JP3173191B2 - 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント - Google Patents
感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントInfo
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は感光性樹脂組成物及びこ
れを用いた感光性エレメントに関する。
れを用いた感光性エレメントに関する。
【０００２】
【従来の技術】印刷配線板の製造、金属の精密加工等の
分野において、エッチング、めっき等の基材の化学的、
電気的手法を用いる際にレジスト材料として感光性樹脂
組成物及びこれを用いた感光性エレメントを使用するこ
とが知られている。感光性エレメントとしては支持体上
に感光性樹脂組成物を積層したものが広く使用されてい
る。
分野において、エッチング、めっき等の基材の化学的、
電気的手法を用いる際にレジスト材料として感光性樹脂
組成物及びこれを用いた感光性エレメントを使用するこ
とが知られている。感光性エレメントとしては支持体上
に感光性樹脂組成物を積層したものが広く使用されてい
る。
【０００３】この感光性樹脂組成物は光で硬化し、未硬
化部は炭酸ナトリウム等のアルカリ水溶液で溶解するも
のが使用されている。このアルカリ水溶液で溶解する感
光性樹脂組成物にはカルボン酸、無水カルボン酸、スル
ホン酸、フェノール性またはアルコール性ヒドロキシル
基等の水／アルカリ媒体中への溶解を可能にする基を有
する重合体または共重合体が使用されている（特公昭３
５−１４０６５号公報、特公昭３９−１１１２号公報
等）。しかし、これらの組成物では現在、印刷配線板に
要求されている高精度のレリーフ像作成は不可能であ
り、実用に供しない。
化部は炭酸ナトリウム等のアルカリ水溶液で溶解するも
のが使用されている。このアルカリ水溶液で溶解する感
光性樹脂組成物にはカルボン酸、無水カルボン酸、スル
ホン酸、フェノール性またはアルコール性ヒドロキシル
基等の水／アルカリ媒体中への溶解を可能にする基を有
する重合体または共重合体が使用されている（特公昭３
５−１４０６５号公報、特公昭３９−１１１２号公報
等）。しかし、これらの組成物では現在、印刷配線板に
要求されている高精度のレリーフ像作成は不可能であ
り、実用に供しない。
【０００４】特公昭５８−１２５７７号公報には可撓性
金属への付着性、感光性エレメントをロール状に保存す
る際のレジストの冷間流れ（コールドフロー）または端
部からの浸み出し（エッジフュージョン）の低下を目的
とする組成物が提案されているが、長鎖のメタアクリレ
ートを共重合しているため剥離時間が長く、半田めっき
をしたのちにアルカリ水溶液で剥離する際に半田が脱落
するなどの問題がある。特公平１−３６９２４号公報に
は優れたエッチングまたはめっきレジストとして、また
冷間流れ性の少ない感光性エレメントが示されている。
しかし、これらの樹脂組成物は早い現像性や剥離性を得
るために吸水率の高い共重合体を使用するために光硬化
した部分も膨潤し、テント破れ、ラインのギザつき等の
問題がある。
金属への付着性、感光性エレメントをロール状に保存す
る際のレジストの冷間流れ（コールドフロー）または端
部からの浸み出し（エッジフュージョン）の低下を目的
とする組成物が提案されているが、長鎖のメタアクリレ
ートを共重合しているため剥離時間が長く、半田めっき
をしたのちにアルカリ水溶液で剥離する際に半田が脱落
するなどの問題がある。特公平１−３６９２４号公報に
は優れたエッチングまたはめっきレジストとして、また
冷間流れ性の少ない感光性エレメントが示されている。
しかし、これらの樹脂組成物は早い現像性や剥離性を得
るために吸水率の高い共重合体を使用するために光硬化
した部分も膨潤し、テント破れ、ラインのギザつき等の
問題がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の欠点
を解消し、優れた密着性とテント強度、剥離性を得ら
れ、高精度のレリーフ像を可能とする感光性樹脂組成物
及びこれを用いた感光性エレメントを提供するものであ
る。
を解消し、優れた密着性とテント強度、剥離性を得ら
れ、高精度のレリーフ像を可能とする感光性樹脂組成物
及びこれを用いた感光性エレメントを提供するものであ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、（Ａ）カルボ
キシル基含有バインダポリマー、（Ｂ）光重合開始剤及
び（Ｃ）分子内に少なくとも一つの重合可能なエチレン
性不飽和結合を有する光重合性化合物を含み、前記
（Ｃ）成分が一般式（Ｉ）で示される化合物
キシル基含有バインダポリマー、（Ｂ）光重合開始剤及
び（Ｃ）分子内に少なくとも一つの重合可能なエチレン
性不飽和結合を有する光重合性化合物を含み、前記
（Ｃ）成分が一般式（Ｉ）で示される化合物
【化２】 （Ｒは−(ＣＨ2)n−を表わし、ｎは１〜２０の整数を表
わす）を必須成分として含有する感光性樹脂組成物及び
これを用いた感光性エレメントに関する。
わす）を必須成分として含有する感光性樹脂組成物及び
これを用いた感光性エレメントに関する。
【０００７】以下、本発明について詳述する。本発明に
（Ａ）成分として用いられるカルボキシル基含有バイン
ダポロリマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸ア
ルキルエステル〔（メタ）アクリル酸とはメタクリル酸
及びアクリル酸を意味する。以下同じ〕と（メタ）アル
リル酸とこれらと共重合しうるビニルモノマーとの共重
合体等が挙げられる。これらの共重合体は、単独で又は
２種以上組み合わせて用いることができる。
（Ａ）成分として用いられるカルボキシル基含有バイン
ダポロリマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸ア
ルキルエステル〔（メタ）アクリル酸とはメタクリル酸
及びアクリル酸を意味する。以下同じ〕と（メタ）アル
リル酸とこれらと共重合しうるビニルモノマーとの共重
合体等が挙げられる。これらの共重合体は、単独で又は
２種以上組み合わせて用いることができる。
【０００８】（メタ）アクリル酸アルキルエステルとし
ては、例えば、（メタ）アクリル酸メチルエステル、
（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル
酸ブチルエステル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキ
シルエステル等が挙げられる。また、（メタ）アクリル
酸アルキルエステルや（メタ）アクリル酸と共重合しう
るビニルモノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル
酸テトラヒドロフルフリルエステル、（メタ）アクリル
酸ジメチルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸
ジエチルアミノエチルエステル、メタクリル酸グリシジ
ルエステル、２，２，２−トリフルオロエチル（メタ）
アクリレート、２，２，３，３−テトラフルオロプロピ
ル（メタ）アクリレートアクリルアミド、ジアセトンア
クリルアミド、スチレン、ビニルトルエン等が挙げられ
る。
ては、例えば、（メタ）アクリル酸メチルエステル、
（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル
酸ブチルエステル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキ
シルエステル等が挙げられる。また、（メタ）アクリル
酸アルキルエステルや（メタ）アクリル酸と共重合しう
るビニルモノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル
酸テトラヒドロフルフリルエステル、（メタ）アクリル
酸ジメチルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸
ジエチルアミノエチルエステル、メタクリル酸グリシジ
ルエステル、２，２，２−トリフルオロエチル（メタ）
アクリレート、２，２，３，３−テトラフルオロプロピ
ル（メタ）アクリレートアクリルアミド、ジアセトンア
クリルアミド、スチレン、ビニルトルエン等が挙げられ
る。
【０００９】本発明に（Ｂ）成分として用いられる光重
合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ′
−テトラメチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン
（ミヒラーケトン）、Ｎ，Ｎ−テトラメチル−４，４′
−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキシ−４′−ジメ
チルアミノベンゾフェノン、２−エチルアントラキノ
ン、フェナントレンキノン等の芳香族ケトン、ベンゾイ
ンメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾ
インフェニルエーテル等のベンゾインエーテル、メチル
ベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン、ベンジ
ルジメチルケタール等のベンジル誘導体、２−（ｏ−ク
ロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量
体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（ｍ−メ
トキシフェニル）イミダゾール二量体、２−（ｏ−フル
オロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量
体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニ
ルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）
−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２，４−ジ
（ｐ−メトキシフェニル）−５−フェニルイミダゾール
二量体、２−（２，４−ジメトシキフェニル）−４，５
−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メチルメ
ルカプトフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール
二量体等の２，４，５−トリアリールイミダゾール二量
体、９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９，９′
−アクリジニル）ヘプタン等のアクリジン誘導体などが
挙げられる。これらは、単独で又は２種以上を組み合わ
せて用いることができる。
合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ′
−テトラメチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン
（ミヒラーケトン）、Ｎ，Ｎ−テトラメチル−４，４′
−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキシ−４′−ジメ
チルアミノベンゾフェノン、２−エチルアントラキノ
ン、フェナントレンキノン等の芳香族ケトン、ベンゾイ
ンメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾ
インフェニルエーテル等のベンゾインエーテル、メチル
ベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン、ベンジ
ルジメチルケタール等のベンジル誘導体、２−（ｏ−ク
ロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量
体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（ｍ−メ
トキシフェニル）イミダゾール二量体、２−（ｏ−フル
オロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量
体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニ
ルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）
−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２，４−ジ
（ｐ−メトキシフェニル）−５−フェニルイミダゾール
二量体、２−（２，４−ジメトシキフェニル）−４，５
−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メチルメ
ルカプトフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール
二量体等の２，４，５−トリアリールイミダゾール二量
体、９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９，９′
−アクリジニル）ヘプタン等のアクリジン誘導体などが
挙げられる。これらは、単独で又は２種以上を組み合わ
せて用いることができる。
【００１０】本発明に成分（Ｃ）として用いられる少な
くとも一つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する
光重合性化合物のうち、必須成分として含まれる一般式
（Ｉ）で示される化合物としては、例えば、ユニレジン
Ｋ−１０００Ａ（一般式（Ｉ）でｎ＝６、新中村化学株
式会社製商品名）、ユニレジンＫ−２０００Ａ（一般式
（Ｉ）でｎ＝１２、新中村化学株式会社製商品名）等が
用いられる。
くとも一つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する
光重合性化合物のうち、必須成分として含まれる一般式
（Ｉ）で示される化合物としては、例えば、ユニレジン
Ｋ−１０００Ａ（一般式（Ｉ）でｎ＝６、新中村化学株
式会社製商品名）、ユニレジンＫ−２０００Ａ（一般式
（Ｉ）でｎ＝１２、新中村化学株式会社製商品名）等が
用いられる。
【００１１】また、成分（Ｃ）として、上記２種の必須
成分以外の化合物としては、例えば、ポリエチレングリ
コールジ（メタ）アクリレート（エチレン基の数が２〜
１４のもの）、トリメチロールプロパンジ（メタ）アク
リレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリ
レート、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレ
ート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレ
ート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレー
ト（プロピレン基の数が２〜１４のもの）、ジペンタエ
リスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエ
リスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等の多価アル
コールにα、β−不飽和カルボン酸を反応させて得られ
る化合物、ビスフェノールＡジオキシエチレンジ（メ
タ）アクリレート、ビスフェノールＡトリオキシエチレ
ンジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡデカオキ
シエチレンジ（メタ）アクリレート等のビスフェノール
Ａジオキシエチレンジ（メタ）アクリレート、トリメチ
ロールプロパントリグリシジルエーテルトリアクリルレ
ート、ビスフェノールＡジグリシジルエーテルアクリレ
ート等のグリシジル基含有化合物にα、β−不飽和カル
ボン酸を付加して得られる化合物、無水フタル酸等の多
価カルボン酸とβ−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレ
ート等の水酸基及びエチレン性不飽和基を有する物質と
のエステル化物、（メタ）アクリル酸メチルエステル、
（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル
酸ブチルエステル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキ
シルエステル等の（メタ）アクリル酸のアルキルエステ
ルなどが挙げられる。
成分以外の化合物としては、例えば、ポリエチレングリ
コールジ（メタ）アクリレート（エチレン基の数が２〜
１４のもの）、トリメチロールプロパンジ（メタ）アク
リレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリ
レート、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレ
ート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレ
ート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレー
ト（プロピレン基の数が２〜１４のもの）、ジペンタエ
リスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエ
リスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等の多価アル
コールにα、β−不飽和カルボン酸を反応させて得られ
る化合物、ビスフェノールＡジオキシエチレンジ（メ
タ）アクリレート、ビスフェノールＡトリオキシエチレ
ンジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡデカオキ
シエチレンジ（メタ）アクリレート等のビスフェノール
Ａジオキシエチレンジ（メタ）アクリレート、トリメチ
ロールプロパントリグリシジルエーテルトリアクリルレ
ート、ビスフェノールＡジグリシジルエーテルアクリレ
ート等のグリシジル基含有化合物にα、β−不飽和カル
ボン酸を付加して得られる化合物、無水フタル酸等の多
価カルボン酸とβ−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレ
ート等の水酸基及びエチレン性不飽和基を有する物質と
のエステル化物、（メタ）アクリル酸メチルエステル、
（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル
酸ブチルエステル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキ
シルエステル等の（メタ）アクリル酸のアルキルエステ
ルなどが挙げられる。
【００１２】本発明において、成分（Ａ）の配合量は、
成分（Ａ）及び成分（Ｃ）の総和１００重量部に対して
４０〜８０重量部の範囲とすることが好ましい。４０重
量部未満では光硬化物が脆くなり易く、また感光性フィ
ルムとして用いた場合、塗膜性に劣る傾向があり、８０
重量部を越えると感度が不充分となる傾向がある。
成分（Ａ）及び成分（Ｃ）の総和１００重量部に対して
４０〜８０重量部の範囲とすることが好ましい。４０重
量部未満では光硬化物が脆くなり易く、また感光性フィ
ルムとして用いた場合、塗膜性に劣る傾向があり、８０
重量部を越えると感度が不充分となる傾向がある。
【００１３】また、成分（Ｃ）の配合量は、成分（Ａ）
及び成分（Ｃ）の総和１００重量部に対し、２０〜６０
重量部の範囲とすることが好ましい。この配合量が２０
重量部未満では感度が不充分となる傾向があり、６０重
量部を越えると光硬化物が脆くなる傾向がある。
及び成分（Ｃ）の総和１００重量部に対し、２０〜６０
重量部の範囲とすることが好ましい。この配合量が２０
重量部未満では感度が不充分となる傾向があり、６０重
量部を越えると光硬化物が脆くなる傾向がある。
【００１４】なお、（Ｃ）成分中の必須成分である一般
式（Ｉ）で示されるモノマーの配合量は、（Ｃ）成分１
００重量部に対して５〜４０重量部であることが好まし
い。この配合量が５重量部未満では剥離時間が長くなる
傾向があり、４０重量部を越えるとテント強度が弱くな
る傾向がある。一般式（Ｉ）におけるｎは、１〜２０の
整数とされる。ｎが２０を越えると、感度、密着性、強
度が劣る。
式（Ｉ）で示されるモノマーの配合量は、（Ｃ）成分１
００重量部に対して５〜４０重量部であることが好まし
い。この配合量が５重量部未満では剥離時間が長くなる
傾向があり、４０重量部を越えるとテント強度が弱くな
る傾向がある。一般式（Ｉ）におけるｎは、１〜２０の
整数とされる。ｎが２０を越えると、感度、密着性、強
度が劣る。
【００１５】光重合開始剤成分（Ｂ）の配合量は、成分
（Ａ）及び成分（Ｃ）の総和１００重量部に対して０．
１〜２０重量部の範囲とすることが好ましい。０．１重
量部未満では感度が不充分となる傾向があり、２０重量
部を越えると露光の際に組成物の表面での吸収が増大し
て内部の光硬化が不充分となる傾向がある。
（Ａ）及び成分（Ｃ）の総和１００重量部に対して０．
１〜２０重量部の範囲とすることが好ましい。０．１重
量部未満では感度が不充分となる傾向があり、２０重量
部を越えると露光の際に組成物の表面での吸収が増大し
て内部の光硬化が不充分となる傾向がある。
【００１６】本発明の感光性樹脂組成物には、染料、発
色剤、可塑剤、顔料、難燃剤、安定剤、密着性付与剤等
を必要に応じて添加してもよい。
色剤、可塑剤、顔料、難燃剤、安定剤、密着性付与剤等
を必要に応じて添加してもよい。
【００１７】本発明の感光性樹脂組成物は、前記各成分
を、これらを溶解する溶剤、例えば、トルエン、アセト
ン、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）、メチルイソブチル
ケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、クロロ
ホルム、塩化メチレン、メチルアルコール、エチルアル
コール等に溶解、混合させることにより、均一な溶液と
できる。
を、これらを溶解する溶剤、例えば、トルエン、アセト
ン、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）、メチルイソブチル
ケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、クロロ
ホルム、塩化メチレン、メチルアルコール、エチルアル
コール等に溶解、混合させることにより、均一な溶液と
できる。
【００１８】本発明の感光性樹脂組成物は、これを支持
体上に塗布、乾燥し、感光性エレメントとして使用する
こともできる。支持体としては、重合体フィルム、例え
ば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポ
リエチレン等からなるフィルムが用いられ、ポリエチレ
ンテレフタレートフィルムが好ましい。これらの重合体
フィルムは、後に感光層から除去可能でなくてはならな
いため、除去が不可能となるような材質であったり、表
面処理が施されたものであってはならない。これらの重
合体フィルムの厚さは、通常５〜１００μｍ、好ましく
は１０〜３０μｍである。これらの重合体フィルムの一
つは感光層の支持フィルムとして、他の一つは感光層の
保護フィルムとして感光層の両面に積層してもよい。
体上に塗布、乾燥し、感光性エレメントとして使用する
こともできる。支持体としては、重合体フィルム、例え
ば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポ
リエチレン等からなるフィルムが用いられ、ポリエチレ
ンテレフタレートフィルムが好ましい。これらの重合体
フィルムは、後に感光層から除去可能でなくてはならな
いため、除去が不可能となるような材質であったり、表
面処理が施されたものであってはならない。これらの重
合体フィルムの厚さは、通常５〜１００μｍ、好ましく
は１０〜３０μｍである。これらの重合体フィルムの一
つは感光層の支持フィルムとして、他の一つは感光層の
保護フィルムとして感光層の両面に積層してもよい。
【００１９】本発明の感光性エレメントを用いてフォト
レジスト画像を製造するに際しては、前記保護フィルム
が存在している場合には、保護フィルムを除去後、感光
層を加熱しながら基板に圧着させることにより積層す
る。積層される表面は、通常、金属面であるが、特に制
限はない。感光層の加熱、圧着は、通常、９０〜１３０
℃、圧着圧力３kg/cm2で行われるが、これらの条件には
特に制限はない。感光層を前記のように加熱すれば予め
基板を予熱処理することは必要でないが、積層性をさら
に向上させるために基板の予熱処理を行うこともできる
のはもちろんである。
レジスト画像を製造するに際しては、前記保護フィルム
が存在している場合には、保護フィルムを除去後、感光
層を加熱しながら基板に圧着させることにより積層す
る。積層される表面は、通常、金属面であるが、特に制
限はない。感光層の加熱、圧着は、通常、９０〜１３０
℃、圧着圧力３kg/cm2で行われるが、これらの条件には
特に制限はない。感光層を前記のように加熱すれば予め
基板を予熱処理することは必要でないが、積層性をさら
に向上させるために基板の予熱処理を行うこともできる
のはもちろんである。
【００２０】このようにして積層が完了した感光層は、
次いで、ネガフィルム又はポジフィルムを用いて活性光
に画像的に露光される。この際感光層上に存在する重合
体フィルムが透明の場合には、そのまま露光してもよ
く、また、不透明の場合には、当然除去する必要があ
る。感光層の保護という点からは、重合体フィルムは透
明で、この重合体フィルムを残存させたまま、それを通
して露光することが好ましい。
次いで、ネガフィルム又はポジフィルムを用いて活性光
に画像的に露光される。この際感光層上に存在する重合
体フィルムが透明の場合には、そのまま露光してもよ
く、また、不透明の場合には、当然除去する必要があ
る。感光層の保護という点からは、重合体フィルムは透
明で、この重合体フィルムを残存させたまま、それを通
して露光することが好ましい。
【００２１】活性光は、公知の活性光源、例えば、カー
ボンアーク、水銀蒸気アーク、キセノンアーク、その他
から発生する光が用いられる。感光層に含まれる光開始
剤の感受性は、通常、紫外線領域において最大であるの
で、その場合は活性光源は紫外線を有効に放射するもの
にすべきである。もちろん、光開始剤が可視光線に感受
するもの、例えば、９，１０−フェナンスレンキノン等
である場合には、活性光としては可視光が用いられ、そ
の光源としては前記のもの以外に写真用フラッド電球、
太陽ランプなども用いられる。
ボンアーク、水銀蒸気アーク、キセノンアーク、その他
から発生する光が用いられる。感光層に含まれる光開始
剤の感受性は、通常、紫外線領域において最大であるの
で、その場合は活性光源は紫外線を有効に放射するもの
にすべきである。もちろん、光開始剤が可視光線に感受
するもの、例えば、９，１０−フェナンスレンキノン等
である場合には、活性光としては可視光が用いられ、そ
の光源としては前記のもの以外に写真用フラッド電球、
太陽ランプなども用いられる。
【００２２】次いで、露光後、感光層上に重合体フィル
ムが存在している場合には、これを除去した後、アルカ
リ水溶液を用いて、例えば、スプレー、揺動浸漬、ブラ
ッシング、スクラッビング等の公知方法により未露光部
を除去して現像する。アルカリ性水溶液の塩基として
は、リチウム、ナトリウムあるいはカリウムの水酸化物
等の水酸化アルカリ、リチウム、ナトリウムあるいはカ
リウムの炭酸塩又は重炭酸塩等の炭酸アルカリ、リン酸
カリウム、リン酸ナトリウム等のアルカリ金属リン酸
塩、ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム等のア
ルカリ金属ピロリン酸塩などが用いられ、特に、炭酸ナ
トリウムの水溶液が好ましい。現像に用いるアルカリ水
溶液のpHは、好ましくは９〜１１の間であり、また、そ
の温度は感光層の現像性に合わせて調節される。該アル
カリ水溶液中には、表面活性剤、消泡剤、現像を促進さ
せるための少量の有機溶剤などを混入させてもよい。
ムが存在している場合には、これを除去した後、アルカ
リ水溶液を用いて、例えば、スプレー、揺動浸漬、ブラ
ッシング、スクラッビング等の公知方法により未露光部
を除去して現像する。アルカリ性水溶液の塩基として
は、リチウム、ナトリウムあるいはカリウムの水酸化物
等の水酸化アルカリ、リチウム、ナトリウムあるいはカ
リウムの炭酸塩又は重炭酸塩等の炭酸アルカリ、リン酸
カリウム、リン酸ナトリウム等のアルカリ金属リン酸
塩、ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム等のア
ルカリ金属ピロリン酸塩などが用いられ、特に、炭酸ナ
トリウムの水溶液が好ましい。現像に用いるアルカリ水
溶液のpHは、好ましくは９〜１１の間であり、また、そ
の温度は感光層の現像性に合わせて調節される。該アル
カリ水溶液中には、表面活性剤、消泡剤、現像を促進さ
せるための少量の有機溶剤などを混入させてもよい。
【００２３】さらに、印刷配線板を製造するに際して
は、現像されたフォトレジスト画像をマスクとして露出
している基板の表面をエッチング、めっき等の公知方法
で処理する。次いで、フォトレジスト画像は、通常、現
像に用いたアルカリ水溶液よりさらに強アルカリ性の水
溶液で剥離される。この強アルカリ性の水溶液として
は、例えば、１〜５重量％の水酸化ナトリウム水溶液等
が用いられる。
は、現像されたフォトレジスト画像をマスクとして露出
している基板の表面をエッチング、めっき等の公知方法
で処理する。次いで、フォトレジスト画像は、通常、現
像に用いたアルカリ水溶液よりさらに強アルカリ性の水
溶液で剥離される。この強アルカリ性の水溶液として
は、例えば、１〜５重量％の水酸化ナトリウム水溶液等
が用いられる。
【００２４】
【実施例】次に、本発明を実施例により詳しく説明する
が、本発明はこれらにより制限されるものではない。 実施例１〜２及び比較例１〜３ メタクリル酸／メタクリル酸メチル／アクリル酸エチル
／メタクリル酸エチル（重合比２２／４５／２７／６
（重量比）、重量平均分子量１１万）の４０重量％メチ
ルセロソルブ／トルエン（重量比６／４）溶液１５０ｇ
（固形分６０ｇ）（（Ａ）成分）、トリブロモメチルフ
ェニルスルフォン１．０ｇ、ロイコクリスタルバイオレ
ット１ｇ、マラカイトグリーン０．０５ｇ、メチルエチ
ルケトン１０ｇ、トルエン１０ｇ、メタノール３ｇ、ベ
ンゾフェノン４．５ｇ（（Ｂ）成分）及びＮ，Ｎ′−テ
トラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン
（（Ｂ）成分）０．２ｇを配合し溶液を得た。この溶液
に表１に示す（Ｃ）成分を溶解させて感光性樹脂組成物
の溶液を得た。次いで、この感光性樹脂組成物の溶液を
２５μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上に
均一に塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥機で約１０分
間乾燥して感光性エレメントを得た。感光性樹脂組成物
層の乾燥後の膜厚は、５０μｍであった。
が、本発明はこれらにより制限されるものではない。 実施例１〜２及び比較例１〜３ メタクリル酸／メタクリル酸メチル／アクリル酸エチル
／メタクリル酸エチル（重合比２２／４５／２７／６
（重量比）、重量平均分子量１１万）の４０重量％メチ
ルセロソルブ／トルエン（重量比６／４）溶液１５０ｇ
（固形分６０ｇ）（（Ａ）成分）、トリブロモメチルフ
ェニルスルフォン１．０ｇ、ロイコクリスタルバイオレ
ット１ｇ、マラカイトグリーン０．０５ｇ、メチルエチ
ルケトン１０ｇ、トルエン１０ｇ、メタノール３ｇ、ベ
ンゾフェノン４．５ｇ（（Ｂ）成分）及びＮ，Ｎ′−テ
トラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン
（（Ｂ）成分）０．２ｇを配合し溶液を得た。この溶液
に表１に示す（Ｃ）成分を溶解させて感光性樹脂組成物
の溶液を得た。次いで、この感光性樹脂組成物の溶液を
２５μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上に
均一に塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥機で約１０分
間乾燥して感光性エレメントを得た。感光性樹脂組成物
層の乾燥後の膜厚は、５０μｍであった。
【００２５】一方、銅箔（厚さ３５μｍ）を両面に積層
したガラスエポキシ材である銅張り積層板（日立化成工
業社製、商品名ＭＣＬ−Ｅ−６１）の銅表面を＃６００
相当のブラシを持つ研磨機（三啓社製）を用いて研磨
し、水洗後、空気流で乾燥し、得られた銅張り積層板を
８０℃に加温し、その銅表面上に前記感光性樹脂組成物
層を１２０℃に加熱しながらラミネートした。次に、高
圧水銀灯ランプを有する露光機（オーク（株）製）ＨＭ
Ｗ−２０１Ｂを用いてネガとしてストーファー２１段ス
テップタブレットを試験片の上に置いて６０mJ/cm2露光
した。次にポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離
し、３０℃で１重量％炭酸ナトリウム水溶液を６０秒間
スプレーすることにより、未露光部分を除去した。さら
に、銅張り積層板上に形成された光硬化膜のステップタ
ブレットの段数を測定することにより、感光性樹脂組成
物の光感度を評価した。その結果を表１に示す。光感度
は、ステップタブレットの段数で示され、このステップ
タブレットの段数が高いほど、光感度が高いことを示
す。
したガラスエポキシ材である銅張り積層板（日立化成工
業社製、商品名ＭＣＬ−Ｅ−６１）の銅表面を＃６００
相当のブラシを持つ研磨機（三啓社製）を用いて研磨
し、水洗後、空気流で乾燥し、得られた銅張り積層板を
８０℃に加温し、その銅表面上に前記感光性樹脂組成物
層を１２０℃に加熱しながらラミネートした。次に、高
圧水銀灯ランプを有する露光機（オーク（株）製）ＨＭ
Ｗ−２０１Ｂを用いてネガとしてストーファー２１段ス
テップタブレットを試験片の上に置いて６０mJ/cm2露光
した。次にポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離
し、３０℃で１重量％炭酸ナトリウム水溶液を６０秒間
スプレーすることにより、未露光部分を除去した。さら
に、銅張り積層板上に形成された光硬化膜のステップタ
ブレットの段数を測定することにより、感光性樹脂組成
物の光感度を評価した。その結果を表１に示す。光感度
は、ステップタブレットの段数で示され、このステップ
タブレットの段数が高いほど、光感度が高いことを示
す。
【００２６】別の試験片を６０mJ/cm2で露光し、ポリエ
チレンテレフタレートフィルムを除去し、クロスカット
試験（ＪＩＳ Ｋ−５４００）を行った。また、５cm×
５cmの試験片を６０mJ/cm2で露光後６０秒現像した後５
０℃に加温した３重量％ＮａＯＨに浸漬し、レジストが
はく離する時間を測定し、剥離片の大きさも同時に測定
した。
チレンテレフタレートフィルムを除去し、クロスカット
試験（ＪＩＳ Ｋ−５４００）を行った。また、５cm×
５cmの試験片を６０mJ/cm2で露光後６０秒現像した後５
０℃に加温した３重量％ＮａＯＨに浸漬し、レジストが
はく離する時間を測定し、剥離片の大きさも同時に測定
した。
【００２７】また１００μｍライン＆スペースのネガを
用いて上記と同様に露光、現像し、塩化第２銅エッチィ
ング液をサンケー製スプレーエッチィング装置によりス
プレー圧力３kgf/cm2で６０秒間スプレーし、試験片を
エッチィングし、レジストを剥離後ラインのギザを観察
した。さらにクロスカット試験後のサンプルをエッチィ
ングし、切断部のエッチング液の浸み込みを観察した。
用いて上記と同様に露光、現像し、塩化第２銅エッチィ
ング液をサンケー製スプレーエッチィング装置によりス
プレー圧力３kgf/cm2で６０秒間スプレーし、試験片を
エッチィングし、レジストを剥離後ラインのギザを観察
した。さらにクロスカット試験後のサンプルをエッチィ
ングし、切断部のエッチング液の浸み込みを観察した。
【００２８】次に１．６mm厚の銅張積層板に直径６mmの
穴を１００個あけた基材に感光性樹脂組成物の積層体を
両面に積層し、６０mJ/cm2露光し、６０秒間現像した。
穴を１００個あけた基材に感光性樹脂組成物の積層体を
両面に積層し、６０mJ/cm2露光し、６０秒間現像した。
【００２９】次にこの穴の強度を１．５mmφの挿入径の
円柱を用いてレオメーター（ＦＵＤＯＨ社製）により破
断までの強度と伸びを測定した。これらの結果をまとめ
て表１に示した。
円柱を用いてレオメーター（ＦＵＤＯＨ社製）により破
断までの強度と伸びを測定した。これらの結果をまとめ
て表１に示した。
【００３０】
【表１】
【００３１】表１から明らかなように、一般式（Ｉ）で
示される化合物を含有させることにより、密着性に優
れ、テント強度が強く、はく離時間も短く、はく離片の
大きさも小さな感光性樹脂組成物を得ることができる。
示される化合物を含有させることにより、密着性に優
れ、テント強度が強く、はく離時間も短く、はく離片の
大きさも小さな感光性樹脂組成物を得ることができる。
【００３２】
【発明の効果】本発明の感光性樹脂組成物及びこれを用
いた感光性エレメントは、金属への密着性、テント強
度、はく離性等に優れたものである。
いた感光性エレメントは、金属への密着性、テント強
度、はく離性等に優れたものである。
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｈ０５Ｋ 3/00 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５０２Ｒ (56)参考文献 特開 昭62−43642（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−277232（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−85315（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−98651（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G03F 7/027 501 G03F 7/028 G03F 7/033 G03F 7/038
Claims (4)
- 【請求項１】 （Ａ）カルボキシル基含有バインダポリ
マー、（Ｂ）光重合開始剤及び（Ｃ）分子内に少なくと
も一つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重
合性化合物を含み、前記（Ｃ）成分が一般式（Ｉ）で示
される化合物 【化１】 （Ｒは−(ＣＨ2)n−を表わし、ｎは１〜２０の整数を表
わす）を必須成分として含有する感光性樹脂組成物。 - 【請求項２】 （Ｃ）成分中の一般式（Ｉ）で示される
エチレン性不飽和化合物の含有量が、（Ｃ）成分１００
重量部に対して５〜４０重量部である請求項１記載の感
光性樹脂組成物。 - 【請求項３】 （Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）成分の使用割
合が、 （Ａ）４０〜８０重量部 （Ｂ）（Ａ）＋（Ｃ）＝１００重量部に対して０．１〜
２０重量部 （Ｃ）２０〜６０重量部 （但し（Ａ）＋（Ｃ）＝１００重量部）である請求項
１、２又は３記載の感光性樹脂組成物。 - 【請求項４】 請求項１、２又は３記載の感光性樹脂組
成物を支持体上に塗布、乾燥した感光性エレメント。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30914692A JP3173191B2 (ja) | 1992-11-19 | 1992-11-19 | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30914692A JP3173191B2 (ja) | 1992-11-19 | 1992-11-19 | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06161104A JPH06161104A (ja) | 1994-06-07 |
| JP3173191B2 true JP3173191B2 (ja) | 2001-06-04 |
Family
ID=17989468
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30914692A Expired - Fee Related JP3173191B2 (ja) | 1992-11-19 | 1992-11-19 | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3173191B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100681460B1 (ko) * | 2004-07-20 | 2007-02-09 | 주식회사 엘지화학 | 현상 잔사 저감제 및 이를 포함하는 감광성 수지 조성물 |
| KR100946085B1 (ko) * | 2006-06-02 | 2010-03-10 | 동우 화인켐 주식회사 | 착색 감광성 수지 조성물, 컬러필터 및 이를 구비한액정표시장치 |
-
1992
- 1992-11-19 JP JP30914692A patent/JP3173191B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06161104A (ja) | 1994-06-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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