JPH0620964U - 高圧ガスバルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】過剰流量による災害を防止できる高圧ガスバル
ブを得る。 【構成】一次側から二次側に過大のガスが流れたときに
閉止するピストンバルブ３と流量調整バルブ６とをバル
ブ本体Ｖに並列に設けたものである。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は過剰流量による災害を防止できる高圧ガスバルブに関するものである 。

【０００２】

【従来の技術】

高圧ガス供給バルブに使用される調整器の能力は一般的に１００Ｌ／ｍｉｎ〜 １０００Ｌ／ｍｉｎであり、半導体製膜装置等の反応炉において消費される流量 は、１００ｃｃ／ｍｉｎ〜１Ｌ／ｍｉｎである。被供給側の配管、反応炉等にト ラブルが発生したとき、高圧ガスは調整器の最大流量が流れる。Ｈ₂、ＣＨ₄のよ うに可燃性ガスやＳｉＨ₄、ＰＨ₃、ＮＨ₃、Ｂ₂Ｈ₆等の毒性ガスの場合大きな災 害を引き起す。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

本考案の課題は、高圧ガスの過剰流量による災害を防止することができるバル ブを提供することにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

本考案の手段は次のとおりである。

【０００５】 一次側より二次側に過剰のガスが流れたときに閉止するピストンバルブをバル ブ本体に設けると共に、このピストンバルブと並列に流量調整バルブを設けた高 圧ガスバルブ。

【０００６】

【作用】

平常時は図１に示すようにピストンバルブ３は差圧力△Ｐ＝Ｐ₁−Ｐ₂とスプリ ング５の力の釣り合った状態で開いており、ガスは入口１から出口２に流れる。

【０００７】 異常に過剰のガスが入口から出口に流れたときは、ピストンバルブ３は差圧力 △Ｐがスプリング５の力より大きくなり閉止し、ガスの流れを止める。

【０００８】

【実施例】

図において１はバルブ本体Ｖの高圧ガス入口、２は出口である。３はピストン バルブで、弁座４に接離し、スプリング５をピストンバルブ３に作用させる。６ は流量調整バルブで前記ピストンバルブ３と並列に本体Ｖに設ける。７はリセッ トボタンである。

【０００９】 ピストンバルブ３はスプリング５により弁座４から離れてガスの流路ができて いる。ガスが入口１から出口２に流れるとピストンバルブ３の上流側圧力Ｐ₁と 下流側の圧力Ｐ₂に差圧△Ｐ＝Ｐ₁−Ｐ₂が発生し、ピストンバルブ３はスプリン グ５と△Ｐの釣り合った位置に移動する。この時の流量Ｑは流量調整バルブ６の 開度Ａを調整することにより、Ｑ∝Ａ√△Ｐ（例えば５０ｃｃ／ｍｉｎ）に定め られている。

【００１０】 被供給側の配管や炉にトラブルが発生し過大な流量（例えば１０Ｌ／ｍｉｎ） が流れると、△Ｐは増加し、ピストンバルブ３は弁座４に密着し流路が閉じられ ガスの流れは止まるのである。

【００１１】

【効果】

本考案によれば、高圧ガスの過剰流量による災害を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】縦断側面図。

【図２】ピストンバルブが閉止した一部の断面図。

【符号の説明】

Ｖ バルブ本体 ３ ピストンバルブ ４ 弁座 ５ スプリング ６ 流量調整バルブ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 一次側より二次側に過剰のガスが流れた
   ときに閉止するピストンバルブをバルブ本体に設けると
   共に、このピストンバルブと並列に流量調整バルブを設
   けた高圧ガスバルブ。