JPH06163667A

JPH06163667A - 積載物の搬送用台車装置

Info

Publication number: JPH06163667A
Application number: JP33246092A
Authority: JP
Inventors: Masao Matsumura; 正夫松村; Masaaki Kajiyama; 雅章梶山; Takeshi Yoshioka; 毅吉岡
Original assignee: Ebara Corp
Current assignee: Ebara Corp
Priority date: 1992-11-18
Filing date: 1992-11-18
Publication date: 1994-06-10

Abstract

(57)【要約】【目的】ウエハ等の積載物の積載量を増やすことがで
きるとともに異なったサイズの積載物を積載でき、又、
搬送用台車に対して積載物を積みおろしする場合に、積
みおろし作業の能率を向上させることができる積載物の
搬送用台車装置を提供する。【構成】搬送路に従って走行して薄板状の積載物４を
搬送する積載物の搬送用台車装置において、積載物４を
載置する載置部を有し、載置部から積載物４をやや持ち
上げて少なくとも二方向Ｂ，Ｃに積みおろしできるよう
に、少なくとも二方向Ｂ，Ｃには載置物の外径よりも内
側に支柱等の障害物を有さない置き台１１と、置き台１
１が内部に取付けられ、積載物４が通過可能な開口部１
３，１４を少なくとも二方向Ｂ，Ｃに有する搬送用台車
１２とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ウエハ等の薄板状の積
載物を積載し、搬送路に従って走行して搬送する積載物
の搬送用台車装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】この搬送用台車装置は、半導体製造装置
や搬送ライン等に設置されて、ウエハを搬送路に従って
搬送するとともに所定の停止位置ではこのウエハを搬送
用台車装置に対して積みおろしするようにしている。

【０００３】半導体製造工程においては、加工、各種処
理等の工程間のウエハの搬送、積みおろしを一貫して真
空中で行う場合が多い。これは、半導体製品は不純物に
汚染されると品質不良となり易いので、高度に清浄化さ
れた真空中で搬送することが好ましいからである。この
ため、上記搬送用台車装置は、ウエハを載置する搬送用
台車を真空中で磁力により浮上させて軌道に対して非接
触状態にして走行せしめる磁気浮上搬送装置に組込まれ
て使用されることが多い。

【０００４】従来の搬送用台車装置においては、ウエハ
は、１台の搬送用台車に１種類１枚ずつ載置されて搬送
路を搬送され、所定の停止位置に到着するとロボットハ
ンドにより、この１枚のウエハをおろして次の工程に移
載していた。

【０００５】上記従来の搬送用台車には、積みおろし用
の開口部が１ヵ所形成されており、ロボットハンドはこ
の開口部から搬送用台車の内部に侵入して、内部のウエ
ハを把持して積みおろしを行っていた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】このように従来の搬送
用台車装置に設けられた搬送用台車における移載可能方
向は、開口部が形成された一方向のみに限定されてい
た。そのため、ロボットハンドは、搬送用台車の向きに
よりそれぞれ侵入方向を大きく変えて動作しなければな
らず、ウエハの積みおろし作業の能率が極めて悪いとい
う課題があった。

【０００７】また、１台の搬送用台車には１種類１枚ず
つのウエハしか積載できないので、多くのウエハを搬送
する場合には搬送用台車の数を増やしたり複数の搬送路
を設ける必要があり、そのため生産性を向上させること
ができないという課題があった。

【０００８】本発明は、かかる課題を解決するためにな
されたもので、ウエハ等の積載物の積載量を増やすこと
ができるとともに異なったサイズの積載物を積載でき、
又、搬送用台車に対して積載物の積みおろしをする場合
に、積みおろし作業の能率を向上させることができる積
載物の搬送用台車装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明に係る積載物の搬
送用台車装置は、搬送路に従って走行して薄板状の積載
物を搬送する積載物の搬送用台車装置において、上記積
載物を載置する載置部を有し、この載置部から積載物を
やや持ち上げて少なくとも二方向に積みおろしできるよ
うにこれら少なくとも二方向には載置物の外径よりも内
側に支柱等の障害物を有さない置き台と、この置き台が
内部に取付けられ、上記積載物が通過可能な開口部を少
なくとも二方向に有する搬送用台車とを備えたことを特
徴とするものである。

【００１０】また、上記置き台には、同一形状の複数個
の上記積載物を載置することができるように複数の載置
部が段状に設置されている。

【００１１】さらに、上記置き台には、異種形状の複数
個の上記積載物を載置することができるように複数の異
径の載置部が段状に設置されている。

【００１２】

【作用】本発明においては、搬送用台車装置に積載物を
積みおろしするときは、搬送用台車の複数の開口部のう
ちの任意の開口部から、積載物を把持するロボットハン
ドが侵入して置き台の載置部上に積載物を積みおろしす
る。置き台は、少なくとも二方向に積載物を積みおろし
できる構成を有しており、また上記開口部も積載物が通
過可能な構成を有しているので、上記動作の際に、ロボ
ットハンドは二以上の開口部のうち任意の開口部から侵
入して容易に積みおろし作業を行うことができる。ま
た、載置部を段状に設置することにより、積載量を増や
すことができるとともに異なったサイズの積載物を複数
個積載できる。

【００１３】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。

【００１４】図１は、本発明に係る積載物の搬送用台車
装置が組込まれた磁気浮上搬送装置の構造を示す断面図
である。図示するように、搬送用台車装置１は、隔壁２
により構成された搬送路としての搬送用真空トンネル３
内に配置されて、この搬送路に従って走行して積載物と
してのウエハ４を搬送している。そして、搬送用台車装
置１を浮上せしめかつ垂直方向及び水平方向の案内を行
う電磁石５と、搬送用台車装置１を走行移動させるリニ
アモータ６と、搬送用台車装置１の垂直方向距離を検出
する変位センサ７とが、真空トンネル３の外部に配設さ
れている。

【００１５】変位センサ７で検出された変位量は、図示
しない浮上制御装置に出力される。この浮上制御装置
は、変位センサ７からの出力に応じて、電磁石５に供給
する電流を増減し、搬送用台車装置１に作用する磁気的
吸引力を制御する。これにより、搬送用台車装置１は、
真空トンネル３内で垂直及び水平方向に関して非接触に
て安定して浮上する。そして、リニアモータ６により駆
動されて搬送用台車装置１は図１の紙面垂直方向に走行
移動することとなる。

【００１６】（第１実施例）図２乃至図５は、本発明に
係る積載物の搬送用台車装置の第１の実施例を示す図で
ある。本実施例は、１枚のウエハ４を搬送し、二方向に
積みおろしする場合を示している。図２は搬送用台車装
置１０の外観図、図３はその平面図、図４は立面断面
図、図５はウエハを置くための置き台１１の外観図であ
る。搬送用台車装置１０は、図３及び図４に示すよう
に、積載物としての円板状のウエハ４を載置する置き台
１１と、この置き台１１が内部に取付けられた搬送用台
車１２とを備えている。

【００１７】図２及び図３に示すように、搬送用台車１
２には、符号Ｂの方向と符号Ｃの方向に、ウエハ４が通
過可能な開口部１３，１４がそれぞれ形成されている。
即ち、この開口部１３，１４の幅Ｌ₁ はウエハ４の直径
ｄ₁ より大きくなっており（Ｌ₁ ＞ｄ₁ ）、これによ
り、ロボットハンド１５に支持されたウエハ４は自在に
開口部１３，１４を通過して搬送用台車１２に積載する
ことができ、またここから引き出すこともできる。

【００１８】台車１２の内部に設置された置き台１１
は、図５に示すように、線対称的な形状を有している平
板状の矩形の第１，第２支持部材１６，１７を備えてお
り、この支持部材１６，１７は、所定距離離れて対向配
置され且つ台車１２に固着されている。第１，第２支持
部材１６，１７には、円板状のウエハ４を着脱自在に収
納して、搬送中のウエハ４が位置ずれを起こさないよう
にするための円弧状の側壁部１６ｂ，１７ｂを有した載
置部１６ａ，１７ａが形成されている。このように置き
台１１は平板状をなしているので、ロボットハンド１５
によりウエハ４を載置部１６ａ，１７ａから上方に持ち
上げてＢ方向、Ｃ方向に積みおろしすることができる。

【００１９】上記構成を有する積載物の搬送用台車装置
１０がウエハ４を積載したまま搬送路を走行して所定の
停止位置で停止した場合、この停止位置に設置されてい
るロボットハンド１５は、Ｂ方向、Ｃ方向のいずれの側
の開口部１３，１４からも台車１２の内部に侵入する。
そして、置き台１１の円弧状の載置部１６ａ，１７ａ内
に収納されているウエハ４を上方に持ち上げ、次いで開
口部１３又は１４を通って後退すれば、ウエハ４は開口
部１３，１４に邪魔されることなく台車１２の外部に引
き出される。

【００２０】このように、台車１２がどの方向を向いて
いても、ロボットハンド１５はいずれかの開口部１３又
は１４から自由に侵入してウエハ４を積みおろしできる
ので、ロボットハンド１５は侵入方向を大きく変える必
要がなくなり、積みおろし作業の能率が大幅に改善され
る。

【００２１】（第２実施例）図６乃至図８は、本発明に
係る積載物の搬送用台車装置の第２実施例を示す図であ
る。本実施例は、同一形状の２枚のウエハ４を搬送し、
二方向Ｂ，Ｃに積みおろしする場合を示している。図６
は搬送用台車装置２０の立面断面図、図７はウエハ４を
置くための置き台２１の外観図、図８は下段の支持部材
の外観図である。本実施例における置き台２１は、同一
形状の複数個（この場合は２枚）のウエハ４を載置する
とともに各ウエハ４を同時に積みおろし可能にするため
に、上下２段の構造になっているが、その他の構成は上
記第１実施例と同様である。

【００２２】即ち、図６及び図７に示すように搬送用台
車２２には、上記第１実施例と同様な開口部１３，１４
が、Ｂ方向とＣ方向にそれぞれ形成されている。また、
台車２２の内部には置き台２１が取付けられている。こ
の置き台２１は、上段に配置され、上記第１実施例と同
様な構成の第１，第２支持部材１６，１７と、この第
１，第２支持部材１６，１７の下段に配置され、第１，
第２支持部材１６，１７をそれぞれ支持する下段側の第
１，第２支持部材２６，２７とを備えており、上段の支
持部材１６，１７が所定の姿勢を保持するように各支持
部材１６，１７，２６，２７は台車２２の内部に固着さ
れている。

【００２３】下段側の第１，第２支持部材２６，２７
は、図７及び図８に示すように、上段側の第１，第２支
持部材１６，１７とは若干その構造を異にしている。即
ち、下段のウエハ４をＢ方向とＣ方向の二方向に積みお
ろし可能にするために、上面２６ａ，２７ａから上方に
突出部２６ｂ，２７ｂを形成することにより、下段の第
１，第２支持部材２６，２７の上面２６ａ，２７ａと上
段の第１，第２支持部材１６，１７の底面１６ｃ，１７
ｃとの間に所定寸法ｈ（図６参照）の間隔を形成してい
る。また、第１，第２支持部材２６，２７には円弧状の
側壁部２６ｄ，２７ｄを有した載置部２６ｃ，２７ｃを
形成することにより、下段のウエハ４を着脱可能にここ
に収納して、搬送中のウエハ４が位置ずれを起こさない
ようにしている。

【００２４】したがって、本実施例装置によれば、図６
に示すように、上段用のロボットハンド１５ａと下段用
のロボットハンド１５ｂをそれぞれ独立に動作させて各
段のウエハ４を独立に積みおろしすることができること
となり、両段のウエハ４を同時に積みおろしすることも
容易にできる。

【００２５】なお、下段側の第１，第２支持部材２６，
２７を複数枚上下に重ねれば、３枚以上のウエハ４を積
載することもできる。このように本実施例によれば、複
数のウエハ４を１台の搬送用台車装置２０により同時に
搬送するとともに同時に積みおろしすることができるこ
ととなり、搬送台車や搬送路の数を増やさなくても生産
性を大幅に向上させることができる。

【００２６】（第３実施例）図９乃至図１１は、本発明
に係る積載物の搬送用台車装置の第３実施例を示す図で
ある。本実施例は、１枚のウエハ４を搬送し、四方向に
積みおろしする場合を示している。

【００２７】図９及び図１０に示すように、搬送用台車
装置３０は、１枚のウエハ４を着脱自在に載置すべく四
方向に均等に配置された４個の置き台３１と、この置き
台３１が内部に取付けられた搬送用台車３２とを備えて
いる。この搬送用台車３２には、Ｂ方向、Ｃ方向の他に
これと直交する符号Ｄ，Ｅの各方向に、ウエハ４が通過
可能な開口部３３がそれぞれ形成されている。この開口
部３３の幅Ｌ₂ は、第１実施例と同様にウエハ４の直径
ｄ₁ より大きくなっており（Ｌ₂＞ｄ₁）、これにより、
ロボットハンド３５により支持されたウエハ４を自在に
搬送用台車３２に対して積みおろしすることができる。

【００２８】４個の置き台３１は、図１０に示すよう
に、台車３２の内部の四隅部にそれぞれ取付けられてお
り、台車３２の中心を向いている。図１１に示すよう
に、置き台３１には円弧状の側壁部３６ａを有した載置
部３６が形成されており、この載置部３６にウエハ４が
載置される。置き台３１はビス３９により柱部材４０に
固定され、この柱部材４０は台車３２の四隅部にそれぞ
れ固定されている。

【００２９】このように本実施例では、ロボットハンド
３５が侵入できる開口部３３を四箇所にしたので、ロボ
ットハンド３５は４つの方向Ｂ乃至Ｅのいずれの方向か
らも自由に台車３２の内部に侵入してウエハ４を積みお
ろすことができ、作業能率をさらに改善することができ
る。

【００３０】（第４実施例）本発明に係る置き台は、異
種形状の複数個の積載物を載置するとともに、各積載物
を同時に積みおろしできる構成を有していることが好ま
しい。かかる構成を有する第４実施例を図１２及び図１
３に示している。本実施例に係る積載物の搬送用台車装
置５０は、上段に位置する大径（例えば８インチ）のウ
エハ４ａを載置すべく四方向に均等に配置された置き台
としての４個の大径用置き台５１ａと、下段に位置する
小径（例えば５インチ）のウエハ４ｂを載置すべく四方
向に均等に配置された置き台としての４個の小径用置き
台５１ｂと、この各置き台５１ａ，５１ｂが内部に取付
けられた搬送用台車５２とを備えている。

【００３１】また、この台車５２には、図９で示したも
のと同様に、四方向Ｂ乃至Ｅに開口部３３がそれぞれ形
成されて各方向Ｂ乃至Ｅにウエハ４ａ，４ｂを自在に出
し入れできるようになっている。各置き台５１ａ，５１
ｂには、ウエハ４ａ，４ｂが位置ずれを起こさないよう
にするための円弧状の側壁部５３ａ，５３ｂを有した載
置部５４ａ，５４ｂが形成されている。また各ウエハ４
ａ，４ｂは、大径用ロボットハンド５５ａと小径用ロボ
ットハンド５５ｂとにより、置き台５１ａ，５１ｂから
上に持ち上げられてそれぞれ積みおろしされる。

【００３２】（第５実施例）図１４乃至図１６は上記第
４実施例の変形例の第５実施例を示す図である。本実施
例は、異種形状の複数枚のウエハを載置するとともに、
このウエハには同一形状の複数枚のウエハも含まれてい
る場合である。

【００３３】図１４及び図１５に示すように、本実施例
に係る搬送用台車装置６０は、上段及び中段に位置する
大径（８インチ）のウエハ４ａを載置すべく、四方向に
均等に配置された置き台として上段に４個、中段に４個
の大径用置き台６１ａと、下段に位置する小径（５イン
チ）のウエハ４ｂを載置すべく、第４実施例の小径用置
き台と同様な構成を有して四方向に均等に配置された小
径用置き台５１ｂと、この各置き台６１ａ，５１ｂが内
部に取付けられた搬送用台車６２とを備えている。

【００３４】また、この台車６２には、図９で示したも
のと同様に、四方向Ｂ乃至Ｅに開口部３３がそれぞれ形
成されて、各方向Ｂ乃至Ｅにウエハ４ａ，４ｂを自在に
出し入れできるようになっている。

【００３５】大径用置き台６１ａは、図１６に示すよう
に、その一端部にウエハ４ａを支持するための円弧状の
側壁部６３ａを有した載置部６３が形成され、ここにウ
エハ４ａが載置される。置き台６１ａの他端部には、置
き台６１ａを段状に重ねることにより支柱を構成し、且
つ上段と下段の置き台６１ａの間に所定寸法ｈの間隔を
形成するための高さｈ（図１５参照）の突起部６４が形
成されている。

【００３６】中段の置き台６１ａを支持する下段支柱６
５と、上段、中段の各置き台６１ａとは台車６２の四隅
部に固着されており、これにより、各置き台６１ａは所
定の姿勢を保持している。

【００３７】なお、図１４に示すように、第３実施例と
同様に開口部３３の幅Ｌ₂ は大径のウエハ４ａの直径ｄ
₁ より大きくなっており、これによりウエハ４ａ，４ｂ
は開口部３３を自在に通過することができる。

【００３８】したがって、本実施例装置によれば、上段
用のロボットハンド１５ａと中段用のロボットハンド１
５ｃと下段用のロボットハンド１５ｂとをそれぞれ独立
に動作させて各段のウエハ４ａ，４ｂを独立に積みおろ
しすることができることとなり、各段の各ウエハ４ａ，
４ｂを同時に積みおろしすることも容易にできる。

【００３９】なお、置き台６１ａをさらに重ねれば、３
枚以上の大径のウエハ４ａを積載することもできる。こ
のように、第４，第５実施例によれば、異種形状のウエ
ハを含んでいても複数のウエハ４ａ，４ｂを１台の搬送
用台車装置５０，６０により同時に搬送及び積みおろし
ができることとなり、生産性を向上させることができ、
且つ搬送用台車装置５０，６０の汎用化を向上させるこ
とができる。

【００４０】なお、上記第１乃至第５実施例において、
ウエハを支持する置き台の間にロボットハンドが侵入す
るので、侵入路における置き台の間の間隔ｗ₁（又は
Ｗ₁）は、ロボットハンドの幅ｗ₂（又はＷ₂）よりも大
きいことが必要である（ｗ₁＞ｗ₂，Ｗ₁＞Ｗ₂）。なお、
各図中同一符号は同一又は相当部分を示す。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、積
載物を搬送用台車に二方向又は四方向から積みおろしで
きることとなり、積みおろし作業の能率が大幅に改善さ
れる。また、本発明によれば、複数の載置部を段状に設
置することにより、積載量を増加することができ、この
搬送用台車装置を半導体製造等の製造工程に用いた場合
には、生産性を向上させることができる。さらに、本発
明によれば、複数の異径の載置部を段状に設置すること
により汎用性を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る積載物の搬送用台車装置が組込ま
れた磁気浮上搬送装置の構造を示す断面図である。

【図２】図２乃至図５は本発明の第１実施例を示す図
で、図２は搬送用台車装置の外観図である。

【図３】図２の平面図である。

【図４】図３のIV−IV線による立面断面図である。

【図５】ウエハを置くための置き台の外観図である。

【図６】図６乃至図８は本発明の第２実施例を示す図
で、図６は搬送用台車装置の立面断面図である。

【図７】置き台の外観図である。

【図８】置き台を構成する下段の支持部材の外観図であ
る。

【図９】図９乃至図１１は本発明の第３実施例を示す図
で、図９は搬送用台車装置の外観図である。

【図１０】図９の平面断面図である。

【図１１】置き台の部分外観図である。

【図１２】図１２，図１３は本発明の第４実施例を示す
図で、図１２は搬送用台車装置の平面断面図である。

【図１３】図１２のXIII−XIII線による部分立面断面図
である。

【図１４】図１４乃至図１６は本発明の第５実施例を示
す図で、図１４は搬送用台車装置の平面断面図である。

【図１５】図１４のXV−XV線による部分平面断面図であ
る。

【図１６】大径用置き台の外観図である。

【符号の説明】

３搬送用真空トンネル（搬送路）４，４ａ，４ｂウエハ（積載物）１１，２１，３１，５１ａ，５１ｂ，６１ａ，６１ｂ
置き台１２，２２，３２，５２，６２搬送用台車１３，１４，３３開口部１６ａ，１７ａ，２６ｃ，２７ｃ，３６，５４ａ，５４
ｂ，６３載置部ＢＢ方向ＣＣ方向ＤＤ方向ＥＥ方向

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｂ６５Ｇ 54/02 9245−3Ｆ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】搬送路に従って走行して薄板状の積載物
を搬送する積載物の搬送用台車装置において、上記積載物を載置する載置部を有し、この載置部から積
載物をやや持ち上げて少なくとも二方向に積みおろしで
きるようにこれら少なくとも二方向には載置物の外径よ
りも内側に支柱等の障害物を有さない置き台と、この置き台が内部に取付けられ、上記積載物が通過可能
な開口部を少なくとも二方向に有する搬送用台車とを備
えたことを特徴とする積載物の搬送用台車装置。
【請求項２】上記置き台には、同一形状の複数個の上
記積載物を載置することができるように複数の載置部が
段状に設置されていることを特徴とする請求項１記載の
積載物の搬送用台車装置。
【請求項３】上記置き台には、異種形状の複数個の上
記積載物を載置することができるように複数の異径の載
置部が段状に設置されていることを特徴とする請求項１
記載の積載物の搬送用台車装置。