JP2641333B2 - 熱式流量センサ - Google Patents
熱式流量センサInfo
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- JP2641333B2 JP2641333B2 JP3074052A JP7405291A JP2641333B2 JP 2641333 B2 JP2641333 B2 JP 2641333B2 JP 3074052 A JP3074052 A JP 3074052A JP 7405291 A JP7405291 A JP 7405291A JP 2641333 B2 JP2641333 B2 JP 2641333B2
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P5/00—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft
- G01P5/10—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft by measuring thermal variables
- G01P5/12—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft by measuring thermal variables using variation of resistance of a heated conductor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/688—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element
- G01F1/69—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element of resistive type
- G01F1/692—Thin-film arrangements
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、熱式流量センサに関す
るもので、特に内燃機関の吸入空気量を測定する熱式流
量センサに関する。
るもので、特に内燃機関の吸入空気量を測定する熱式流
量センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、自動車用内燃機関の空気流量
を測定する装置として、吸気通路に発熱体を置いてこれ
を一定温度例えば１００℃に保持するように電流制御す
ることにより、発熱体が冷却される分の必要熱量変化を
抵抗変化としてとらえ空気流量を検出する熱式流量セン
サが知られている（センサ技術1989年９月号第２５頁)。
この種の流量センサには定温度制御あるいは定電流制御
のものがある。
を測定する装置として、吸気通路に発熱体を置いてこれ
を一定温度例えば１００℃に保持するように電流制御す
ることにより、発熱体が冷却される分の必要熱量変化を
抵抗変化としてとらえ空気流量を検出する熱式流量セン
サが知られている（センサ技術1989年９月号第２５頁)。
この種の流量センサには定温度制御あるいは定電流制御
のものがある。
【０００３】このような熱式流量センサの電気回路は例
えば図１に示すような回路をもつ。すなわち空気管１の
内部の空気流体に接触するように発熱抵抗体ＲH および
温度補償抵抗体ＲC が設けられ、空気流路２の外部に抵
抗体Ｒ1 および抵抗体Ｒ2 がブリッジ回路として接続さ
れる。発熱抵抗体ＲH は流量測定用抵抗体であり、温度
補償抵抗体ＲC は空気流路２中の空気温度と同じ温度に
保持される抵抗体ＲCである。ＲH は一般に１０〜３０
Ω、ＲC は４００〜１０００Ω程度の抵抗値の抵抗体が
使用される。３はトランジスタ、４は比較器、５はセン
サ駆動電圧が印加される端子である。抵抗体ＲH の温度
が空気温度（抵抗体ＲC の温度）より高くなるようにブ
リッジ回路をバランスさせることにより、抵抗体ＲH の
温度が一定になるように加熱電流かブリッジに供給させ
る。そして、Ｒ1 の両端電圧でもって、空気流量に対応
した出力６を取出すことができる。
えば図１に示すような回路をもつ。すなわち空気管１の
内部の空気流体に接触するように発熱抵抗体ＲH および
温度補償抵抗体ＲC が設けられ、空気流路２の外部に抵
抗体Ｒ1 および抵抗体Ｒ2 がブリッジ回路として接続さ
れる。発熱抵抗体ＲH は流量測定用抵抗体であり、温度
補償抵抗体ＲC は空気流路２中の空気温度と同じ温度に
保持される抵抗体ＲCである。ＲH は一般に１０〜３０
Ω、ＲC は４００〜１０００Ω程度の抵抗値の抵抗体が
使用される。３はトランジスタ、４は比較器、５はセン
サ駆動電圧が印加される端子である。抵抗体ＲH の温度
が空気温度（抵抗体ＲC の温度）より高くなるようにブ
リッジ回路をバランスさせることにより、抵抗体ＲH の
温度が一定になるように加熱電流かブリッジに供給させ
る。そして、Ｒ1 の両端電圧でもって、空気流量に対応
した出力６を取出すことができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
熱式流量センサによると、温度補償抵抗体ＲC の温度補
償が正確になされていないため、空気流量の測定に誤差
を生じ、正確な空気流量の検出を行なうことが困難であ
った。この原因は、従来の熱式空気流量センサの発熱抵
抗体の抵抗温度係数が後述するように正確に用いられず
に電気回路の設計がなされていたことが一つの原因であ
る。本発明は、従来の熱式空気流量センサで用いた温度
補償用の電気回路および電気回路の調節を不要とし、幅
広い温度範囲で流量を正確に検出することができる熱式
流量センサを提供することを目的とする。
熱式流量センサによると、温度補償抵抗体ＲC の温度補
償が正確になされていないため、空気流量の測定に誤差
を生じ、正確な空気流量の検出を行なうことが困難であ
った。この原因は、従来の熱式空気流量センサの発熱抵
抗体の抵抗温度係数が後述するように正確に用いられず
に電気回路の設計がなされていたことが一つの原因であ
る。本発明は、従来の熱式空気流量センサで用いた温度
補償用の電気回路および電気回路の調節を不要とし、幅
広い温度範囲で流量を正確に検出することができる熱式
流量センサを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の本発明の空気流量センサは、流体通路中に設けられ、
流体の流量を検出する白金発熱抵抗体ＲH および流体の
温度を検出する白金温度補償抵抗体ＲC を有する熱式流
量センサにおいて、前記白金発熱抵抗体ＲH の０℃のと
きの抵抗値をｒHO（Ω）として、前記白金発熱抵抗体Ｒ
H の抵抗値ｒH（Ω）を温度Ｔ（℃）の関数 ｒH ＝ｒHO（１＋αＴ＋βＴ2 ） で表わし、前記白金温度補償抵抗体ＲC の０℃のときの
抵抗値をｒCO（Ω）として前記白金温度補償抵抗体ＲC
の抵抗値ｒC （Ω）を温度Ｔ（℃）の関数 ｒC ＝ｒCO（１＋αＴ＋βＴ2 ） で表わし、かつβの値が−０．６ｐｐｍ／℃近傍である
とき、前記白金温度補償抵抗体ＲC の抵抗温度係数の一
次項係数αの値は、前記白金発熱抵抗体ＲH の抵抗温度
係数の一次項係数αの値より低い値であり、その差は、
１００ｐｐｍ／℃より大きいと同時に２５０ｐｐｍ／℃
よりも小さいことを特徴とする。
の本発明の空気流量センサは、流体通路中に設けられ、
流体の流量を検出する白金発熱抵抗体ＲH および流体の
温度を検出する白金温度補償抵抗体ＲC を有する熱式流
量センサにおいて、前記白金発熱抵抗体ＲH の０℃のと
きの抵抗値をｒHO（Ω）として、前記白金発熱抵抗体Ｒ
H の抵抗値ｒH（Ω）を温度Ｔ（℃）の関数 ｒH ＝ｒHO（１＋αＴ＋βＴ2 ） で表わし、前記白金温度補償抵抗体ＲC の０℃のときの
抵抗値をｒCO（Ω）として前記白金温度補償抵抗体ＲC
の抵抗値ｒC （Ω）を温度Ｔ（℃）の関数 ｒC ＝ｒCO（１＋αＴ＋βＴ2 ） で表わし、かつβの値が−０．６ｐｐｍ／℃近傍である
とき、前記白金温度補償抵抗体ＲC の抵抗温度係数の一
次項係数αの値は、前記白金発熱抵抗体ＲH の抵抗温度
係数の一次項係数αの値より低い値であり、その差は、
１００ｐｐｍ／℃より大きいと同時に２５０ｐｐｍ／℃
よりも小さいことを特徴とする。
【０００６】
【作用】先ず、一般的な熱式流量センサの原理について
説明する。発熱体が単位時間に失う熱量Ｈ（Ｗ）は、発
熱体の温度ＴH （℃）と空気温度ＴC （℃）の差に比例
し、下記の式で表される。
説明する。発熱体が単位時間に失う熱量Ｈ（Ｗ）は、発
熱体の温度ＴH （℃）と空気温度ＴC （℃）の差に比例
し、下記の式で表される。
【０００７】
【数１】
【０００８】Ｑ（ｋｇ／ｓ）は流量、ｎは流体の性質や
レイノルズ数に依存する数、Ａ、Ｂは定数である。一
方、発熱体の加熱電流をＩ（Ａ）、発熱抵抗体ＲH の抵
抗値をｒH （Ω）とすると、熱平衡状態において、放熱
量と発熱量は等しく数２の式が成立する。
レイノルズ数に依存する数、Ａ、Ｂは定数である。一
方、発熱体の加熱電流をＩ（Ａ）、発熱抵抗体ＲH の抵
抗値をｒH （Ω）とすると、熱平衡状態において、放熱
量と発熱量は等しく数２の式が成立する。
【０００９】
【数２】
【００１０】よって、数３の式が成立する。
【００１１】
【数３】
【００１２】出力は、数４の式で表される。
【００１３】
【数４】
【００１４】流体の流量が変わらずに（Ｑ＝一定）、空
気温度Ｔ C が変化した場合、流量センサのセンサ出力が
変化しないようにするためには、つまり温度補償するよ
うにするためには数５の式の値が一定である必要があ
る。
気温度Ｔ C が変化した場合、流量センサのセンサ出力が
変化しないようにするためには、つまり温度補償するよ
うにするためには数５の式の値が一定である必要があ
る。
【００１５】
【数５】
【００１６】一方、図１に示すブリッジが平衡状態にあ
るとき、温度補償抵抗体ＲC の抵抗値をｒC （Ω）、抵
抗体Ｒ1 の抵抗値をｒ1 （Ω）、抵抗体Ｒ2 の抵抗値を
ｒ2（Ω）として、数６の式の関係がある。
るとき、温度補償抵抗体ＲC の抵抗値をｒC （Ω）、抵
抗体Ｒ1 の抵抗値をｒ1 （Ω）、抵抗体Ｒ2 の抵抗値を
ｒ2（Ω）として、数６の式の関係がある。
【００１７】
【数６】
【００１８】また、ＲH とＲC が数７および数８のよう
な温度係数をもつと仮定する。
な温度係数をもつと仮定する。
【００１９】
【数７】
【数８】
【００２０】ただし、ｒH0（Ω）およびｒC0（Ω）は各
々温度０℃のときのＲH とＲC の抵抗値を示す。ＲH 、
ＲC の温度はそれぞれＴH 、ＴC より数９および数１０
のように表される。
々温度０℃のときのＲH とＲC の抵抗値を示す。ＲH 、
ＲC の温度はそれぞれＴH 、ＴC より数９および数１０
のように表される。
【００２１】
【数９】
【数１０】
【００２２】数９、数１０より、ＴH 、ＴC を求め、数
４に代入すると、数１１が求められる。
４に代入すると、数１１が求められる。
【００２３】
【数１１】
【００２４】数１１の左項が一定であるためには（温度
補償するためには）、αH ＝αC である必要がある。よ
って、発熱抵抗体ＲH と温度補償抵抗体ＲC は、数１２
の式の同じ抵抗温度係数をもつ必要がある。
補償するためには）、αH ＝αC である必要がある。よ
って、発熱抵抗体ＲH と温度補償抵抗体ＲC は、数１２
の式の同じ抵抗温度係数をもつ必要がある。
【００２５】
【数１２】
【００２６】つまり、数１３および数１４である必要が
ある。
ある。
【００２７】
【数１３】
【数１４】
【００２８】従来は温度補償を行なうために、熱式流量
センサの発熱抵抗体ＲH および温度補償抵抗体ＲC とし
て、両者の抵抗温度係数αを等しくさせるために共に白
金を使用していた。しかし、従来のものは前記数７およ
び数８の式の仮定のもとに発熱抵抗体ＲHおよび温度補
償抵抗体ＲC を選択していたことが流量測定誤差を生じ
させていたと考えられる。
センサの発熱抵抗体ＲH および温度補償抵抗体ＲC とし
て、両者の抵抗温度係数αを等しくさせるために共に白
金を使用していた。しかし、従来のものは前記数７およ
び数８の式の仮定のもとに発熱抵抗体ＲHおよび温度補
償抵抗体ＲC を選択していたことが流量測定誤差を生じ
させていたと考えられる。
【００２９】本発明では、実際の白金の抵抗値が数１５
の式で、より精度高く近似できることから、数１５の式
のβ項をも考慮して、発熱抵抗体ＲH および温度補償抵
抗体ＲC を組み合わせることを検討したものである。こ
れにより、後述する実験データのように、温度変化があ
る場合にも正確な流量測定をすることができる。なお、
数１５の式は数１３の式においてＴ2 の項に補正係数β
を付加し、より実際に近づけた近似式である。
の式で、より精度高く近似できることから、数１５の式
のβ項をも考慮して、発熱抵抗体ＲH および温度補償抵
抗体ＲC を組み合わせることを検討したものである。こ
れにより、後述する実験データのように、温度変化があ
る場合にも正確な流量測定をすることができる。なお、
数１５の式は数１３の式においてＴ2 の項に補正係数β
を付加し、より実際に近づけた近似式である。
【００３０】
【数１５】
【００３１】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面にもとづいて説
明する。本発明を内燃機関の空気流量センサに適用した
実施例を図２に示す。図２に示すように、空気管の中に
サンプリング管１４が設けられ、サンプリング管１４の
内部に発熱抵抗体ＲH および温度補償抵抗体ＲC が配置
されている。発熱抵抗体ＲH および温度補償抵抗体ＲC
はそれぞれ導電支持体１２、１３によって電子回路１１
に接続されている。
明する。本発明を内燃機関の空気流量センサに適用した
実施例を図２に示す。図２に示すように、空気管の中に
サンプリング管１４が設けられ、サンプリング管１４の
内部に発熱抵抗体ＲH および温度補償抵抗体ＲC が配置
されている。発熱抵抗体ＲH および温度補償抵抗体ＲC
はそれぞれ導電支持体１２、１３によって電子回路１１
に接続されている。
【００３２】熱式流量センサ１５の電気回路は図１に示
すとおりである。この電気回路を構成するブリッジのう
ち発熱抵抗体ＲH と温度補償抵抗体ＲC の構造は、図３
に示す薄膜抵抗体構造をもつ。アルミナ等からなるセラ
ミックパイプ２１の外表面にパターン形成された所定抵
抗値を有する白金等からなる金属薄膜２２が設けられ
る。この金属薄膜２２は、セラミックパイプ２１の両端
部においてそれぞれ白金線からなるリード線２０、２０
に対し白金等の導体にガラス等を混合した導電性接続ペ
ースト２３を介して電気的に接続されている。セラミッ
クパイプ２１の外表面に形成される金属薄膜２２は、例
えばスパッタリング、メッキ、ＣＶＤ、蒸着等の物理的
または化学的方法により形成され、熱処理し、さらにレ
ーザトリミング手法等によりスパイラル状にトリミング
されて所定パターンをもつように形成される。金属薄膜
２２の周囲には例えばガラス等からなる絶縁性保護膜２
４が所定の厚みになるようにセラミックパイプ２１の周
囲を被覆している。発熱抵抗体ＲH の抵抗値は、１０〜
３０Ω、温度補償抵抗体ＲC の抵抗値は、４００〜１０
００Ωとなるように、前記スパイラルのピッチを変え
て、抵抗値を調節する。このとき温度補償抵抗体ＲC の
抵抗温度係数の一次項係数αの値は、発熱抵抗体ＲH の
抵抗温度係数の一次項係数αの値より低い値のものを選
択する。実施例１では、温度補償抵抗体Ｒ C のαの値は
発熱抵抗体Ｒ H のαの値よりも約１００ｐｐｍ／℃低
く、また実施例２では、約２５０ｐｐｍ／℃低い。これ
らの値は、後で述べる数１６および数１８から読み取る
ことができる。これにより、実験データに示すように、
温度変化があっても流量が一定ならば一定のセンサ出力
値を出力することができる。なお、抵抗温度係数の一次
項係数αは、前記金属薄膜の厚さまたは、前記熱処理条
件を変えることにより、制御される。またこれらの条件
を変えても抵抗温度係数の二次項係数βは−０．６ｐｐ
ｍ／℃近傍である。
すとおりである。この電気回路を構成するブリッジのう
ち発熱抵抗体ＲH と温度補償抵抗体ＲC の構造は、図３
に示す薄膜抵抗体構造をもつ。アルミナ等からなるセラ
ミックパイプ２１の外表面にパターン形成された所定抵
抗値を有する白金等からなる金属薄膜２２が設けられ
る。この金属薄膜２２は、セラミックパイプ２１の両端
部においてそれぞれ白金線からなるリード線２０、２０
に対し白金等の導体にガラス等を混合した導電性接続ペ
ースト２３を介して電気的に接続されている。セラミッ
クパイプ２１の外表面に形成される金属薄膜２２は、例
えばスパッタリング、メッキ、ＣＶＤ、蒸着等の物理的
または化学的方法により形成され、熱処理し、さらにレ
ーザトリミング手法等によりスパイラル状にトリミング
されて所定パターンをもつように形成される。金属薄膜
２２の周囲には例えばガラス等からなる絶縁性保護膜２
４が所定の厚みになるようにセラミックパイプ２１の周
囲を被覆している。発熱抵抗体ＲH の抵抗値は、１０〜
３０Ω、温度補償抵抗体ＲC の抵抗値は、４００〜１０
００Ωとなるように、前記スパイラルのピッチを変え
て、抵抗値を調節する。このとき温度補償抵抗体ＲC の
抵抗温度係数の一次項係数αの値は、発熱抵抗体ＲH の
抵抗温度係数の一次項係数αの値より低い値のものを選
択する。実施例１では、温度補償抵抗体Ｒ C のαの値は
発熱抵抗体Ｒ H のαの値よりも約１００ｐｐｍ／℃低
く、また実施例２では、約２５０ｐｐｍ／℃低い。これ
らの値は、後で述べる数１６および数１８から読み取る
ことができる。これにより、実験データに示すように、
温度変化があっても流量が一定ならば一定のセンサ出力
値を出力することができる。なお、抵抗温度係数の一次
項係数αは、前記金属薄膜の厚さまたは、前記熱処理条
件を変えることにより、制御される。またこれらの条件
を変えても抵抗温度係数の二次項係数βは−０．６ｐｐ
ｍ／℃近傍である。
【００３３】次に実験データを示す。実施例１ 流体温度が０℃のとき、発熱抵抗体ＲH を１００℃に加
熱した。実施例１の発熱抵抗体ＲH および温度補償抵抗
体ＲC の抵抗値は、数１６のとおりである。
熱した。実施例１の発熱抵抗体ＲH および温度補償抵抗
体ＲC の抵抗値は、数１６のとおりである。
【数１６】 比較例１の発熱抵抗体ＲH および温度補償抵抗体ＲC の
抵抗値は、数１７のとおりである。
抵抗値は、数１７のとおりである。
【数１７】 実施例１と比較例１について流体温度を０℃から４０℃
に昇温したときの出力変化は図４（Ａ）（Ｂ）のとおり
である。図４から明らかなように、流体温度が０℃から
４０℃に昇温したときセンサ出力は比較例１では昇温前
後において約３％の出力誤差を生じた。これに対し実施
例１では出力誤差はほとんど生じなかった。比較例１の
場合、抵抗体ＲH とＲC の抵抗温度係数の一次項係数α
の値が互いに近い値をもつ抵抗体を用い、実施例１で
は、抵抗体ＲH とＲC の抵抗温度係数の一次項係数αの
値に一定の差を考慮した抵抗体を用いたため、図４
（Ａ）のように、センサ精度がかなり良好なものになっ
たことが解る。
に昇温したときの出力変化は図４（Ａ）（Ｂ）のとおり
である。図４から明らかなように、流体温度が０℃から
４０℃に昇温したときセンサ出力は比較例１では昇温前
後において約３％の出力誤差を生じた。これに対し実施
例１では出力誤差はほとんど生じなかった。比較例１の
場合、抵抗体ＲH とＲC の抵抗温度係数の一次項係数α
の値が互いに近い値をもつ抵抗体を用い、実施例１で
は、抵抗体ＲH とＲC の抵抗温度係数の一次項係数αの
値に一定の差を考慮した抵抗体を用いたため、図４
（Ａ）のように、センサ精度がかなり良好なものになっ
たことが解る。
【００３４】実施例２ 流体温度が０℃のとき発熱抵抗体ＲH を２００℃に加熱
した。実施例２の発熱抵抗体ＲH および温度補償抵抗体
ＲC の抵抗値は、数１８のとおりである。
した。実施例２の発熱抵抗体ＲH および温度補償抵抗体
ＲC の抵抗値は、数１８のとおりである。
【数１８】 比較例２の発熱抵抗体ＲH および温度補償抵抗体ＲC の
抵抗値は、数１９のとおりである。
抵抗値は、数１９のとおりである。
【数１９】 実施例２と比較例２について流体温度を０℃から４０℃
に昇温したときの出力変化は図５（Ａ）（Ｂ）のとおり
である。図５から明らかなように、流体温度が０℃から
４０℃に昇温したときセンサ出力は比較例２では昇温前
後において約５％の出力誤差を生じた。これに対し実施
例２では出力誤差はほとんど生じなかった。比較例２の
場合、抵抗体ＲH とＲC の抵抗温度係数の一次項係数α
の値が互いに近い値をもつ抵抗体を用い、実施例２で
は、抵抗体ＲH とＲC の抵抗温度係数の一次項係数αの
値に一定の差を考慮した抵抗体を用いたため、実施例２
においては、前記結果のようにセンサ精度はかなり良好
なものであることが解る。
に昇温したときの出力変化は図５（Ａ）（Ｂ）のとおり
である。図５から明らかなように、流体温度が０℃から
４０℃に昇温したときセンサ出力は比較例２では昇温前
後において約５％の出力誤差を生じた。これに対し実施
例２では出力誤差はほとんど生じなかった。比較例２の
場合、抵抗体ＲH とＲC の抵抗温度係数の一次項係数α
の値が互いに近い値をもつ抵抗体を用い、実施例２で
は、抵抗体ＲH とＲC の抵抗温度係数の一次項係数αの
値に一定の差を考慮した抵抗体を用いたため、実施例２
においては、前記結果のようにセンサ精度はかなり良好
なものであることが解る。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように本発明の熱式流量セ
ンサによれば、温度補償抵抗体の抵抗温度係数値を発熱
抵抗体の抵抗温度係数よりも所定の範囲内で低い値をと
るように抵抗体を選定したため、流体の温度変化があっ
ても温度依存の少ない正確な流量検出を行なえるという
効果がある。また、熱式流量センサにおいて、温度補償
用の特別な電気回路や回路調整が不要となるため、セン
サ出力の調節が容易になるという効果がある。
ンサによれば、温度補償抵抗体の抵抗温度係数値を発熱
抵抗体の抵抗温度係数よりも所定の範囲内で低い値をと
るように抵抗体を選定したため、流体の温度変化があっ
ても温度依存の少ない正確な流量検出を行なえるという
効果がある。また、熱式流量センサにおいて、温度補償
用の特別な電気回路や回路調整が不要となるため、セン
サ出力の調節が容易になるという効果がある。
【図１】本発明の実施例による熱式流量センサの電気回
路を示す回路図である。
路を示す回路図である。
【図２】本発明の実施例による熱式流量センサを示す模
式図である。
式図である。
【図３】本発明の実施例による抵抗体を示す概略断面図
である。
である。
【図４】本発明の実施例１と従来の比較例１とを対比し
た特性図である。
た特性図である。
【図５】本発明の実施例２と従来の比較例２とを対比し
た特性図である。
た特性図である。
１５ 熱式流量センサ ＲH 発熱抵抗体 ＲC 温度補償抵抗体
Claims (1)
- 【請求項１】 流体通路中に設けられ、流体の流量を検
出する白金発熱抵抗体ＲH および流体の温度を検出する
白金温度補償抵抗体ＲC を有する熱式流量センサにおい
て、 前記白金発熱抵抗体ＲH の０℃のときの抵抗値をｒ
HO（Ω）として、前記白金発熱抵抗体ＲH の抵抗値ｒH
（Ω）を温度Ｔ（℃）の関数 ｒH ＝ｒHO（１＋αＴ＋βＴ2 ） で表わし、 前記白金温度補償抵抗体ＲC の０℃のときの抵抗値をｒ
CO（Ω）として前記白金温度補償抵抗体ＲC の抵抗値ｒ
C （Ω）を温度Ｔ（℃）の関数 ｒC ＝ｒCO（１＋αＴ＋βＴ2 ） で表わし、 かつβの値が−０．６ｐｐｍ／℃近傍であるとき、 前記白金温度補償抵抗体Ｒc の抵抗温度係数の一次項係
数αの値は、前記白金発熱抵抗体ＲH の抵抗温度係数の
一次項係数αの値より低い値であり、その差は、１００
ｐｐｍ／℃より大きいと同時に２５０ｐｐｍ／℃よりも
小さいことを特徴とする熱式流量センサ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3074052A JP2641333B2 (ja) | 1991-03-13 | 1991-03-13 | 熱式流量センサ |
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