JPH06227803A - 窒素発生機 - Google Patents
窒素発生機Info
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- JPH06227803A JPH06227803A JP1838793A JP1838793A JPH06227803A JP H06227803 A JPH06227803 A JP H06227803A JP 1838793 A JP1838793 A JP 1838793A JP 1838793 A JP1838793 A JP 1838793A JP H06227803 A JPH06227803 A JP H06227803A
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- gas separation
- gas
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- separation membrane
- membrane module
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/04—Purification or separation of nitrogen
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、平膜気体分離膜を利用したスパイ
ラル状気体分離膜モジュールを使用した窒素発生機に関
するもので、気体分離膜モジュールの封止剤と仕切材と
が剥離しないように原料圧縮空気供給側の圧力を徐々に
上昇させる事により、信頼性の高い窒素発生機を提供す
ることを目的とする。 【構成】 気体分離膜モジュール３５の封止剤８と仕切
材４とが剥離しないように、アクチェータバルブ３２ま
たは電動バルブ３２ａの開閉度をコントロールすること
によって、気体分離膜モジュール３５に供給する原料圧
縮空気の圧力が５ｋｇｆ／ｃｍ2Ｇに達する時間を１ｍ
ｉｎ以上かける様にする。
ラル状気体分離膜モジュールを使用した窒素発生機に関
するもので、気体分離膜モジュールの封止剤と仕切材と
が剥離しないように原料圧縮空気供給側の圧力を徐々に
上昇させる事により、信頼性の高い窒素発生機を提供す
ることを目的とする。 【構成】 気体分離膜モジュール３５の封止剤８と仕切
材４とが剥離しないように、アクチェータバルブ３２ま
たは電動バルブ３２ａの開閉度をコントロールすること
によって、気体分離膜モジュール３５に供給する原料圧
縮空気の圧力が５ｋｇｆ／ｃｍ2Ｇに達する時間を１ｍ
ｉｎ以上かける様にする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は平膜の気体分離複合膜を
巻回してなるスパイラル状気体分離膜モジュールの使用
した窒素発生機の原料空気供給方法に関するものであ
る。
巻回してなるスパイラル状気体分離膜モジュールの使用
した窒素発生機の原料空気供給方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】一般に平膜を巻回してなるスパイラル状
の分離膜モジュールは透過流体流路を形成する透過流体
流路材を平膜分離膜で挟んで、穴を有する中空管の穴に
透過流体流路が連通するように中空管に平膜分離膜を接
着し、原料流体流路を形成する原料流体流路材と共に中
空管の周りに巻回して構成される。また中空管に接着し
た平膜分離膜の辺に対して垂直方向の平膜分離膜（透過
流体流路材を挟んだ）の二辺の端面は封止してあり、原
料流体流路は解放されている。
の分離膜モジュールは透過流体流路を形成する透過流体
流路材を平膜分離膜で挟んで、穴を有する中空管の穴に
透過流体流路が連通するように中空管に平膜分離膜を接
着し、原料流体流路を形成する原料流体流路材と共に中
空管の周りに巻回して構成される。また中空管に接着し
た平膜分離膜の辺に対して垂直方向の平膜分離膜（透過
流体流路材を挟んだ）の二辺の端面は封止してあり、原
料流体流路は解放されている。
【０００３】従来例の分離膜モジュールの流体の分離、
濃縮について原料流体を空気とし窒素を分離、濃縮する
場合について以下に説明する。
濃縮について原料流体を空気とし窒素を分離、濃縮する
場合について以下に説明する。
【０００４】図５は従来のスパイラル状気体分離膜モジ
ュールの例である。原料気体供給流路材２２で構成され
た原料気体供給流路に原料空気を矢印（実線）の方向に
供給すると、原料空気は酸素を優先的に透過する気体分
離複合膜２１の表面上を反対側の方向に流れていく。そ
の時酸素は優先的に気体分離複合膜２１を透過し、透過
気体流路材２３で構成された透過気体流路を中空管２４
の方向（矢印：破線）に流れていく。そのため原料空気
を供給した側の反対側から出てきた空気は窒素が濃縮さ
れることとなる。
ュールの例である。原料気体供給流路材２２で構成され
た原料気体供給流路に原料空気を矢印（実線）の方向に
供給すると、原料空気は酸素を優先的に透過する気体分
離複合膜２１の表面上を反対側の方向に流れていく。そ
の時酸素は優先的に気体分離複合膜２１を透過し、透過
気体流路材２３で構成された透過気体流路を中空管２４
の方向（矢印：破線）に流れていく。そのため原料空気
を供給した側の反対側から出てきた空気は窒素が濃縮さ
れることとなる。
【０００５】気体分離膜による気体の分離、濃縮は、原
料気体が気体分離複合膜表面に接しながら流れていく過
程で、気体分離複合膜を透過し易い気体が次々と透過し
て気体分離複合膜表面の気体が濃縮されることとなり、
気体分離複合膜が長くなれば長くなるほど気体分離膜表
面の気体は濃縮される。
料気体が気体分離複合膜表面に接しながら流れていく過
程で、気体分離複合膜を透過し易い気体が次々と透過し
て気体分離複合膜表面の気体が濃縮されることとなり、
気体分離複合膜が長くなれば長くなるほど気体分離膜表
面の気体は濃縮される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の構成では、原料空気が気体分離複合膜の表面を流れ
る距離が短いため、窒素濃度の高い空気を得ることが出
来ないという問題点を有していた。
来の構成では、原料空気が気体分離複合膜の表面を流れ
る距離が短いため、窒素濃度の高い空気を得ることが出
来ないという問題点を有していた。
【０００７】本発明は上記問題点を解決するもので、窒
素濃度の高い空気が得られる信頼性の高い窒素発生機を
提供することを目的とする。
素濃度の高い空気が得られる信頼性の高い窒素発生機を
提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の窒素発生機の気体分離膜モジュールは、原料
気体流路材と、平膜状の気体分離複合膜と、透過気体流
路材と、原料気体流路と透過気体流路を隔てる仕切材と
を、上記の順に重ねて一単位とし、原料空気を供給する
供給管と透過気体を排気する排気管とが一体となった給
排気管の回りにスパイラル状に巻回した気体分離膜モジ
ュールで、巻始めの一辺は原料気体流路と給排気管の供
給管が連通し、かつ、透過気体流路と給排気管の排気管
が連通するように給排気管に気体分離複合膜及び仕切材
を接着し、巻終わりの一辺は気体透過流路を閉じるよう
に気体分離複合膜と仕切材とを接着し、他の二辺は原料
気体流路と透過気体流路を気密に隔てるように封止した
構造をしている。
に本発明の窒素発生機の気体分離膜モジュールは、原料
気体流路材と、平膜状の気体分離複合膜と、透過気体流
路材と、原料気体流路と透過気体流路を隔てる仕切材と
を、上記の順に重ねて一単位とし、原料空気を供給する
供給管と透過気体を排気する排気管とが一体となった給
排気管の回りにスパイラル状に巻回した気体分離膜モジ
ュールで、巻始めの一辺は原料気体流路と給排気管の供
給管が連通し、かつ、透過気体流路と給排気管の排気管
が連通するように給排気管に気体分離複合膜及び仕切材
を接着し、巻終わりの一辺は気体透過流路を閉じるよう
に気体分離複合膜と仕切材とを接着し、他の二辺は原料
気体流路と透過気体流路を気密に隔てるように封止した
構造をしている。
【０００９】そして、気体分離膜モジュールの原料気体
流路に急激に圧力がかかり、封止材と気体分離膜および
封止剤と仕切材とが剥離しない様に、アクチェータバル
ブまたは、電動バルブを使用して、原料圧縮空気供給側
の圧力を徐々に上昇させる手段を設ける。
流路に急激に圧力がかかり、封止材と気体分離膜および
封止剤と仕切材とが剥離しない様に、アクチェータバル
ブまたは、電動バルブを使用して、原料圧縮空気供給側
の圧力を徐々に上昇させる手段を設ける。
【００１０】
【作用】この構成によって、供給管から供給された原料
気体は原料気体流路を巻回された方向に流れていくた
め、気体分離複合膜の長さを長くすることにより、原料
気体流路を長くすることが出来る。原料気体は気体分離
複合膜表面に接しながら流れていくため、気体分離複合
膜を透過し易い気体は次々と透過していくこととなり、
気体分離複合膜が長くなれば長くなるほど気体分離膜表
面の気体は濃縮されることとなる。
気体は原料気体流路を巻回された方向に流れていくた
め、気体分離複合膜の長さを長くすることにより、原料
気体流路を長くすることが出来る。原料気体は気体分離
複合膜表面に接しながら流れていくため、気体分離複合
膜を透過し易い気体は次々と透過していくこととなり、
気体分離複合膜が長くなれば長くなるほど気体分離膜表
面の気体は濃縮されることとなる。
【００１１】また、気体分離膜モジュールの原料空気供
給側の圧力は徐々に上昇するため、原料気体流路は急激
に圧力が上昇せず封止剤と気体分離膜および封止剤と仕
切材とが剥離せず信頼性が高くなる。
給側の圧力は徐々に上昇するため、原料気体流路は急激
に圧力が上昇せず封止剤と気体分離膜および封止剤と仕
切材とが剥離せず信頼性が高くなる。
【００１２】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【００１３】図１は第１の実施例の窒素発生機、図２は
第２の実施例の窒素発生機、図３は本実施例の気体分離
膜モジュールを展開したＡ−Ａ’断面図、図４は本実施
例の気体分離膜モジュールの断面図である。
第２の実施例の窒素発生機、図３は本実施例の気体分離
膜モジュールを展開したＡ−Ａ’断面図、図４は本実施
例の気体分離膜モジュールの断面図である。
【００１４】（実施例１）図１は、図３及び図４の気体
分離膜モジュールを、３本収納した窒素発生機である。
図１において、３１は第１圧縮空気供給配管、３２はア
クチェータバルブ、３３は圧力調整バルブ、３４は第２
圧縮空気供給配管、３５は気体分離膜モジュール、１０
は流量調節弁、３６は窒素濃縮空気供給配管、３７は酸
素濃縮空気供給配管である。
分離膜モジュールを、３本収納した窒素発生機である。
図１において、３１は第１圧縮空気供給配管、３２はア
クチェータバルブ、３３は圧力調整バルブ、３４は第２
圧縮空気供給配管、３５は気体分離膜モジュール、１０
は流量調節弁、３６は窒素濃縮空気供給配管、３７は酸
素濃縮空気供給配管である。
【００１５】図３及び図４において、１は原料気体流路
材で、１５メッシュのポリエチレン成形ネットである。
２は気体分離複合膜で、多孔質支持体上にポリ４メチル
ペンテン１の気体分離膜を積層し、更にその上にポリジ
メチルシロキサンを積層した非対称構造で、分離膜側が
原料気体流路材１と相対するように配されており、巻始
めの一辺は給排気管５に気密に接着されている。
材で、１５メッシュのポリエチレン成形ネットである。
２は気体分離複合膜で、多孔質支持体上にポリ４メチル
ペンテン１の気体分離膜を積層し、更にその上にポリジ
メチルシロキサンを積層した非対称構造で、分離膜側が
原料気体流路材１と相対するように配されており、巻始
めの一辺は給排気管５に気密に接着されている。
【００１６】３は透過気体流路材で、１５メッシュのポ
リエチレン成形ネットである。４は仕切材で、厚さ１０
０μｍのポリエステルフィルムであり、巻始めの一辺は
給排気管５に気密に接着されている。５は給排気管で給
気管６と排気管７が、長さ方向に平行に配されている。
リエチレン成形ネットである。４は仕切材で、厚さ１０
０μｍのポリエステルフィルムであり、巻始めの一辺は
給排気管５に気密に接着されている。５は給排気管で給
気管６と排気管７が、長さ方向に平行に配されている。
【００１７】以上の１から４の材料を給排気管５の回り
にスパイラル状に巻回した後、巻終わりの一辺で気体分
離複合膜２と仕切材４を気密に接着し、他の二辺を図４
のように封止剤８によって原料気体流路と、透過気体流
路を気密に隔てるように接着封止する。
にスパイラル状に巻回した後、巻終わりの一辺で気体分
離複合膜２と仕切材４を気密に接着し、他の二辺を図４
のように封止剤８によって原料気体流路と、透過気体流
路を気密に隔てるように接着封止する。
【００１８】以上のように構成された気体分離膜モジュ
ールを圧力容器９内に収納し、給気管６から５９２Ｐａ
（５ｋｇｆ／ｃｍ2Ｇ）に加圧された空気４．２×１０
-4ｍ3／ｓ（２５ｌ／ｍｉｎ）を供給し、流量調節弁１
０から得られる窒素濃縮空気流量を８．３×１０-5ｍ3
／ｓ（５ｌ／ｍｉｎ）に調節したところ窒素濃度は９
７．５％であった。
ールを圧力容器９内に収納し、給気管６から５９２Ｐａ
（５ｋｇｆ／ｃｍ2Ｇ）に加圧された空気４．２×１０
-4ｍ3／ｓ（２５ｌ／ｍｉｎ）を供給し、流量調節弁１
０から得られる窒素濃縮空気流量を８．３×１０-5ｍ3
／ｓ（５ｌ／ｍｉｎ）に調節したところ窒素濃度は９
７．５％であった。
【００１９】図１の窒素発生機は、上記の様にして出来
た気体分離膜モジュール３５を、３本収納し、気体分離
膜モジュール３５内の圧力が急激に上昇しないように、
圧力調整バルブ３３を設定し、アクチェータバルブ３２
で第２圧縮空気供給配管３４に供給する原料圧縮空気の
圧力が５ｋｇｆ／ｃｍ2Ｇに到達するまでの時間を１ｍ
ｉｎ以上かけることにより、気体分離膜モジュール３５
の気体分離複合膜２と封止剤８と仕切材４が剥離しな
い。また気体分離膜モジュール３５の給排気管５と圧力
容器９の接着部分も剥離しない。
た気体分離膜モジュール３５を、３本収納し、気体分離
膜モジュール３５内の圧力が急激に上昇しないように、
圧力調整バルブ３３を設定し、アクチェータバルブ３２
で第２圧縮空気供給配管３４に供給する原料圧縮空気の
圧力が５ｋｇｆ／ｃｍ2Ｇに到達するまでの時間を１ｍ
ｉｎ以上かけることにより、気体分離膜モジュール３５
の気体分離複合膜２と封止剤８と仕切材４が剥離しな
い。また気体分離膜モジュール３５の給排気管５と圧力
容器９の接着部分も剥離しない。
【００２０】以上の結果より、第２圧縮空気供給配管３
４に供給する原料圧縮空気の圧力が５ｋｇｆ／ｃｍ2Ｇ
に到達するのに１ｍｉｎ以上かけ、５９２Ｐａ（５ｋｇ
ｆ／ｃｍ2Ｇ）に達した空気１２．６×１０-4ｍ3／ｓ
（７５ｌ／ｍｉｎ）を気体分離膜モジュール３５（３
本）に供給し、流量調節弁１０から得られる窒素濃縮空
気流量を２４．９×１０-5ｍ3／ｓ（１５ｌ／ｍｉｎ）
に調節したところ窒素濃度は９７．５％の窒素富化空気
を得る事が出来た。
４に供給する原料圧縮空気の圧力が５ｋｇｆ／ｃｍ2Ｇ
に到達するのに１ｍｉｎ以上かけ、５９２Ｐａ（５ｋｇ
ｆ／ｃｍ2Ｇ）に達した空気１２．６×１０-4ｍ3／ｓ
（７５ｌ／ｍｉｎ）を気体分離膜モジュール３５（３
本）に供給し、流量調節弁１０から得られる窒素濃縮空
気流量を２４．９×１０-5ｍ3／ｓ（１５ｌ／ｍｉｎ）
に調節したところ窒素濃度は９７．５％の窒素富化空気
を得る事が出来た。
【００２１】（実施例２）以下本発明の第２の実施例に
ついて図面を参照しながら説明する。図２は第２の実施
例を示すものである。
ついて図面を参照しながら説明する。図２は第２の実施
例を示すものである。
【００２２】図２において、３１は第１圧縮空気供給配
管、３２ａはモータバルブ、３３ｂはモータ、３４は第
２圧縮空気供給配管、３５は気体分離膜モジュール、１
０は流量調節弁、３６は窒素濃縮空気供給配管、３７は
酸素濃縮空気供給配管である。
管、３２ａはモータバルブ、３３ｂはモータ、３４は第
２圧縮空気供給配管、３５は気体分離膜モジュール、１
０は流量調節弁、３６は窒素濃縮空気供給配管、３７は
酸素濃縮空気供給配管である。
【００２３】図２は、図１のアクチェータバルブ３２を
モータバルブ３２ａに、圧力調整バブル３３をモータ３
３ｂに変更した点が実施例１と異なり、以下は同じであ
る。アクチェータバルブ３２は圧力調整バルブ３３によ
り、アクチェータバルブ３２の開閉度をコントロールす
るのに対して、モータバルブ３２ａは、モータ３３ｂに
より開閉度をコントロールする点が異なっている。
モータバルブ３２ａに、圧力調整バブル３３をモータ３
３ｂに変更した点が実施例１と異なり、以下は同じであ
る。アクチェータバルブ３２は圧力調整バルブ３３によ
り、アクチェータバルブ３２の開閉度をコントロールす
るのに対して、モータバルブ３２ａは、モータ３３ｂに
より開閉度をコントロールする点が異なっている。
【００２４】モータ３３ｂによりモータバルブ３２ａ開
閉度をコントロールして第２圧縮空気供給配管３４に供
給する原料圧縮空気の圧力が５ｋｇｆ／ｃｍ2Ｇに到達
するのに１ｍｉｎ以上かけ、５９２Ｐａ（５ｋｇｆ／ｃ
ｍ2Ｇ）に達した空気１２．６×１０-4ｍ3／ｓ（７５ｌ
／ｍｉｎ）を気体分離膜モジュール３５（３本）に供給
し、流量調節弁１０から得られる窒素濃縮空気流量を２
４．９×１０-5ｍ3／ｓ（１５ｌ／ｍｉｎ）に調節した
ところ、窒素濃度は９７．５％の窒素富化空気を得る事
が出来た。
閉度をコントロールして第２圧縮空気供給配管３４に供
給する原料圧縮空気の圧力が５ｋｇｆ／ｃｍ2Ｇに到達
するのに１ｍｉｎ以上かけ、５９２Ｐａ（５ｋｇｆ／ｃ
ｍ2Ｇ）に達した空気１２．６×１０-4ｍ3／ｓ（７５ｌ
／ｍｉｎ）を気体分離膜モジュール３５（３本）に供給
し、流量調節弁１０から得られる窒素濃縮空気流量を２
４．９×１０-5ｍ3／ｓ（１５ｌ／ｍｉｎ）に調節した
ところ、窒素濃度は９７．５％の窒素富化空気を得る事
が出来た。
【００２５】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、原料空気
流路材と、平膜状の気体分離複合膜と、透過気体流路材
と、原料気体流路と透過気体流路とを隔てる仕切材と
を、上記の順に重ねて一単位とし、原料空気を供給する
給気管と透過気体を排出する排気管とが一体となった給
排気管の回りにスパイラル状に巻回した気体分離膜モジ
ュールで、巻始めの一辺は原料気体流路と給排気管の給
気管が連通し、かつ、透過気体流路と給排気管の排気管
が連通するように給排気管に気体分離複合膜および仕切
材を接着し、巻終わりの一辺は透過気体流路を閉じるよ
うに気体分離複合膜と仕切材とを接着し、他の二辺は原
料気体流路と透過気体流路を気密に隔てるように封止す
る事により、濃縮効率の高い気体分離膜モジュールが得
られ、しかもアクチェータバルブ、またはモータバルブ
を使用して、原料圧縮空気供給側の圧力を徐々に上昇に
させる手段を設けて原料圧縮空気の圧力が５ｋｇｆ／ｃ
ｍ2Ｇに到達するのに１ｍｉｎ以上となるように調節す
ることにより、気体分離膜モジュールの原料気体流路に
急激に圧力がかかることなく、封止剤と気体分離膜およ
び封止剤と仕切材とが剥離しないため、信頼性の高い窒
素発生機とすることができる。
流路材と、平膜状の気体分離複合膜と、透過気体流路材
と、原料気体流路と透過気体流路とを隔てる仕切材と
を、上記の順に重ねて一単位とし、原料空気を供給する
給気管と透過気体を排出する排気管とが一体となった給
排気管の回りにスパイラル状に巻回した気体分離膜モジ
ュールで、巻始めの一辺は原料気体流路と給排気管の給
気管が連通し、かつ、透過気体流路と給排気管の排気管
が連通するように給排気管に気体分離複合膜および仕切
材を接着し、巻終わりの一辺は透過気体流路を閉じるよ
うに気体分離複合膜と仕切材とを接着し、他の二辺は原
料気体流路と透過気体流路を気密に隔てるように封止す
る事により、濃縮効率の高い気体分離膜モジュールが得
られ、しかもアクチェータバルブ、またはモータバルブ
を使用して、原料圧縮空気供給側の圧力を徐々に上昇に
させる手段を設けて原料圧縮空気の圧力が５ｋｇｆ／ｃ
ｍ2Ｇに到達するのに１ｍｉｎ以上となるように調節す
ることにより、気体分離膜モジュールの原料気体流路に
急激に圧力がかかることなく、封止剤と気体分離膜およ
び封止剤と仕切材とが剥離しないため、信頼性の高い窒
素発生機とすることができる。
【図１】本発明の第１の実施例における窒素発生機の概
略構成図
略構成図
【図２】本発明の第２の実施例における窒素発生機の概
略構成図
略構成図
【図３】本発明の実施例における窒素発生機の気体分離
膜モジュールの展開断面図
膜モジュールの展開断面図
【図４】本発明の実施例における窒素発生機の気体分離
膜モジュールの概略説明図
膜モジュールの概略説明図
【図５】従来のスパイラル状分離膜モジュールの説明図
１ 原料気体流路材 ２ 気体分離複合膜 ３ 透過気体流路材 ４ 仕切材 ５ 給排気管 ６ 給気管 ７ 排気管 ８ 封止剤 ９ 圧力容器 １０ 流量調節弁 ３１ 第１圧縮空気供給配管 ３２ アクチェータバルブ ３２ａ モータバルブ ３３ 圧力調整バルブ ３３ｂ モータ ３４ 第２圧縮空気供給配管 ３５ 気体分離膜モジュール ３６ 窒素濃縮空気供給配管 ３７ 酸素濃縮空気供給配管
Claims (3)
- 【請求項１】 原料気体流路材と、平膜状の気体分離複
合膜と、透過気体流路材と、原料気体流路と透過気体流
路を隔てる仕切材とを、上記の順に重ねて一単位とし、
原料空気を供給する供給管と透過気体を排気する排気管
とが一体となった給排気管の回りにスパイラル状に巻回
した気体分離膜モジュールで、巻始めの一辺は原料気体
流路と給排気管の供給管が連通し、かつ、透過気体流路
と給排気管の排気管が連通するように給排気管に気体分
離複合膜および仕切材を接着し、巻終わりの一辺は透過
気体流路を閉じるように気体分離複合膜と仕切材とを接
着し、他の二辺は原料気体流路と透過気体流路とを気密
に隔てるように封止した気体分離膜モジュールと、気体
分離膜モジュールに供給する原料圧縮空気の圧力を徐々
に上昇にさせる手段とを有することを特徴とする窒素発
生機。 - 【請求項２】 前記気体分離膜モジュールに供給する原
料圧縮空気の圧力を徐々に上昇にさせる手段は、気体分
離膜モジュールに供給する原料圧縮空気の圧力が５ｋｇ
ｆ／ｃｍ2Ｇに到達するまでに要する時間が１ｍｉｎ以
上であることを特徴とする請求項１記載の窒素発生機。 - 【請求項３】 前記気体分離膜モジュールに供給する原
料圧縮空気の圧力を徐々に上昇にさせる手段がアクチェ
ータバルブまたは、電動バルブから成ることを特徴とす
る請求項１記載の窒素発生機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1838793A JPH06227803A (ja) | 1993-02-05 | 1993-02-05 | 窒素発生機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1838793A JPH06227803A (ja) | 1993-02-05 | 1993-02-05 | 窒素発生機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06227803A true JPH06227803A (ja) | 1994-08-16 |
Family
ID=11970310
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1838793A Pending JPH06227803A (ja) | 1993-02-05 | 1993-02-05 | 窒素発生機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06227803A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07328787A (ja) * | 1994-06-07 | 1995-12-19 | Amada Co Ltd | レーザ加工機に対するアシストガス供給方法及び装置 |
| US5709733A (en) * | 1995-05-29 | 1998-01-20 | Nitto Denko Corporation | Gas separation method |
| JPH10263109A (ja) * | 1997-03-27 | 1998-10-06 | Nohmi Bosai Ltd | 消火方法および消火装置 |
-
1993
- 1993-02-05 JP JP1838793A patent/JPH06227803A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07328787A (ja) * | 1994-06-07 | 1995-12-19 | Amada Co Ltd | レーザ加工機に対するアシストガス供給方法及び装置 |
| US5709733A (en) * | 1995-05-29 | 1998-01-20 | Nitto Denko Corporation | Gas separation method |
| JPH10263109A (ja) * | 1997-03-27 | 1998-10-06 | Nohmi Bosai Ltd | 消火方法および消火装置 |
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