JP2641333B2 - 熱式流量センサ - Google Patents
熱式流量センサInfo
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- JP2641333B2 JP2641333B2 JP3074052A JP7405291A JP2641333B2 JP 2641333 B2 JP2641333 B2 JP 2641333B2 JP 3074052 A JP3074052 A JP 3074052A JP 7405291 A JP7405291 A JP 7405291A JP 2641333 B2 JP2641333 B2 JP 2641333B2
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P5/00—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft
- G01P5/10—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft by measuring thermal variables
- G01P5/12—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft by measuring thermal variables using variation of resistance of a heated conductor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/688—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element
- G01F1/69—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element of resistive type
- G01F1/692—Thin-film arrangements
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、熱式流量センサに関す
るもので、特に内燃機関の吸入空気量を測定する熱式流
量センサに関する。
るもので、特に内燃機関の吸入空気量を測定する熱式流
量センサに関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、自動車用内燃機関の空気流量
を測定する装置として、吸気通路に発熱体を置いてこれ
を一定温度例えば100℃に保持するように電流制御す
ることにより、発熱体が冷却される分の必要熱量変化を
抵抗変化としてとらえ空気流量を検出する熱式流量セン
サが知られている(センサ技術1989年9月号第25頁)。
この種の流量センサには定温度制御あるいは定電流制御
のものがある。
を測定する装置として、吸気通路に発熱体を置いてこれ
を一定温度例えば100℃に保持するように電流制御す
ることにより、発熱体が冷却される分の必要熱量変化を
抵抗変化としてとらえ空気流量を検出する熱式流量セン
サが知られている(センサ技術1989年9月号第25頁)。
この種の流量センサには定温度制御あるいは定電流制御
のものがある。
【0003】このような熱式流量センサの電気回路は例
えば図1に示すような回路をもつ。すなわち空気管1の
内部の空気流体に接触するように発熱抵抗体RH および
温度補償抵抗体RC が設けられ、空気流路2の外部に抵
抗体R1 および抵抗体R2 がブリッジ回路として接続さ
れる。発熱抵抗体RH は流量測定用抵抗体であり、温度
補償抵抗体RC は空気流路2中の空気温度と同じ温度に
保持される抵抗体RCである。RH は一般に10〜30
Ω、RC は400〜1000Ω程度の抵抗値の抵抗体が
使用される。3はトランジスタ、4は比較器、5はセン
サ駆動電圧が印加される端子である。抵抗体RH の温度
が空気温度(抵抗体RC の温度)より高くなるようにブ
リッジ回路をバランスさせることにより、抵抗体RH の
温度が一定になるように加熱電流かブリッジに供給させ
る。そして、R1 の両端電圧でもって、空気流量に対応
した出力6を取出すことができる。
えば図1に示すような回路をもつ。すなわち空気管1の
内部の空気流体に接触するように発熱抵抗体RH および
温度補償抵抗体RC が設けられ、空気流路2の外部に抵
抗体R1 および抵抗体R2 がブリッジ回路として接続さ
れる。発熱抵抗体RH は流量測定用抵抗体であり、温度
補償抵抗体RC は空気流路2中の空気温度と同じ温度に
保持される抵抗体RCである。RH は一般に10〜30
Ω、RC は400〜1000Ω程度の抵抗値の抵抗体が
使用される。3はトランジスタ、4は比較器、5はセン
サ駆動電圧が印加される端子である。抵抗体RH の温度
が空気温度(抵抗体RC の温度)より高くなるようにブ
リッジ回路をバランスさせることにより、抵抗体RH の
温度が一定になるように加熱電流かブリッジに供給させ
る。そして、R1 の両端電圧でもって、空気流量に対応
した出力6を取出すことができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
熱式流量センサによると、温度補償抵抗体RC の温度補
償が正確になされていないため、空気流量の測定に誤差
を生じ、正確な空気流量の検出を行なうことが困難であ
った。この原因は、従来の熱式空気流量センサの発熱抵
抗体の抵抗温度係数が後述するように正確に用いられず
に電気回路の設計がなされていたことが一つの原因であ
る。本発明は、従来の熱式空気流量センサで用いた温度
補償用の電気回路および電気回路の調節を不要とし、幅
広い温度範囲で流量を正確に検出することができる熱式
流量センサを提供することを目的とする。
熱式流量センサによると、温度補償抵抗体RC の温度補
償が正確になされていないため、空気流量の測定に誤差
を生じ、正確な空気流量の検出を行なうことが困難であ
った。この原因は、従来の熱式空気流量センサの発熱抵
抗体の抵抗温度係数が後述するように正確に用いられず
に電気回路の設計がなされていたことが一つの原因であ
る。本発明は、従来の熱式空気流量センサで用いた温度
補償用の電気回路および電気回路の調節を不要とし、幅
広い温度範囲で流量を正確に検出することができる熱式
流量センサを提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の本発明の空気流量センサは、流体通路中に設けられ、
流体の流量を検出する白金発熱抵抗体RH および流体の
温度を検出する白金温度補償抵抗体RC を有する熱式流
量センサにおいて、前記白金発熱抵抗体RH の0℃のと
きの抵抗値をrHO(Ω)として、前記白金発熱抵抗体R
H の抵抗値rH(Ω)を温度T(℃)の関数 rH =rHO(1+αT+βT2 ) で表わし、前記白金温度補償抵抗体RC の0℃のときの
抵抗値をrCO(Ω)として前記白金温度補償抵抗体RC
の抵抗値rC (Ω)を温度T(℃)の関数 rC =rCO(1+αT+βT2 ) で表わし、かつβの値が−0.6ppm/℃近傍である
とき、前記白金温度補償抵抗体RC の抵抗温度係数の一
次項係数αの値は、前記白金発熱抵抗体RH の抵抗温度
係数の一次項係数αの値より低い値であり、その差は、
100ppm/℃より大きいと同時に250ppm/℃
よりも小さいことを特徴とする。
の本発明の空気流量センサは、流体通路中に設けられ、
流体の流量を検出する白金発熱抵抗体RH および流体の
温度を検出する白金温度補償抵抗体RC を有する熱式流
量センサにおいて、前記白金発熱抵抗体RH の0℃のと
きの抵抗値をrHO(Ω)として、前記白金発熱抵抗体R
H の抵抗値rH(Ω)を温度T(℃)の関数 rH =rHO(1+αT+βT2 ) で表わし、前記白金温度補償抵抗体RC の0℃のときの
抵抗値をrCO(Ω)として前記白金温度補償抵抗体RC
の抵抗値rC (Ω)を温度T(℃)の関数 rC =rCO(1+αT+βT2 ) で表わし、かつβの値が−0.6ppm/℃近傍である
とき、前記白金温度補償抵抗体RC の抵抗温度係数の一
次項係数αの値は、前記白金発熱抵抗体RH の抵抗温度
係数の一次項係数αの値より低い値であり、その差は、
100ppm/℃より大きいと同時に250ppm/℃
よりも小さいことを特徴とする。
【0006】
【作用】先ず、一般的な熱式流量センサの原理について
説明する。発熱体が単位時間に失う熱量H(W)は、発
熱体の温度TH (℃)と空気温度TC (℃)の差に比例
し、下記の式で表される。
説明する。発熱体が単位時間に失う熱量H(W)は、発
熱体の温度TH (℃)と空気温度TC (℃)の差に比例
し、下記の式で表される。
【0007】
【数1】
【0008】Q(kg/s)は流量、nは流体の性質や
レイノルズ数に依存する数、A、Bは定数である。一
方、発熱体の加熱電流をI(A)、発熱抵抗体RH の抵
抗値をrH (Ω)とすると、熱平衡状態において、放熱
量と発熱量は等しく数2の式が成立する。
レイノルズ数に依存する数、A、Bは定数である。一
方、発熱体の加熱電流をI(A)、発熱抵抗体RH の抵
抗値をrH (Ω)とすると、熱平衡状態において、放熱
量と発熱量は等しく数2の式が成立する。
【0009】
【数2】
【0010】よって、数3の式が成立する。
【0011】
【数3】
【0012】出力は、数4の式で表される。
【0013】
【数4】
【0014】流体の流量が変わらずに(Q=一定)、空
気温度T C が変化した場合、流量センサのセンサ出力が
変化しないようにするためには、つまり温度補償するよ
うにするためには数5の式の値が一定である必要があ
る。
気温度T C が変化した場合、流量センサのセンサ出力が
変化しないようにするためには、つまり温度補償するよ
うにするためには数5の式の値が一定である必要があ
る。
【0015】
【数5】
【0016】一方、図1に示すブリッジが平衡状態にあ
るとき、温度補償抵抗体RC の抵抗値をrC (Ω)、抵
抗体R1 の抵抗値をr1 (Ω)、抵抗体R2 の抵抗値を
r2(Ω)として、数6の式の関係がある。
るとき、温度補償抵抗体RC の抵抗値をrC (Ω)、抵
抗体R1 の抵抗値をr1 (Ω)、抵抗体R2 の抵抗値を
r2(Ω)として、数6の式の関係がある。
【0017】
【数6】
【0018】また、RH とRC が数7および数8のよう
な温度係数をもつと仮定する。
な温度係数をもつと仮定する。
【0019】
【数7】
【数8】
【0020】ただし、rH0(Ω)およびrC0(Ω)は各
々温度0℃のときのRH とRC の抵抗値を示す。RH 、
RC の温度はそれぞれTH 、TC より数9および数10
のように表される。
々温度0℃のときのRH とRC の抵抗値を示す。RH 、
RC の温度はそれぞれTH 、TC より数9および数10
のように表される。
【0021】
【数9】
【数10】
【0022】数9、数10より、TH 、TC を求め、数
4に代入すると、数11が求められる。
4に代入すると、数11が求められる。
【0023】
【数11】
【0024】数11の左項が一定であるためには(温度
補償するためには)、αH =αC である必要がある。よ
って、発熱抵抗体RH と温度補償抵抗体RC は、数12
の式の同じ抵抗温度係数をもつ必要がある。
補償するためには)、αH =αC である必要がある。よ
って、発熱抵抗体RH と温度補償抵抗体RC は、数12
の式の同じ抵抗温度係数をもつ必要がある。
【0025】
【数12】
【0026】つまり、数13および数14である必要が
ある。
ある。
【0027】
【数13】
【数14】
【0028】従来は温度補償を行なうために、熱式流量
センサの発熱抵抗体RH および温度補償抵抗体RC とし
て、両者の抵抗温度係数αを等しくさせるために共に白
金を使用していた。しかし、従来のものは前記数7およ
び数8の式の仮定のもとに発熱抵抗体RHおよび温度補
償抵抗体RC を選択していたことが流量測定誤差を生じ
させていたと考えられる。
センサの発熱抵抗体RH および温度補償抵抗体RC とし
て、両者の抵抗温度係数αを等しくさせるために共に白
金を使用していた。しかし、従来のものは前記数7およ
び数8の式の仮定のもとに発熱抵抗体RHおよび温度補
償抵抗体RC を選択していたことが流量測定誤差を生じ
させていたと考えられる。
【0029】本発明では、実際の白金の抵抗値が数15
の式で、より精度高く近似できることから、数15の式
のβ項をも考慮して、発熱抵抗体RH および温度補償抵
抗体RC を組み合わせることを検討したものである。こ
れにより、後述する実験データのように、温度変化があ
る場合にも正確な流量測定をすることができる。なお、
数15の式は数13の式においてT2 の項に補正係数β
を付加し、より実際に近づけた近似式である。
の式で、より精度高く近似できることから、数15の式
のβ項をも考慮して、発熱抵抗体RH および温度補償抵
抗体RC を組み合わせることを検討したものである。こ
れにより、後述する実験データのように、温度変化があ
る場合にも正確な流量測定をすることができる。なお、
数15の式は数13の式においてT2 の項に補正係数β
を付加し、より実際に近づけた近似式である。
【0030】
【数15】
【0031】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面にもとづいて説
明する。本発明を内燃機関の空気流量センサに適用した
実施例を図2に示す。図2に示すように、空気管の中に
サンプリング管14が設けられ、サンプリング管14の
内部に発熱抵抗体RH および温度補償抵抗体RC が配置
されている。発熱抵抗体RH および温度補償抵抗体RC
はそれぞれ導電支持体12、13によって電子回路11
に接続されている。
明する。本発明を内燃機関の空気流量センサに適用した
実施例を図2に示す。図2に示すように、空気管の中に
サンプリング管14が設けられ、サンプリング管14の
内部に発熱抵抗体RH および温度補償抵抗体RC が配置
されている。発熱抵抗体RH および温度補償抵抗体RC
はそれぞれ導電支持体12、13によって電子回路11
に接続されている。
【0032】熱式流量センサ15の電気回路は図1に示
すとおりである。この電気回路を構成するブリッジのう
ち発熱抵抗体RH と温度補償抵抗体RC の構造は、図3
に示す薄膜抵抗体構造をもつ。アルミナ等からなるセラ
ミックパイプ21の外表面にパターン形成された所定抵
抗値を有する白金等からなる金属薄膜22が設けられ
る。この金属薄膜22は、セラミックパイプ21の両端
部においてそれぞれ白金線からなるリード線20、20
に対し白金等の導体にガラス等を混合した導電性接続ペ
ースト23を介して電気的に接続されている。セラミッ
クパイプ21の外表面に形成される金属薄膜22は、例
えばスパッタリング、メッキ、CVD、蒸着等の物理的
または化学的方法により形成され、熱処理し、さらにレ
ーザトリミング手法等によりスパイラル状にトリミング
されて所定パターンをもつように形成される。金属薄膜
22の周囲には例えばガラス等からなる絶縁性保護膜2
4が所定の厚みになるようにセラミックパイプ21の周
囲を被覆している。発熱抵抗体RH の抵抗値は、10〜
30Ω、温度補償抵抗体RC の抵抗値は、400〜10
00Ωとなるように、前記スパイラルのピッチを変え
て、抵抗値を調節する。このとき温度補償抵抗体RC の
抵抗温度係数の一次項係数αの値は、発熱抵抗体RH の
抵抗温度係数の一次項係数αの値より低い値のものを選
択する。実施例1では、温度補償抵抗体R C のαの値は
発熱抵抗体R H のαの値よりも約100ppm/℃低
く、また実施例2では、約250ppm/℃低い。これ
らの値は、後で述べる数16および数18から読み取る
ことができる。これにより、実験データに示すように、
温度変化があっても流量が一定ならば一定のセンサ出力
値を出力することができる。なお、抵抗温度係数の一次
項係数αは、前記金属薄膜の厚さまたは、前記熱処理条
件を変えることにより、制御される。またこれらの条件
を変えても抵抗温度係数の二次項係数βは−0.6pp
m/℃近傍である。
すとおりである。この電気回路を構成するブリッジのう
ち発熱抵抗体RH と温度補償抵抗体RC の構造は、図3
に示す薄膜抵抗体構造をもつ。アルミナ等からなるセラ
ミックパイプ21の外表面にパターン形成された所定抵
抗値を有する白金等からなる金属薄膜22が設けられ
る。この金属薄膜22は、セラミックパイプ21の両端
部においてそれぞれ白金線からなるリード線20、20
に対し白金等の導体にガラス等を混合した導電性接続ペ
ースト23を介して電気的に接続されている。セラミッ
クパイプ21の外表面に形成される金属薄膜22は、例
えばスパッタリング、メッキ、CVD、蒸着等の物理的
または化学的方法により形成され、熱処理し、さらにレ
ーザトリミング手法等によりスパイラル状にトリミング
されて所定パターンをもつように形成される。金属薄膜
22の周囲には例えばガラス等からなる絶縁性保護膜2
4が所定の厚みになるようにセラミックパイプ21の周
囲を被覆している。発熱抵抗体RH の抵抗値は、10〜
30Ω、温度補償抵抗体RC の抵抗値は、400〜10
00Ωとなるように、前記スパイラルのピッチを変え
て、抵抗値を調節する。このとき温度補償抵抗体RC の
抵抗温度係数の一次項係数αの値は、発熱抵抗体RH の
抵抗温度係数の一次項係数αの値より低い値のものを選
択する。実施例1では、温度補償抵抗体R C のαの値は
発熱抵抗体R H のαの値よりも約100ppm/℃低
く、また実施例2では、約250ppm/℃低い。これ
らの値は、後で述べる数16および数18から読み取る
ことができる。これにより、実験データに示すように、
温度変化があっても流量が一定ならば一定のセンサ出力
値を出力することができる。なお、抵抗温度係数の一次
項係数αは、前記金属薄膜の厚さまたは、前記熱処理条
件を変えることにより、制御される。またこれらの条件
を変えても抵抗温度係数の二次項係数βは−0.6pp
m/℃近傍である。
【0033】次に実験データを示す。実施例1 流体温度が0℃のとき、発熱抵抗体RH を100℃に加
熱した。実施例1の発熱抵抗体RH および温度補償抵抗
体RC の抵抗値は、数16のとおりである。
熱した。実施例1の発熱抵抗体RH および温度補償抵抗
体RC の抵抗値は、数16のとおりである。
【数16】 比較例1の発熱抵抗体RH および温度補償抵抗体RC の
抵抗値は、数17のとおりである。
抵抗値は、数17のとおりである。
【数17】 実施例1と比較例1について流体温度を0℃から40℃
に昇温したときの出力変化は図4(A)(B)のとおり
である。図4から明らかなように、流体温度が0℃から
40℃に昇温したときセンサ出力は比較例1では昇温前
後において約3%の出力誤差を生じた。これに対し実施
例1では出力誤差はほとんど生じなかった。比較例1の
場合、抵抗体RH とRC の抵抗温度係数の一次項係数α
の値が互いに近い値をもつ抵抗体を用い、実施例1で
は、抵抗体RH とRC の抵抗温度係数の一次項係数αの
値に一定の差を考慮した抵抗体を用いたため、図4
(A)のように、センサ精度がかなり良好なものになっ
たことが解る。
に昇温したときの出力変化は図4(A)(B)のとおり
である。図4から明らかなように、流体温度が0℃から
40℃に昇温したときセンサ出力は比較例1では昇温前
後において約3%の出力誤差を生じた。これに対し実施
例1では出力誤差はほとんど生じなかった。比較例1の
場合、抵抗体RH とRC の抵抗温度係数の一次項係数α
の値が互いに近い値をもつ抵抗体を用い、実施例1で
は、抵抗体RH とRC の抵抗温度係数の一次項係数αの
値に一定の差を考慮した抵抗体を用いたため、図4
(A)のように、センサ精度がかなり良好なものになっ
たことが解る。
【0034】実施例2 流体温度が0℃のとき発熱抵抗体RH を200℃に加熱
した。実施例2の発熱抵抗体RH および温度補償抵抗体
RC の抵抗値は、数18のとおりである。
した。実施例2の発熱抵抗体RH および温度補償抵抗体
RC の抵抗値は、数18のとおりである。
【数18】 比較例2の発熱抵抗体RH および温度補償抵抗体RC の
抵抗値は、数19のとおりである。
抵抗値は、数19のとおりである。
【数19】 実施例2と比較例2について流体温度を0℃から40℃
に昇温したときの出力変化は図5(A)(B)のとおり
である。図5から明らかなように、流体温度が0℃から
40℃に昇温したときセンサ出力は比較例2では昇温前
後において約5%の出力誤差を生じた。これに対し実施
例2では出力誤差はほとんど生じなかった。比較例2の
場合、抵抗体RH とRC の抵抗温度係数の一次項係数α
の値が互いに近い値をもつ抵抗体を用い、実施例2で
は、抵抗体RH とRC の抵抗温度係数の一次項係数αの
値に一定の差を考慮した抵抗体を用いたため、実施例2
においては、前記結果のようにセンサ精度はかなり良好
なものであることが解る。
に昇温したときの出力変化は図5(A)(B)のとおり
である。図5から明らかなように、流体温度が0℃から
40℃に昇温したときセンサ出力は比較例2では昇温前
後において約5%の出力誤差を生じた。これに対し実施
例2では出力誤差はほとんど生じなかった。比較例2の
場合、抵抗体RH とRC の抵抗温度係数の一次項係数α
の値が互いに近い値をもつ抵抗体を用い、実施例2で
は、抵抗体RH とRC の抵抗温度係数の一次項係数αの
値に一定の差を考慮した抵抗体を用いたため、実施例2
においては、前記結果のようにセンサ精度はかなり良好
なものであることが解る。
【0035】
【発明の効果】以上説明したように本発明の熱式流量セ
ンサによれば、温度補償抵抗体の抵抗温度係数値を発熱
抵抗体の抵抗温度係数よりも所定の範囲内で低い値をと
るように抵抗体を選定したため、流体の温度変化があっ
ても温度依存の少ない正確な流量検出を行なえるという
効果がある。また、熱式流量センサにおいて、温度補償
用の特別な電気回路や回路調整が不要となるため、セン
サ出力の調節が容易になるという効果がある。
ンサによれば、温度補償抵抗体の抵抗温度係数値を発熱
抵抗体の抵抗温度係数よりも所定の範囲内で低い値をと
るように抵抗体を選定したため、流体の温度変化があっ
ても温度依存の少ない正確な流量検出を行なえるという
効果がある。また、熱式流量センサにおいて、温度補償
用の特別な電気回路や回路調整が不要となるため、セン
サ出力の調節が容易になるという効果がある。
【図1】本発明の実施例による熱式流量センサの電気回
路を示す回路図である。
路を示す回路図である。
【図2】本発明の実施例による熱式流量センサを示す模
式図である。
式図である。
【図3】本発明の実施例による抵抗体を示す概略断面図
である。
である。
【図4】本発明の実施例1と従来の比較例1とを対比し
た特性図である。
た特性図である。
【図5】本発明の実施例2と従来の比較例2とを対比し
た特性図である。
た特性図である。
15 熱式流量センサ RH 発熱抵抗体 RC 温度補償抵抗体
Claims (1)
- 【請求項1】 流体通路中に設けられ、流体の流量を検
出する白金発熱抵抗体RH および流体の温度を検出する
白金温度補償抵抗体RC を有する熱式流量センサにおい
て、 前記白金発熱抵抗体RH の0℃のときの抵抗値をr
HO(Ω)として、前記白金発熱抵抗体RH の抵抗値rH
(Ω)を温度T(℃)の関数 rH =rHO(1+αT+βT2 ) で表わし、 前記白金温度補償抵抗体RC の0℃のときの抵抗値をr
CO(Ω)として前記白金温度補償抵抗体RC の抵抗値r
C (Ω)を温度T(℃)の関数 rC =rCO(1+αT+βT2 ) で表わし、 かつβの値が−0.6ppm/℃近傍であるとき、 前記白金温度補償抵抗体Rc の抵抗温度係数の一次項係
数αの値は、前記白金発熱抵抗体RH の抵抗温度係数の
一次項係数αの値より低い値であり、その差は、100
ppm/℃より大きいと同時に250ppm/℃よりも
小さいことを特徴とする熱式流量センサ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3074052A JP2641333B2 (ja) | 1991-03-13 | 1991-03-13 | 熱式流量センサ |
US07/836,884 US5392646A (en) | 1991-03-13 | 1992-02-19 | Thermal type of flow rate sensor |
DE4207188A DE4207188C2 (de) | 1991-03-13 | 1992-03-06 | Strömungsmengenfühler thermischer Bauart |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3074052A JP2641333B2 (ja) | 1991-03-13 | 1991-03-13 | 熱式流量センサ |
Publications (2)
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