JPH06241275A - Damping device - Google Patents
Damping deviceInfo
- Publication number
- JPH06241275A JPH06241275A JP5025198A JP2519893A JPH06241275A JP H06241275 A JPH06241275 A JP H06241275A JP 5025198 A JP5025198 A JP 5025198A JP 2519893 A JP2519893 A JP 2519893A JP H06241275 A JPH06241275 A JP H06241275A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stator
- vibration
- movable portion
- electromagnetic actuator
- horizontal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Floor Finish (AREA)
- Vibration Prevention Devices (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は除振装置に関し、特に、
磁気浮上式の電磁アクチュエータを用いた除振装置に関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vibration isolator, and more particularly,
The present invention relates to a vibration isolation device using a magnetic levitation type electromagnetic actuator.
【０００２】[0002]
【従来の技術】磁気浮上式の除振装置に関して、本出願
人は特開平２−２０３０４０号公報において、磁気軸受
を電磁アクチュエータとして用いた磁気式防振装置を提
案している。2. Description of the Related Art With respect to a magnetic levitation type vibration isolator, the present applicant has proposed a magnetic vibration proof device using a magnetic bearing as an electromagnetic actuator in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-203040.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】この種の電磁アクチュ
エータにおいては、基台に固定されたステータと、この
ステータに非接触で支持され頂部が除振台に固定された
可動部との水平方向の間隙が大きいほど、ステータ側か
らの水平振動について、大きなレベルの振動に対しても
除振効果を得ることができる。In this type of electromagnetic actuator, a stator fixed to a base and a movable portion supported in a non-contact manner by the stator and having a top fixed to a vibration isolation table are arranged in a horizontal direction. The larger the gap, the greater the level of vibration that can be obtained from horizontal vibration from the stator side.
【０００４】しかし間隙を大きくすると、水平方向の制
御を水平方向制御用電磁石の吸引力で行おうとした場合
に、水平方向制御用電磁石の容量が大きくなり、制御電
流が増大すると共に、アクチュエータが大型化するとい
う問題が存在する。However, if the gap is increased, when the horizontal control electromagnet is attempted to be attracted by the horizontal control electromagnet, the capacity of the horizontal control electromagnet increases, the control current increases, and the actuator becomes large. There is the problem of becoming
【０００５】本発明は、水平方向制御用電磁石の代りに
永久磁石を用いた磁気ダンパと弾性手段を設けることに
よりステータと可動部との間隙を大きくして除振効果を
向上すると共に、制御電磁石は鉛直方向の浮上用のみと
して全体の電磁石の容量を小さくし、以て微振動から地
震動まで広い振動領域に対応することが出来る除振装置
の提供を目的としている。According to the present invention, a magnetic damper using a permanent magnet instead of the horizontal direction control electromagnet and an elastic means are provided to increase the gap between the stator and the movable portion to improve the vibration isolation effect, and at the same time, the control electromagnet. Aims to provide an anti-vibration device which can reduce the capacity of the entire electromagnet only for vertical levitation, and can cope with a wide range of vibrations from micro-vibration to seismic motion.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明の除振装置は、電
磁アクチュエータと、電磁アクチュエータを制御するた
めの制御手段と、電磁アクチュエータの頂部に固定され
た除振台とを含み、前記電磁アクチュエータは、基台に
固定されたステータと、該ステータに比較的大きい間隙
を設けて非接触に支持されて且つ頂部が除振台に固定さ
れた可動部とを含んでおり、前記ステータには浮上用電
磁石と水平方向減衰用永久磁石とが設けられ、前記可動
部には前記水平方向減衰用永久磁石と共に磁気ダンパを
構成する導体板が絶縁して設けられており、前記ステー
タと可動部間に弱い剛性を与えることにより該可動部を
センタリングする弾性手段が設けられている。A vibration isolator of the present invention includes an electromagnetic actuator, control means for controlling the electromagnetic actuator, and an anti-vibration table fixed to the top of the electromagnetic actuator. Includes a stator fixed to the base, and a movable part which is supported in a non-contact manner with a relatively large gap in the stator and has a top fixed to the vibration isolation table. An electromagnet and a horizontal damping permanent magnet are provided, and a conductor plate that constitutes a magnetic damper together with the horizontal damping permanent magnet is insulated from the movable portion, and is provided between the stator and the movable portion. Elastic means are provided for centering the movable part by providing weak rigidity.
【０００７】本発明の実施に際して、上記弾性手段は、
ステータと可動部との間に円周等配に介装され、両端が
回転自在でばね定数が極めて小さい複数のコイルばね、
又は、渦巻ばね、若しくは、ステータと可動部にそれぞ
れ対向して固設された相互に異なる極の永久磁石で構成
するのが好ましい。In carrying out the present invention, the elastic means is
A plurality of coil springs, which are installed at equal intervals around the circumference between the stator and the movable part, and whose both ends are rotatable and whose spring constant is extremely small,
Alternatively, it is preferable that the spiral springs or the permanent magnets of different poles fixed to the stator and the movable portion are fixed to each other.
【０００８】[0008]
【作用】上記のように構成された本発明の除振装置によ
れば、可動部は浮上用電磁石でステータと非接触に磁気
浮上され、水平方向については弾性手段による非常に弱
い剛性でセンタリングされ、磁気ダンパにより振動時に
減衰が与えられる。According to the vibration isolator of the present invention constructed as described above, the movable portion is magnetically levitated by the levitation electromagnet without contacting the stator, and is horizontally centered with a very weak rigidity by the elastic means. The magnetic damper provides damping during vibration.
【０００９】ステータ側からの鉛直方向の振動に対して
は、浮上用電磁石の制御電流を制御することで除振する
ことが可能である。また、可動部とステータとの間隙が
大きく、弾性手段による剛性は除振特性に影響を与えな
い程度に小さく（弱く）、且つ、可動部が非接触に浮上
しているので摩擦力が作用しない、という理由に基づ
き、ステータ側からの水平方向の振動に対しては、微小
レベルから大きなレベルの振動に至るまで広範囲に亘っ
て除振を行うことが出来る。Vibrations in the vertical direction from the stator side can be eliminated by controlling the control current of the levitation electromagnet. Further, since the gap between the movable part and the stator is large, the rigidity of the elastic means is small (weak) to the extent that it does not affect the vibration isolation characteristics, and since the movable part floats in a non-contact manner, no friction force acts On the basis of the above reason, the vibration in the horizontal direction from the stator side can be isolated over a wide range from a small level to a large level.
【００１０】さらに、除振台からの水平方向の振動は、
磁気ダンパにより減衰を与えられ、速やかに制振され
る。この際、可動部は弾性手段によりセンタリングされ
る。この様に、上述のアクチュエータによれば鉛直方向
の浮上用電磁石のみが電力を消費し、浮上の間隙は非常
に小さいため、電磁石の容量及び制御電流が小さくな
る。そして、水平方向の制御については永久磁石を用い
た磁気ダンパ及び弾性手段にのみよって行われるので、
アクチュエータ自体が小形化されるのである。Further, the horizontal vibration from the vibration isolation table is
Damping is given by the magnetic damper and the vibration is quickly suppressed. At this time, the movable part is centered by the elastic means. As described above, according to the above-mentioned actuator, only the levitation electromagnet in the vertical direction consumes electric power, and the levitation gap is very small, so that the capacity and control current of the electromagnet are reduced. And since horizontal control is performed only by the magnetic damper and elastic means using permanent magnets,
The actuator itself is miniaturized.
【００１１】[0011]
【実施例】以下図面を参照して本発明の実施例を説明す
る。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１２】先ず、本発明の必須の構成要素である電磁
アクチュエータについて説明すると、図１及び図２にお
いて、全体を符号Ａで示す電磁アクチュエータは、床Ｂ
に固設されたステータ１と、そのステータ１の内部に、
水平方向に比較的大きい間隙Ｃを設けて非接触に支持さ
れた可動部１０とから概略構成され、この可動部１０の
頂部には、除振台Ｄが固設されている。First, an electromagnetic actuator, which is an essential component of the present invention, will be described. In FIGS. 1 and 2, the electromagnetic actuator generally designated by A is a floor B.
The stator 1 fixed to the inside of the stator 1.
It is roughly configured by a movable portion 10 supported in a non-contact manner with a relatively large gap C in the horizontal direction, and a vibration isolation table D is fixedly mounted on the top of the movable portion 10.
【００１３】前記ステータ１には、可動部１０の下部フ
ランジ部１１の上面に対向して浮上用電磁石２が設けら
れている。また、ステータ１の上部には、複数（図示の
例では４個）のそれぞれ１対の水平方向減衰用永久磁石
３が円周等配に設けられている。The stator 1 is provided with a levitation electromagnet 2 facing the upper surface of the lower flange portion 11 of the movable portion 10. In addition, a plurality of (four in the illustrated example) a pair of horizontal damping permanent magnets 3 are provided on the upper portion of the stator 1 at equal intervals around the circumference.
【００１４】前記可動部１０には、１対の永久磁石３の
間に延びる導体板１２が絶縁部材１３を介して突設さ
れ、これら導体板１２と永久磁石３とにより磁気ダンパ
Ｅが構成されている。そして、ステータ１と可動部１０
との間には、弱い剛性を与え可動部１０をセンタリング
する弾性手段である複数（図示の例では４個）のコイル
ばね１４が介装されている。このコイルばね１４のばね
定数は、非常に小さく、また、コイルばね１４の両端部
は、ステータ１及び可動部１０に対し図示しない手段で
回転自在に支持されている。A conductor plate 12 extending between a pair of permanent magnets 3 is projectingly provided on the movable portion 10 via an insulating member 13. The conductor plate 12 and the permanent magnet 3 constitute a magnetic damper E. ing. Then, the stator 1 and the movable portion 10
A plurality of (four in the illustrated example) coil springs 14 which are elastic means for imparting weak rigidity and centering the movable portion 10 are interposed between and. The spring constant of the coil spring 14 is very small, and both ends of the coil spring 14 are rotatably supported by means not shown in the drawing with respect to the stator 1 and the movable part 10.
【００１５】他方、垂直方向制御用コントローラ２０が
設けられている。その垂直方向制御コントローラ２０に
は、ステータ１の可動部１０の底部中央に対向する位置
に設けられたギャップセンサ２１と、ステータ１の底部
外側に設けられた床垂直方向振動センサ２２と、除振台
Ｄの下面に設けられた台垂直方向振動センサ２３と、浮
上用電磁石２とがそれぞれ接続されている。On the other hand, a vertical control controller 20 is provided. The vertical controller 20 includes a gap sensor 21 provided at a position facing the center of the bottom of the movable portion 10 of the stator 1, a floor vertical vibration sensor 22 provided outside the bottom of the stator 1, and a vibration isolation device. The table vertical vibration sensor 23 provided on the lower surface of the table D and the levitation electromagnet 2 are connected to each other.
【００１６】次に、制御の態様を説明する。Next, the control mode will be described.
【００１７】垂直方向の制御に関し垂直方向制御用コン
トローラ２０は、浮上用電磁石３を駆動して可動部１０
を吸引浮上し、ギャップセンサ２１からのギャップ量の
フィードバックにより浮上位置を保持する。また、台垂
直方向振動センサ２３からの信号をフィードバックして
コントロールすることで、除振特性を付加する。これに
加えて、垂直方向振動センサ２２からの床振動に対応す
る信号をフィードフォワードし、床振動をキャンセルす
る制御を加えることで、除振特性をさらに付加する。Regarding vertical control, the vertical control controller 20 drives the levitation electromagnet 3 to move the movable portion 10.
Is sucked and floated, and the floating position is held by the feedback of the gap amount from the gap sensor 21. Further, a vibration isolation characteristic is added by feeding back and controlling the signal from the table vertical direction vibration sensor 23. In addition to this, a signal corresponding to the floor vibration from the vertical vibration sensor 22 is fed forward, and control for canceling the floor vibration is added to further add the vibration isolation characteristic.
【００１８】水平方向の除振は、コイルばね１４による
センタリング効果により超低固有振動数が得られる。そ
れと共に、磁気ダンパＥの水平方向減衰用永久磁石４の
間に挿入した導体板１２の水平方向移動により発生する
渦電流が可動部１０に作用することに起因して減衰効果
が得られる。これ等の理由に基づいて、図８−１０で示
す様な除振効果が得られる。すなわち、図８で示す様な
振動を付加した場合には、上述した様な理由に基づいて
図９に示す様な水平方向振動伝達特性が得られ、その結
果、除振台Ｄにおける振動スペクトルは図１０で示す通
りとなる。そして図９から明らかな様に、床Ｂから伝達
される微振動や地震動の卓越振動に対して大きな除振領
域を確保することが出来るのである。また、ステータ１
と可動部１０の間隙Ｃを大きくすることで、大きなレベ
ルの入力或いは振動についてまで、除振効果を発揮する
ことが出来るのである。For horizontal vibration isolation, an extremely low natural frequency can be obtained by the centering effect of the coil spring 14. At the same time, a damping effect is obtained due to the eddy current generated by the horizontal movement of the conductor plate 12 inserted between the horizontal damping permanent magnets 4 of the magnetic damper E acting on the movable portion 10. Based on these reasons, the vibration isolation effect as shown in FIG. 8-10 can be obtained. That is, when the vibration as shown in FIG. 8 is added, the horizontal vibration transfer characteristic as shown in FIG. 9 is obtained based on the reason described above, and as a result, the vibration spectrum in the vibration isolation table D becomes As shown in FIG. As is clear from FIG. 9, it is possible to secure a large vibration isolation region for the slight vibration transmitted from the floor B and the predominant vibration of the earthquake motion. In addition, the stator 1
By increasing the gap C between the movable portion 10 and the movable portion 10, it is possible to exert a vibration isolation effect even for a large level of input or vibration.
【００１９】図３は、弾性手段の別の実施例を示し、ス
テータ１と可動部１０との間に、複数（図示の例では４
個）の渦巻ばね１５を円周等配に介装した例である。FIG. 3 shows another embodiment of the elastic means. A plurality of elastic means (4 in the illustrated example) are provided between the stator 1 and the movable portion 10.
This is an example in which the (individual) spiral springs 15 are provided in a circumferentially even distribution.
【００２０】図４は、弾性手段の別の実施例を示し、ス
テータ１側にＮ極の永久磁石１６、可動部１０側にもＮ
極の永久磁石１７を隙間を設けて複数組（図示の例では
４組）円周等配に配置した例である。FIG. 4 shows another embodiment of the elastic means. The permanent magnet 16 of the N pole is on the stator 1 side, and the N is also on the movable portion 10 side.
This is an example in which a plurality of sets (4 sets in the illustrated example) of the permanent magnets 17 of the poles are arranged at equal intervals with a gap provided.
【００２１】図５は、中心線上に各２個合計４個のアク
チュエータＡにより除振台Ｄを支持し、その除振台Ｄに
例えば精密機械装置Ｆを載置した例である。FIG. 5 shows an example in which the vibration isolation table D is supported on the center line by two actuators A, 4 in total, and the precision machine F is mounted on the vibration isolation table D, for example.
【００２２】図６及び図７は、精密機械装置Ｆに２個及
び１個のアクチュエータＡを取付けて支持した例であ
る。6 and 7 show an example in which two and one actuators A are attached to and supported by the precision machine F.
【００２３】次に、図１−７で示すアクチュエータＡは
浮上のみに働き、アクチュエータの外に配置した弾性手
段及び磁気ダンパと、除振台を付加して構成された除振
装置について説明する。Next, an actuator A shown in FIGS. 1 to 7 will work only for levitation, and a vibration isolator constructed by adding an elastic means and a magnetic damper arranged outside the actuator and a vibration isolation table will be described.
【００２４】図１１及び図１２はその様な除振装置の第
１実施例を示している。図１１、図１２において、弾性
手段としてはコイルバネ３４が設けられており、磁気ダ
ンパとしては筒型磁気ダンパＥが用いられている。な
お、図１２において、符号Ｒは回転支持部を示してい
る。この第１実施例によれば、図１−７に関連して説明
したアクチュエータＡは浮上制御のみに作用し、コイル
バネ３４及び筒型磁気ダンパＥの存在により、水平方向
の振動が図８−１０で示す様に減衰される。11 and 12 show a first embodiment of such a vibration isolation device. In FIGS. 11 and 12, a coil spring 34 is provided as the elastic means, and a cylindrical magnetic damper E is used as the magnetic damper. In addition, in FIG. 12, reference symbol R indicates a rotation support portion. According to the first embodiment, the actuator A described with reference to FIGS. 1-7 acts only on the levitation control, and the presence of the coil spring 34 and the cylindrical magnetic damper E causes horizontal vibration. It is attenuated as shown by.
【００２５】図１３は除振装置の第２実施例を示してい
る。この実施例は図１１、図１２の第１実施例とはアク
チュエータＡ及びコイルバネ３４の配置が若干異なって
いる。しかし、構成及び作用効果は同様であるため、重
複説明は省略する。FIG. 13 shows a second embodiment of the vibration isolation device. This embodiment is slightly different from the first embodiment shown in FIGS. 11 and 12 in the arrangement of the actuator A and the coil spring 34. However, since the configuration and the function and effect are the same, duplicate description will be omitted.
【００２６】図１４及び図１５で示す第３実施例も第１
及び第２実施例と同様な構成を有しており、作用効果も
同等である。但し、コイルバネ３４及び筒型磁気ダンパ
Ｅの配置が異なっている。すなわち、コイルバネ３４及
び筒型磁気ダンパＥは鉛直方向に１列となって配置され
ており、床Ｂに固定された支持部材４０に連結されてい
るのである。The third embodiment shown in FIGS. 14 and 15 is also the first.
The second embodiment has the same structure as that of the second embodiment and has the same operational effect. However, the arrangements of the coil spring 34 and the cylindrical magnetic damper E are different. That is, the coil spring 34 and the cylindrical magnetic damper E are arranged in a line in the vertical direction, and are connected to the support member 40 fixed to the floor B.
【００２７】図１６で示す第４実施例も第３実施例と同
様に、除振台Ｄの外部に設けられた支持部材４０にコイ
ルバネ３４及び筒型磁気ダンパＥが連結されている。但
し、コイルバネ３４及び筒型磁気ダンパＥの配置が図１
４、図１５の場合とは異なって入る。In the fourth embodiment shown in FIG. 16, as in the third embodiment, the coil spring 34 and the cylindrical magnetic damper E are connected to the support member 40 provided outside the vibration isolation table D. However, the arrangement of the coil spring 34 and the cylindrical magnetic damper E is shown in FIG.
4, different from the case of FIG.
【００２８】図１７で示す第５実施例では、第４実施例
とコイルバネ３４及び磁気ダンパの配置は同様である
が、磁気ダンパとしては図１１−１６で示されているの
とは別のタイプのもの（符号ＭＥで示す）が用いられて
いる。その他の点については、第１〜４実施例の場合と
同様である。In the fifth embodiment shown in FIG. 17, the arrangement of the coil spring 34 and the magnetic damper is similar to that of the fourth embodiment, but the magnetic damper is of a type different from that shown in FIGS. 11-16. The one (indicated by the symbol ME) is used. Other points are the same as those in the first to fourth embodiments.
【００２９】[0029]
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、ステータと可動部との間隙を大きくして、
大きな水平振動の入力レベルまで除振効果を向上すると
共に、水平方向の電磁石を無くすことにより制御電流を
減らし、アクチュエータをコンパクト化することができ
る。Since the present invention is constructed as described above, the gap between the stator and the movable portion can be increased,
It is possible to improve the vibration isolation effect up to a large horizontal vibration input level, reduce the control current by eliminating the horizontal electromagnet, and make the actuator compact.
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図１】本発明の一実施例を示す図２のＡ−Ａ線矢視断
面図。FIG. 1 is a sectional view taken along the line AA of FIG. 2 showing an embodiment of the present invention.
【図２】図１のＢ−Ｂ線矢視断面図。FIG. 2 is a sectional view taken along the line BB of FIG.
【図３】弾性手段の別の実施例を示す図面。FIG. 3 is a view showing another embodiment of the elastic means.
【図４】弾性手段の別の実施例を示す図面。FIG. 4 is a view showing another embodiment of the elastic means.
【図５】電磁アクチュエータ配置の一例を示す正面図。FIG. 5 is a front view showing an example of an electromagnetic actuator arrangement.
【図６】電磁アクチュエータ配置の他の例を示す正面
図。FIG. 6 is a front view showing another example of the electromagnetic actuator arrangement.
【図７】図６の側面図。FIG. 7 is a side view of FIG.
【図８】付加される振動のスペクトルを示す図。FIG. 8 is a diagram showing a spectrum of added vibration.
【図９】除振装置の水平方向振動伝達特性を示す図。FIG. 9 is a diagram showing horizontal vibration transmission characteristics of the vibration isolation device.
【図１０】振動台における振動スペクトルを示す図。FIG. 10 is a diagram showing a vibration spectrum on a vibration table.
【図１１】本発明の除振装置の第１実施例を示す断面
（図１２のＩ−Ｉ矢視断面）図。FIG. 11 is a cross-sectional view (cross-sectional view taken along line I-I of FIG. 12) showing the first embodiment of the vibration isolator of the present invention.
【図１２】図１１のＨ−Ｈ矢視図。FIG. 12 is a view on arrow HH in FIG. 11.
【図１３】本発明の除振装置の第２実施例を示す平面
図。FIG. 13 is a plan view showing a second embodiment of the vibration isolator of the present invention.
【図１４】本発明の除振装置の第３実施例を示す平面
図。FIG. 14 is a plan view showing a third embodiment of the vibration isolator of the present invention.
【図１５】図１４のＪ−Ｊ矢視図。FIG. 15 is a view on arrow JJ in FIG.
【図１６】本発明の除振装置の第４実施例を示す平面
図。FIG. 16 is a plan view showing a fourth embodiment of the vibration isolator of the present invention.
【図１７】本発明の除振装置の第５実施例を示す平面
図。FIG. 17 is a plan view showing a fifth embodiment of the vibration isolator of the present invention.
【図１８】図１４のＫ−Ｋ矢視図。FIG. 18 is a view on arrow KK in FIG. 14;
Ａ・・・電磁アクチュエータ Ｂ・・・床 Ｃ・・・間隙 Ｄ・・・除振台 Ｅ、ＭＥ・・・磁気ダンパ Ｆ・・・精密機械装置 １・・・ステータ ２・・・浮上用電磁石 ３・・・水平方向減衰用永久磁石 １０・・・可動部 １１・・・下部フランジ １２・・・導体板 １３・・・絶縁部材 １４、３４・・・コイルばね １５・・・渦巻ばね １６，１７・・・永久磁石 ２０・・・垂直方向制御用コントローラ ２１・・・ギャップセンサ ２２・・・床垂直方向加速度センサ ２３・・・台垂直方向加速度センサ ３１・・・台水平方向加速度センサ ４０・・・支持部材 A ... Electromagnetic actuator B ... Floor C ... Gap D ... Vibration isolation table E, ME ... Magnetic damper F ... Precision machinery 1 ... Stator 2 ... Levitation electromagnet 3 ... Permanent magnet for horizontal damping 10 ... Movable part 11 ... Lower flange 12 ... Conductor plate 13 ... Insulation member 14, 34 ... Coil spring 15 ... Spiral spring 16, 17 ... Permanent magnet 20 ... Vertical control controller 21 ... Gap sensor 22 ... Floor vertical acceleration sensor 23 ... Stand vertical acceleration sensor 31 ... Stand horizontal acceleration sensor 40 ... ..Support members
フロントページの続き (72)発明者 中野 龍児 東京都調布市飛田給二丁目19番１号 鹿島 建設株式会社技術研究所内 (72)発明者 金光 陽一 神奈川県藤沢市本藤沢４丁目２番１号 株 式会社荏原総合研究所内 (72)発明者 渡辺 和英 神奈川県藤沢市本藤沢４丁目２番１号 株 式会社荏原総合研究所内Front page continuation (72) Inventor Ryuji Nakano 2-19-1 Tobita, Tokyo Chofu-shi Kashima Construction Co., Ltd. Technical Research Institute (72) Yoichi Kanemitsu 4-2-1 Motofujisawa, Fujisawa, Kanagawa (72) Inventor, Kazuhide Watanabe 4-2-1 Honfujisawa, Fujisawa-shi, Kanagawa, Ltd. Inside the EBARA Research Institute
Claims (1)
ータを制御するための制御手段と、電磁アクチュエータ
の頂部に固定された除振台とを含み、前記電磁アクチュ
エータは、基台に固定されたステータと、該ステータに
比較的大きい水平方向の間隙を設けて非接触に支持され
て且つ頂部が除振台に固定された可動部とを含んでお
り、前記ステータには浮上用電磁石と水平方向減衰用永
久磁石とが設けられ、前記可動部には前記水平方向減衰
用永久磁石と共に磁気ダンパを構成する導体板が絶縁し
て設けられており、前記ステータと可動部間に弱い剛性
を与えることにより該可動部をセンタリングする弾性手
段が設けられていることを特徴とする除振装置。1. An electromagnetic actuator, a control means for controlling the electromagnetic actuator, and an anti-vibration table fixed to the top of the electromagnetic actuator, the electromagnetic actuator including a stator fixed to a base, The stator includes a movable portion which is supported in a non-contact manner with a relatively large horizontal gap and whose top is fixed to the vibration isolation table. The stator has a levitation electromagnet and a horizontal damping permanent magnet. And a conductor plate forming a magnetic damper together with the horizontal damping permanent magnet are insulated from each other, and the movable portion is provided with a weak rigidity between the stator and the movable portion. A vibration isolator that is provided with elastic means for centering.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5025198A JPH06241275A (en) | 1993-02-15 | 1993-02-15 | Damping device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5025198A JPH06241275A (en) | 1993-02-15 | 1993-02-15 | Damping device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06241275A true JPH06241275A (en) | 1994-08-30 |
Family
ID=12159261
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5025198A Pending JPH06241275A (en) | 1993-02-15 | 1993-02-15 | Damping device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06241275A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10351572B4 (en) * | 2002-11-07 | 2013-08-01 | Smc Corp. | Magnetic damper and actuator with magnetic damper |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5761240U (en) * | 1980-09-29 | 1982-04-12 | ||
| JPS61131841A (en) * | 1984-11-27 | 1986-06-19 | Toshiba Corp | Table system |
| JPH02203040A (en) * | 1989-01-31 | 1990-08-13 | Kajima Corp | Magnetic vibration isolating device |
-
1993
- 1993-02-15 JP JP5025198A patent/JPH06241275A/en active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5761240U (en) * | 1980-09-29 | 1982-04-12 | ||
| JPS61131841A (en) * | 1984-11-27 | 1986-06-19 | Toshiba Corp | Table system |
| JPH02203040A (en) * | 1989-01-31 | 1990-08-13 | Kajima Corp | Magnetic vibration isolating device |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10351572B4 (en) * | 2002-11-07 | 2013-08-01 | Smc Corp. | Magnetic damper and actuator with magnetic damper |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0611900B1 (en) | Dynamic vibration absorber | |
| JP4619594B2 (en) | Friction-free transport device and method | |
| KR20020006443A (en) | Vibration damping apparatus using magnetic circuit | |
| US20060208600A1 (en) | Electromagnetic motor to create a desired low frequency vibration or to cancel an undesired low frequency vibration | |
| WO2005026573A1 (en) | Method and device for vibration resistance | |
| JPS63306183A (en) | Vibration control equipment | |
| KR20170102926A (en) | Further improvements in electromechanical actuators | |
| US20230199403A1 (en) | Electroacoustic drivers and loudspeakers containing same | |
| JP2000051790A (en) | Electromagnetic motor and active vibration control device provided with at least one of the same | |
| US6914361B2 (en) | Magnetic bearing | |
| US5601027A (en) | Positioning system with damped magnetic attraction stopping assembly | |
| JPH0674294A (en) | Active dynamic vibration absorber | |
| JPS6146683B2 (en) | ||
| JPH06241275A (en) | Damping device | |
| JP2000234646A (en) | Vibration control device | |
| JPH0340566B2 (en) | ||
| JPS6280318A (en) | Magnetic vibration damping device | |
| GB2367110A (en) | A vibration isolation mount | |
| JP3099706B2 (en) | Seismic isolation structure of pile | |
| JPH06147260A (en) | Electromagnetic actuator for magnetic levitation type vibration eliminating device | |
| CN215990534U (en) | Electromagnetic actuator and electromagnetic vibration control device | |
| JPH06294444A (en) | Vibration resisting device | |
| JPH0686576A (en) | Electromagnetic actuator | |
| JPH07145838A (en) | Vibration-proof supporting device | |
| JPH07305723A (en) | Passive magnetic bearing device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041008 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070423 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20070626 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20070820 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Effective date: 20070918 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Effective date: 20071001 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 |
|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101026 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 3 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101026 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131026 |