JPH06230579A - 感光性樹脂組成物積層体 - Google Patents
感光性樹脂組成物積層体Info
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Abstract
組成物積層体を提供する。 【構成】 支持フィルム(a)、感光性樹脂層(b)及
び保護フィルム(c)から成る感光性樹脂組成物におい
て、支持フィルム(a)のヘーズが0.1〜1.5%で
あり、厚みが10〜30μmである感光性樹脂組成物積
層体。
Description
体、詳しくは、高解像度を得ることのできる感光性樹脂
組成物積層体に関する。
加工の分野で、微細な回路を形成するには感光性樹脂組
成物積層体(感光性フィルム)が用いられてきた。即
ち、基材に感光性フィルムをラミネートし、ネガフィル
ム(パターンマスク)を通じて露光後現像し、場合によ
ってめっきを行い、その後エッチング、レジストはく離
等を行う方法である。
ィルム、感光性樹脂層、保護フィルムの3層から成り、
使用方法としては、まず保護フィルムをはく離した後、
感光性樹脂層が基材に直接触れるよう圧着(ラミネー
ト)し、光透過性フィルム上にパターニングされたネガ
フィルムを密着し、活性光線(紫外線を用いることが多
い)を照射(露光)し、次いで有機溶剤又はアルカリ水
溶液を噴霧し不要部分を除去することでレジストパター
ンを形成(現像)し、その後塩化第二鉛水溶液などを用
いてエッチングする方法が一般的である。特に、環境問
題などの面から、現像液としてはアルカリ水溶液を用い
るものが求められている。
ており、プリント配線板も回路の微細化が求められてお
り、レジストパターンも細線化され、感光性フィルムの
高解像度化が求められている。しかし、従来の3層構造
から成る感光性フィルムでは要求を満足できなくなって
いる。即ち、光透過性支持体フィルムを介して露光する
ため高解像度化にはそのフィルム厚みをなるべく薄くす
る必要があるが、一方感光性樹脂を塗布する際の支持体
としての役目をはたすにはある程度の自己保持性が要求
され、一般に15〜25μm程度の厚みが必要となり、
従来グレードの支持フィルムを用いていたのでは高解像
度化の要求にこたえることができないのが現状である。
するため様々な試みがなされている。例えば、露光前に
支持フィルムをはがし、感光性樹脂層の上に直接ネガフ
ィルムを密着させる方法である。通常、感光性樹脂層
は、基材に密着するようある程度粘着性を保持してお
り、この方法を直接適用すると、ネガフィルムと感光性
樹脂層が密着してしまい、ネガフィルムをはがしにくく
作業性が低下したり、ネガフィルムを感光性樹脂が汚染
したり、空気阻害のため感度が低下したりする問題があ
った。
開昭61−31855号公報、特開平1−221735
号公報、特開平2−230149号公報等に示される、
感光性樹脂層を2層以上とし、ネガフィルムと直接接触
する層を非粘着性層とすることが行なわれている。しか
し、この方法は感光性樹脂層を多層化するため塗工に手
間がかかるうえ、感度低下に対しては効果のないもので
あった。
中間層を設けこれらの欠点を解決しようとする試みが、
特公昭56−40824号公報、特開昭55−5010
72号公報、特公昭54−12215号公報、特開昭4
7−469号公報、特開昭59−97138号公報、特
開昭59−216141号公報、特開昭63−1979
42号公報等に示されている。しかし、これらはいずれ
も支持フィルムと感光性樹脂層との間に中間層を設けな
ければならず、塗工が2度手間になり、また薄い中間層
については取扱いが困難であった。
点を解決し、感度、解像度、密着性等の向上した感光性
樹脂組成物積層体を提供するものである。
(a)、感光性樹脂層(b)及び保護フィルム(c)か
ら成る感光性樹脂組成物において、支持フィルム(a)
のヘーズが0.1〜1.5%であり、厚み10〜30μ
mである感光性樹脂組成物積層体に関する。
ることは尚論のこと、その濁度を表わすヘーズが0.1
〜1.5%の範囲とされる必要がある。ヘーズ(haze)
とは、濁度を表わす値であり、ランプにより照射され、
試料中を透過した光の全透過率Tと、試料中で拡散され
散乱した光の透過率Dより、ヘーズ値HはH=D/T×
100として求められる。これらはJIS K 710
5により規定されており、市販の濁度計、例えば、日本
電色工業社製NDH−1001DPにより容易に測定可
能である。ヘーズが0.1%未満の支持フィルムは入手
が困難であり、ヘーズが1.5%を超える支持フィルム
は、感度、解像度、密着性等の向上効果がない。ヘーズ
0.1〜1.5%の支持フィルムとしては、例えば、帝
人社製高透明フィルムGSシリーズ、ダイアホイルヘキ
スト社製M−310シリーズ、デュポン社製マイラーD
シリーズ等のポリエチレンテレフタレートフィルムなど
が挙げられる。
μmの範囲とされ、30μmを超えると解像度が低下し
たり、コストアップとなり、また、通常、支持フィルム
(a)は現像前にはがされて廃棄されるものであるか
ら、産業廃棄物低減の観点から好ましくない。また10
μm未満では、フィルムが柔軟すぎて取扱いに不便であ
る。
のを用いることができ、通常、バインダーポリマー、光
重合開始剤及び重合可能なビニル化合物を必須成分とし
て含む。バインダーポリマーとしては、(メタ)アクリ
ル酸のアルキルエステル〔(メタ)アクリル酸とはメタ
クリル酸及びアクリル酸を意味する。以下同じ〕の共重
合体や、これらと共重合し得るビニルモノマとの共重合
体があげられる。
しては、例えば、(メタ)アクリル酸メチルエステル、
(メタ)アクリル酸エチルエステル、(メタ)アクリル
酸ブチルエステル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキ
シルエステル等が挙げられる。また、(メタ)アクリル
酸アルキルエステルと共重合しうるビニルモノマーとし
ては、例えば、(メタ)アクリル酸テトラヒドロフルフ
リルエステル、(メタ)アクリル酸ジメチルアミノエチ
ルエステル、(メタ)アクリル酸ジエチルアミノエチル
エステル、メタクリル酸グリシジルエステル、2,2,
2−トリフルオロエチル(メタ)アクリレート、2,
2,3,3−テトラフルオロプロピル(メタ)アクリレ
ートアクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド、スチ
レン、ビニルトルエン(メタ)アクリル酸等が挙げられ
る。これらの共重合体は単独で又は2種以上を組み合わ
せて用いることができる。
型とする場合は、通常、(メタ)アクリル酸と上記のア
ルキルエステル、ビニルモノマーを共重合させたバイン
ダポリマを用いれば良い。
ノン、N−N′−テトラメチル−4,4′−ジアミノベ
ンゾフェノン(ミヒラーケトン)、N,N−テトラメチ
ル−4,4′−ジアミノベンゾフェノン、4−メトキシ
−4′−ジメチルアミノベンゾフエノン、2−エチルア
ントラキノン、フェナントレンキノン等の芳香族ケト
ン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエー
テル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエー
テル、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾ
イン、ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体、
2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミ
ダゾール二量体、2−(o−クロロフェニル)−4,5
−ジ(m−メトキシフェニル)イミダゾール二量体、2
−(o−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミ
ダゾール二量体、2−(o−メトキシフェニル)−4,
5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(p−メトキ
シフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量
体、2,4−ジ(p−メトキシフェニル)−5−フェニ
ルイミダゾール二量体、2−(2,4−ジメトキフェニ
ル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−
(p−メチルメルカプトフェニル)−4,5−ジフェニ
ルイミダゾール二量体等の2,4,5−トリアリールイ
ミダゾール二量体、9−フェニルアクリジン、1,7−
ビス(9,9′−アクリジニル)ヘプタン等のアクリジ
ン誘導体などが挙げられる。これらは、単独で又は2種
以上を組み合わせて用いることができる。
ばウレタンアクリレートビスコート♯831(大阪有機
化学工業社製商品名)、ポリエーテル型ウレタンアクリ
レートBTG−A(共栄社油脂化学工業社製商品名)、
ポリエステル型ウレタンアクリレートD−200A(共
栄社油脂化学工業社製商品名)、ウレタンアクリレート
フォトマー6008(サンノプコ社製商品名)、ウレタ
ンジアリレートケムリンク9503(サートマ社製商品
名)等のウレタン(メタ)アクリレートやトリメチロー
ルプロパンエトキシトリアクリレート(SR−454、
サートマー社製商品名)、トリメチロールプロパンプロ
ポキシトリアクリレート(R−924、日本化薬社製商
品名)、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレー
ト(エチレン基の数が2〜14のもの)、トリメチロー
ルプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプ
ロパントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメ
タントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタ
ンテトラ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコ
ールジ(メタ)アクリレート(プロピレン基の数が2〜
14のもの)、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)
アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)
アクリレート等の多価アルコールにα、β−不飽和カル
ボン酸を反応させて得られる化合物、ビスフェノールA
ジオキシエチレンジ(メタ)アクリレート、ビスフェノ
ールAトリオキシエチレンジ(メタ)アクリレート、ビ
スフェノールAデカオキシエチレンジ(メタ)アクリレ
ート等のビスフェノールAジオキシエチレンジ(メタ)
アクリレート、トリメチロールプロパントリグリシジル
エーテルトリアクリルレート、ビスフェノールAジグリ
シジルエーテルアクリレート等のグリシジル基含有化合
物にα、β−不飽和カルボン酸を付加して得られる化合
物、無水フタル酸等の多価カルボン酸とβ−ヒドロキシ
エチル(メタ)アクリレート等の水酸基及びエチレン性
不飽和基を有する物質とのエステル化物、(メタ)アク
リル酸メチルエステル、(メタ)アクリル酸エチルエス
テル、(メタ)アクリル酸ブチルエステル、(メタ)ア
クリル酸2−エチルヘキシルエステル等の(メタ)アク
リル酸のアルキルエステルなどが挙げられる。
じて可塑剤、染料、顔料、イメージング剤、充填剤、密
着性付与剤、安定剤などを配合として使用できる。また
その厚みは用途により異なるが、乾燥後の厚みで10〜
100μm程度であることが好ましい。
リエステルフィルム、ポリオレフィンフィルムなどが用
いられるが、価格、柔軟性、強度、硬度等の面から、ポ
リエチレンフィルムが好ましい。また、その厚みは、
1.0〜40μmであることが好ましく、10μm未満
では取扱い性が劣る傾向があり、40μmを超えると、
コストアップになる傾向がある。
フィルム)は、通常、(1)保護フィルムをはがしなが
ら、基材上に感光性樹脂層が密着するよう熱、圧力等を
かけながらラミネートし、(2)支持フィルムの上にネ
ガフィルムを載置し、ネガフィルムを介して露光し、
(3)支持フィルムをはがした後、現像により画像(レ
ジストパターン)を形成する方法で用いられる。
ロールを呼ばれる加熱可能なロール又はヒートシューと
呼ばれる加熱用ジャケットとラミネートロールと呼ばれ
るロールにより、感光性樹脂層を加熱し軟化しながら行
う。
があり、接触又は非接触型のものを用いて行う。ランプ
としては、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライド
ランプ、キセノンランプ灯等の紫外線を有効に放射する
ものを用いることができる。
ー法などがあげられ、高解像度化には高圧スプレー法が
最適である。現像液は、溶剤現像型とアルカリ現像型で
大きく異なり、溶剤現像型では1,1,1−トリクロロ
エタン、アルカリ現像型では、1重量%の炭酸ナトリウ
ムを用いるのが一般的である。
などの工程があげられるが、これらは必要に応じ周知の
方法で行えば良い。
が、本発明はこれらにより制限されるものではない。 実施例1〜3及び比較例1〜2 メタクリル酸/メタクリル酸メチル/メタクリル酸ブチ
ル/アクリル酸2−エチルヘキシル共重合体(重量比2
5/50/5/20、重量平均分子量8万)の40重量
%メチルセロソルブ/トルエン(重量比6/4)溶液1
00g(固形分40g)、メタクリル酸/メタクリル酸
メチル/アクリル酸エチル/スチレン共重合体(重量比
30/30/30/10、重量平均分子量4万)の50
重量%メチルセロソルブ/トルエン(重量比8/2)溶
液40g(固形分20g)、トリブロモメチルフェニル
スルフォン1.0g、ロイコクリスタルバイオレット1
g、マライカイトグリーン0.05g、メチルエチルケ
トン10g、トルエン10g、メタノール3g、ベンゾ
フェノン4.5g及びN、N′−テトラエチル−4,
4′−ジアミノベンゾフェノン0.2gを配合し溶液を
得た。
1に示す各種のポリエチレンテレフタレートフィルム
(支持フィルム(a))上に均一に塗布し、100℃の
熱風対流式乾燥機で約10分間乾燥して感光性樹脂層
(b)を形成した後、30μm厚のポリエチレンフィル
ムを保護フィルム(c)として積層し感光性フィルムを
得た。感光性樹脂層の乾燥後の膜厚は、50μmであっ
た。
したガラスエポキシ材である銅張り積層板(日立化成工
業社製、商品名MCL−E−61)の銅表面を#600
相当のブラシを持つ研磨機(三啓社製)を用いて研磨
し、水洗後、空気流で乾燥し、得られた銅張り積層板を
80℃に加温し、その銅表面上に前記感光性樹脂組成物
層を120℃に加熱し、ポリエチレンフィルムをはがし
ながらラミネートした。
ルム上に、ネガフィルム(パターンマスク)を載置し、
3kw高圧水銀灯(オーク製作所社製、HMW−201
B)で60mJ/cm2の露光を行った。この際、光感度を評
価できるように、ネガフィルムに光透過量が段階的に少
なくなる領域(光学密度0.05を1段目とし、1段ご
とに光学密度が0.15ずつ増加するステップタブレッ
ト)を設けた。また、ライン/スペースが最少30μm
であり、ライン及びスペースが共に10μm毎に大きく
なるくし形パターンを持つ解像度評価用のネガフィルム
並びにライン/スペースが最少30μm/400μmで
ありラインのみが10μm毎に大きくなるくし形パター
ンを持つ密着性評価用のネガフィルムも同時に用いて露
光した。
ルムを除去し、30℃で1重量%炭酸ナトリウム水溶液
を50秒間スプレーすることにより、未露光部分を除去
した。さらに、銅張り積層板上に形成された光硬化膜の
ステップタブレットの段数を測定することにより、感光
性樹脂組成物の光感度を評価し、その結果を表1に示し
た。光感度は、ステップタブレットの段数で示され、こ
のステップタブレットの段数が高いほど、光感度が高い
ことを示す。
ーンの解像性(μm)で表わされ、この解像度の数値が
小さい程解像度が高いことを示す。密着性は、現像後に
はく離せずに残ったラインの幅(μm)で表わされ、こ
の密着性の数値が小さい程、細いラインでも銅張り積層
板からはく離せずに銅張り積層板に密着していることか
ら、密着性が高いことを示す。この結果もまとめて表1
に示した。
度、解像度、密着性等が優れたものである。
Claims (1)
- 【請求項1】 支持フィルム(a)、感光性樹脂層
(b)及び保護フィルム(c)から成る感光性樹脂組成
物において、支持フィルム(a)のヘーズが0.1〜
1.5%であり、厚みが10〜30μmである感光性樹
脂組成物積層体。
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