ンジスタ(42);前記電圧レベル検出回路(36)に
    結合され、所定の周波数で一連のパルスを生成する発振
    器(47);および前記発振器(47)に結合され、前
    記一連のパルスを受け取り、かつ前記基板バイアス電圧
    を与えるチャージ・ポンプ(49);によって構成され
    ることを特徴とする基板バイアス発生回路(20)。
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