JPH06182686A - 吸着用パッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】ワークを吸着して搬送等する吸着用パッドにお
いて、湾曲面を有するワークを吸着、搬送した場合であ
っても、前記湾曲した吸着面の表面を損傷することな
く、且つ、吸着跡を発生させることなく好適にワークを
搬送すること。 【構成】ワークを吸着した際、発泡材料で形成されるス
カート部３６と、本体部３４の内面に形成されたゴムラ
イニング４６とがワーク表面に当接する。従って、ＣＲ
Ｔのように湾曲面を有するワークを吸着した際、スカー
ト部３６が拡径して変形することがないため、ワークの
表面を擦ることがなく、ワークの表面を損傷することが
ない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば、ブラウン管
（ＣＲＴ）、ＬＣＤ、ウエハ等の製造工程における材
料、中間製品、最終製品等、ワークおよびウエハ自体を
吸着して任意の位置に搬送しようとする時、該ブラウン
管等の表面を損傷することなく、好適に搬送することが
可能な吸着用パッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、例えば、ワークを搬送するた
めに真空吸引源に連結された吸着用パッドが用いられて
いる。この従来例に係る吸着用パッドを用いたものとし
て、特開昭６２−３９１９１号公報に図７に示すような
物品吸着装置が開示されている。この物品搬送装置２に
使用される吸着用パッド４は、例えば、ブラウン管（以
下、ＣＲＴという）６の表面の湾曲面８を吸着し、ＣＲ
Ｔ６を所望の位置に搬送するために使用される。

【０００３】この吸着用パッド４は、チューブ等を介し
て真空吸引源に接続される本体部１０と、前記本体部１
０に一体的に連結されるスカート部１２とから構成され
る。前記本体部１０とスカート部１２とはゴム等の可撓
性部材で一体的に形成される。前記吸着用パッド４の本
体部１０の上部は、湾曲する前記ＣＲＴ６の吸着面に対
して傾斜可能なフローティングプレート１４に取着され
ている。前記フローティングプレート１４にはガイドシ
ャフト１６ａ、１６ｂの一端部が取り付けられ、一方、
前記ガイドシャフト１６ａ、１６ｂの他端部にはスプリ
ング１８ａ、１８ｂを介して駆動プレート２０が取り付
けられている。前記駆動プレート２０はスライドシャフ
ト２２ａ、２２ｂを介して上下駆動源（図示せず）によ
り上下変位可能に設けられている。前記スライドシャフ
ト２２ａ、２２ｂに近接する部位には、一端側がロボッ
トアーム２４側に固定され、他端側がフローティングプ
レート１４に固定された規正テーパブロック２６ａ、２
６ｂに当接または離間する規正テーパシャフト２８ａ、
２８ｂが設けられている。前記規正テーパシャフト２８
ａ、２８ｂは、吸着用パッド４がＣＲＴ６に当接した
際、規正テーパブロック２６ａ、２６ｂから離間するこ
とにより、吸着用パッド４の姿勢規正を解除し、一方、
吸着用パッド４がＣＲＴ６を吸着した後、規正テーパシ
ャフト２８ａ、２８ｂが規正テーパブロック２６ａ、２
６ｂに当接することにより吸着用パッド４の姿勢の規正
を行なうものである。

【０００４】このような構成において、図示しない上下
駆動源により駆動プレート２０を下降させることにより
吸着用パッド４のスカート部１２がＣＲＴ６の表面の湾
曲面８に当接し、該スカート部１２の内側面２９がＣＲ
Ｔ６の表面の湾曲面８を押圧して変形しながら該ＣＲＴ
６を吸着し、所望の位置に搬送することが可能となる。

【０００５】ところで、最近、ＣＲＴ６の性能向上およ
び高級化等の要請から、ＣＲＴ６の表面には、例えば、
帯電防止コーティング、反射防止コーティング等を施す
ことが要求されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】そこで、各種コーティ
ングを施したＣＲＴ６の表面を前記の従来例に係る吸着
用パッド４で吸着して搬送した場合、吸着時にスカート
部１２が変形することによりＣＲＴ６の表面に擦れが生
じ、また、ＣＲＴ６の吸着搬送中、該ＣＲＴ６が揺動し
て吸着用パッド４の吸着面とＣＲＴ６の表面との間にズ
レが生じることにより、ＣＲＴ６の表面に施された各種
コーティングが損なわれ、あるいは該ＣＲＴ６の表面に
吸着跡が発生する不都合がある。

【０００７】本発明は、前記不都合を克服するためにな
されたものであって、湾曲面を有するワークを吸着、搬
送した場合であっても、前記湾曲した吸着面の表面を損
傷することなく、且つ、吸着跡を発生させることなく好
適にワークを搬送することが可能な吸着用パッドを提供
することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、真空吸引源に接続される本体部と、前
記本体部に固着されたスカート部とを備え、ワークを吸
着するための吸着用パッドにおいて、前記スカート部は
発泡材料で形成され、前記本体部にワークを吸着した
際、該ワーク表面に接触する本体部の表面に被覆部材を
設けたことを特徴とする。

【０００９】

【作用】上記の本発明に係る吸着用パッドでは、例え
ば、湾曲面を有するワークを吸着した際、発泡材料で形
成されるスカート部と、本体部の表面に設けられた被覆
部材とが該ワーク表面に当接する。従って、ワークを吸
着する際、該ワークの表面を擦りながら湾曲面に沿って
スカート部が拡径して変形することを防止することがで
きるとともに、吸着跡を発生させることがない。

【００１０】

【実施例】次に、本発明に係る吸着用パッドについて好
適な実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細
に説明する。

【００１１】図１Ａ乃至図１Ｃにおいて、参照符号３０
は本実施例に係る吸着用パッドを示し、この吸着用パッ
ド３０は、基本的に、略中央部を貫通する真空吸引口３
２に接続されるチューブ（図示せず）を介して真空吸引
源（図示せず）に連結される本体部３４と、発泡材料で
形成され、前記本体部３４に一体的に連結されるスカー
ト部３６とから構成される。前記本体部３４は、ステン
レス鋼、アルミニウム等の金属製材料で形成すると剛性
があり、また樹脂材料で形成すると軽量となる等、用途
に応じて前記材料を使い分けすると好適である。前記本
体部３４の略中央部を貫通する真空吸引口３４に近接す
る部位には、複数の取付用孔部３８が画成されている。
また、ワークを吸着した際、該ワーク表面に接触する本
体部３４のすべての表面、すなわち、本体部３４の平面
部４０、湾曲部４２および裾部４４には、吸着時におい
てワークの表面に直接、本体部が接触することを防止し
てワーク表面を保護するためのゴムライニング（被覆部
材）４６が施されている。

【００１２】一方、前記スカート部３６は、例えば、天
然ゴム、ブタジエンアクリロニトリルゴム、エチレンプ
ロピレンゴム、クロロプレンゴム、シリコンゴム、フッ
素ゴム等からなる発泡材料（スポンジゴム、発泡ゴム）
で形成すると好適である。所定範囲でのスカート部３６
の撓曲が達成されるからである。なお、本実施例では、
スカート部３６の底面部は平坦に形成されている。

【００１３】本実施例に係る吸着用パッド３０は、基本
的には、以上のように構成されるものであり、次に、本
実施例に係る吸着用パッド３０を使用して、例えば、ラ
イン上に配置されたブラウン管（以下、ＣＲＴという）
を他のライン上に搬送する場合を例にしてその動作を説
明する。

【００１４】図２に示すように、回動自在な搬送用ロボ
ットの多関節を形成するアーム（ＸＹＺ直交のアーム）
４８の先端部に固定板５０が連結され、前記固定板５０
の下部側には、矢印方向に伸縮自在なシャフト５２ａ〜
５２ｄを介して上下変位する駆動板５４が取着されてい
る。前記シャフト５２ａ〜５２ｄの間には、該シャフト
５２ａ〜５２ｄを伸縮させる伸縮駆動部５６が設けられ
ている。前記駆動板５４の下部には、スプリング５８ａ
〜５８ｄが外巻されているガイドシャフト５９ａ〜５９
ｄに支持されたフローティング板６０が設けられ、該フ
ローティング板６０に吸着用パッド３０が固定されてい
る。前記フローティング板６０に対する吸着用パッド３
０の固定は、本体部３４に画成された取付用孔部３８に
ねじ部材６１を螺合させることにより行われる。なお、
前記シャフト５２ａ〜５２ｄおよびガイドシャフト５９
ａ〜５９ｄは、矩形状の駆動板５４の四隅角部に夫々４
本配置される。ＣＲＴ６２の吸着搬送時における横揺れ
を防止するためである。前記ＣＲＴ６２の表面には、帯
電防止コーティング６４が施されている。

【００１５】このような構成において、吸着用パッド３
０がＣＲＴ６２の上方に位置するように、搬送用ロボッ
トのアーム４８を回動変位させる。この場合、吸着用パ
ッド３０が確実にＣＲＴ６２の上方に位置することを、
ＣＣＤカメラ（図示せず）、さらに必要に応じてフォト
マイクロスイッチ（図示せず）とともに使用することに
よって検出する。次に、伸縮駆動部５６を駆動させるこ
とにより、シャフト５２ａ〜５２ｄを伸長させ、フロー
ティング板６０を介して保持される吸着用パッド３０を
下降させ、吸着用パッド３０のスカート部３６の底面部
をＣＲＴ６２の表面の湾曲面に当接させる。さらに、フ
ローティング板６０を下降させるように伸縮駆動部５６
を駆動させる。この場合、発泡材料から形成されるスカ
ート部３６の底面部は、スプリング５８ａ〜５８ｄの弾
発力に抗してＣＲＴ６２の表面を押圧するとともに、本
体部３４の内壁面のゴムライニング４６にＣＲＴ６２の
湾曲する表面部が密着する。その際、図示しない真空吸
引源の作用下に真空吸引口３２（図１参照）から所定の
負圧で吸引することにより、ＣＲＴ６２を完全に吸着す
ることができる。そして、前記吸着状態を保持しなが
ら、前記伸縮駆動部５６の駆動作用下にシャフト５２ａ
〜５２ｄを短縮させることにより、ＣＲＴ６２を上方向
に所定距離変位させる。次に搬送用ロボットのアーム４
８を図示しない駆動源の作用下に回動変位させ、予め位
置決めされた別のライン上にＣＲＴ６２を搬送する。こ
の場合、伸縮駆動部５６の駆動作用下にシャフト５２ａ
〜５２ｄを伸縮してフローティング板６０を下方に変位
させ、図示しない切換弁の弁切り換え作用下に吸着用パ
ッド３０からＣＲＴ６２を離脱させることができる。こ
のようにして、別のライン上の所望の位置にＣＲＴ６２
を搬送する。また、ワーク表面に対する傷やスカート部
３６の対応変形を防止するために過度な力で該ワークを
吸着しないように、真空圧力制御や押圧力感圧センサフ
ィードバック制御等により適性な吸着力でワークを吸着
すると好適である。

【００１６】以上から、本実施例に係る吸着用パッド３
０では、ＣＲＴ６２の湾曲する表面に接触するスカート
部３６を軟質な発泡材料で形成するとともに、本体部３
４の内壁面にゴムライニング４６を施すことにより、Ｃ
ＲＴ６２の表面に加工された帯電防止コーティング６４
を損傷することなく、且つ、吸着跡を発生させることも
ない。従って、従来例に係る吸着用パッド４のように、
ＣＲＴ６２を吸着する際、該ＣＲＴ６２の表面を擦りな
がらスカート部３６が拡径して変形することがない。

【００１７】また、本実施例に係る吸着用パッド３０
は、本体部３４をスカート部３６よりも硬質な金属製の
材料で形成するとともに、ワークとの接触面である本体
部３４の内壁面にゴムライニング（またはテフロン樹
脂）４６を施すことにより、ＣＲＴ６２の吸着搬送中に
おける吸着用パッド３０の吸着面とＣＲＴ６２の表面と
のズレを防止することができる。

【００１８】さらに、本体部３４はスカート部３６より
も硬質な材料で形成され、ワークの吸着時における負圧
の大部分は、本体部３４の内壁面のゴムライニング４６
で受けるように形成されているため、スカート部３６を
軟質な発泡材料で形成した場合であっても、該スカート
部３６に対するワークの吸着により発生する圧縮永久歪
を防止することができる。

【００１９】次に、本実施例に係る吸着用パッド３０の
変形例として、特開昭６２−３９１９１号公報に開示さ
れた物品吸着装置２に取着した状態を図３に示す。な
お、図６に示した物品搬送装置２と同一の構成要素には
同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。こ
の場合、吸着用パッド３０ａには、規正テーパブロック
２６ａ、２６ｂを固定するための孔部６３、およびガイ
ドシャフト用取付孔６５が画成されている。

【００２０】このような物品吸着装置２に吸着用パッド
３０ａを組み入れることにより、ＣＲＴ６２の表面のよ
うに該吸着用パッド３０の吸着面が湾曲する場合であっ
ても確実に吸着することができ、吸着完了後にはＣＲＴ
６２を安定した姿勢によって保持することができる。ま
た、ＣＲＴ６２を吸着する際にも、該ＣＲＴ６２の湾曲
面に沿ってスカート部３６が拡径してＣＲＴ６２の表面
に加工された帯電防止コーティング６４を損傷すること
がなく、さらに、吸着用パッド３０の吸着跡を発生させ
ることなく搬送することができる。

【００２１】次に、本実施例に係る吸着用パッド３０の
底面部をＣＲＴ６２の表面の湾曲面に沿った形状からな
る吸着用パッド３０ｂを図４に示す。この場合、発泡材
料から形成される吸着用パッド３０ｂのスカート部３６
ｂおよび本体部３４ｂの下端部６６をＣＲＴ６２の表面
部に沿って緩やかな曲線形状とすることにより、吸着の
際、スカート部３６ｂおよび本体部３４ｂの下端部６６
が湾曲面に沿って撓みやすくなり、ＣＲＴ６２の表面を
より一層好適に吸着することが可能となる。

【００２２】次に、他の実施例に係る吸着用パッド７０
を図５に示す。なお、前記実施例と同一の構成要素には
同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。

【００２３】この吸着用パッド７０は、その本体部７２
をポリアセタール等の合成樹脂で形成し、ＣＲＴ６２を
吸着した際、該ワークに接触する本体部７２の裾部４４
にのみゴムライニング４６を施している点で前記実施例
と異なる。ワークであるＣＲＴ６２の径の大小により湾
曲面の傾斜角度が異なり、該ＣＲＴ６２を吸着した際、
ＣＲＴ６２の表面が本体部７２の平面部７４に当接する
ことがないため、該平面部７４にゴムライニング４６を
施す必要がないからである。

【００２４】従って、本実施例に係る吸着用パッド７０
は、ＣＲＴ６２の径が大きく緩やかな湾曲面を形成する
場合に好適に用いられる。なお、その他の構成および動
作については、前記実施例と同様であるのでその詳細な
説明を省略する。

【００２５】次に、アクチュエータ並びに構造部材等を
複数個連結して組み立てたアクチュエータの構造体に、
本発明に係る吸着用パッドを組み入れて使用する場合に
ついて説明する。

【００２６】図６に示すように組み立てられたアクチュ
エータの構造体８０は、骨組を形成する複数のフレーム
８２と、第１乃至第３アクチュエータ８４、８６、８８
と、作業テーブル９０と、ワークであるＣＲＴ９２を吸
着して搬送するための吸着用パッド９４と、前記吸着用
パッド９４を先端部に連結したシリンダ９６とから構成
される。

【００２７】第１アクチュエータ８４は、その移動体９
８の上面に取り付けられた第２アクチュエータ８６を直
線方向に移動するためのものであり、前記第１アクチュ
エータ８４に直交して接続される第２アクチュエータ８
６の移動体１００には、前記シリンダ９６が連設されて
いる。また、第３アクチュエータ８８の移動体１０２に
は、ＣＲＴ９２を位置決めするために用いられるシリン
ダ１０４が連設されている。前記第１乃至第３アクチュ
エータ８４、８６、８８を介してＣＲＴ９２を所望の位
置に搬送することができる。なお、第１アクチュエータ
８４とフレーム８２との連結部にはモータボックス１０
６が、第３アクチュエータ８８とフレーム８２との連結
部にはバルブユニット１０８が夫々配設されている。さ
らに、電動アクチュエータ用コントロールボックス１１
０およびフィルタ・レギュレータ・ルブリケータコント
ローラ１１２を有する。

【００２８】また、前記第１乃至第３アクチュエータ８
４、８６、８８およびフレーム８２は、工場等における
製造ラインに組み込むことが可能なように、夫々の各外
側面に断面略Ｔ字状の溝部１１４が設けられ、他のフレ
ームまたはアクチュエータ等を連結し、またはパネル等
の取り付けに利用できるだけでなく、配線、配管等を固
定することが可能となるため、他のフレーム等と本アク
チュエータを必要に応じて組み合わせることにより所望
のアクチュエータの構造体を構成することができる。な
お、前記電動アクチュエータ用コントロールボックス１
１０およびフィルタ・レギュレータ・ルブリケータコン
トローラ１１２は、夫々別体で構成されているが、これ
らをフレーム８２内に収納し、または前記溝部１１４を
介してフレーム８２に連結してもよい。

【００２９】本発明に係る吸着用パッドは、図２または
図３に示した搬送用ロボットのアームまたは物品搬送装
置等に適用することができるだけでなく、実開昭６１−
２００４９９号公報に開示された「エゼクタ装置」、実
開昭６１−２００５００号公報に開示された「エゼクタ
装置」、並びに本出願人の出願に係る、特願平３−２２
９２１８号の「真空供給用ユニット」、特願平３−２８
９５６号の「故障予知機能を備えた真空制御装置」、特
願平３−２８９１９号の「真空ユニットにおける圧力値
設定方法」、特願平３−１８６６１４号の「スイッチ装
置」、特願平３−２２６１９５号の「真空ユニット」、
特願平３−２２６３１０号の「真空ユニット」、特願平
３−２３０５１６号の「流体回路」、特願平３−２２８
９５８号の「吸着用パッド付真空供給ユニット」、特願
平３−２３０５９３号の「流体ユニット」、特願平３−
２３０６３４号の「圧力値設定方法」、特願平３−２５
８３８８号の「流体圧機器」、特願平３−２５８３８９
号の「真空ユニット」、特願平３−２３０６４２号の
「空気圧装置」、特願平３−２３０６３３号の「制御機
器−センサ間の配線構造」、特願平３−３６０６３２号
の「アクチュエータおよびその構造体」、特願平３−３
６０６３３号の「アクチュエータおよびその構造体」等
に適用することができることは勿論である。

【００３０】

【発明の効果】本発明に係る吸着用パッドによれば、以
下の効果が得られる。

【００３１】すなわち、湾曲面を有するワークを吸着し
た際、発泡材料で形成されるスカート部と、本体部の表
面に設けられた被覆部材とが該ワーク表面に当接する。
従って、ワークを吸着する際、該ワークの表面を擦りな
がら湾曲面に沿ってスカート部が拡径して変形すること
を防止することができる。

【００３２】この結果、例えば、ＣＲＴの湾曲する表面
に帯電防止コーティング等の各種コーティングが施され
たワークを吸着して搬送する場合であっても、前記ＣＲ
Ｔ表面に施されたコーティングを損傷することなく、且
つ吸着跡を発生させることなく好適に吸着搬送すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１Ａおよび図１Ｃは、夫々、本発明の実施例
に係る吸着用パッドの平面図および底面図であり、図１
Ｂは、縦断面図である。

【図２】図１に示す吸着用パッドを用いてブラウン管を
搬送する状態を示す説明図である。

【図３】図１に示す吸着用パッドを用いてブラウン管を
搬送する状態を示す説明図である。

【図４】図１に示す吸着用パッドの変形例を示す側面図
である。

【図５】本発明の他の実施例に係る吸着用パッドの縦断
面図である。

【図６】本発明に係る吸着用パッドをアクチュエータの
構造体に組み入れた状態を示す斜視図である。

【図７】従来例に係る吸着用パッドを示す一部断面図で
ある。

【符号の説明】

３０、７０、９４…吸着用パッド ３２…真空吸引口 ３４、７２…本体部 ３６…スカート部 ４０…平面部 ４２…湾曲部 ４４…裾部 ４６…ゴムライニング

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】真空吸引源に接続される本体部と、前記本
   体部に固着されたスカート部とを備え、ワークを吸着す
   るための吸着用パッドにおいて、 前記スカート部は発泡材料で形成され、前記本体部にワ
   ークを吸着した際、該ワーク表面に接触する本体部の表
   面に被覆部材を設けたことを特徴とする吸着用パッド。