JPH0628144B2 - 顕微鏡等の試料台駆動装置 - Google Patents
顕微鏡等の試料台駆動装置Info
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- JPH0628144B2 JPH0628144B2 JP61237956A JP23795686A JPH0628144B2 JP H0628144 B2 JPH0628144 B2 JP H0628144B2 JP 61237956 A JP61237956 A JP 61237956A JP 23795686 A JP23795686 A JP 23795686A JP H0628144 B2 JPH0628144 B2 JP H0628144B2
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- coordinate
- sample
- microscope
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- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
- G05B19/408—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by data handling or data format, e.g. reading, buffering or conversion of data
- G05B19/4083—Adapting programme, configuration
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/35—Nc in input of data, input till input file format
- G05B2219/35461—Digitizing, menu tablet, pencil
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/36—Nc in input of data, input key till input tape
- G05B2219/36226—Global selection of grid or circle of points by number, distance, angle
-
- G—PHYSICS
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- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/45—Nc applications
- G05B2219/45182—Microscope, micromanipulator for microscope
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は被測定（観察）試料を搭載する試料台駆動装置
に係り、特に電子顕微鏡、光学顕微鏡等で、形あるいは
内部構造配置がわかつている試料を扱う場合に好適な試
料台駆動装置に関する。
に係り、特に電子顕微鏡、光学顕微鏡等で、形あるいは
内部構造配置がわかつている試料を扱う場合に好適な試
料台駆動装置に関する。
形、あるいは内部構造配置があらかじめわかつている試
料を電子顕微鏡等で観察する場合、これを示す図面とか
写真を用い、これと、試料台すなわち試料ステージの移
動とを何らかの方法で関連づけることにより、試料上の
観察したい部分を、視野内に迅速かつ簡単に移動させる
手法が以前より行なわれている。これらの手法の最も有
効であると思われるもののひとつが、文献「超高速ＥＢ
テスタ」，日本学術振興会第１３２委員会第９３回研究
会資料，１９８５年１１月、第４０頁から第４５頁（特
に第４３頁）に示されている。第２図でこれを説明す
る。試料ステージ１は、制御装置５で駆動されるパルス
モータ２および３で、直交２方向に移動する。試料ステ
ージ１の機械的座標は（Ｘｓ，Ｙｓ）で表され、これは
制御装置５で管理される。座標デジタイザ６は、平面上
の任意の場所をスタイラスペン７で指示すると、平面座
標（Ｘｄ，Ｙｄ）上の、スタイラスペンで指示された位
置の座標値を、制御装置５へ出力する。（座標デジタイ
ザは計算機の入力装置として広く使用されているもので
あるので、詳細は説明しない。座標出力可能な平面の大
きさは、Ａ４サイズ程度からＡＯサイズ程度の大形のも
のまで、市販されている。）手動スイツチ９は制御装置
５に接続されており、制御装置は手動スイツチが押され
ている間、パルスモータ２および３を駆動する。
料を電子顕微鏡等で観察する場合、これを示す図面とか
写真を用い、これと、試料台すなわち試料ステージの移
動とを何らかの方法で関連づけることにより、試料上の
観察したい部分を、視野内に迅速かつ簡単に移動させる
手法が以前より行なわれている。これらの手法の最も有
効であると思われるもののひとつが、文献「超高速ＥＢ
テスタ」，日本学術振興会第１３２委員会第９３回研究
会資料，１９８５年１１月、第４０頁から第４５頁（特
に第４３頁）に示されている。第２図でこれを説明す
る。試料ステージ１は、制御装置５で駆動されるパルス
モータ２および３で、直交２方向に移動する。試料ステ
ージ１の機械的座標は（Ｘｓ，Ｙｓ）で表され、これは
制御装置５で管理される。座標デジタイザ６は、平面上
の任意の場所をスタイラスペン７で指示すると、平面座
標（Ｘｄ，Ｙｄ）上の、スタイラスペンで指示された位
置の座標値を、制御装置５へ出力する。（座標デジタイ
ザは計算機の入力装置として広く使用されているもので
あるので、詳細は説明しない。座標出力可能な平面の大
きさは、Ａ４サイズ程度からＡＯサイズ程度の大形のも
のまで、市販されている。）手動スイツチ９は制御装置
５に接続されており、制御装置は手動スイツチが押され
ている間、パルスモータ２および３を駆動する。
試料４は、試料ステージ１上に置き、その内部構造配置
図面８を、座標デジタイザ上に置く。例えば、試料が半
導体集積回路であれば、そのレイアウト設計画面を縮小
コピーした図面を用いることができる。試料を試料ステ
ージ１上の、正確に決められた位置に置くことができ、
図面を座標デジタイザ６上の正確に決められた位置にお
くことができ、かつ、試料４と図面８の大きさの比率を
正確に決めることができれば、試料ステージ１の座標
（Ｘｓ，Ｙｓ）と、座標デジタイザ６の座標（Ｘｄ，Ｙ
ｄ）との対応を決定するが、ほとんどの場合、これは不
可能である。したがつて、２つの座標の対応づけが必要
である。これは以下のように行うことができる。
図面８を、座標デジタイザ上に置く。例えば、試料が半
導体集積回路であれば、そのレイアウト設計画面を縮小
コピーした図面を用いることができる。試料を試料ステ
ージ１上の、正確に決められた位置に置くことができ、
図面を座標デジタイザ６上の正確に決められた位置にお
くことができ、かつ、試料４と図面８の大きさの比率を
正確に決めることができれば、試料ステージ１の座標
（Ｘｓ，Ｙｓ）と、座標デジタイザ６の座標（Ｘｄ，Ｙ
ｄ）との対応を決定するが、ほとんどの場合、これは不
可能である。したがつて、２つの座標の対応づけが必要
である。これは以下のように行うことができる。
(1).試料４上の特定の点，例えば集積回路であれば、ボ
ンデイングパツドの隅（第２図のＡ点）を顕微鏡の視部
の中央に、手動スイツチ９を用いて移動し、座標デイタ
イザ６上の図面８の対応する点（第２図Ａ′点）をスタ
イラスペンで指示する。この操作により、制御装置５は
試料ステージ１の機械的座標（Ｘs1，Ｙs1）と座標デジ
タイザ６の座標（Ｘd1，Ｙd1）を読みとり、記憶する。
ンデイングパツドの隅（第２図のＡ点）を顕微鏡の視部
の中央に、手動スイツチ９を用いて移動し、座標デイタ
イザ６上の図面８の対応する点（第２図Ａ′点）をスタ
イラスペンで指示する。この操作により、制御装置５は
試料ステージ１の機械的座標（Ｘs1，Ｙs1）と座標デジ
タイザ６の座標（Ｘd1，Ｙd1）を読みとり、記憶する。
(2).次に試料４上の別の特定の点、例えば別ボンデング
パツドの隅（第２図Ｂ点）を、手動スイツチを用いて、
顕微鏡の視野の中央に移動し、同様に図面８上の対応す
る点（第２図Ｂ′点）をスタイラスペンで指示し、制御
装置５は、両者の座標（Ｘｓ2，Ｙｄ2）（Ｘｄ2，Ｙ
ｄ2）を読みとる。
パツドの隅（第２図Ｂ点）を、手動スイツチを用いて、
顕微鏡の視野の中央に移動し、同様に図面８上の対応す
る点（第２図Ｂ′点）をスタイラスペンで指示し、制御
装置５は、両者の座標（Ｘｓ2，Ｙｄ2）（Ｘｄ2，Ｙ
ｄ2）を読みとる。
(3).制御装置は、以上で読みとつた４つの座標値を用い
て、試料ステージ１と座標デジタイザ６の座標の対応関
係 Ｘｓ＝Ｋ(Ｘｄcosθ−Ｙｄsinθ)＋Ｘso…(式１) Ｙｓ＝Ｋ(Ｙｄcosθ−Ｘｄsinθ)＋Ｙso…(式２) のパラメータ を計算する。
て、試料ステージ１と座標デジタイザ６の座標の対応関
係 Ｘｓ＝Ｋ(Ｘｄcosθ−Ｙｄsinθ)＋Ｘso…(式１) Ｙｓ＝Ｋ(Ｙｄcosθ−Ｘｄsinθ)＋Ｙso…(式２) のパラメータ を計算する。
以上の手続きを終了した後では、制御装置５はスタイラ
スペンの指示により座標デジタイザから出力される座標
データ（Ｘｄ，Ｙｄ）の値を用いて、上記の式１，式２
から試料ステージの座標値（Ｘｓ，Ｙｓ）を計算し、試
料ステージ１を駆動する。
スペンの指示により座標デジタイザから出力される座標
データ（Ｘｄ，Ｙｄ）の値を用いて、上記の式１，式２
から試料ステージの座標値（Ｘｓ，Ｙｓ）を計算し、試
料ステージ１を駆動する。
このようにして、図面上で所望の場合を、スタイラスペ
ンで指示する操作により、対応する試料上の点を、顕微
鏡の視野内に簡単かつ迅速に移動させることができる。
ンで指示する操作により、対応する試料上の点を、顕微
鏡の視野内に簡単かつ迅速に移動させることができる。
ところで、顕微鏡を用いて試料測定を行う目的のひとつ
に、同じ構造配置をもつ複数の試料の比較測定がある。
例えば前記引用文献に記載されている装置は、集積回路
内部の電圧波形を測定するものであり、正常に動作しな
い集積回路を、正常に動作する同じ集積回路と比較測定
することが、迅速な不良解析に必要となる。電子ビーム
を用いた装置では、試料は真空中に置かれるので、試料
を入れかえるには、真空排気等に多大の時間を要するの
で、比較すべき良品と不良品を同時に試料ステージに搭
載することが望ましい。このような場合には、２つの試
料は全く同じ構造をもつているにもかかわらず、レイア
ウト図面とは、どちらかひとつの試料としか対応をとる
ことができない。
に、同じ構造配置をもつ複数の試料の比較測定がある。
例えば前記引用文献に記載されている装置は、集積回路
内部の電圧波形を測定するものであり、正常に動作しな
い集積回路を、正常に動作する同じ集積回路と比較測定
することが、迅速な不良解析に必要となる。電子ビーム
を用いた装置では、試料は真空中に置かれるので、試料
を入れかえるには、真空排気等に多大の時間を要するの
で、比較すべき良品と不良品を同時に試料ステージに搭
載することが望ましい。このような場合には、２つの試
料は全く同じ構造をもつているにもかかわらず、レイア
ウト図面とは、どちらかひとつの試料としか対応をとる
ことができない。
座標デジタイザ上に２枚同じレイアウト図面を、試料ス
テージ上での２つの試料の位置関係と全く同じ位置関係
で正確に置くことができれば良いが、これは非常に難し
い。
テージ上での２つの試料の位置関係と全く同じ位置関係
で正確に置くことができれば良いが、これは非常に難し
い。
本発明はこのように複数の同じ構造の試料のすべてに対
して、レイアウト図と正確に対応がとれるようにするこ
とを目的とするものである。
して、レイアウト図と正確に対応がとれるようにするこ
とを目的とするものである。
上記目的は、座標デジタイザと試料ステージの座標値を
１対１で対応させるのでなく、座標デジタイザの座標
を、複数の試料ステージの座標に独立かつ選択的に対応
させるようにすることにより、達成される。
１対１で対応させるのでなく、座標デジタイザの座標
を、複数の試料ステージの座標に独立かつ選択的に対応
させるようにすることにより、達成される。
そのために、制御装置に下記の機能を付加する。
(1) 試料ステージ上の複数の試料に対応する座標の番号
を指定する機能。
を指定する機能。
(2) 指定された各番号の座標に対して、対応付けのため
の試料上の２つの点の座標値を入力する機能。
の試料上の２つの点の座標値を入力する機能。
(3) 前述の式３で示した座標交換のためのパラメータを
計算する機能および、各番号の座標に対するこれらパラ
メータを別々に記憶する機能。
計算する機能および、各番号の座標に対するこれらパラ
メータを別々に記憶する機能。
(4) スタイラスペンにより指示により座標デジタイザが
発生する座標値を、前記の各番号の座標に対応するパラ
メータを選択して、前述の式１および式２により、試料
ステージの座標値を計算し、試料ステージを駆動する機
能。
発生する座標値を、前記の各番号の座標に対応するパラ
メータを選択して、前述の式１および式２により、試料
ステージの座標値を計算し、試料ステージを駆動する機
能。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。
試料ステージ１はパルスモータ２および３により直交２
方向に駆動される。試料ステージ１には、その可動範囲
に収まる範囲で、複数の試料４ａおよび４ｂを搭載する
ことができる。制御装置５は、試料ステージ１の機械的
原点位置Ｓ（０，０）を基準として、所要のパルス数だ
けパルスモータ２および３を駆動することにより、任意
の位置に試料ステージ１を移動することができる。本実
施例では、２個の同一品種の集積回路のパツケージの上
面を取り去つて集積回路チツプを観察できるようにした
ものを試料ステージ上に搭載している。座標デジタイザ
６は、計算機の入力装置として汎く使われているもの
で、金属製の先端をもつスタイラスペン７でその上面の
任意の位置を指示すると、その位置の、座標デジタイザ
の原点位置Ｄ（０，０）からの距離を出力するようにな
つている。座標デジタイザ６上には、前記の試料（集積
回路チツプ）の構造配置を示すレイアウト図面８を貼付
ける。これはレイアウト設計図面を座標デジタイザの大
きさに適合するように縮小コピーしたもので良いし、試
料自身の全体の写真を拡大したもので良い。
方向に駆動される。試料ステージ１には、その可動範囲
に収まる範囲で、複数の試料４ａおよび４ｂを搭載する
ことができる。制御装置５は、試料ステージ１の機械的
原点位置Ｓ（０，０）を基準として、所要のパルス数だ
けパルスモータ２および３を駆動することにより、任意
の位置に試料ステージ１を移動することができる。本実
施例では、２個の同一品種の集積回路のパツケージの上
面を取り去つて集積回路チツプを観察できるようにした
ものを試料ステージ上に搭載している。座標デジタイザ
６は、計算機の入力装置として汎く使われているもの
で、金属製の先端をもつスタイラスペン７でその上面の
任意の位置を指示すると、その位置の、座標デジタイザ
の原点位置Ｄ（０，０）からの距離を出力するようにな
つている。座標デジタイザ６上には、前記の試料（集積
回路チツプ）の構造配置を示すレイアウト図面８を貼付
ける。これはレイアウト設計図面を座標デジタイザの大
きさに適合するように縮小コピーしたもので良いし、試
料自身の全体の写真を拡大したもので良い。
制御装置５には他の手動スイツチ９と機能選択スイツチ
１０が接続されており、手動スイツチ９が操作された場
合は、押されたスイツチ従つて、試料ステージ１が移動
するようにパルスモータ２または３を駆動する。
１０が接続されており、手動スイツチ９が操作された場
合は、押されたスイツチ従つて、試料ステージ１が移動
するようにパルスモータ２または３を駆動する。
以下、本実施例での操作手順を説明する。
まず、手動スイツチ９を操作して、第１の試料４ａの特
徴的な場所（例えば集積回路のボンデイングパツドの
隅）を顕微鏡の視野の中央へ移動し、機能選択スイツチ
１０の、第１の試料の座標較正を行うスイツチ１０ａを
操作する。これによつて、制御装置５は、座標デジタイ
ザ６から入力待ちの状態になる。次に、座標デジタイザ
６上のレイアウト図面８上の、対応する場所を、スタイ
ラスペン７で指示する。制御装置５は、このとき座標デ
ジタイザ６から出力された座標値（Ｘｄ1-1，Ｙｄ1-1）
を、このときの試料ステージ１の位置（Ｘｓ1-1，Ｙｓ
1-1）と共に記憶する。次いで、手動スイツ９を操作し
て、第１の試料４ａの別の特徴的な場所（例えば、他の
ボンデイングパツドの隅）を顕微鏡の視野の中央へ移動
し、同様にレイアウト図面８上の対応する場所をスタイ
ラスペン７で指示する。制御装置５は、このとき座標デ
ジタイザ６から出力された座標値(Ｘｄ1-2，Ｙｄ1-2)
と、試料ステージ１の位置（Ｘｓ1-2，Ｙｓ1-2）を記憶
し、以上で入力された４組の座標値から、前述の式３で
示される。第１の試料４ａに対するパラメータＫ1，
θ1，Ｘ01，Ｙ01を計算し、記憶する。次に、機能選択
スイツチ１０の、第２の試料の座標較正を行うスイツチ
１０ｂを操作し、手動スイツチ９を操作して、第１の試
料４ａで座標較正に用いた２つの場所と同じ、第２の試
料４ｂの特徴的な２つの場所をそれぞれ顕微鏡の視野中
央に移動してレイアウト図面上の対応する場所をそれぞ
れ指示する。制御装置５は、座標デジタイザ６から出力
される２つの座標値（Ｘｄ2-1，Ｙｄ2-1），（Ｘ
ｄ2-2，Ｙｄ2-20）と、試料ステージ１の２つの位置(Ｘ
ｓ2-1，Ｙｓ2-1)，（Ｘｓ2-2，Ｙｓ2-2）を用いて、第
１の試料についてと同様に、第２の試料４ｂに対するパ
ラメータＫ2，θ2，Ｘ02，Ｙ02を計算し、記憶する。以
上の手続きで、試料ステージ１上に搭載した２つの同一
の試料と、レイアウト図面との対応づけがなされる。
徴的な場所（例えば集積回路のボンデイングパツドの
隅）を顕微鏡の視野の中央へ移動し、機能選択スイツチ
１０の、第１の試料の座標較正を行うスイツチ１０ａを
操作する。これによつて、制御装置５は、座標デジタイ
ザ６から入力待ちの状態になる。次に、座標デジタイザ
６上のレイアウト図面８上の、対応する場所を、スタイ
ラスペン７で指示する。制御装置５は、このとき座標デ
ジタイザ６から出力された座標値（Ｘｄ1-1，Ｙｄ1-1）
を、このときの試料ステージ１の位置（Ｘｓ1-1，Ｙｓ
1-1）と共に記憶する。次いで、手動スイツ９を操作し
て、第１の試料４ａの別の特徴的な場所（例えば、他の
ボンデイングパツドの隅）を顕微鏡の視野の中央へ移動
し、同様にレイアウト図面８上の対応する場所をスタイ
ラスペン７で指示する。制御装置５は、このとき座標デ
ジタイザ６から出力された座標値(Ｘｄ1-2，Ｙｄ1-2)
と、試料ステージ１の位置（Ｘｓ1-2，Ｙｓ1-2）を記憶
し、以上で入力された４組の座標値から、前述の式３で
示される。第１の試料４ａに対するパラメータＫ1，
θ1，Ｘ01，Ｙ01を計算し、記憶する。次に、機能選択
スイツチ１０の、第２の試料の座標較正を行うスイツチ
１０ｂを操作し、手動スイツチ９を操作して、第１の試
料４ａで座標較正に用いた２つの場所と同じ、第２の試
料４ｂの特徴的な２つの場所をそれぞれ顕微鏡の視野中
央に移動してレイアウト図面上の対応する場所をそれぞ
れ指示する。制御装置５は、座標デジタイザ６から出力
される２つの座標値（Ｘｄ2-1，Ｙｄ2-1），（Ｘ
ｄ2-2，Ｙｄ2-20）と、試料ステージ１の２つの位置(Ｘ
ｓ2-1，Ｙｓ2-1)，（Ｘｓ2-2，Ｙｓ2-2）を用いて、第
１の試料についてと同様に、第２の試料４ｂに対するパ
ラメータＫ2，θ2，Ｘ02，Ｙ02を計算し、記憶する。以
上の手続きで、試料ステージ１上に搭載した２つの同一
の試料と、レイアウト図面との対応づけがなされる。
実際に第１の試料４ａ上の観察したい場所を顕微鏡の視
野中に移動するには、機能選択スイツチ１０の、第１の
試料を選択するスイツチ１０Ｃを操作した後、レイアウ
ト図８上の、観察したい場所をスタイラスペン７で指示
する。制御装置５は座標デジタイザ６から出力される座
標値（Ｘｄ，Ｙｄ）に、先に記憶してある第１の試料に
対するパラメータＫ1，θ1，Ｘ01，Ｙ01を用いて、前述
の式１および２を適用して試料ステージの座標（Ｘｓ，
Ｙｓ）を計算し、試料ステージ１の位置がこの値になる
ようにパルスモータ２および３を駆動する。第２図の試
料についても、機能選択スイツチ１０の第２の試料を選
択するスイツチ１０ｄを操作した後、全く同じ操作を行
う。制御装置はこのときには、第２の試料４ｂに対する
パラメータＫ2，θ2，Ｘ02，Ｙ02を用いて計算を行う。
野中に移動するには、機能選択スイツチ１０の、第１の
試料を選択するスイツチ１０Ｃを操作した後、レイアウ
ト図８上の、観察したい場所をスタイラスペン７で指示
する。制御装置５は座標デジタイザ６から出力される座
標値（Ｘｄ，Ｙｄ）に、先に記憶してある第１の試料に
対するパラメータＫ1，θ1，Ｘ01，Ｙ01を用いて、前述
の式１および２を適用して試料ステージの座標（Ｘｓ，
Ｙｓ）を計算し、試料ステージ１の位置がこの値になる
ようにパルスモータ２および３を駆動する。第２図の試
料についても、機能選択スイツチ１０の第２の試料を選
択するスイツチ１０ｄを操作した後、全く同じ操作を行
う。制御装置はこのときには、第２の試料４ｂに対する
パラメータＫ2，θ2，Ｘ02，Ｙ02を用いて計算を行う。
２つの試料を比較観察、測定する場合には、それぞれの
試料に対して、レイアウト図面上の同一場所をスタイラ
スペンで指示すれば良い。
試料に対して、レイアウト図面上の同一場所をスタイラ
スペンで指示すれば良い。
尚、本実施例では試料の数を２個として説明したが、そ
れ以上の場合でも全く同様の手続きで応用することがで
きる。
れ以上の場合でも全く同様の手続きで応用することがで
きる。
本発明によれば、同一の構造配置を持つ複数の試料を顕
微鏡で観察、測定する場合に、それぞれの試料の相互配
置を特別に正確に行う必要がなく、また１枚のレイアウ
ト図面上の所要の位置を指示するのみで、きわめて簡単
かつ迅速に所要の観察位置を顕微鏡の視野内に移動でき
るので、特に同一場所の比較観察を行う場合にきわめて
有効である。例えば、不良品の集積回路素子の解析を行
う場合など、その不良品と同一品種の良品を同時に試料
ステージに搭載しておき、同じ部分を交互に観察するこ
とにより、不良箇所の特定を容易に行うことができる。
微鏡で観察、測定する場合に、それぞれの試料の相互配
置を特別に正確に行う必要がなく、また１枚のレイアウ
ト図面上の所要の位置を指示するのみで、きわめて簡単
かつ迅速に所要の観察位置を顕微鏡の視野内に移動でき
るので、特に同一場所の比較観察を行う場合にきわめて
有効である。例えば、不良品の集積回路素子の解析を行
う場合など、その不良品と同一品種の良品を同時に試料
ステージに搭載しておき、同じ部分を交互に観察するこ
とにより、不良箇所の特定を容易に行うことができる。
第１図は本発明の一実施例を示す略線図、第２図は従来
例を示す略線図である。 １……試料ステージ、２，３……パルスモータ、４，４
ａ，４ｂ……試料、５……制御装置、６……座標デジタ
イザ、７……スタイラスペン、８……図面、９……手動
スイツチ、１０，１０ａ，１０ｂ……機能選択スイツ
チ。
例を示す略線図である。 １……試料ステージ、２，３……パルスモータ、４，４
ａ，４ｂ……試料、５……制御装置、６……座標デジタ
イザ、７……スタイラスペン、８……図面、９……手動
スイツチ、１０，１０ａ，１０ｂ……機能選択スイツ
チ。
Claims (1)
- 【請求項１】二次元方向に移動可能な試料台と、二次元
座標指示手段とを有し、該座標指示手段上の座標位置と
上記試料台上の座標位置とを較正可能に対応づけ、もつ
て上記座標指示手段上で指示した座標位置と対応する上
記試料台上の位置へ、上記試料台を移動させうるように
構成された、顕微鏡等の試料台駆動装置であつて、上記
座標指示手段上の座標位置と、上記試料台上の複数の異
る座標位置とを独立に較正可能に対応させうるように構
成したことを特徴とする顕微鏡等の試料台駆動装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61237956A JPH0628144B2 (ja) | 1986-10-08 | 1986-10-08 | 顕微鏡等の試料台駆動装置 |
| US07/105,252 US4814682A (en) | 1986-10-08 | 1987-10-07 | Drive apparatus for specimen stage of microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61237956A JPH0628144B2 (ja) | 1986-10-08 | 1986-10-08 | 顕微鏡等の試料台駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| JPS6394548A JPS6394548A (ja) | 1988-04-25 |
| JPH0628144B2 true JPH0628144B2 (ja) | 1994-04-13 |
Family
ID=17022953
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61237956A Expired - Lifetime JPH0628144B2 (ja) | 1986-10-08 | 1986-10-08 | 顕微鏡等の試料台駆動装置 |
Country Status (2)
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| US (1) | US4814682A (ja) |
| JP (1) | JPH0628144B2 (ja) |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4814682A (en) | 1989-03-21 |
| JPS6394548A (ja) | 1988-04-25 |
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